JP2003154227A - 乾燥剤パッケージ及び乾燥剤 - Google Patents

乾燥剤パッケージ及び乾燥剤

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JP2003154227A JP2002229711A JP2002229711A JP2003154227A JP 2003154227 A JP2003154227 A JP 2003154227A JP 2002229711 A JP2002229711 A JP 2002229711A JP 2002229711 A JP2002229711 A JP 2002229711A JP 2003154227 A JP2003154227 A JP 2003154227A
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moisture
water
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Michael Louis Boroson
ルイス ボロソン マイケル
Jeffrey P Serbicki
ピーター サービッキ ジェフリー
Peter G Bessey
ジー.ベシー ビーター
Glen C Irvin
シー.アービン グレン
Lawrence A Rowley
エー.ローリー ローレンス
Cheryl J Kaminsky
ジェイ.カミンスキー チェリル
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感湿性電子デバイス用乾燥剤を提供するこ
と。 【解決手段】 閉鎖容器内に封止された高感湿性電子デ
バイスを保護するために使用可能な乾燥剤パッケージで
あって、a)該封止された閉鎖容器の中に配置することが
できる透湿性容器を含み、b)該透湿性容器の中に配置さ
れた1種以上の材料からなる吸水性固体粒子を含み、c)
該吸水性固体粒子は、1種以上の材料からなる固体粒子
であって、該材料の少なくとも1種が、0.001〜0.1μm
の範囲内の平均粒径を有することにより、該封止された
閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準よりも低
い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速度を提
供するものを含み、そしてd)該透湿性容器は、その中に
含まれる該吸水性固体粒子の吸湿速度を実質的に維持す
ると共に、該吸水性固体粒子を該高感湿性電子デバイス
から分離するように作用することを特徴とする乾燥剤パ
ッケージ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子デバイス包装
体の内部湿分を制御すること、具体的には、デバイスの
早期故障又はデバイス性能の早期低下を防止すべく高感
湿性電子デバイスを乾燥する乾燥剤及び乾燥剤パッケー
ジの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】各種のミクロ電子デバイスは、その特定
の動作寿命及び/又は保存寿命が来る前の早期のデバイ
ス性能低下を防止するため、約2500〜5000ppm未満の範
囲内の湿度水準が要求される。デバイス包装体の内部の
環境を上記湿度水準範囲に制御することは、一般に、デ
バイスを封入するか、又は、デバイスと乾燥剤パッケー
ジをカバー内に封止することにより行われる。乾燥剤パ
ッケージは、吸水性固体粒子(乾燥剤)を受容する、又
は、このような粒子をバインダー中に提供する、ための
容器を含む。吸水性固体粒子の例として、モレキュラー
シーブ材料、シリカゲル材料、及び湿度水準を上記範囲
内に維持するのに用いられる一般にDrierite材料と称さ
れる材料が挙げられる。
【0003】特殊なミクロ電子デバイス、例えば、有機
発光デバイス(OLED)又はパネル、ポリマー発光デバイ
ス、電荷結合型デバイス(CCD)センサ及びミクロエレク
トロメカニカルセンサ(MEMS)では、湿度を約1000ppm未
満に制御することが要求され、さらには100ppm未満に制
御することが要求されることもある。このように低い水
準は、シリカゲル材料やDrierite材料のような乾燥剤で
は達成することができない。モレキュラーシーブ材料
は、比較的高温で乾燥された場合に、閉鎖容器内部の湿
度水準を1000ppm未満にすることが可能である。しかし
ながら、モレキュラーシーブ材料の1000ppm以下の湿度
水準での湿分容量は比較的小さく、モレキュラーシーブ
材料の達成可能な最低湿度水準は閉鎖容器内の温度の関
数となる。例えば、室温で吸収された湿分は、例えば、
100℃のような高温への温度サイクルの際に閉鎖容器又
はパッケージ中に放出され得る。このようなデバイス包
装体の内部に用いられる吸水性固体粒子は、金属酸化
物、アルカリ土類金属酸化物、硫酸塩、金属ハロゲン化
物又は過塩素酸塩、すなわち湿分容量が高くかつ最低平
衡湿度値が望ましくは比較的低い材料の粒径0.2〜200μ
mの粉末を含む。しかしながら、このような材料は、粒
径0.2〜200μmの微粉末にされた場合であっても、上述
のモレキュラーシーブ、シリカゲル又はDrierite材料と
比べて、湿分の化学吸収速度が往々にして遅い。このよ
うに水蒸気との反応が比較的遅いと、デバイスカバーの
内部に乾燥剤を封止した後、例えば、デバイス内部に吸
収された湿分、封止されたデバイスの内部に存在する水
蒸気、及び外部の周囲からデバイスとカバーとの間の封
止を透過する湿分によって、デバイスの性能が相当低下
することとなる。
【0004】吸水性固体粒子、特に微視的孔内に物理吸
着により湿分を連行するモレキュラーシーブ材料の中に
は、デバイス閉鎖容器内で使用する前に実質的に高い温
度で脱水工程を必要とするものがあり、この場合、処理
工程数が増加し、また実質的な脱水を達成するための制
御可能な炉のような追加の装置が必要となる。
【0005】吸水性固体粒子の選定及び選定された粒子
をデバイス閉鎖容器の内部に該デバイスを該閉鎖容器の
内部に、又は該閉鎖容器によって、封止する前に適用す
る方法は、湿分から保護すべきデバイスのタイプによっ
て支配される。例えば、高感湿性の有機発光デバイス又
はポリマー発光デバイスは、有機材料又は有機層が当該
デバイスの一体構成成分であるため、特定の吸水性固体
粒子及び適用方法を必要とする。有機材料又は有機層の
存在は、例えば、吸水性固体粒子を流体に分散させて有
