JP2003137576A - スクライブ装置 - Google Patents
スクライブ装置Info
- Publication number
- JP2003137576A JP2003137576A JP2001338137A JP2001338137A JP2003137576A JP 2003137576 A JP2003137576 A JP 2003137576A JP 2001338137 A JP2001338137 A JP 2001338137A JP 2001338137 A JP2001338137 A JP 2001338137A JP 2003137576 A JP2003137576 A JP 2003137576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- shaft
- cutter
- work
- scribing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
- B28D1/225—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/027—Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カッタが横方向に振動するのを抑え、カッタ
を縦方向にのみ振動させることができるスクライブ装置
を提供する。 【解決手段】 スクライブ装置は、振動を発生する振動
発生部１４と、カッタ１２が取り付けられ、振動発生部
１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１５がそ
の中心線方向に直線運動するのを案内する案内部２８
と、磁力を用いてカッタ１２からワーク１１に加えられ
る荷重を調整する磁石１７ａ，１７ｂとを備える。振動
発生部１４によって軸が振動するのを案内する案内部２
８と、磁石１７ａ，１７ｂによって軸１５が移動（例え
ば浮上）するのを案内する案内部２８とを兼用する。案
内部を別々に設けることによってモーメント荷重が生じ
ることがないので、カッタ１２が横振れするのを防止す
ることができ、カッタ１２を縦方向にのみ円滑に振動さ
せることができる。
を縦方向にのみ振動させることができるスクライブ装置
を提供する。 【解決手段】 スクライブ装置は、振動を発生する振動
発生部１４と、カッタ１２が取り付けられ、振動発生部
１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１５がそ
の中心線方向に直線運動するのを案内する案内部２８
と、磁力を用いてカッタ１２からワーク１１に加えられ
る荷重を調整する磁石１７ａ，１７ｂとを備える。振動
発生部１４によって軸が振動するのを案内する案内部２
８と、磁石１７ａ，１７ｂによって軸１５が移動（例え
ば浮上）するのを案内する案内部２８とを兼用する。案
内部を別々に設けることによってモーメント荷重が生じ
ることがないので、カッタ１２が横振れするのを防止す
ることができ、カッタ１２を縦方向にのみ円滑に振動さ
せることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、半導体等
の脆性材料からなるワークにスクライブ線を形成するス
クライブ装置に関する。
の脆性材料からなるワークにスクライブ線を形成するス
クライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からワークの表面にスクライブ線を
形成するスクライブ装置が知られている。振動させたカ
ッタをワークの表面に押し付けると、ワークの表面に厚
さ方向に延びる縦クラックが発生する。ワークの表面に
沿ってカッタを移動させると、ワークの表面に連続した
スクライブ線（亀裂）が形成される。ワークにスクライ
ブ線を形成した後、スクライブ線に沿ってワークを折り
曲げるとワークが切断される。
形成するスクライブ装置が知られている。振動させたカ
ッタをワークの表面に押し付けると、ワークの表面に厚
さ方向に延びる縦クラックが発生する。ワークの表面に
沿ってカッタを移動させると、ワークの表面に連続した
スクライブ線（亀裂）が形成される。ワークにスクライ
ブ線を形成した後、スクライブ線に沿ってワークを折り
曲げるとワークが切断される。
【０００３】図７は、出願人が提案したスクライブ装置
を示す。このスクライブ装置はカッタ１を振動させるス
クライブ本体２を備える。スクライブ本体２のハウジン
グ３には、振動発生部としての圧電素子が収納されてい
る。ハウジング３の下部からは軸４が突出し、この軸４
はハウジング３内に設けた案内部によって上下方向に直
線運動可能に案内されている。軸４の下端にはカッタ１
が取り付けられる。カッタには、例えば四角錐形状に形
成されたダイヤモンド四角錐工具が使用される。圧電素
子を振動させると、軸４が振動し、軸４と一緒にカッタ
１が振動する。
を示す。このスクライブ装置はカッタ１を振動させるス
クライブ本体２を備える。スクライブ本体２のハウジン
グ３には、振動発生部としての圧電素子が収納されてい
る。ハウジング３の下部からは軸４が突出し、この軸４
はハウジング３内に設けた案内部によって上下方向に直
線運動可能に案内されている。軸４の下端にはカッタ１
が取り付けられる。カッタには、例えば四角錐形状に形
成されたダイヤモンド四角錐工具が使用される。圧電素
子を振動させると、軸４が振動し、軸４と一緒にカッタ
１が振動する。
【０００４】ハウジング３はスライドブロック５に取り
付けられ、このスライドブロック５は案内部７（例えば
直動ガイド）を介してテーブル６に取り付けられる。こ
の案内部７は、スライドブロック５、ハウジング３、軸
及びカッタ１で構成されるスクライブ本体２をテーブル
６に対して直線運動可能に案内する。テーブル６は移動
機構１０によってワーク９に対して移動される。
付けられ、このスライドブロック５は案内部７（例えば
直動ガイド）を介してテーブル６に取り付けられる。こ
の案内部７は、スライドブロック５、ハウジング３、軸
及びカッタ１で構成されるスクライブ本体２をテーブル
６に対して直線運動可能に案内する。テーブル６は移動
機構１０によってワーク９に対して移動される。
【０００５】スクライブ本体２側及びテーブル６側それ
ぞれに取り付けられる一対の磁石８ａ，８ｂは、互いに
反発し、カッタ１からワークに加えられる静荷重を調整
する。磁石８ａ，８ｂの反発力によってカッタ１を浮き
上がらせると、カッタ１からワーク９に加わる静荷重
（振動発生部が振動していないときにカッタからワーク
に加わる荷重）が調整される。このときスクライブ本体
２は、案内部７によって浮き上がるのが案内されてい
る。
ぞれに取り付けられる一対の磁石８ａ，８ｂは、互いに
反発し、カッタ１からワークに加えられる静荷重を調整
する。磁石８ａ，８ｂの反発力によってカッタ１を浮き
上がらせると、カッタ１からワーク９に加わる静荷重
（振動発生部が振動していないときにカッタからワーク
に加わる荷重）が調整される。このときスクライブ本体
２は、案内部７によって浮き上がるのが案内されてい
る。
【０００６】上記スクライブ装置によれば、カッタ１を
振動させることができると共に、カッタ１からワーク９
に加わる静荷重をワークの種類、厚さ等に応じて最適に
調整することができる。
振動させることができると共に、カッタ１からワーク９
に加わる静荷重をワークの種類、厚さ等に応じて最適に
調整することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スクライブ装置では、スクライブ本体２が浮き上がるの
を案内する浮上用の案内部７と、軸４が振動するのを案
内する振動用の案内部とが別々に設けられ、しかも浮上
用の案内部７と振動用の案内部とは左右方向に位置が距
離Ｌだけずらされている。このため、軸４が振動すると
スクライブ本体２を片持ち支持する浮上用の案内部７に
モーメント荷重が発生する。
スクライブ装置では、スクライブ本体２が浮き上がるの
を案内する浮上用の案内部７と、軸４が振動するのを案
内する振動用の案内部とが別々に設けられ、しかも浮上
用の案内部７と振動用の案内部とは左右方向に位置が距
