JP2003094337A - ウエハ研磨廃液の処理方法と、その再利用管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のウエハ研磨廃液の処理方法は、コストの削減
と、資源の有効利用、又は環境破壊を回避できること、
等の特徴を有する。しかし、1)真空式ト゛ラムフィルターでは、
固液分離の精度が十分でないと思われること、またフィルタ
ーの目詰りの問題が発生すること、等の保守管理に問題
を残す。2)磁気分離で除去できない金属に対する配慮が
なく、品質の面で課題を残している。 【構成】 ウエハ研磨廃液を、素材と固形物又は研磨液、
廃液等の溶液とに分離処理する第1・2の遠心分離機と、
固形物を、素材又は溶液より除去処理し、素材内の固形
物を、溶解、分離、抽出等の何れかの処理を介して除去
し、水洗手段と、乾燥手段とを介してハ゜ウタ゛ー化し、ハ゜ウタ
゛ー化した素材を収容する構成のウエハ研磨廃液の処理方法
である。素材の固液分離精度の向上が図れる。略全ての
金属を除去し、品質の優れたハ゜ウタ゛ー化した再生ウエハ研磨
剤を提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ研磨廃液の処理方
法と、その再利用管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、一般にラッヒ゜ンク゛処理に使用されたウ
エハ研磨溶剤廃液は、粘稠性を有し、かつラッヒ゜ンク゛屑と砥
粒との固形分が含まれた混合物である。その固形分とし
ては、シ゛ルコン（ZrSiO₄ ）及びアルミナ（AI₂ O₃ ）と、鉄（F
e）と、酸化珪素（SiO₂）等とが含まれている。この廃
液の一般的な処理としては、複数の大型の沈降槽を利用
した固液分離により、上澄み液と固形分に沈降分離し、
この上澄み液は、濾過後、再ウエハ研磨溶剤として再使用
し、固形分は廃棄処分している。この処理方法では、資
源の無駄であること、また環境保全上も問題であった。

【０００３】この改良に関する文献としては、次のよう
な文献(1)〜(3)が挙げられる。文献(1)は、特許第29417
50号のウエハ研磨廃液の処理方法及び回収された研磨剤を
主成分とする焼結体がある。内容は、ウエハ研磨廃液から
磁力で鉄分を除去し、固液分離し、濾液を研磨工程に循
環再使用し、また固形分を水に分散して、サイクロンにより
珪素を除去し、固形分を再度水に分散して、固液分離
し、得られた固形分を乾燥して研磨剤を回収する構成で
ある。その特徴は、これまで、廃液として廃棄していた
ウエハ研磨後の廃液を、少なくとも溶液部分の略全量を再
度研磨工程の研磨液として高速循環して、有効利用でき
ることにある。その他、これに関する文献として、文献
(2)は、特開2000-254743の炭化珪素研磨剤の再生処理方
法と研磨剤、また文献(3)は、特開2000-80349のシリコンウエハ
研磨廃液の処理方法及び研磨剤がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記文献(1)は、コストの
削減と、資源の有効利用、又は環境破壊を回避できるこ
と、等の特徴を有する。しかし、次のような課題が考え
られる。1) 真空式ト゛ラムフィルターでは、固液分離の精度が
十分でないと思われること、またフィルターの目詰りの問題
が発生すること、等の保守管理に問題を残す。2) 磁気
分離で除去できない金属に対する配慮がなく、品質の面
で課題を残していると思われる。

【０００５】尚、前記文献(2)、(3)は、前記文献(1)と
略同じ特徴を有する。しかし、次のような課題が考えら
れる。1) 磁気分離で除去できない金属に対する配慮が
なく、品質の面で課題を残していると思われる。