機系デバイスに適用するに際し、特定の溶剤又は流体の
使用を排除することがある。さらに、封止されたデバイ
ス閉鎖容器内に含まれる乾燥剤の熱処理が必要となる場
合には、当該デバイスの有機構成成分又は有機層の熱的
特性によって課される束縛条件に合致させなければなら
ない。有機系電子デバイスの有機構成成分に溶剤蒸気が
悪影響を及ぼす可能性がある場合には、封止されたデバ
イス閉鎖容器内に配置された乾燥剤の熱処理中に溶剤蒸
気が放出されることは、いかなる速度であっても、これ
を防止し又は極力抑えなければならない。上述した有機
系電子デバイスに関する考慮事項は、乾燥すべき電子デ
バイスが、例えば、有機カラーフィルターオーバーレイ
を含まないMEMSデバイス又はCCDセンサのような完全な
無機系又は金属系のデバイスである場合には、さほど重
要ではないかもしれない。
【0006】有機発光デバイス又はポリマー発光デバイ
スのような高感湿性電子デバイスについて、VanSlykeの
米国特許第5,047,687号に、当該有機電場発光媒体の少
なくとも1つの有機成分と、周囲湿分存在下で酸化され
得る仕事関数が4.0〜4.5 eVの範囲内にある少なくとも
1種の金属との混合物を含んで成る保護層を使用するこ
とが記載されている。VanSlykeの記載によると、該保護
層に含まれる金属は、有機ELデバイスに組み込まれた時
に、長期間にわたり周囲雰囲気中の湿分によって酸化さ
れるに十分な反応性を有している。この使用法では、該
金属は、保護層において湿分に対する吸水性固体粒子と
して用いられている。金属フィルム単独の被覆層も、金
属フィルムと有機フィルムを続けて被覆した層も、周囲
湿分によるダークスポットの成長を防止するのに効果が
ないのは、バルク金属の酸化が遅いためであった。した
がって、VanSlykeは、周囲湿分により酸化され得る反応
性金属の酸化され易さを、金属及び有機媒体の混合層に
当該金属を同時堆積して表面対体積比を高めることによ
り高めることを教示している。しかしながら、VanSlyke
は、最適な吸湿保護のために必要な金属乾燥剤の粒径に
ついても、また、有機ELデバイスを保護する性能に対す
る金属粒径の効果についても、何ら教示をしていない。
【0007】多くの刊行物に、閉鎖又は封入された電子
デバイスの内部の湿度水準を制御するための方法及び/
又は材料が記載されている。例えば、Kawamiらの欧州特
許出願公開第0 776 147 A1号公報に、化学的に吸湿する
ための固体化合物を含む乾燥物質を含有する気密容器内
に閉鎖された有機EL要素が記載されている。当該乾燥物
質は、有機EL要素から間隔を置いて配置され、そして真
空蒸着、スパッタリング又はスピンコーティングにより
所定の形状に団結されている。Kawamiらは、アルカリ金
属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、硫酸塩、金属ハロ
ゲン化物及び過塩素酸塩の吸水性固体粒子の使用につい
て教示している。しかしながら、Kawamiらは、これらの
吸水性固体粒子の粒径が性能に与える効果については何
ら教示していない。
【0008】Shoresの米国特許第5,304,419号に、電子
デバイスを閉じ込める閉鎖容器のための湿分及び粒子ゲ
ッターが記載されている。当該閉鎖容器の内面の一部
に、平均粒径が通常0.2〜100μm、好ましくは0.5〜10μ
mの固体乾燥剤を含有する感圧接着剤が塗被されてい
る。
【0009】Shoresの米国特許第5,401,536号に、電子
デバイス用の湿分を含まない閉鎖容器であって、乾燥剤
特性を有する接着剤又はコーティングを含むものを提供
する方法が記載されている。当該コーティング又は接着
剤は、平均粒径0.2〜100μm、好ましくは1〜10μmのプ
ロトン化アルミナシリケート粉末をポリマー中に分散さ
せてなるものである。
【0010】Shoresの米国特許第5,591,379号に、密封
電子デバイス用の除湿組成物が記載されている。当該組
成物は、デバイス包装体の内面にコーティング又は接着
剤として適用される。また、その組成物は、平均粒径0.
2〜100μm、好ましくは0.3〜50μmの乾燥剤(好ましく
はモレキュラーシーブ材料)を水蒸気透過性バインダー
中に分散させてなるものである。
【0011】Shoresが開示した乾燥剤の多くは、1000pp
mより低い湿度水準では、高感湿性デバイスに対して有
効に機能しない。さらに、Shoresは、開示した粒径の選
定理由や、乾燥剤の性能に対する粒径の効果について、
何ら教示していない。
【0012】同様に、Shoresが開示したポリエチレンの
ような、純粋な特定の乾燥剤の吸湿速度と比べて低い吸
湿速度を有するバインダーでは、高感湿性デバイスの企
図される動作寿命の間に1000ppm未満の湿度水準を達成
し、かつ、これを維持するように有効に機能することは
ないであろう。
【0013】Deffeyesの米国特許第4,036,360号に、フ
ィルムやカメラのような中程度の防湿性しか要求されな
い用途向けの包装ボックスの内壁表面用又はパッケージ
インサートとして結うような乾燥剤が記載されている。
該材料は、水蒸気透過速度の高い樹脂と乾燥剤を含む。
【0014】Deffeyesが開示している乾燥剤はアルミ
ナ、ボーキサイト、硫酸カルシウム、クレー、シリカゲ
ル及びゼオライトであるが、Deffeyesは、これらの乾燥
剤の粒径については何ら記載していない。これらの乾燥
剤には、1000ppm未満の湿度水準において高感湿性デバ
イスに対して有効に機能するものはない。さらに、測定
された樹脂の厚さについて何ら言及がないため、当該樹
脂の水蒸気透過速度の要件は十分には規定されていな
い。25.4μm(1ミル)の厚さにおいて40グラム/24時
間/100平方インチを透過する材料と、2.54mm(100ミ
ル)の厚さにおいて40グラム/24時間/100平方インチ
を透過する材料とは、非常に異なるものであろう。した
がって、Deffeyesが開示した水蒸気透過速度が高感湿性
デバイスにとって十分であるか否かを決めることはでき
ない。
【0015】Taylorの米国特許第4,013,566号に、冷媒
流体システムにおける乾燥剤として有用な固体乾燥剤が
記載されている。該固体乾燥剤は、透湿性脂肪族エポキ
シポリマーマトリックス中に結合された乾燥剤微粒子を
含んで成る。
【0016】Taylorが開示した乾燥剤は、モレキュラー
シーブ、活性化アルミナ及びシリカゲルである。Taylor