離Ｌだけずらされている。このため、軸４が振動すると
スクライブ本体２を片持ち支持する浮上用の案内部７に
モーメント荷重が発生する。
【０００８】モーメント荷重が発生すると、縦方向（図
中上下方向）だけでなく、横方向（図中左右方向）にも
カッタ１が振動する。カッタ１が横方向に振動すると、
カッタ１からワーク９に加えられる荷重に横方向の分力
が生じてしまい、これによりワーク９の表面に水平クラ
ック等が生じ、ワーク９の品位が悪くなるおそれがあ
る。
中上下方向）だけでなく、横方向（図中左右方向）にも
カッタ１が振動する。カッタ１が横方向に振動すると、
カッタ１からワーク９に加えられる荷重に横方向の分力
が生じてしまい、これによりワーク９の表面に水平クラ
ック等が生じ、ワーク９の品位が悪くなるおそれがあ
る。
【０００９】また振動発生部が振動すると、カッタ１の
みならずスクライブ本体２も振動するが、案内部７に働
くモーメント荷重によって案内部７の追従性が悪くな
り、このためスクライブ本体２が振動するときに抵抗が
生じる。
みならずスクライブ本体２も振動するが、案内部７に働
くモーメント荷重によって案内部７の追従性が悪くな
り、このためスクライブ本体２が振動するときに抵抗が
生じる。
【００１０】さらに浮上用の案内部７と振動用の案内部
を別に設けると、スクライブ本体の構造が複雑化し、ス
クライブ本体の質量が大きくなる。ワーク９の平坦度が
悪い場合や、一旦形成したスクライブ線に交差するよう
にカッタを移動させる場合は、スクライブ本体２が上下
に浮き沈むので、スクライブ本体の全体の質量が大きく
なると、スクライブ本体の慣性力が大きくなる。このた
め、カッタ１からワーク９に加えられる荷重の変動も大
きくなる。
を別に設けると、スクライブ本体の構造が複雑化し、ス
クライブ本体の質量が大きくなる。ワーク９の平坦度が
悪い場合や、一旦形成したスクライブ線に交差するよう
にカッタを移動させる場合は、スクライブ本体２が上下
に浮き沈むので、スクライブ本体の全体の質量が大きく
なると、スクライブ本体の慣性力が大きくなる。このた
め、カッタ１からワーク９に加えられる荷重の変動も大
きくなる。
【００１１】そこで、本発明は、カッタが横方向に振動
するのを抑え、カッタを縦方向にのみ振動させることが
できるスクライブ装置を提供する。
するのを抑え、カッタを縦方向にのみ振動させることが
できるスクライブ装置を提供する。
【００１２】また本発明のさらに他の目的は、構造を単
純にして振動する部分の質量を軽減することができるス
クライブ装置を提供することにある。
純にして振動する部分の質量を軽減することができるス
クライブ装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。
【００１４】本発明者は上記課題を解決するために、浮
上用の案内部と振動用の案内部とを兼用し、スクライブ
本体の構造を簡略化した。
上用の案内部と振動用の案内部とを兼用し、スクライブ
本体の構造を簡略化した。
【００１５】具体的には請求項１の発明は、カッタ（１
２）に振動を付与してワーク（１１）にスクライブ線
（１３）を形成するスクライブ装置であって、振動を発
生する振動発生部（１４）と、前記カッタ（１２）が取
り付けられ、前記振動発生部（１４）の振動を前記カッ
タ（１２）に伝える軸（１５）と、前記軸（１５）がそ
の中心線方向に直線運動するのを案内する案内手段（２
８）と、磁力を用いて前記カッタ（１２）から前記ワー
ク（１１）に加えられる荷重を調整する荷重調整手段
（１７ａ，１７ｂ）とを備え、前記案内手段（２８）
は、前記荷重調整手段（１７ａ，１７ｂ）によって前記
軸（１５）が移動するのを案内し、且つ前記振動発生部
（１４）によって前記軸（１５）が振動するのを案内す
ることを特徴とするスクライブ装置により、上述した課
題を解決する。
２）に振動を付与してワーク（１１）にスクライブ線
（１３）を形成するスクライブ装置であって、振動を発
生する振動発生部（１４）と、前記カッタ（１２）が取
り付けられ、前記振動発生部（１４）の振動を前記カッ
タ（１２）に伝える軸（１５）と、前記軸（１５）がそ
の中心線方向に直線運動するのを案内する案内手段（２
８）と、磁力を用いて前記カッタ（１２）から前記ワー
ク（１１）に加えられる荷重を調整する荷重調整手段
（１７ａ，１７ｂ）とを備え、前記案内手段（２８）
は、前記荷重調整手段（１７ａ，１７ｂ）によって前記
軸（１５）が移動するのを案内し、且つ前記振動発生部
（１４）によって前記軸（１５）が振動するのを案内す
ることを特徴とするスクライブ装置により、上述した課
題を解決する。
【００１６】この発明によれば、振動発生部によって軸
が振動するのを案内する案内手段と、荷重調整手段によ
って軸が移動（例えば浮上）するのを案内する案内手段
とを兼用することができる。このため、従来のスクライ
ブ装置のように案内手段を別々に設けることによってモ
ーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタ
が横振れするのを防止することができ、カッタを縦方向
にのみ円滑に振動させることができる。
が振動するのを案内する案内手段と、荷重調整手段によ
って軸が移動（例えば浮上）するのを案内する案内手段
とを兼用することができる。このため、従来のスクライ
ブ装置のように案内手段を別々に設けることによってモ
ーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタ
が横振れするのを防止することができ、カッタを縦方向
にのみ円滑に振動させることができる。
【００１７】また案内手段を兼用することで、構造を簡
単にすることができ、振動する部分の質量も軽量化する
ことができる。これにより、荷重の変動を小さくするこ
とができる。
単にすることができ、振動する部分の質量も軽量化する
ことができる。これにより、荷重の変動を小さくするこ
とができる。
【００１８】ここで案内手段には軸が往復運動するのを
案内することができれば種々のものを用いることがで
き、例えばリニアガイド、ボールスプラインガイド、ボ
ールブッシュガイド、すべり軸受けガイド等を用いるこ
とができる。
案内することができれば種々のものを用いることがで
き、例えばリニアガイド、ボールスプラインガイド、ボ
ールブッシュガイド、すべり軸受けガイド等を用いるこ
とができる。
【００１９】請求項２の発明は、請求項１に記載のスク
ライブ装置において、前記スクライブ装置はさらに、前
記カッタ（１２）を前記ワーク（１１）に沿って移動さ
せるための移動機構（１９）を備えることを特徴とす
る。
ライブ装置において、前記スクライブ装置はさらに、前
記カッタ（１２）を前記ワーク（１１）に沿って移動さ
せるための移動機構（１９）を備えることを特徴とす
る。
【００２０】カッタをワークに沿って移動させると、ワ
ークにスクライブ線が形成される。
ークにスクライブ線が形成される。
【００２１】請求項３の発明は、請求項１又は２に記載
のスクライブ装置において、前記軸（１５）の外周には
軸線方向に延びる転動体転走部（１５ａ）が形成され、
前記案内手段（２８）は、前記軸（１５）に嵌まり合
い、内周に前記転動体転走部（１５ａ）に対応する転動
体転走部（１６ａ）が形成される外筒（１６）と、前記
軸（１５）の前記転動体転走部（１５ａ）と前記外筒
（１６）の前記転動体転走部（１６ａ）との間に介在さ
れる複数の転動体とを備えることを特徴とする。
のスクライブ装置において、前記軸（１５）の外周には
軸線方向に延びる転動体転走部（１５ａ）が形成され、
前記案内手段（２８）は、前記軸（１５）に嵌まり合
い、内周に前記転動体転走部（１５ａ）に対応する転動
体転走部（１６ａ）が形成される外筒（１６）と、前記
軸（１５）の前記転動体転走部（１５ａ）と前記外筒
（１６）の前記転動体転走部（１６ａ）との間に介在さ
れる複数の転動体とを備えることを特徴とする。
【００２２】この発明によれば、軸の周囲を外筒で案内
しているので、軸が振動するときに軸を安定して案内す
ることができる。また軸と外筒との間には転動体が介在
されるので、軸が外筒に対して振動するときに生じる抵
抗も小さくなる。
しているので、軸が振動するときに軸を安定して案内す