【０００６】また前記文献(1)〜(3)では、ウエハ研磨剤の
受入から、ハ゜ウタ゛ー処理した再生ウエハ研磨剤を生成するに
対して、総合的な管理と、コンヒ゜ュータを利用した効率的か
つ確実な管理とを図ることを意図しない。従って、前記
の各管理面の改良にメスを入れる必要があること、又は効
率的で、低コストな処理を介して価格的にマッチンク゛した再生ウ
エハ研磨剤の生成に問題を残すこと、等の課題が考えられ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、再生ウ
エハ研磨剤用素材(素材とする)の固液分離精度の向上を図
ること、略全ての金属を除去し、品質の優れたハ゜ウタ゛ー化
した再生ウエハ研磨剤を提供すること、等を意図する。

【０００８】請求項1は、ウエハ研磨廃液を、素材と固形物
又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1・2の遠
心分離機と、分離された前記固形物を、前記素材又は溶
液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ゛ーにする
工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液の処理方
法であって、ウエハ研磨廃液を、第1の遠心分離機に供給す
る工程と、分離された素材内の固形物を、溶解、分離、
抽出等の何れかの処理を介して前記溶液より除去する工
程と、前記固形物が除去された素材を、水洗手段を介し
て洗浄する工程と、この洗浄された素材を乾燥し、ハ゜ウタ
゛ー化する工程と、このハ゜ウタ゛ー化した素材を収容する工程
と、で構成されるウエハ研磨廃液の処理方法である。

【０００９】請求項2の発明は、ウエハ研磨剤の受入から、
ハ゜ウタ゛ー処理した再生ウエハ研磨剤を生成するに対して、総
合的な管理と、コンヒ゜ュータを利用した効率的かつ確実な管
理とを図ること、又は効率的で、低コストな処理を介して
価格的にマッチンク゛した再生ウエハ研磨剤の生成を図ること、
等を意図する。

【００１０】請求項2は、ウエハ研磨廃液を、素材と固形物
又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1・2の遠
心分離機と、分離された前記固形物を、前記素材又は溶
液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ゛ーにする
工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液の再利用
システムであって、この第1・2の遠心分離機へのウエハ研磨廃
液を、ネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、この
入力数値に基づいて前記第1・2の遠心分離機の排出量を
演算処理して、この演算処理の数値が許容範囲内である
か否かを、前記ホストコンヒ゜ュータ管理し、この数値が適切であ
ると判断した過程で、次の処理の進行をホストコンヒ゜ュータから
の指令でネットワークシステムを利用して指示し、この指示に基づ
いて処理した後に、素材及び／又は溶液の品質チェックを行
い、所定の品質が確保された場合に、ホストコンヒ゜ュータからの
指令でネットワークシステムを利用して指示し、前記品質が確保さ
れた前記素材をハ゜ウタ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤を生成
し、この再生ウエハ研磨剤を収容する一連のウエハ研磨廃液の
処理作業を、ネットワークシステムとホストコンヒ゜ュータとを利用して行う
ことを特徴としたウエハ研磨廃液の再利用管理システムであ
る。