は、粒径1〜10μmの使用を教示するが、粒径が乾燥剤
性能に与える影響については教示していない。これらの
乾燥剤の中には、1000ppm未満の湿度水準において高感
湿性デバイスに対して有効に機能するものはない。さら
に、当該樹脂の水蒸気透過速度要件も十分には規定され
ていない。すなわち、当該固体乾燥剤は、乾燥剤単独の
場合と同等の吸着又は吸収速度を有するとしか記載され
ていない。したがって、Taylorが開示する樹脂が高感湿
性デバイスにとって十分であるか否かを決めることはで
きない。
【0017】Booeの米国特許第4,081,397号に、電気・
電子デバイスの電気・電子特性を安定化するために用い
られる組成物が記載されている。当該組成物は弾性マト
リックス中にアルカリ土類金属酸化物を含むものであ
る。
【0018】Booeが開示した乾燥剤は酸化バリウム、酸
化ストロンチウム及び酸化カルシウムである。Booeは、
懸濁液中で酸化物が沈降するのを極力抑えるため80メッ
シュ(177μm)未満の粒径を使用することを教示してい
る。Booeは粒径が乾燥剤性能に与える影響については教
示していない。これらの乾燥剤は1000ppm未満の湿度水
準において高感湿性デバイスに対して有効に機能し得る
が、Booeは、当該弾性マトリックスがアルカリ土類粒子
の流体吸収速度を遅らせる特性を有することについて特
許請求している。実施例では、当該組成物の吸水速度は
アルカリ土類粒子単独の場合の5〜10分の1に低下して
いる。この吸水速度の低下は、反応性の高いアルカリ土
類金属酸化物の取扱い性を改良する望ましい特徴として
開示されている。しかしながら、高感湿性デバイスにお
いては、吸湿速度がいくらかでも低下すると、デバイス
が劣化する可能性が高くなるため、吸湿速度を高められ
る樹脂を同定することが非常に望まれるところである。
したがって、高感湿性デバイスにとっては、有効な乾燥
剤と併用されるバインダーの最低許容水蒸気透過速度を
求めることが重要である。
【0019】Borosonらの米国特許第6,226,890号に、閉
鎖容器内に封止された感湿性電子デバイスを取り囲む環
境を乾燥する方法であって、粒径0.1〜200μmの固体粒
子を含んで成る乾燥剤を選定する工程を含むものが記載
されている。当該乾燥剤は、封止された閉鎖容器内の当
該デバイスが感応する湿度水準よりも低い平衡最低湿度
水準を提供するように選定される。バインダーは、選定
された乾燥剤を配合するため当該乾燥剤の吸湿速度を維
持する又は高めるものが選ばれる。バインダーは、液相
状態であっても、液体に溶解されていてもよい。少なく
とも乾燥剤粒子とバインダーを含むキャスト可能な配合
物が形成される。吸水性固体粒子を有する当該配合物
は、10〜90質量%の吸水性固体粒子とバインダーを含
む。
【0020】当該配合物は、封止用フランジを有する閉
鎖容器の内表面の一部に計量された量でキャストされ、
その表面に乾燥剤層を形成する。当該配合物を固化して
固体乾燥剤層を形成させ、その後その閉鎖容器の封止用
フランジに沿って電子デバイスを封止する。しかしなが
ら、Borosonらは、これら固体粒子乾燥剤の粒径がその
性能に与える効果についても、また粒径が0.1μmより小
さい場合の利益についても、何ら教示をしていない。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、閉鎖
容器内に封止された高感湿性電子デバイスを保護するた
めの乾燥剤を含む乾燥剤パッケージを提供することにあ
る。本発明の別の目的は、閉鎖容器内に封止された高感
湿性電子デバイスを保護するための乾燥剤を提供するこ
とにある。この目的は、1種以上の材料からなる吸水性
固体粒子であって、該材料の少なくとも1種が、0.001
〜0.1μmの範囲内の平均粒径を有することにより、該封
止された閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準
よりも低い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水
速度を提供するものを含んで成る乾燥剤によって達成さ
れる。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、閉鎖容器
内に封止された高感湿性電子デバイスを保護するために
使用可能な乾燥剤パッケージであって、 a) 該封止された閉鎖容器の中に配置することができる
透湿性容器を含み、 b) 該透湿性容器の中に配置された1種以上の材料から
なる吸水性固体粒子を含み、 c) 前記吸水性固体粒子は、1種以上の材料からなる固
体粒子であって、該材料の少なくとも1種が、0.001〜
0.1μmの範囲内の平均粒径を有することにより、該封止
された閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準よ
りも低い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速
度を提供するものを含み、そして d) 前記透湿性容器は、その中に含まれる該吸水性固体
粒子の吸湿速度を実質的に維持すると共に、該吸水性固
体粒子を該高感湿性電子デバイスから分離するように作
用することを特徴とする乾燥剤パッケージによって達成
される。
【0023】
【発明の実施の形態】明細書中の用語「乾燥剤パッケー
ジ」は、吸水性固体粒子でできた乾燥剤を意味し、閉鎖
容器の表面に提供され得るバインダー中に配置されてい
る吸水性固体粒子又は該吸水性固体粒子を含むパッケー
ジのいずれかを意味する。
【0024】図1及び図2に、乾燥剤パッケージの効能
を試験するのに有用であることがわかった有機発光デバ
イス(OLED)試験構造体10の略透視図及び略断面図を示
す。一般に、OLEDデバイスは、これを周囲湿度条件下で
動作させた場合にカソード18が劣化することから明ら
かなように、感湿性が高い。OLED試験構造体10の構築
についての詳細は、後述する「実験手順」の第1節に記
載されている。その他の試験構造体及び試験法、例え
ば、MEMSデバイスのいわゆる「破損時間」試験を使用す
ることもできる。
【0025】OLED試験構造体10は、透光性アノード1
4が上に配置されている透光性基板12を有する。アノ
ード14の上で、かつ、基板12の一部の上に、有機発
光層16が形成されている。有機発光層16は、少なく
とも2層、すなわち、アノード14に接している有機正
孔輸送層と、該正孔輸送層に接している有機電子輸送層