ることができる。また軸と外筒との間には転動体が介在
されるので、軸が外筒に対して振動するときに生じる抵
抗も小さくなる。
【００２３】請求項４の発明は、請求項１ないし３いず
れかに記載のスクライブ装置において、前記振動発生部
（１４）の中心線と前記軸（１５）の中心線が実質的に
一直線になることを特徴とする。
れかに記載のスクライブ装置において、前記振動発生部
（１４）の中心線と前記軸（１５）の中心線が実質的に
一直線になることを特徴とする。
【００２４】この発明によれば、振動発生部の中心線方
向の振動を軸に効率良く伝えることができる。これに対
し、振動発生部の中心線と軸の中心線がずれると軸にモ
ーメント荷重が加わってしまう。
向の振動を軸に効率良く伝えることができる。これに対
し、振動発生部の中心線と軸の中心線がずれると軸にモ
ーメント荷重が加わってしまう。
【００２５】請求項５の発明は、請求項１ないし４いず
れかに記載のスクライブ装置において、前記振動発生部
（１４）は収納ケース（２４）に収納され、該収納ケー
ス（２４）には前記軸（１５）の振動を前記振動発生部
（１４）の振動に追従させるために皿状に形成されたば
ね（２９）が設けられることを特徴とする。
れかに記載のスクライブ装置において、前記振動発生部
（１４）は収納ケース（２４）に収納され、該収納ケー
ス（２４）には前記軸（１５）の振動を前記振動発生部
（１４）の振動に追従させるために皿状に形成されたば
ね（２９）が設けられることを特徴とする。
【００２６】振動発生部は中心線の方向への振動のみな
らず、中心線の方向以外への振動を発生させる場合があ
る。この発明によれば、皿状に形成されたばねによっ
て、振動発生部は中心線の方向への振動のみが引き出さ
れ易くなる。
らず、中心線の方向以外への振動を発生させる場合があ
る。この発明によれば、皿状に形成されたばねによっ
て、振動発生部は中心線の方向への振動のみが引き出さ
れ易くなる。
【００２７】また本発明は、請求項６に記載のように、
カッタ（１２）に振動を付与してワーク（１１）にスク
ライブ線（１３）を形成するスクライブ装置であって、
前記ワーク（１１）に対して移動可能なテーブル（１
８）と、振動を発生する振動発生部（１４）と、前記カ
ッタ（１２）が取り付けられ、前記振動発生部（１４）
の振動を前記カッタ（１２）に伝える軸（１５）と、前
記テーブル（１８）に取り付けられ、前記軸（１５）が
その中心線方向に直線運動するのを案内する案内部（２
８）と、磁力を用いて前記カッタ（１２）から前記ワー
ク（１１）に加わる荷重を調整する磁石（１７ａ，１７
ｂ）と、を備えることを特徴とするスクライブ装置とし
ても構成することができる。
カッタ（１２）に振動を付与してワーク（１１）にスク
ライブ線（１３）を形成するスクライブ装置であって、
前記ワーク（１１）に対して移動可能なテーブル（１
８）と、振動を発生する振動発生部（１４）と、前記カ
ッタ（１２）が取り付けられ、前記振動発生部（１４）
の振動を前記カッタ（１２）に伝える軸（１５）と、前
記テーブル（１８）に取り付けられ、前記軸（１５）が
その中心線方向に直線運動するのを案内する案内部（２
８）と、磁力を用いて前記カッタ（１２）から前記ワー
ク（１１）に加わる荷重を調整する磁石（１７ａ，１７
ｂ）と、を備えることを特徴とするスクライブ装置とし
ても構成することができる。
【００２８】この発明によれば、振動発生部によって軸
が振動するのを案内する案内部と、磁石によって軸が浮
上するのを案内する案内部とを兼用することができる。
このため、従来のスクライブ装置のように案内部を別々
に設けることによってモーメント荷重が生じることがな
い。したがって、カッタが横振れするのを防止すること
ができ、カッタを縦方向にのみ振動させることができ
る。
が振動するのを案内する案内部と、磁石によって軸が浮
上するのを案内する案内部とを兼用することができる。
このため、従来のスクライブ装置のように案内部を別々
に設けることによってモーメント荷重が生じることがな
い。したがって、カッタが横振れするのを防止すること
ができ、カッタを縦方向にのみ振動させることができ
る。
【００２９】また案内部を兼用することで、構造を簡単
にすることができ、振動する部分の質量も軽量化するこ
とができる。これにより、荷重の変動を小さくすること
ができる。
にすることができ、振動する部分の質量も軽量化するこ
とができる。これにより、荷重の変動を小さくすること
ができる。
【００３０】また案内部を兼用することで、構造を簡単
にすることができ、スクライブ本体のも軽量化すること
ができる。これにより、荷重の変動を小さくすることが
でき、薄いワークにも良好なスクライブ線を形成するこ
とができる。
にすることができ、スクライブ本体のも軽量化すること
ができる。これにより、荷重の変動を小さくすることが
でき、薄いワークにも良好なスクライブ線を形成するこ
とができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１及び図２は、本発明の第１の実
施形態におけるスクライブ装置を示す。このスクライブ
装置は、ガラス、半導体、セラミクス等の脆性材料から
なる薄板状のワーク１１の表面に厚さ方向に延びるスク
ライブ線を形成する。ワーク１１の表面にはカッタ１２
が当接している。カッタ１２を振動すると、ワーク１１
の表面部分に垂直な縦クラックが発生する。カッタ１２
をワーク１１に沿って移動させると、ワーク１１には縦
クラックが連続した亀裂、すなわちスクライブ線１３が
形成される。
を詳細に説明する。図１及び図２は、本発明の第１の実
施形態におけるスクライブ装置を示す。このスクライブ
装置は、ガラス、半導体、セラミクス等の脆性材料から
なる薄板状のワーク１１の表面に厚さ方向に延びるスク
ライブ線を形成する。ワーク１１の表面にはカッタ１２
が当接している。カッタ１２を振動すると、ワーク１１
の表面部分に垂直な縦クラックが発生する。カッタ１２
をワーク１１に沿って移動させると、ワーク１１には縦
クラックが連続した亀裂、すなわちスクライブ線１３が
形成される。
【００３２】スクライブ装置は、振動を発生する振動発
生部１４と、下端部にカッタ１２が取り付けられ、振動
発生部１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１
５がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部
２８（案内手段）と、磁力を用いてカッタ１２からワー
ク１１に加わる荷重（主に静荷重）を調整する一対の磁
石１７ａ，１７ｂ（荷重調整手段）とを備える。案内部
２８は移動機構１９によって移動されるテーブル１８に
取り付けられる。移動機構１９は、カッタ１２がワーク
１１に沿って移動することができるように、テーブル１
８をＸＹ２軸方向、あるいはＸＹＺ３軸方向等に移動さ
れる。
生部１４と、下端部にカッタ１２が取り付けられ、振動
発生部１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１
５がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部
２８（案内手段）と、磁力を用いてカッタ１２からワー
ク１１に加わる荷重（主に静荷重）を調整する一対の磁
石１７ａ，１７ｂ（荷重調整手段）とを備える。案内部
２８は移動機構１９によって移動されるテーブル１８に
取り付けられる。移動機構１９は、カッタ１２がワーク
１１に沿って移動することができるように、テーブル１
８をＸＹ２軸方向、あるいはＸＹＺ３軸方向等に移動さ
れる。
【００３３】カッタ１２には、四角錐形状に形成された
ダイヤモンド四角錐工具が使用される。ワーク１１が薄
い場合にはダイヤモンド四角錐工具が使用されるが、ワ
ーク１１が厚い場合あるいはワーク１１がガラス等から
なる場合には算盤玉状に形成されたホイール工具が使用
されることもある。
ダイヤモンド四角錐工具が使用される。ワーク１１が薄
い場合にはダイヤモンド四角錐工具が使用されるが、ワ
ーク１１が厚い場合あるいはワーク１１がガラス等から
なる場合には算盤玉状に形成されたホイール工具が使用
されることもある。
【００３４】振動発生部１４には、例えば外部電界を加