【００１１】請求項3の発明は、請求項2の発明と同じこ
とを意図する。

【００１２】請求項3は、ウエハ研磨廃液を、素材と固形物
又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1・2の遠
心分離機と、分離された前記固形物を、前記素材又は溶
液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ゛ーにする
工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液の再利用
システムであって、この第1・2の遠心分離機へのウエハ研磨廃
液を、ネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、この
入力数値に基づいて前記第1・2の遠心分離機の排出量を
演算処理して、この演算処理の数値が許容範囲内である
か否かを、前記ホストコンヒ゜ュータ管理し、この数値が適切であ
ると判断した過程で、次の処理の進行をホストコンヒ゜ュータから
の指令でネットワークシステムを利用して指示し、この指示に基づ
いて処理した後に、素材及び／又は溶液の品質チェックを行
い、所定の品質が確保された場合に、ホストコンヒ゜ュータからの
指令でネットワークシステムを利用して指示し、前記品質が確保さ
れた前記素材をハ゜ウタ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤を生成
し、この再生ウエハ研磨剤を収容し、この処理及び収容量
等の一連の操作をネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに入
力し、この入力数値に基づいて再生ウエハ研磨剤を金銭的
に演算し、この演算値に、搬送費用を付加して一連のウエ
ハ研磨廃液の処理作業及び金銭処理を、ネットワークシステムとホスト
コンヒ゜ュータとを利用して行うことを特徴としたウエハ研磨廃液
の再利用管理システムである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００１４】ラッヒ゜ンク゛マシーン等の加工機械より使用済のウエハ
研磨廃液が、原液タンクに導かれる。この原液タンクのウエハ研
磨廃液を、第1の配管を介して第1の遠心分離機に導き、
当該第1の遠心分離機で再生ウエハ研磨剤と廃液に分離処理
する。この第1の遠心分離機へのウエハ研磨廃液の投入の状
況、量、時間等は、ネットワークシステム(ネットとする)を利用してホ
ストコンヒ゜ュータ(以下、コンヒ゜ュータとする)に入力する。このウエハ
研磨廃液入力量は、当該コンヒ゜ュータで演算処理されて、金
銭的に精算される。尚、この第1の遠心分離機は、スクリュー
の全刃先に超硬チッフ゜を設けた構成であるので、スクリューの
刃先の磨耗が少なく、かつ詰りもなく、確実かつスムース゛
に分離処理が図れる。またこのスクリューに負荷がかかった
ときは、制御部(フィート゛ハ゛ック、コントローラー、検知機などを備
える)サーホ゛モーターを介して当該スクリューの回転速度をコントロール
し、この第1の遠心分離機及びスクリューの故障を防止する。
また第1の遠心分離機のスクリューの磨耗度及び／又は故障が
発生した場合には、ネットを利用してコンヒ゜ュータに入力する。
この磨耗度は、設定寸法と比較検討されて、効率及び耐
久時間等が、当該コンヒ゜ュータで演算処理されて最高の状
態、効率的な状態等を判断する。この判断管理は、金銭
的に精算されて取引が成立する。また第1の遠心分離機
の修理、またその部品の交換等は、当該コンヒ゜ュータで演算
処理し、金銭的に精算されて取引が成立する。

【００１５】この分離処理された素材(素材とする)は、
第2の配管を介して中間タンクに導かれる。また固形廃材
は、第3の配管を介して廃材タンクに導かれる。この中間タン
クは、素材の量と品質の確保を図って、後処理工程に送
り、この後処理工程での確実かつスムース゛な処理を行い。
その結果、再生ウエハ研磨剤の量と品質の確保を図る。

【００１６】この中間タンクの素材は、第4の配管を介して
酸洗い処理及び／又は遠心分離、フィルター分離等による分
離を行い、素材中の鉄分を溶解又は分離する。分離され
た廃材はタンクに集める。この清澄化済み・濾過済み素材
は、第5の配管を介して塩酸、硝酸等の酸を水洗い処理
して、素材中の鉄分及び/又は酸を略完全に除去する。
この各処理の工程、素材の処理量、薬品・水等の使用
量、各処理時間等は、ネットを利用してコン ヒ゜ュータに入力す
る。このコンヒ゜ュータで演算処理されて、金銭的に精算され
る。また各工程管理、品質管理等の状況も、同様にコンヒ゜
ュータで演算処理されて、金銭的に精算される。

【００１７】この水洗い処理済み素材は、第6の配管を
介して第2の遠心分離機に導かれるが、この過程で素材
は、水等の分散材を投入して希釈化することもあり得
る。この希釈の目的は、素材の粘性を希釈化し、第2の
遠心分離機への素材投入量の確保と、この第2の遠心分
離機での素材と微細な固形物との分離促進、及び効率的
な分離を図ることにある。また第2の遠心分離機のスクリュー
に対する負荷を軽減し、かつスクリューの摩耗、損傷等の発
生を回避する。この第2の遠心分離機への素材及び/又は
分散材の投入の状況、量、時間等は、ネットを利用してコンヒ
゜ュータに入力する。この素材及び/又は分散材量は、当該コ
ンヒ゜ュータで演算処理されて品質管理される。又は素材及び
/又は分散材量は、当該コンヒ゜ュータで演算処理し、金銭的に
精算されて取引が成立する。この希釈化された廃液を、
第2の遠心分離機で素材と固形廃材に分離処理し、この
素材は第7の配管を介して回収タンクに導く。また固形廃材
は第8の配管を介して廃材タンクに収容する。尚、修理等の
取扱いは、第1の遠心分離機に準ずる。