とを含んで成る。カソード18は、アノード14の方向
と直交する方向に形成されており、物理的幅寸法である
と同時に初期電気的幅寸法を表す幅寸法w、すなわち、
OLED試験構造体10の製造及び短期間動作後の物理的幅
寸法wと実質的に同一の電気的幅寸法を有する。保護さ
れていないOLED試験構造体10の動作を図2に略示す
る。電池のように図示した駆動電源20の負極がリード
線22を介して接点23においてカソード18に接続さ
れている。駆動電源20の正極はリード線24を介して
接点25においてアノード14に接続されている。駆動
電源20により、カソード18から電子が、そしてアノ
ード14から正孔がそれぞれ有機発光層に注入されて、
OLED試験構造体に電流が流れる。電子と正孔は電子輸送
層(図示なし)及び正孔輸送層(図示なし)を差し渡す
ように輸送され、これらの電荷担体が電子輸送層と正孔
輸送層との界面で再結合することにより、当該試験構造
体の初期動作中、アノード14とカソード18の間の交
差領域に一致するOLED試験構造体の領域から発光30が
起こる。
【0026】図3(A)に、OLED試験構造体10を逆さま
にした状態が示されており、さらにアノード14と、有
機発光層16と、カソード18との全体厚dが示されて
いる。厚さdは200〜2000nmの範囲内とすることができ
る。
【0027】図3(B)に、OLED試験構造体10の少なく
とも発光部分を封止により閉じ込めるような寸法を有す
る閉鎖容器40の断面図を示す。閉鎖容器40は、高さ
寸法hを有する金属構造物、ガラス構造物、セラミック
構造物又はプラスチック構造物であることができる。閉
鎖容器は、材料の組合せ、例えば、金属化プラスチック
構造物を含むこともできる。閉鎖容器40は、一般に傾
斜した側面と底面を含む外表面42を有する。閉鎖容器
40は封止用フランジ44を有し、これを使用して閉鎖
容器40を試験構造体10の基板12に対して封止する
ことにより試験構造体を有効に閉じ込める。
【0028】一般に50で示した乾燥剤パッケージは、
厚さtを有し、そして閉鎖容器40の内部に配置され、
表面42の底部にほぼ沿って延在するように示されてい
る。乾燥剤パッケージ50は、以下詳しく説明するよう
に、透湿性バインダー52の中に吸水性固体粒子54を
分散させて又は含めてなる。
【0029】図4に、OLED試験構造体が閉じ込められる
ように基板12の周辺部と閉鎖容器の封止用フランジ4
4との間で形成されたシール60によりOLED試験構造体
10が封止されている状態で、乾燥剤パッケージ50を
含有する閉鎖容器40が示されている。OLED試験構造体
10中に存在する湿度水準、又はOLED試験構造体を取り
囲む環境(すなわち、OLED試験構造体と乾燥剤パッケー
ジ50の上面との間の環境)中に存在する湿度水準、は
乾燥剤パッケージ50により制御することができる。
【0030】乾燥剤パッケージ50は、a) 透湿性バイ
ンダー52に含まれる1種以上の材料からなる吸水性固
体粒子54を含み、b) 該吸水性固体粒子54は、1種
以上の材料からなる固体粒子であって、該材料の少なく
とも1種が、0.001〜0.1μmの範囲内の平均粒径を有す
ることにより、該封止された閉鎖容器40内に当該OLED
試験構造体10が感応する湿度水準よりも低い平衡最低
湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速度を提供するもの
を含み、そしてc) 該バインダー52は、その中に含ま
れる吸水性固体粒子54の劣化を抑え、又はその吸湿速
度を高め、るように適合されており、また固相もしくは
液相状態にあるか、又は液体に溶解されている。
【0031】現在のところ、吸水性固体粒子54の1種
以上の材料は、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属
酸化物、硫酸塩、金属ハロゲン化物、過塩素酸塩及び仕
事関数が4.5 eV未満であって湿分存在下で酸化され得る
金属、又はこれらの組合せ、からなる群より選ばれるこ
とが好ましい。
【0032】現在のところ、透湿性バインダー52の水
蒸気透過速度は3.5グラム-ミル/100平方インチ/日よ
りも高いことが好ましい。現在のところ好適な透湿性バ
インダー52は、酢酸セルロース類、エポキシ類、フェ
ノキシ類、シロキサン類、メタクリレート類、スルホン
類、フタレート類及びアミド類又はこれらの組合せから
なる群より選ばれることができる。
【0033】現在のところ、吸水性固体粒子54が10〜
90質量%の吸水性固体粒子54と透湿性バインダーとを
含むことが好ましい。現在のところ、乾燥剤パッケージ
50が2500ppm未満の、最も好ましくは100ppm未満の湿
度水準を提供することが好ましい。
【0034】吸水性固体粒子54を透湿性バインダー5
2に分散させた配合物の計量された量を閉鎖容器40の
下部内表面の一部に、例えば、計量された量の配合物を
自動化分配ノズルから、分配された配合物が該閉鎖容器
の下部表面に沿って展開して乾燥剤パッケージ50が形
成されるまで分配することによって、キャストする。次
いで、乾燥剤パッケージ50を、例えば、残留溶剤を除
去するために制御された条件下で乾燥剤パッケージ50
を、硬化した乾燥剤パッケージ50が所望の乾燥剤パッ
ケージ厚tを有するまで加熱することによって、硬化し
て固体にする。
【0035】別法として、バインダーを輻射線硬化性又
は輻射線重合性となるように選定した場合には、乾燥剤
パッケージ50の硬化工程は、乾燥剤パッケージ50を
これに硬化用輻射線を当てながら加熱する工程を含むこ
とができる。乾燥剤パッケージ50を固化する輻射線硬
化工程が完了したら、固化した乾燥剤パッケージ50を
含む閉鎖容器40を、先に図4を参照しながら説明した
試験構造体10に対して封止する。
【0036】図5(A)に、反対面上に接着剤で結合でき
る表面74を有する支持体72の片面上に形成された透
湿性バインダー52の中に、1種以上の材料からなる固
体粒子を含む吸水性固体粒子54を含んで成る乾燥剤パ
ッケージ50が示されている。当該材料の少なくとも1
種は平均粒径が0.001〜0.1μmの範囲内にある。接着剤
で結合できる表面74は、実際には、剥離可能な保護層
(図示なし)で覆われている。乾燥剤パッケージ50
は、自動化コーティング法により達成可能な均一な層厚
を有する乾燥剤パッケージ50の広範囲にわたる供給を
提供するいわゆるインライン式コーティング及び硬化設
備において調製し硬化することができる。