えると歪を生じる圧電素子（ピエゾアクチュエータ）が
用いられる。圧電素子に印加する電圧を所定の周波数で
変化させると、圧電素子が周期的に伸縮する。外部電界
を加えることによって圧電素子に応力が発生し、この応
力がカッタ１２に伝わる。カッタ１２に応力が伝わる
と、ワーク１１の表面に四角錐の凹みと共に垂直クラッ
クが形成される。
えると歪を生じる圧電素子（ピエゾアクチュエータ）が
用いられる。圧電素子に印加する電圧を所定の周波数で
変化させると、圧電素子が周期的に伸縮する。外部電界
を加えることによって圧電素子に応力が発生し、この応
力がカッタ１２に伝わる。カッタ１２に応力が伝わる
と、ワーク１１の表面に四角錐の凹みと共に垂直クラッ
クが形成される。
【００３５】振動発生部１４の振動をカッタ１２に伝え
る軸１５は、断面略円形をなし、軸１５の中心線の方向
に直線運動可能に案内部２８に支持される。軸１５の下
端側には工具保持部２０が設けられる。一方軸１５の上
端は振動発生部１４に連結されている。軸１５の外周に
は軸線方向に延びる複数列の転動体転走部としてのボー
ル転走溝１５ａが形成される（図３及び図４参照）。な
お、軸１５の形状は円形でなくでも四角形等の多角形で
あってもよい。また軸１５は、軸線方向において断面形
状が変化してもよい。さらに軸１５は、中実に形成され
ても中空に形成されてもよい。
る軸１５は、断面略円形をなし、軸１５の中心線の方向
に直線運動可能に案内部２８に支持される。軸１５の下
端側には工具保持部２０が設けられる。一方軸１５の上
端は振動発生部１４に連結されている。軸１５の外周に
は軸線方向に延びる複数列の転動体転走部としてのボー
ル転走溝１５ａが形成される（図３及び図４参照）。な
お、軸１５の形状は円形でなくでも四角形等の多角形で
あってもよい。また軸１５は、軸線方向において断面形
状が変化してもよい。さらに軸１５は、中実に形成され
ても中空に形成されてもよい。
【００３６】振動発生部１４の中心線と軸１５の中心線
とは、振動発生部１４の中心線方向の振動を軸１５に効
率良く伝えることができるように実質的に一直線になっ
ている。仮に振動発生部１４の中心線と軸１５の中心線
がずれると軸１５にモーメント荷重が加わってしまう。
とは、振動発生部１４の中心線方向の振動を軸１５に効
率良く伝えることができるように実質的に一直線になっ
ている。仮に振動発生部１４の中心線と軸１５の中心線
がずれると軸１５にモーメント荷重が加わってしまう。
【００３７】軸１５がその中心線方向に直線運動するの
を案内する案内部２８は、軸に嵌まり合う外筒２１と、
軸１５と外筒２１との間に介在される複数の転動体とし
てのボール２２…とから構成される。案内部２８はブラ
ケットを介してテーブル１８に取り付けられている。こ
の案内部２８は、一対の磁石１７ａ，１７ｂの浮力によ
って軸１５が移動（例えば浮上）するのを案内する機能
と、振動発生部１４によって軸１５が振動するのを案内
する機能とを兼用する。
を案内する案内部２８は、軸に嵌まり合う外筒２１と、
軸１５と外筒２１との間に介在される複数の転動体とし
てのボール２２…とから構成される。案内部２８はブラ
ケットを介してテーブル１８に取り付けられている。こ
の案内部２８は、一対の磁石１７ａ，１７ｂの浮力によ
って軸１５が移動（例えば浮上）するのを案内する機能
と、振動発生部１４によって軸１５が振動するのを案内
する機能とを兼用する。
【００３８】図３ないし図５は案内部２８の一例を示
す。図３は案内部２８の斜視図を示し、図４は案内部２
８の正面図を示し、図５は案内部２８の側面図を示す。
スプライン軸のように形成された軸１５には軸線方向に
延びる複数列のボール転走溝１５ａが形成される。軸１
５に嵌め込まれる外筒２１の内周には、軸１５に形成さ
れたボール転走溝１５ａに対応し、軸線方向に延びる複
数列の転動体転走部としてのボール転走溝２１ａが形成
される。軸１５のボール転走溝１５ａと外筒２１のボー
ル転走溝２１ａとの間には、複数のボール２２…が転が
り運動可能に介在される。外筒２１の内部には、ボール
２２…を循環させる無限循環経路が形成されると共に複
数のボール２２…を保持する保持器３４が組み込まれ
る。外筒２１に対する軸１５の相対的な直線運動によっ
てボール２２…が外筒２１と軸１５との間を転がり運動
する。ボール２２…は転がり運動しながら、無限循環路
を循環する。なお軸１５の振幅が小さく設定されること
を考慮すると、ボールを循環させる無限循環経路を設け
ない有限循環路も採用しうる。また案内部２８には、軸
１５が往復運動するのを案内することができれば種々の
ものを用いることができ、上述のボールスプラインガイ
ド以外に、例えばリニアガイド、ボールブッシュガイ
ド、すべり軸受けガイド等も用いることができる。
す。図３は案内部２８の斜視図を示し、図４は案内部２
８の正面図を示し、図５は案内部２８の側面図を示す。
スプライン軸のように形成された軸１５には軸線方向に
延びる複数列のボール転走溝１５ａが形成される。軸１
５に嵌め込まれる外筒２１の内周には、軸１５に形成さ
れたボール転走溝１５ａに対応し、軸線方向に延びる複
数列の転動体転走部としてのボール転走溝２１ａが形成
される。軸１５のボール転走溝１５ａと外筒２１のボー
ル転走溝２１ａとの間には、複数のボール２２…が転が
り運動可能に介在される。外筒２１の内部には、ボール
２２…を循環させる無限循環経路が形成されると共に複
数のボール２２…を保持する保持器３４が組み込まれ
る。外筒２１に対する軸１５の相対的な直線運動によっ
てボール２２…が外筒２１と軸１５との間を転がり運動
する。ボール２２…は転がり運動しながら、無限循環路
を循環する。なお軸１５の振幅が小さく設定されること
を考慮すると、ボールを循環させる無限循環経路を設け
ない有限循環路も採用しうる。また案内部２８には、軸
１５が往復運動するのを案内することができれば種々の
ものを用いることができ、上述のボールスプラインガイ
ド以外に、例えばリニアガイド、ボールブッシュガイ
ド、すべり軸受けガイド等も用いることができる。
【００３９】図１に示すように、磁力を用いてカッタ１
２に浮力を与える磁石１７ａ，１７ｂは、軸１５が振動
する方向に離間された一対の永久磁石からなる。磁石１
７ａ，１７ｂのうち一方１７ａはテーブル１８側に取り
付けられ、他方１７ｂは振動するスクライブ本体２３側
（この実施形態では振動発生部１４が収納される収納ケ
ース２４）に取り付けられる。テーブル１８にはブラケ
ット２５が固定されており、このブラケット２５に磁石
１７ａが取り付けられる。収納ケース２４にもブラケッ
ト２６が固定されており、このブラケット２６に磁石１
７ｂが取り付けられる。ここで磁石１７ｂは収納ケース
に取り付けられているが、振動するスクライブ本体２３
側のいずれの部分（例えば軸１５）に取り付けられても
よい。磁石１７ａ，１７ｂは互いに同極（例えばＮ極同
士）が対面しており、永久磁石１７ａ，１７ｂ間に働く
反発力によってカッタ１２からワーク１１に加わる静荷
重が減じられる。
２に浮力を与える磁石１７ａ，１７ｂは、軸１５が振動
する方向に離間された一対の永久磁石からなる。磁石１
７ａ，１７ｂのうち一方１７ａはテーブル１８側に取り
付けられ、他方１７ｂは振動するスクライブ本体２３側
（この実施形態では振動発生部１４が収納される収納ケ
ース２４）に取り付けられる。テーブル１８にはブラケ
ット２５が固定されており、このブラケット２５に磁石
１７ａが取り付けられる。収納ケース２４にもブラケッ
ト２６が固定されており、このブラケット２６に磁石１
７ｂが取り付けられる。ここで磁石１７ｂは収納ケース
に取り付けられているが、振動するスクライブ本体２３
側のいずれの部分（例えば軸１５）に取り付けられても
よい。磁石１７ａ，１７ｂは互いに同極（例えばＮ極同
士）が対面しており、永久磁石１７ａ，１７ｂ間に働く
反発力によってカッタ１２からワーク１１に加わる静荷
重が減じられる。
【００４０】なお、カッタ１２からワーク１１に加わる
静荷重を変化させることができるように、磁石１７ａは
図示しないマイクロメータ等の位置調整機構を用いてそ
の高さが調整されてもよい。また永久磁石の代わりに、
磁力を調整可能な電磁石を用いてもよい。さらに磁石１