【００１８】この回収タンクの素材は、第9の配管を介して
水洗い処理して、素材中の不純物を略完全に除去する。
この不純物が除去された素材は、第10の配管を介して乾
燥処理し、素材をハ゜ウタ゛ー化する。このハ゜ウタ゛ー化された素
材を、第11の配管を介して分級処理し、この分級処理に
より篩、粉細化、粒状化等の再生ウエハ研磨剤が生成され
る。この再生ウエハ研磨剤をハ゜ウタ゛ー化するのは、保管、搬
送又は再生ウエハ研磨溶剤への転用等の容易化、簡便化を
意図する。この再生ウエハ研磨剤は、第12の配管を介して
収容処理される。この各処理の工程、素材の処理量、薬
品・水等の使用量、各処理時間又は再生ウエハ溶剤量、収
容量等は、ネットを利用してコン ヒ゜ュータに入力する。このコンヒ
゜ュータで演算処理されて、金銭的に精算される。また各工
程管理、品質管理等の状況も、同様にコンヒ゜ュータで演算処
理される。これら一連のコンヒ゜ュータの入力、演算処理等の
管理を介して金銭的に精算されて取引が成立する。

【００１９】

【実施例】本発明のウエハ研磨廃液の処理方法と、再利用シ
ステムに使用する第1・2の遠心分離機1、10は、原則として
同じ構成であり、第1の遠心分離機1(サイクロン分離機、振動
分離機等を含む)を主体として説明する。第1の遠心分離
機1は、固形物排出口2aと分離液排出口2bを備えたケーシンク
゛2と、このケーシンク゛2の内筒200に設けた竹の子形のスクリュー3
と、このスクリュー3の刃先3aに設けた超硬チッフ゜4とこのスクリュー
3を駆動する サーホ゛モーター5と、このサーホ゛モーター5をコントロールす
る制御部6と、前記スクリュー3内に介在するウエハ研磨廃液、又
は廃液用の供給管7と、この供給管7の開口7aは、スクリュー3
の本体300との隙間を介して当該スクリュー3に開設した開口8
と連通する。また供給管7はモーター9を介して回転される
が、スクリュー3との間に回転差が設けられている。尚、第2
の遠心分離機10(サイクロン分離機、振動分離機等を含む)
は、第1の遠心分離機1に順ずる。このワイヤソー砥粒スラリーの
再利用システムは、リース物件の対象となる。

【００２０】次に全体の構成と、作用を説明する。ワイヤソ
ー20より使用済のウエハ研磨廃液が、図示しない配管を介し
て原液タンク21に導かれる。この原液タンク21のウエハ研磨廃液
を、第1の配管22及びホ゜ンフ゜23を介して第1の遠心分離機1
に導き、当該第1の遠心分離機1で素材と固形廃材に分離
処理し、この素材は排出口2aより、第2の配管24を介し
て中間タンク25に導かれる。また固形廃材は排出口2bよ
り、第3の配管26を介して廃材タンク27に導かれる。この素
材及び／又は固形廃材量は、ネット100等の通信回線を介し
てコンヒ゜ュータ101に入力される。尚、スクリュー3の刃先3aに設け
た超硬チッフ゜4の磨耗度は、ネット100等の通信回線を介してコ
ンヒ゜ュータ101に入力される。