【0037】図5(B)に、図5(A)の乾燥剤パッケージ5
0の一片を適当な寸法に切り出してこれを閉鎖容器の内
表面の下方部分に接着剤で結合させた閉鎖容器40が示
されている。
【0038】図6(A)に、閉鎖容器の下方内部に沿って
乾燥剤パッケージ50を形成させた閉鎖容器40が示さ
れている。該乾燥剤パッケージ50は、1種以上の材料
からなる固体粒子を含む特定の吸水性固体粒子54を、
輻射線硬化性バインダー55に分散させてなり、該材料
の少なくとも一種は平均粒径が0.001〜0.1μmの範囲内
にある。バインダー55は透湿性となるように選ばれ
る。好適な透湿性輻射線硬化性バインダーは、輻射線硬
化性フォトレジスト組成物、又は輻射線硬化性アクリレ
ート、メタクリレート、環化ポリイソプレン、ポリビニ
ルシンナメート、エポキシ類、シリコーン類及び接着剤
又はこれらの組合せである。
【0039】図6(B)に、硬化用輻射線90が乾燥剤パ
ッケージ50に入射するように向けられて、図6(A)の
輻射線硬化性バインダー55が硬化又は重合することに
より、今度は輻射線硬化バインダー55cとして指示さ
れることが示されている。輻射線硬化性バインダー55
を有する乾燥剤パッケージ50を、図5(A)を参照して
説明した乾燥剤パッケージ50の一部として形成しても
よいことが認識される。
【0040】輻射線硬化性有機バインダーの選定及び該
バインダーを硬化性輻射線への暴露により硬化すること
を除けば、キャスト可能な配合物の調製法及び該配合物
をキャストして乾燥剤パッケージ50を形成する方法
は、シール60により閉鎖容器40にOLED試験構造体1
0を封止する工程(図4参照)をはじめとする図3(B)
及び図4を参照して説明した調製工程と実質的に同一の
処理工程である。
【0041】少なくとも一種の吸水性固体粒子を透湿性
バインダーに分散させてなるキャスト可能な配合物を調
製する際の実用上の一般則として、当該配合物に気泡そ
の他の不連続物が導入されないように注意する。例え
ば、塗料の製造業者は、例えば、アクリル系バインダー
のような比較的粘性の高いバインダーに塗料顔料を高い
配合率で安定に分散させるため、塗料配合物に、いわゆ
るレベリング剤、界面活性剤、消泡剤その他の添加物を
導入することがよく知られている。このような剤及び添
加物は、吸水性固体粒子を透湿性バインダー中に含むキ
ャスト可能な配合物の調製において利用することができ
る。
【0042】図7に、閉鎖容器の下方内部に沿って乾燥
剤パッケージ50を形成させた閉鎖容器40が示されて
いる。該乾燥剤パッケージは、1種以上の材料からなる
固体粒子を含む特定の吸水性固体粒子54と、該閉鎖容
器の内表面に取り付けられた透湿性容器56とを含んで
なり、該材料の少なくとも一種は平均粒径が0.001〜0.1
μmの範囲内にある。透湿性容器56は、その中に含ま
れる吸水性固体粒子54の吸湿速度の低下を抑えるよう
に適合されていると同時に、吸水性固体粒子54を感湿
性デバイス(図示なし)から分離させている。透湿性容
器は、吸水性固体粒子54を含みながら透湿性を発揮す
るものであれば、どのような材料でできていてもよい。
透湿性容器の形成に用いられる材料の例として、ポリマ
ーフィルム、織布、織テープ、不織布、不織テープ、有
孔金属箔及びこれらの組合せが挙げられる。さらに、透
湿性容器56の一部だけに透湿性が要求されるので、透
湿性容器56の部分を不透湿性材料で製作することもで
きる。例えば、透湿性容器56の片側を固体金属箔もし
くは低透過性ポリマーフィルムにすること、又は透湿性
容器56の片側を閉鎖容器40自身にすることが可能で
ある。
【0043】現在のところ、吸水性固体粒子54の1種
以上の材料は、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属
酸化物、硫酸塩、金属ハロゲン化物、過塩素酸塩及び仕
事関数が4.5 eV未満であって湿分存在下で酸化され得る
金属、又はこれらの組合せからなる群より選ばれること
が好ましい。現在のところ、乾燥剤パッケージ50によ
り2500ppm未満の、最も好ましくは100ppm未満の湿度水
準が得られることが好ましい。
【0044】計量された量の吸水性固体粒子54を含む
透湿性容器56を閉鎖容器40の下方内表面の一部に配
置するか、又は、例えば、接着剤で閉鎖容器の下方表面
に沿って透湿性成分を結合して乾燥剤パッケージ50を
形成させることにより、透湿性容器56の一体部分とし
て閉鎖容器40を使用する。
【0045】透湿性容器56を有する乾燥剤パッケージ
50は、図5(A)を参照して説明したように乾燥剤パッ
ケージ50の一部として形成できることが認識される。
透湿性容器の選定を除けば、処理工程は、シール60に
より閉鎖容器40にOLED試験構造体10を封止する工程
(図4参照)をはじめとする図3(B)及び図4を参照し
て説明した調製工程と実質的に同一である。
【0046】
【実施例】実験手順 1.図1及び図2のOLED試験構造体の構築 下記の処理序列により複数の同一のOLED試験構造体を製
作した。 1)片面上にインジウム錫酸化物(ITO)の透光性アノー
ドを有する基板を、市販の洗剤中で超音波処理し、脱イ
オン水でリンスし、トルエン蒸気で脱脂し、そして強酸
化剤に接触させた。 2)常用の真空蒸着法により、基板とアノードの上に、
4,4’-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェ
ニル(NPB) からなる厚さ150 nmの有機正孔輸送層を形成
させた。 3)常用の真空蒸着法により、NPB正孔輸送層の上に、
トリス(8-キノリナト-N1,O8)-アルミニウム(Alq)に0.5
体積%のC545Tをドープしてなる厚さ375 nmの有機発光
層を形成させた。 4)常用の真空蒸着法により、有機発光層の上に、トリ
ス(8-キノリナト-N1,O8)-アルミニウム(Alq)からなる厚
さ375 nmの有機電子輸送層を形成させた。 5)Alq電子輸送層の上に、シャドーマスクを介して、
0.5 nmのLiF及び100 nmのアルミニウムを真空蒸着する
ことによりカソードを形成した。該カソードはアノード
と直交する方向に形成させることにより、アノードとカ
ソードとの交差領域が画定され、Alq電子輸送層とNPB正
孔輸送層との界面又はその付近での電子-正孔再結合に
より最初に発光する領域が画定される。
【0047】2.OLED試験構造体に対する閉鎖容器の調
製及び封止 1)乾燥剤パッケージを形成させる前に、適当な大きさ