７ａ，１７ｂは、その中心が軸の中心線上に位置するリ
ング状に形成されてもよい。
静荷重を変化させることができるように、磁石１７ａは
図示しないマイクロメータ等の位置調整機構を用いてそ
の高さが調整されてもよい。また永久磁石の代わりに、
磁力を調整可能な電磁石を用いてもよい。さらに磁石１
７ａ，１７ｂは、その中心が軸の中心線上に位置するリ
ング状に形成されてもよい。
【００４１】振動発生部１４は収納ケース２４に収納さ
れる。振動発生部１４の下端は軸１５の上端に設けたホ
ルダ２７に当接していて、振動発生部１４の上端は収納
ケース２４の上部に設けた調整ねじ２８に当接してい
る。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を振動発
生部１４の振動に追従させるためばね２９が設けられ
る。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿
状に形成される。ばね２９はその弾性復元力でホルダ２
７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４に取り
付けられた調整ねじ２８との間で振動発生部１４に与圧
（振動発生部１４を軸方向に圧縮する力）を与えてい
る。振動発生部１４が振動する際にカッタ１２がワーク
１１から跳ね上がるのを防止するために、収納ケース２
４に錘が取り付けられてもよいし、あるいは収納ケース
２４を下方側に付勢するばね、磁石等を設けても良い。
れる。振動発生部１４の下端は軸１５の上端に設けたホ
ルダ２７に当接していて、振動発生部１４の上端は収納
ケース２４の上部に設けた調整ねじ２８に当接してい
る。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を振動発
生部１４の振動に追従させるためばね２９が設けられ
る。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿
状に形成される。ばね２９はその弾性復元力でホルダ２
７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４に取り
付けられた調整ねじ２８との間で振動発生部１４に与圧
（振動発生部１４を軸方向に圧縮する力）を与えてい
る。振動発生部１４が振動する際にカッタ１２がワーク
１１から跳ね上がるのを防止するために、収納ケース２
４に錘が取り付けられてもよいし、あるいは収納ケース
２４を下方側に付勢するばね、磁石等を設けても良い。
【００４２】このスクライブ装置の系は、振動発生部１
４を挟んで質量Ｍ１（軸１５及びカッタ１２の質量）の
錘と、質量Ｍ２（収納ケース２４及び浮き上がり防止用
の錘の質量等）の錘が存在するモデルに近い。このた
め、振動発生部１４に生じる応力を効率良くカッタ１２
に伝達するためには、振動発生部１４の両側に設けられ
る質量Ｍ１と質量Ｍ２の錘のバランスを最適に設定する
ことが重要である。一般的には質量Ｍ２を質量Ｍ１より
も大きくすれば、振動発生部１４に生じる応力を効率良
くカッタ１２に伝達することができる。
４を挟んで質量Ｍ１（軸１５及びカッタ１２の質量）の
錘と、質量Ｍ２（収納ケース２４及び浮き上がり防止用
の錘の質量等）の錘が存在するモデルに近い。このた
め、振動発生部１４に生じる応力を効率良くカッタ１２
に伝達するためには、振動発生部１４の両側に設けられ
る質量Ｍ１と質量Ｍ２の錘のバランスを最適に設定する
ことが重要である。一般的には質量Ｍ２を質量Ｍ１より
も大きくすれば、振動発生部１４に生じる応力を効率良
くカッタ１２に伝達することができる。
【００４３】上記スクライブ装置の使用方法を説明す
る。まず、水平のベース３０にワーク１１を位置決めし
て水平にセットする。移動機構１９によりテーブル１８
をワーク１１に対して水平移動させると、カッタ１２が
ワーク１１の縁に当たってからワーク１１の上面に乗り
上げる。カッタ１２がワーク１１に載り上げると、カッ
タ１２からワーク１１に静荷重が付与される。ここで磁
石１７ａの高さを調整すると、磁力による反発力の分だ
け静荷重が減じられ、静荷重が調整される。静荷重を大
きくしすぎると、ワーク１１の表面に横クラックが発生
してしまうことがある。逆に、静荷重をあまりに小さく
しすぎると、スクライブ本体２３を振動させたとき、カ
ッタ１２がワーク１１から浮き上がり、ワーク１１の表
面にダメージを与える。静荷重の大きさはワーク１１の
材質や厚さに応じて設定される。
る。まず、水平のベース３０にワーク１１を位置決めし
て水平にセットする。移動機構１９によりテーブル１８
をワーク１１に対して水平移動させると、カッタ１２が
ワーク１１の縁に当たってからワーク１１の上面に乗り
上げる。カッタ１２がワーク１１に載り上げると、カッ
タ１２からワーク１１に静荷重が付与される。ここで磁
石１７ａの高さを調整すると、磁力による反発力の分だ
け静荷重が減じられ、静荷重が調整される。静荷重を大
きくしすぎると、ワーク１１の表面に横クラックが発生
してしまうことがある。逆に、静荷重をあまりに小さく
しすぎると、スクライブ本体２３を振動させたとき、カ
ッタ１２がワーク１１から浮き上がり、ワーク１１の表
面にダメージを与える。静荷重の大きさはワーク１１の
材質や厚さに応じて設定される。
【００４４】所定の静荷重が得られたら、振動発生部１
４に高周波電界をかけて振動発生部１４を周期的に振動
させる。振動発生部１４の振動は軸を介してカッタ１２
に伝わる。カッタ１２が振動するとワーク１１の上面に
は凹み、並びにこの凹みに連なって垂直クラックが形成
される。
４に高周波電界をかけて振動発生部１４を周期的に振動
させる。振動発生部１４の振動は軸を介してカッタ１２
に伝わる。カッタ１２が振動するとワーク１１の上面に
は凹み、並びにこの凹みに連なって垂直クラックが形成
される。
【００４５】本発明では、振動発生部１４によって軸が
振動するのを案内する案内部２８と、磁石１７ａ，１７
ｂによって軸１５が浮上するのを案内する案内部２８と
を兼用している。このため、従来のスクライブ装置のよ
うに案内部を別々に設けることによってモーメント荷重
が生じることがない。したがって、カッタ１２が横振れ
するのを防止することができ、カッタ１２を縦方向にの
み振動させることができる。
振動するのを案内する案内部２８と、磁石１７ａ，１７
ｂによって軸１５が浮上するのを案内する案内部２８と
を兼用している。このため、従来のスクライブ装置のよ
うに案内部を別々に設けることによってモーメント荷重
が生じることがない。したがって、カッタ１２が横振れ
するのを防止することができ、カッタ１２を縦方向にの
み振動させることができる。
【００４６】カッタ１２を振動させながら移動機構１９
によってテーブルを水平方向に移動すると、ワーク１１
の表面部分に縦クラックからなるスクライブ線１３が形
成される。スクライブ線１３が形成されたワーク１１
は、ベース３０から取り外され、図示しない破断装置に
よりスクライブ線に沿って破断される。
によってテーブルを水平方向に移動すると、ワーク１１
の表面部分に縦クラックからなるスクライブ線１３が形
成される。スクライブ線１３が形成されたワーク１１
は、ベース３０から取り外され、図示しない破断装置に
よりスクライブ線に沿って破断される。
【００４７】図６は、本発明の第２の実施形態における
スクライブ装置を示す。この実施形態のスクライブ装置
も、振動を発生する振動発生部１４と、下端部にカッタ
１２が取り付けられ、振動発生部１４の振動をカッタ１
２に伝える軸１５と、軸１５がその中心線方向に直線運
動するのを案内する案内部２８と、磁力を用いてカッタ
１２からワーク１１に加わる荷重を調整する一対の磁石
（図示せず）とを備える。案内部２８は移動機構によっ
て移動されるテーブル（図示せず）に取り付けられてい
る。
スクライブ装置を示す。この実施形態のスクライブ装置
も、振動を発生する振動発生部１４と、下端部にカッタ
１２が取り付けられ、振動発生部１４の振動をカッタ１
２に伝える軸１５と、軸１５がその中心線方向に直線運
動するのを案内する案内部２８と、磁力を用いてカッタ
１２からワーク１１に加わる荷重を調整する一対の磁石
（図示せず）とを備える。案内部２８は移動機構によっ