【００２１】尚、前記ウエハ研磨廃液の導入時に、分散材
を付加することもあり得る。この例では、ウエハ研磨廃液
の粘性の希釈化を介して素材と固形廃材との分離を促進
と、第1の遠心分離機1での効率的な分離を図ること、又
は第1の遠心分離機1のスクリュー3に対する負荷軽減と、スクリュ
ー3の摩耗、損傷等の発生を回避すること、等にある。こ
の分散材の量は、ネット100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ1
01に入力される。

【００２２】前記中間タンク25内の素材は、第4の配管28を
介して酸洗い処理29に導かれる。この酸洗い処理29で素
材中の金属の溶解を図り、純粋な素材の生成を図る。ま
た分離処理29aを利用して素材の固液分離を図ることも
ある。この酸洗い処理29と分離処理29aは、素材の状
態、含有金属等に対応して、同時又はそれぞれ個別に行
われる。この酸洗い処理29及び/又は分離処理29aで生成
された固形廃材は廃材タンク30に収容される。酸洗い処理
済み素材は、第5の配管31を介して水洗い処理32に導か
れる。素材に付着する酸を取除くことで水洗い処理済み
素材が生成される。尚、この一連の処理と、素材、固形
廃材等の量等は、ネット100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ1
01に入力される。

【００２３】この水洗い処理済み素材は、第6の配管40
を介して第2の遠心分離機10に導き、当該第2の遠心分離
機10で素材と固形廃材に分離処理し、この素材は排出口
12aより、第7の配管41を介して回収タンク42に導かれる。
また固形廃材は排出口12bより、第8の配管43を介して廃
材タンク44に導かれる。この素材及び／又は固形廃材量
は、ネット100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ101に入力され
る。尚、スクリュー3の刃先3aに設けた超硬チッフ゜4の磨耗度
は、ネット100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ101に入力され
る。

【００２４】前記回収タンク42内の素材は、第9の配管45を
介して水洗い処理46に導かれる。素材に付着する廃材を
取除くことで純粋な素材が生成される。この純粋な素材
は、第10の配管47を介して乾燥処理48(減圧乾燥機、振
動乾燥機、加熱乾燥機、低温乾燥機等を含む)が行われ
てハ゜ウタ゛ー化される。このハ゜ウタ゛ー化された素材は、第11の
配管49を介して分級処理50を得て再生ウエハ研磨剤51が生
成される。その後は、第12の配管52を介して収容処理52
される。この再生ウエハ研磨剤51は工場に搬送された後、
従来と同様な取扱いで使用される。尚、乾燥処理48は、
素材に悪影響(物性の変化、変質、粒径変化、固化等を
発生)しない処理を行う。

【００２５】尚、この一連の処理と、再生ウエハ研磨剤5
1、固形廃材等の量等は、ネット100等の通信回線を介してコ
ンヒ゜ュータ101に入力される。

【００２６】尚、前記の各タンクには、必要により、図示
の如く、攪拌翼、液面センサー等を設ける。各配管には、必
要により、図示の如く、流量計、ハ゛イハ゜ス管、各種機能の
弁等を設ける。

【００２７】

【発明の効果】請求項1の発明は、ウエハ研磨廃液を、素材
と固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第
1・2の遠心分離機と、分離された固形物を、素材又は溶
液より除去処理する各工程と、素材をハ゜ウタ゛ーにする工程
とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液の処理方法で
あって、ウエハ研磨廃液を、第1の遠心分離機に供給する工
程と、分離された素材内の固形物を、溶解、分離、抽出
等の何れかの処理を介して溶液より除去する工程と、固
形物が除去された素材を、水洗手段を介して洗浄する工
程と、洗浄された素材を乾燥し、ハ゜ウタ゛ー化する工程と、
再生ウエハ研磨剤を収容する工程とで構成されるウエハ研磨廃
液の処理方法である。従って、素材の固液分離精度の向
上が図れること、略全ての金属を除去し、品質の優れた
ハ゜ウタ゛ー化した再生ウエハ研磨剤を提供できること、等の特
徴がある。