の複数の閉鎖容器(40;例えば、図3(B)、図5(B)、
図6(A)、図6(B)参照)の各々を、強酸化剤による接触
工程を除外したことを除き先に第1節で説明した基板洗
浄処理と実質的に同一の洗浄処理によって洗浄した。 2)閉鎖容器の下方内表面に沿って乾燥剤パッケージを
形成し硬化させた。 3)封止材料を使用して、閉鎖容器の封止用フランジの
上面に沿ってビーズ状封止材料を形成させた。 4)ビーズ付きフランジを、OLED基板の周辺封止領域に
配置して押し付け、そしてシールの硬化を、ホットメル
ト接着剤の冷却か、又は紫外線硬化性接着剤の2分間の
UV露光により行い、OLED試験構造体を閉じ込めた(図4
参照)。
【0048】3.閉鎖されたOLED試験構造体の試験 1)それぞれ1つの、公称的に同一の乾燥剤パッケージ
を含む閉鎖容器に封止された3〜5個の公称的に同一の
OLED試験構造体を試験し、当該閉鎖試験構造体の性能及
びその変動に関するデータを得た。 2)カソードの初期物理的及び電気的幅寸法wを以下の
ように測定した。 (1) 物理的幅寸法は較正光学顕微鏡により測定した。 (2) 初期実効電気的幅寸法は、カソードとアノードの間
に駆動電源から電圧を印加することにより試験構造体を
動作させながら測定し、そしてアノードとカソードの交
差により画定される領域において20 mA/cm2の電流密度
が達成されるように調整した。カソードを差し渡す方向
における発光の幅寸法が、初期実効電気的カソード幅寸
法の測定値を与え、これをさらに較正顕微鏡で測定し
た。 3)物理的カソード幅寸法の初期値と電気的カソード幅
寸法の初期値は一致し、その偏差は約±5μmであっ
た。 4)次いで、閉鎖OLED試験構造体の各組を、85℃、85%
RHの環境試験室内に暗条件下で100時間以上保存した。 5)環境試験室内での保存後、上記(2)に記載した条件
下で試験構造体を動作させてカソードの実効電気的幅寸
法を測定した。 6)OLED試験構造体の閉鎖容器内に形成された乾燥剤パ
ッケージの効能に依存して、当該カソードの実効電気的
幅寸法が、初期カソード幅寸法を基準に多少減少した。
初期電気的(及び物理的)幅寸法と、環境試験室での保
存後の実効電気的カソード幅寸法との差を、各組の試験
構造体について表にし、これを閉鎖容器内の具体的乾燥
剤パッケージの有効性に関する測定値とした。
【0049】4.実施例 例1 純粋な乾燥剤粉末(粒径1〜10μm)を透湿性容器に入
れて、OLED試験構造体のカソード幅の縮小を防止する相
対的有効性を求めるために試験した。本願明細書に記載
した手順を採用して試験構造体を調製したが、但し、乾
燥剤層は純粋な粉末とし、そして片面上に感圧接着剤を
塗被した透湿性不織布膜により乾燥剤層を所定の位置に
保持した。封止材料はホットメルト型ポリオレフィンと
し、これを閉鎖容器の5mmのフランジ上で150℃で溶融
させた後、当該基板に押し当てながら冷却した。以下
に、85℃/85%RHで500時間後の試験結果を示す。
【0050】 乾燥剤のタイプ カソード幅縮小量(μm) 五酸化リン 0 酸化カルシウム 0〜5 酸化バリウム 0〜15 過塩素酸マグネシウム 5〜10 硫酸カルシウム 45〜50 モレキュラーシーブ 50 乾燥剤なし 80〜150
【0051】上記の結果は、五酸化リン、酸化カルシウ
ム、酸化バリウム及び過塩素酸マグネシウムが、その平
衡最低湿度能が非常に低いことから予測されるように、
最高性能の乾燥剤であることを示すものである。上記結
果はまた、乾燥剤を含むデバイスのすべてが乾燥剤を含
まない対照試料よりも良好であったことから、不織布容
器により、内在する乾燥剤の方へ湿分が迅速に透過し得
ることも示している。
【0052】例2 平均粒径1.17μmの酸化カルシウム粒子を、平均粒径0.0
7μmの酸化カルシウム粒子と比較した。酢酸エチルに17
質量%のポリエチルメタクリレート(水蒸気透過速度28
グラム-ミル/100平方インチ/日)を溶かした溶液に25
質量%の酸化カルシウムの混合物を分散させた。閉鎖容
器の内表面に乾燥剤パッケージを形成させ、これを150
℃で2時間ベークして酢酸エチルを除去した。封止材料
としてUV硬化性エポキシを1.5mmのフランジ上に載せ、
これに15J/cm2のUVエネルギーを照射した。85℃/85%R
Hで593時間後の試験結果は以下のとおり。
【0053】 乾燥剤のタイプ カソード幅の縮小量(μm) PEMAバインダーに1.17μmのCaO 64 PEMAバインダーに0.07μmのCaO 43
【0054】上記の結果は、粒径0.1μm未満の酸化カル
シウムをポリエチルメタクリレートに分散させてフィル
ムにしたものの方が、粒径1.17μmの酸化カルシウムを
ポリエチルメタクリレートに分散させてフィルムにした
ものよりも性能がよかったことを示している。このこと
は、高感湿性電子デバイスを十分に保護するためには、
低平衡最低湿度乾燥剤の粒径を小さくすることにより水
蒸気吸収速度を高めることが重要であることを例証する
ものである。
【0055】例3 平均粒径0.02μm、0.1μm及び4μmの酸化カルシウム粒
子を吸水速度について比較した。酢酸エチルに17質量%
のポリエチルメタクリレート(水蒸気透過速度28グラム
-ミル/100平方インチ/日)を溶かした溶液に25質量%
の酸化カルシウムの混合物3種を分散させた。予め秤量
しておいたアルミニウム製秤量パンの内表面に乾燥剤パ
ッケージを形成させ、これを150℃で2時間ベークして
酢酸エチルを除去した。試料を再秤量して初期乾燥剤層
の質量を測定した。次に、試料を73°F(約23℃)/70
%RHの高湿度室に配置した。試料を周期的に取り出して
秤量し、各種乾燥剤パッケージの吸水速度を測定した。
結果を図8に示した。
【0056】図8の結果は、吸水速度が酸化カルシウム
粒子の大きさに非常に依存することを示している。粒径
を4μmから0.1μmへ下げると、吸水速度が2オーダー
以上高くなる。これらの結果は、粒径を0.1μm未満に下
げると、吸水速度が粒径0.1μmの粒子の場合よりもさら
に高くなり、かつ、酸化カルシウムが32%において酸
化カルシウムへの完全転換に近づくにつれ吸水速度の低
下を排除することにより、さらなる利益が得られる。
【0057】例4 酸化カルシウム、酸化バリウム、硫酸カルシウム及び臭
化カルシウムの各粉末を、同じ乾燥剤をフェノキシ樹脂
に分散させたものと比較した。ジエチルアジペートに21
質量%のフェノキシ樹脂を溶かした溶液に、11体積%の
乾燥剤を分散させた。乾燥剤パッケージを閉鎖容器の内