て移動されるテーブル（図示せず）に取り付けられてい
る。
【００４８】この実施形態では、振動発生部として磁界
を加えると磁性体に歪を生じる磁性材料が用いられ、具
体的には特により変位量の大きい超磁歪素子３１が用い
られている。
を加えると磁性体に歪を生じる磁性材料が用いられ、具
体的には特により変位量の大きい超磁歪素子３１が用い
られている。
【００４９】超磁歪素子３１の周囲には磁界を与えるた
めのコイル３２が巻かれている。この超磁歪素子３１も
収納ケース２４に収納される。超磁歪素子３１の下端は
軸１５の上端に設けたホルダ２７に当接していて、超磁
歪素子３１の上端は収納ケース２４の上部に当接してい
る。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を超磁歪
素子３１の振動に追従させるためばね２９が設けられ
る。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿
状に形成される。ばね２９は、その弾性復元力でホルダ
２７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４の上
部との間で超磁歪素子３１に与圧（超磁歪素子３１を軸
方向に圧縮する力）を与えている。
めのコイル３２が巻かれている。この超磁歪素子３１も
収納ケース２４に収納される。超磁歪素子３１の下端は
軸１５の上端に設けたホルダ２７に当接していて、超磁
歪素子３１の上端は収納ケース２４の上部に当接してい
る。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を超磁歪
素子３１の振動に追従させるためばね２９が設けられ
る。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿
状に形成される。ばね２９は、その弾性復元力でホルダ
２７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４の上
部との間で超磁歪素子３１に与圧（超磁歪素子３１を軸
方向に圧縮する力）を与えている。
【００５０】超磁歪素子３１に印加する磁界を所定の周
波数で変化させると、超磁歪素子３１が周期的に伸縮す
る。すなわち外部磁界を加えることによって、超磁歪素
子３１に応力が発生し、この応力がカッタ１２に伝わ
る。一般に超磁歪素子３１はその発生応力が圧電素子よ
りも大きい。このため、超磁歪素子３１は、カッタ１２
に大きな応力が伝わるのが望ましいガラス等を切断する
ときに用いられる。
波数で変化させると、超磁歪素子３１が周期的に伸縮す
る。すなわち外部磁界を加えることによって、超磁歪素
子３１に応力が発生し、この応力がカッタ１２に伝わ
る。一般に超磁歪素子３１はその発生応力が圧電素子よ
りも大きい。このため、超磁歪素子３１は、カッタ１２
に大きな応力が伝わるのが望ましいガラス等を切断する
ときに用いられる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
振動発生部によって軸が振動するのを案内する案内手段
と、静荷重調整手段によって軸が移動（例えば浮上）す
るのを案内する案内手段とを兼用しているので、従来の
スクライブ装置のように案内手段を別々に設けることに
よりモーメント荷重が生じることがない。したがって、
カッタが横振れするのを防止することができ、カッタを
縦方向にのみ円滑に振動させることができる。また案内
手段を兼用することで、構造を簡単にすることができ、
振動する部分の質量も軽量化することができる。これに
より、荷重の変動を小さくすることができる。
振動発生部によって軸が振動するのを案内する案内手段
と、静荷重調整手段によって軸が移動（例えば浮上）す
るのを案内する案内手段とを兼用しているので、従来の
スクライブ装置のように案内手段を別々に設けることに
よりモーメント荷重が生じることがない。したがって、
カッタが横振れするのを防止することができ、カッタを
縦方向にのみ円滑に振動させることができる。また案内
手段を兼用することで、構造を簡単にすることができ、
振動する部分の質量も軽量化することができる。これに
より、荷重の変動を小さくすることができる。
【図１】本発明の第１の実施形態におけるスクライブ装
置を示す正面図。
置を示す正面図。
【図２】上記図１のスクライブ装置の側面図。
【図３】上記図１のスクライブ装置の案内部を示す斜視
図。
図。
【図４】上記案内部の正面図（一部断面を含む）。
【図５】上記案内部の側面図（一部断面を含む）。
【図６】本発明の第２の実施形態におけるスクライブ装
置を示す垂直方向断面図。
置を示す垂直方向断面図。
【図７】従来のスクライブ装置を示す図。
１１…ワーク
１２…カッタ
１３…スクライブ線
１４…振動発生部
１５…軸
１５ａ…ボール転走部（転動体転走部）
１６ａ…ボール転走部（転動体転走部）
１６…外筒
１７ａ，１７ｂ…磁石（荷重調整手段）
１８…テーブル
１９…移動機構
２２…ボール（転動体）
２４…収納ケース
２８…案内部（案内手段）
２９…ばね
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3C069 AA03 BA03 BB01 BB04 BC02
CA05 CA11 EA01 EA02
4G015 FA03 FB01 FB03 FC08 FC14
Claims (6)
- 【請求項１】 カッタに振動を付与してワークにスクラ
イブ線を形成するスクライブ装置であって、 振動を発生する振動発生部と、 前記カッタが取り付けられ、前記振動発生部の振動を前
記カッタに伝える軸と、 前記軸がその中心線方向に直線運動するのを案内する案
内手段と、 磁力を用いて前記カッタから前記ワークに加えられる荷
重を調整する荷重調整手段とを備え、 前記案内手段は、前記荷重調整手段によって前記軸が移
動するのを案内し、且つ前記振動発生部によって前記軸
が振動するのを案内することを特徴とするスクライブ装
置。 - 【請求項２】 前記スクライブ装置はさらに、前記カッ
タを前記ワークに沿って移動させる移動機構を備えるこ
とを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。 - 【請求項３】 前記軸の外周には軸線方向に延びる転動
体転走部が形成され、 前記案内手段は、前記軸に嵌まり合い、内周に前記転動
体転走部に対応する転動体転走部が形成される外筒と、 前記軸の前記転動体転走部と前記外筒の前記転動体転走
部との間に介在される複数の転動体と、を備えることを
特徴とする請求項１又は２に記載のスクライブ装置。 - 【請求項４】 前記振動発生部の中心線と前記軸の中心
線が実質的に一直線になることを特徴とする請求項１な
いし３いずれかに記載のスクライブ装置。 - 【請求項５】 前記振動発生部は収納ケースに収納さ
れ、該収納ケースには前記軸の振動を前記振動発生部の
振動に追従させるために皿状に形成されたばねが設けら
れることを特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載
のスクライブ装置。 - 【請求項６】 カッタに振動を付与してワークにスクラ
イブ線を形成するスクライブ装置であって、 前記ワークに対して移動可能なテーブルと、 振動を発生する振動発生部と、 前記カッタが取り付けられ、前記振動発生部の振動を前
記カッタに伝える軸と、 前記テーブルに取り付けられ、前記軸がその中心線方向
に直線運動するのを案内する案内部と、 磁力を用いて前記カッタから前記ワークに加えられる荷
重を調整する磁石と、を備えることを特徴とするスクラ
イブ装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001338137A JP4008692B2 (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | スクライブ装置 |
| TW091125016A TW568890B (en) | 2001-11-02 | 2002-10-25 | Scribing device |
| DE10250862A DE10250862A1 (de) | 2001-11-02 | 2002-10-31 | Ritzvorrichtung |