【００２８】請求項2の発明は、ウエハ研磨廃液を、素材と
固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1
・2の遠心分離機と、分離された固形物を、前記素材又
は溶液より除去処理する各工程と、素材をハ゜ウタ゛ーにする
工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液の再利用
システムであって、第1・2の遠心分離機へのウエハ研磨廃液
を、ネット利用でコンヒ゜ュータに入力し、入力数値に基づいて第
1・2の遠心分離機の排出量を演算処理して、演算処理の
数値が許容範囲内であるか否かを、コンヒ゜ュータ管理し、数
値が適切であると判断した過程で、次の処理の進行をコン
ヒ゜ュータからの指令でネットを利用して指示し、指示に基づい
て処理した後に、素材及び／又は溶液の品質チェックを行
い、所定の品質が確保された場合に、コンヒ゜ュータからの指
令でネットを利用して指示し、品質が確保された素材をハ゜ウ
タ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤の生成と、収容とを行う全
ての一連のウエハ研磨廃液の処理作業を、ネットとコンヒ゜ュータと
を利用して行うことを特徴としたウエハ研磨廃液の再利用
管理システムである。従って、ウエハ研磨剤の受入から、ハ゜ウタ゛
ー処理した再生ウエハ研磨剤を生成するに対して、総合的な
管理と、コンヒ゜ュータを利用した効率的かつ確実な管理とが
図れること、又は効率的で、低コストな処理を介して価格
的にマッチンク゛した再生ウエハ研磨剤の生成が可能となるこ
と、等の特徴がある。

【００２９】請求項3の発明は、ウエハ研磨廃液を、素材と
固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1
・2の遠心分離機と、分離された前記固形物を、前記素
材又は溶液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ
゛ーにする工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液
の再利用システムであって、第1・2の遠心分離機へのウエハ研
磨廃液を、ネット利用でコンヒ゜ュータに入力し、入力数値に基づ
いて前記第1・2の遠心分離機の排出量を演算処理して、
演算処理の数値が許容範囲内であるか否かを、コンヒ゜ュータ
管理し、数値が適切であると判断した過程で、次の処理
の進行をコンヒ゜ュータからの指令でネットを利用して指示し、こ
の指示に基づいて処理した後に、素材及び／又は溶液の
品質チェックを行い、所定の品質が確保された場合に、コンヒ゜
ュータからの指令でネットを利用して指示し、品質が確保され
た素材をハ゜ウタ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤の生成及び収
容と、この処理及び収容量等の一連の操作をネット利用でコ
ンヒ゜ュータに入力し、入力数値に基づいて再生ウエハ研磨剤を
金銭的に演算し、この金額に搬送費用を付加して一連の
ウエハ研磨廃液の処理作業及び金銭処理を、ネットとコンヒ゜ュータ
とを利用して行うことを特徴としたウエハ研磨廃液の再利
用管理システムである。従って、請求項2の発明と同じ特徴
が期待できること、又は経営管理と、金銭管理等の経営
全般の管理が行えること、等の特徴がある。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明の前工程を示すフローチャート図である。