表面に形成させ、160℃で2時間ベークしてジエチルア
ジペートを除去した。粉末は、例1と同一の方法で閉鎖
容器内に配置した。封止材料及び封止方法は例2に記載
したものと同一とした。85℃/85%RHで146時間後の試
験結果は以下のとおり。
【0058】 乾燥剤のタイプ カソード幅の縮小量(μm) 酸化バリウム 0 酸化カルシウム 26 臭化カルシウム 100 硫酸カルシウム 562 酸化バリウム含有フェノキシ 11 酸化カルシウム含有フェノキシ 50 臭化カルシウム含有フェノキシ 133 硫酸カルシウム含有フェノキシ 872
【0059】上記の結果は、酸化カルシウム及び酸化バ
リウムが、その平衡最低湿度能が非常に低いことから予
測されるように、最高性能の乾燥剤であることを再度示
している。上記の結果は、樹脂の水蒸気透過速度が低い
と、純粋な粉末と比較して、すべての乾燥剤の有効性を
低下させ得ることも示している。しかしながら、上記の
結果は、フェノキシに酸化バリウムを含めたものが、な
おも、透湿性容器に酸化カルシウム粉末を入れたもの及
びフェノキシに酸化カルシウムを含めたもののいずれよ
りも性能がよいことをも示している。この結果は、樹脂
の最低水蒸気透過速度が乾燥剤の選択に依存することを
例証するものである。このことはまた、高感湿性電子デ
バイスを十分に保護するためには水蒸気透過速度、乾燥
剤及び吸水速度の各要件を調和させることの重要性を例
証するものであると同時に、乾燥剤と樹脂の配合物の性
能を、平衡最低湿度能及び水蒸気透過速度のみに基づい
て予測することはできないことを例証するものでもあ
る。
【0060】例5 酸化カルシウムを、ポリエチルメタクリレート(PEMA)、
ポリジアリルフタレート(PDAP)、ポリスルホン(PSF)、
フェノキシ並びに二種のUV硬化性アクリレート(UV1及び
UV2)に分散させた配合物を比較した。当該混合物の乾燥
又は硬化後、37体積%の乾燥剤が63体積%の各樹脂に分
散されていた。ポリエチルメタクリレート、ポリジアリ
ルフタレート、ポリスルホン及びフェノキシ系の混合物
については、その乾燥剤パッケージを、例4にあるよう
に閉鎖容器の内表面に形成させた。UV硬化性アクリレー
トについては、その乾燥剤パッケージを、閉鎖容器の内
表面に形成させ、15 J/cm2のUVエネルギーの照射により
硬化した。封止材料及び封止方法は例2と同様とした。
85℃/85%RHで146時間後の結果は以下のとおり。
【0061】 乾燥剤のタイプ 樹脂の水蒸気透過速度 カソード幅の縮小量 (gm-ミル/100in2/日) (μm) 酸化カルシウム含有UV1 136 26 酸化カルシウム含有PEMA 28 23 酸化カルシウム含有UV2 15 20 酸化カルシウム含有PDAP 測定なし 43 酸化カルシウム含有フェノキシ 3.5 50 酸化カルシウム含有PSF 測定なし 62
【0062】上記の結果は、水蒸気透過速度が15〜136
gm-ミル/100in2/日の樹脂に含まれる酸化カルシウムと
比較して酸化カルシウムの有効性が低下しないようにす
るためには、樹脂の水蒸気透過速度が3.5 gm-ミル/100i
n2/日よりも高くなければならないことを示している。
このことはまた、高感湿性電子デバイスを十分に保護す
るためには水蒸気透過速度、乾燥剤及び吸水速度の各要
件を調和させることの重要性を例証するものである。
【0063】例6 酸化カルシウム粉末を、45質量%の酸化カルシウムをポ
リアミドに分散させたものと比較した。乾燥剤と樹脂の
混合物を溶融し、その溶融体を分配し、そして室温に冷
却することによって閉鎖容器の内表面に乾燥剤パッケー
ジを形成させた。粉末は、例1と同様の方法で閉鎖容器
内に配置した。封止材料及び封止方法は例2と同様とし
た。85℃/85%RHで146時間後の結果は以下のとおり。
【0064】 乾燥剤のタイプ カソード幅の縮小量(μm) 酸化カルシウム 24 酸化カルシウム含有ポリアミド 23
【0065】上記の結果は、溶融加工可能なポリアミド
に酸化カルシウムを分散させたものが、酸化カルシウム
粉末単独のものと同様に良好な性能を発揮したことを示
している。本発明は、感湿性の高いミクロ電子デバイス
について使用することに特に適している。本発明による
と、早期のデバイス破損やデバイス性能の早期低下が防
止される。ある種のミクロ電子デバイスでは、湿度水準
が2500ppmを超えてはならない。有機発光デバイスのよ
うな別のデバイスの場合、典型的には、湿度水準を100p
pm以下にすべきである。
【0066】
【発明の効果】本発明により以下の有利な効果が得られ
る。上記固体材料の平均粒径を0.1μm未満にまで小さく
することにより、閉鎖容器内に低い平衡最低湿度を提供
することができる固体材料の吸湿速度を高める吸湿速度
が得られる;吸水性固体粒子を含める容器又はバインダ
ーにより、閉鎖容器内に低い平衡最低湿度を提供するこ
とができる粒径0.1μm未満の吸水性固体粒子の吸湿速度
を実質的に維持する又は高める吸湿速度が得られる;デ
バイス閉鎖容器の内表面に乾燥剤層が簡単に、迅速に、
かつ、確実に配置される;デバイス閉鎖容器内に容器又
はバインダーによって固体乾燥剤粒子が封じ込められ
る;熱硬化性バインダーにより、未硬化乾燥剤層に捕捉
された湿分が該層の熱硬化により除去される;輻射線硬
化性バインダーにより、乾燥剤層が輻射線照射により迅
速に硬化する;接着剤で結合できる独立した支持体の上
に、又は接着剤で結合できる独立した支持体と透水性膜
との間に、乾燥剤層を形成することにより、乾燥剤層供
給体の高速ロール間製造が可能となる;並びに最高で15
0℃の高温に至る温度サイクルに対する乾燥効能の感度
が比較的低い乾燥剤層が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】乾燥剤パッケージの効能を試験するのに有用な
有機発光デバイス(OLED)を示す略透視図である。
【図2】図1の分断線2−2に沿って切断されたOLED試
験構造体の略断面図であって、駆動電源からの電位差に
より発光する様子を示すものである。
【図3】図3(A)は、図2の試験構造体を逆さまにし、
該試験構造体を構成する層の全厚を規定したものを示
し、図3(B)は、該試験構造体の閉鎖容器であってその
内表面の一部に乾燥剤パッケージを形成させたものの断
面図を示す。
【図4】図3(A)のOLED試験構造体に図3(B)の閉鎖容器
をシールにより封止した状態を示す断面図である。
【図5】図5(A)は、支持体の一表面上に形成された透