| US10/284,106 US6832439B2 (en) | 2001-11-02 | 2002-10-31 | Scribing device |
| KR1020020067344A KR100905552B1 (ko) | 2001-11-02 | 2002-11-01 | 스크라이브 장치 |
| KR1020070110848A KR100880328B1 (ko) | 2001-11-02 | 2007-11-01 | 스크라이브 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001338137A JP4008692B2 (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | スクライブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003137576A true JP2003137576A (ja) | 2003-05-14 |
| JP4008692B2 JP4008692B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=19152672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001338137A Expired - Lifetime JP4008692B2 (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | スクライブ装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6832439B2 (ja) |
| JP (1) | JP4008692B2 (ja) |
| KR (2) | KR100905552B1 (ja) |
| DE (1) | DE10250862A1 (ja) |
| TW (1) | TW568890B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004110712A1 (ja) * | 2003-06-12 | 2004-12-23 | Thk Co., Ltd. | ダイヤモンドホイール及びスクライブ装置 |
| WO2008129943A1 (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | スクライブ装置及び方法 |
| JP2010056549A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Rin Tenzai | Ｌｅｄのカッティング方法とその製品 |
| JP2016539012A (ja) * | 2013-11-01 | 2016-12-15 | ポスコＰｏｓｃｏ | 防振パッド及びこれを含む丸鋸、金属板切断装置 |
| JP2019098435A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 切断ヘッドおよび切断装置 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7165331B1 (en) * | 2005-05-24 | 2007-01-23 | Micro Processing Technology, Inc. | Apparatus and method for scribing a semiconductor wafer while controlling scribing forces |
| KR100681828B1 (ko) * | 2005-07-20 | 2007-02-12 | 주식회사 에스에프에이 | 멀티 절단 시스템 |
| KR101381094B1 (ko) * | 2005-12-01 | 2014-04-04 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 팁홀더 |
| KR100673269B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-01-24 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이버의 휠 홀더장치 |
| GB0606972D0 (en) * | 2006-04-06 | 2006-05-17 | Instron Ltd | Linear electric motors |
| US8051681B2 (en) | 2007-05-09 | 2011-11-08 | Corning Incorporated | Constant force scoring device and method for using same |
| JP5308892B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2013-10-09 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 集積型薄膜太陽電池の製造装置 |
| JP2011155151A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 薄膜太陽電池用スクライブ装置 |
| TW201622929A (zh) * | 2014-11-27 | 2016-07-01 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | 基板加工用工具 |
| KR20230056841A (ko) * | 2021-10-20 | 2023-04-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법 |
| CN116282874B (zh) * | 2023-02-07 | 2024-09-24 | 江山市康辉玻璃有限公司 | 一种防火玻璃加工用裁切器及其使用方法 |
| WO2024170968A1 (en) * | 2023-02-13 | 2024-08-22 | Raimondi S.P.A. | Slab cutting system |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1077823A (en) * | 1977-08-10 | 1980-05-20 | Brian Hargreaves | Apparatus for cutting or scoring sheet material |
| JPH0679689A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-22 | Fujitsu Ltd | プリント基板分割機 |
| JPH0925134A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | スクライブ溝の形成方法および装置 |
| JP3095999B2 (ja) * | 1996-04-15 | 2000-10-10 | 株式会社ベルデックス | ガラスのスクライブ方法および装置 |
| US6470782B1 (en) * | 1997-09-25 | 2002-10-29 | Beldex Corporation | Scribe device |
| JP4203177B2 (ja) * | 1999-03-18 | 2008-12-24 | 株式会社ベルデックス | スクライブ方法および装置 |
| JP4385089B2 (ja) | 1999-08-06 | 2009-12-16 | Ｔｈｋインテックス株式会社 | スクライブ装置 |
| JP2001179732A (ja) | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Thk Co Ltd | スクライブ装置 |
| US6536121B1 (en) * | 1999-08-06 | 2003-03-25 | Thk Co., Ltd. | Scribing apparatus |