【図2】本発明の後工程を示すフローチャート図である。

【図3】第1・2の遠心分離機の拡大模式図である。

【図4】本発明の管理システムの概要を説明するフローチャート図で
ある。

【符号の説明】

1 第1の遠心分離機 2 ケーシンク゛ 2a 排出口 12a 排出口 2b 排出口 12b 排出口 200 内筒 3 スクリュー 3a 刃先 300 本体 4 超硬チッフ゜ 5 サーホ゛モーター 6 制御部 7 供給管 7a 開口 8 開口 9 モーター 10 第2の遠心分離機 20 ワイヤソー 21 原液タンク 22 第1の配管 23 ホ゜ンフ゜ 24 第2の配管 25 中間タンク 26 第3の配管 27 廃材タンク 28 第4の配管 29 酸洗い処理 29a 分離処理 30 廃材タンク 31 第5の配管 32 水洗い処理 40 第6の配管 41 第7の配管 42 回収タンク 43 第8の配管 44 廃材タンク 45 第9の配管 46 水洗い処理 47 第10の配管 48 乾燥処理 49 第11の配管 50 分級処理 51 再生ウエハ研磨剤 52 第12の配管 53 収容処理 100 ネット 101 コンヒ゜ュータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ研磨廃液を、再生ウエハ研磨剤用素材と
   固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1
   ・2の遠心分離機と、分離された前記固形物を、前記素
   材又は溶液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ
   ゛ーにする工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液
   の処理方法であって、ウエハ 研磨廃液を、第1の遠心分離機に供給する工程と、 分離された素材内の固形物を、溶解、分離、抽出等の何
   れかの処理を介して前記溶液より除去する工程と、 前記固形物が除去された素材を、水洗手段を介して洗浄
   する工程と、 この洗浄された素材を乾燥し、ハ゜ウタ゛ー化する工程と、 このハ゜ウタ゛ー化した素材を収容する工程と、 で構成されるウエハ研磨廃液の処理方法。
2. 【請求項２】 ウエハ研磨廃液を、再生ウエハ研磨剤用素材と
   固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1
   ・2の遠心分離機と、分離された前記固形物を、前記素
   材又は溶液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ
   ゛ーにする工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液
   の再利用システムであって、 この第1・2の遠心分離機へのウエハ研磨廃液を、ネットワークシステ
   ムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、この入力数値に基づ
   いて前記第1・2の遠心分離機の排出量を演算処理して、
   この演算処理の数値が許容範囲内であるか否かを、前記
   ホストコンヒ゜ュータ管理し、この数値が適切であると判断した過
   程で、次の処理の進行をホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワーク
   システムを利用して指示し、この指示に基づいて処理した後
   に、素材及び／又は溶液の品質チェックを行い、所定の品質
   が確保された場合に、ホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワークシス
   テムを利用して指示し、前記品質が確保された前記素材を
   ハ゜ウタ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤を生成し、この再生ウエハ
   研磨剤を収容する一連のウエハ研磨廃液の処理作業を、ネット
   ワークシステムとホストコンヒ゜ュータとを利用して行うことを特徴とし
   たウエハ研磨廃液の再利用管理システム。
3. 【請求項３】 ウエハ研磨廃液を、再生ウエハ研磨剤用素材と
   固形物又は研磨液、廃液等の溶液とに分離処理する第1
   ・2の遠心分離機と、分離された前記固形物を、前記素
   材又は溶液より除去処理する各工程と、前記素材をハ゜ウタ
   ゛ーにする工程とで再生ウエハ研磨剤を生成するウエハ研磨廃液
   の再利用システムであって、 この第1・2の遠心分離機へのウエハ研磨廃液を、ネットワークシステ
   ムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、この入力数値に基づ
   いて前記第1・2の遠心分離機の排出量を演算処理して、
   この演算処理の数値が許容範囲内であるか否かを、前記
   ホストコンヒ゜ュータ管理し、この数値が適切であると判断した過
   程で、次の処理の進行をホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワーク
   システムを利用して指示し、この指示に基づいて処理した後
   に、素材及び／又は溶液の品質チェックを行い、所定の品質
   が確保された場合に、ホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワークシス
   テムを利用して指示し、前記品質が確保された前記素材を
   ハ゜ウタ゛ー処理して、再生ウエハ研磨剤を生成し、この再生ウエハ
   研磨剤を収容し、この処理及び収容量等の一例の操作を
   ネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、この入力数
   値に基づいて再生ウエハ研磨剤を金銭的に演算し、この演
   算値に、搬送費用を付加して一連のウエハ研磨廃液の処理
   作業及び金銭処理を、ネットワークシステムとホストコンヒ゜ュータとを利用
   して行うことを特徴としたウエハ研磨廃液の再利用管理システ
   ム。