湿性バインダー中に吸水性固体粒子を含んで成る乾燥剤
パッケージを示し、図5(B)は、図5(A)の乾燥剤パッケ
ージの一片を閉鎖容器の内表面の一部に接着剤で結合さ
せた閉鎖容器を示す。
【図6】図6(A)は、吸水性固体粒子及び透湿性輻射線
硬化性バインダーを含んで成る乾燥剤パッケージを有す
る閉鎖容器を示し、図6(B)は、該乾燥剤パッケージに
硬化輻射線を当てて透湿性輻射線硬化性バインダーを硬
化させる様子を示す略図である。
【図7】閉鎖容器の内表面に取り付けられた透湿性容器
及び吸水性固体粒子を含んで成る乾燥剤パッケージを有
する閉鎖容器を示す。
【図8】カルシアの粒径がCaO/PEMA系乾燥剤の吸水性に
与える影響を示すグラフである。
【符号の説明】
10…有機発光デバイス試験構造体 12…透光性基板 14…アノード 16…有機発光層 18…カソード 20…駆動電源 40…閉鎖容器 44…封止用フランジ 50…乾燥剤パッケージ 52…透湿性バインダー 54…吸水性固体粒子 60…シール 72…支持体 74…接着剤で結合可能な表面 90…硬化用輻射線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェフリー ピーター サービッキ アメリカ合衆国,ニューヨーク 14470, ホリー,ケンダル ロード 2559 (72)発明者 ビーター ジー.ベシー アメリカ合衆国,ニューヨーク 14432, クリフトン スプリングス,ノース パー ク ストリート 1 (72)発明者 グレン シー.アービン アメリカ合衆国,ニューヨーク 14626, ロチェスター,アニー レーン 168 (72)発明者 ローレンス エー.ローリー アメリカ合衆国,ニューヨーク 14625, ロチェスター,ペンフィールド ロード 1037 (72)発明者 チェリル ジェイ.カミンスキー アメリカ合衆国,ニューヨーク 14612, ロチェスター,グリーンリーフ メドーズ 460 Fターム(参考) 3E067 AB99 BA10A BB14A BC02A CA05 EA32 EC14 FC01 GB12 4D052 AA00 FA01 GA04 GB13 HA03 HA05 HA07 HA09 HA11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 閉鎖容器内に封止された高感湿性電子デ
    バイスを保護するために使用可能な乾燥剤パッケージで
    あって、 a) 該封止された閉鎖容器の中に配置することができる
    透湿性容器を含み、 b) 該透湿性容器の中に配置された1種以上の材料から
    なる吸水性固体粒子を含み、 c) 前記吸水性固体粒子は、1種以上の材料からなる固
    体粒子であって、該材料の少なくとも1種が、0.001〜
    0.1μmの範囲内の平均粒径を有することにより、該封止
    された閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準よ
    りも低い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速
    度を提供するものを含み、そしてd) 前記透湿性容器
    は、その中に含まれる該吸水性固体粒子の吸湿速度を実
    質的に維持すると共に、該吸水性固体粒子を該高感湿性
    電子デバイスから分離するように作用することを特徴と
    する乾燥剤パッケージ。
  2. 【請求項2】 閉鎖容器内に封止された高感湿性電子デ
    バイスを保護するために使用可能な乾燥剤パッケージで
    あって、 a) 透湿性バインダーの中に含まれる1種以上の材料か
    らなる吸水性固体粒子を含み、 b) 前記吸水性固体粒子は、1種以上の材料からなる固
    体粒子であって、該材料の少なくとも1種が、0.001〜
    0.1μmの範囲内の平均粒径を有することにより、該封止
    された閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準よ
    りも低い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速
    度を提供するものを含み、そしてc) 前記バインダー
    は、その中に含まれる吸水性固体粒子の吸湿速度を実質
    的に維持し又は高めるように適合されており、かつ、固
    相もしくは液相状態にあるか、又は液体に溶解されてい
    ることを特徴とする乾燥剤パッケージ。
  3. 【請求項3】 閉鎖容器内に封止された高感湿性電子デ
    バイスを保護するために使用可能な乾燥剤であって、 a) 支持体上の透湿性バインダーの中に含まれる1種以
    上の材料からなる吸水性固体粒子を含み、 b) 前記吸水性固体粒子は、1種以上の材料からなる固
    体粒子であって、該材料の少なくとも1種が、0.001〜
    0.1μmの範囲内の平均粒径を有することにより、該封止
    された閉鎖容器内に当該デバイスが感応する湿度水準よ
    りも低い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速
    度を提供するものを含み、そしてc) 前記バインダー
    は、その中に含まれる吸水性固体粒子の劣化を抑え、又
    はその吸湿速度を高めるように適合されており、かつ、
    固相もしくは液相状態にあるか、又は液体に溶解されて
    いることを特徴とする乾燥剤。
  4. 【請求項4】 該吸水性固体粒子の1種以上の材料が、
    アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、硫酸
    塩、金属ハロゲン化物、過塩素酸塩及び仕事関数が4.5
    eV未満であって湿分存在下で酸化され得る金属、又はこ
    れらの組合せ、からなる群より選ばれる、請求項3に記
    載の乾燥剤。
  5. 【請求項5】 1種以上の材料からなる固体粒子であっ
    て、該材料の少なくとも1種が、0.001〜0.1μmの範囲
    内の平均粒径を有することにより、封止された閉鎖容器
    内に高感湿性電子デバイスが感応する湿度水準よりも低
    い平衡最低湿度水準を提供し、かつ、高い吸水速度を提
    供するものを少なくとも部分的に含む材料を含んで成る
    乾燥剤。
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