-
2001
- 2001-11-02 JP JP2001338137A patent/JP4008692B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-10-25 TW TW091125016A patent/TW568890B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-10-31 US US10/284,106 patent/US6832439B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-31 DE DE10250862A patent/DE10250862A1/de not_active Withdrawn
- 2002-11-01 KR KR1020020067344A patent/KR100905552B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-11-01 KR KR1020070110848A patent/KR100880328B1/ko active IP Right Grant
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004110712A1 (ja) * | 2003-06-12 | 2004-12-23 | Thk Co., Ltd. | ダイヤモンドホイール及びスクライブ装置 |
| JP2005001941A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Thk Co Ltd | ダイヤモンドホイール及びスクライブ装置 |
| WO2008129943A1 (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | スクライブ装置及び方法 |
| JP5508847B2 (ja) * | 2007-04-12 | 2014-06-04 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライブ装置及び方法 |
| KR101442296B1 (ko) * | 2007-04-12 | 2014-09-19 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 스크라이브 장치 및 방법 |
| JP2010056549A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Rin Tenzai | Ｌｅｄのカッティング方法とその製品 |
| JP2016539012A (ja) * | 2013-11-01 | 2016-12-15 | ポスコＰｏｓｃｏ | 防振パッド及びこれを含む丸鋸、金属板切断装置 |
| JP2019098435A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 切断ヘッドおよび切断装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6832439B2 (en) | 2004-12-21 |
| JP4008692B2 (ja) | 2007-11-14 |
| US20030084578A1 (en) | 2003-05-08 |
| TW568890B (en) | 2004-01-01 |
| DE10250862A1 (de) | 2003-05-15 |
| KR20070110240A (ko) | 2007-11-16 |
| KR20030036085A (ko) | 2003-05-09 |
| KR100880328B1 (ko) | 2009-01-28 |
| KR100905552B1 (ko) | 2009-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100880328B1 (ko) | 스크라이브 장치 | |
| KR100655360B1 (ko) | 스크라이브 장치 | |
| CN101681986B (zh) | 使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统 | |
| KR101900955B1 (ko) | 중력을 보상하는 수직 액츄에이터 구동장치 | |
| CN110875680B (zh) | 振动促动器以及具备该振动促动器的便携式电子设备 | |
| KR20200072563A (ko) | 동전형 액추에이터, 가진 장치, 액추에이터 및 액추에이터의 고정부 지지 기구 | |
| JP4717466B2 (ja) | 移送装置｛ｔｒａｎｓｆｅｒａｐｐａｒａｔｕｓ｝ | |
| JP2009214243A (ja) | シャトルを備えた加工機 | |
| KR102316747B1 (ko) | 플렉시블 부품 공급 장치용 선형 액츄에이터 | |
| JP5165577B2 (ja) | スクライブ装置 | |
| JP2000203858A (ja) | スクライブ装置 | |
| JP4987662B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JP5106981B2 (ja) | ステージ装置 | |
| US20100158645A1 (en) | Stage apparatus | |
| JP2001179732A (ja) | スクライブ装置 | |
| JP4385089B2 (ja) | スクライブ装置 | |
| JP4073512B2 (ja) | 駆動装置 | |
| CN103503299A (zh) | 惯性驱动促动器 | |
| JP2002134437A (ja) | スクライブ用カッタ及びこのカッタを用いたスクライブ装置 | |
| JP2002127133A (ja) | スクライブ装置 | |
| JP2012061822A (ja) | スクライブヘッドおよびこれを用いたスクライブ装置 | |
| JP2000211934A (ja) | スクライブ装置 | |
| JP2002295574A (ja) | 制振装置 | |
| JP2707831B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| KR20100073210A (ko) | 스테이지장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040330 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040804 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070111 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070613 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070613 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070712 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070828 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070830 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4008692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120907 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130907 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |