JP2003077787A - 基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ユーザに負担をかけることなく、基板処理装
置の動作を制御するための情報を効率的にバックアップ
することを課題とする。 【解決手段】 基板処理装置１の記憶部１０４，１１４
には、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３
が格納されており、基板処理装置１は、これらの情報お
よびプログラムに従って動作が制御されている。ローカ
ル指示部１２１は、スケジュール機能を備え、スケジュ
ール従ってバックアップの指示命令を送出する。この指
示命令に応答して複製情報取得部１２２は、記憶部１０
４，１１４に格納された指定された情報の複製を生成
し、複製情報をネットワークを介して情報蓄積サーバ２
の格納部２２１に渡す。格納部２２１は、受け取った複
製情報をバックアップデータ２５１として固定ディスク
２４に格納する。また、格納部２２１は、複製情報の差
分データのみを格納することも可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所
定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとを結合し
たネットワークシステムの構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイなどの製品
は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エ
ッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処
理を施すことにより製造されている。従来、これらの諸
処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等
を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板
処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに
基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が
行われるのである。

【０００３】このような基板の処理は自動制御がなされ
ており、基板処理装置には、その自動制御を行うための
アプリケーションプログラムデータや、設定情報などが
記憶されている。すなわち、基板処理装置は、設定情報
の内容にしたがって、アプリケーションプログラムによ
って制御されているのである。

【０００４】基板処理装置が記憶している設定情報に
は、基板処理装置に共通して用いられる基本情報と、基
板処理装置ごとに固有の情報とが含まれている。基板処
理装置は、本来、デフォルトで設定される基本情報によ
って制御可能であるが、基板処理装置の設置環境や製造
誤差などから、同一の設定内容では、最適な制御を行う
ことができない。そこで、基本情報を補正して制御する
必要があり、各基板処理装置は、この補正情報を固有情
報として蓄積しているのである。

【０００５】したがって、これら固有情報は、ユーザご
とに、また、基板処理装置ごとに独自の情報である。こ
のため、何らかの障害（ハードウェア障害など）が発生
し、基板処理装置が蓄積している情報を消失してしまっ
た場合であって、基板処理装置を障害発生前の状態に戻
すためには、定期的に設定情報がバックアップされてい
る必要がある。また、ユーザ自ら設定情報を変更した場
合であっても、過去の設定情報が必要となる場合があ
る。このような場合に、過去の設定情報で基板処理装置
を稼働させるためにも、定期的に設定情報がバックアッ
プされていることが必要となる。そして、従来、各基板
処理装置においては、ユーザ操作により、リムーバルデ
ィスクなどに設定情報をバックアップするようにしてい
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、基板処理装置
の設定情報をリムーバルディスクなどにバックアップす
る処理は、非常に時間のかかる作業であり、ユーザの負
担となっていた。特に、基板処理装置の装置台数が多い
場合には、非常に負担の多い作業であり改善が望まれて
いた。

【０００７】また、バックアップデータが有効であるた
めには、なるべく、バックアップ処理の間隔を短くする
必要がある。しかし、バックアップ処理の負担が大きい
ため、高い頻度で定期的なバックアップ処理をユーザに
要求するのは現実的ではない。

【０００８】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ユー
ザの作業負担を軽減させながら、容易に、基板処理装置
が蓄積する情報をバックアップする技術を提供するもの
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、a)基板処理装置の動作を制御す
るための制御情報を格納する第１の記憶手段と、b)前記
第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を
取得する複製情報取得手段と、c)前記複製情報取得手段
の取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワー
クを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備え
る第２の記憶手段に格納する格納手段と、を備えること
を特徴とする。

【００１０】請求項２の発明は、請求項１に記載の基板
処理装置管理システムにおいて、前記制御情報は、前記
基板処理装置を制御する制御プログラム、を含むことを
特徴とする。

【００１１】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記制
御情報は、前記基板処理装置の動作を規定する設定情
報、を含むことを特徴とする。

【００１２】請求項４の発明は、請求項３に記載の基板
処理装置管理システムにおいて、前記設定情報は、前記
基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記
基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に
加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする。

【００１３】請求項５の発明は、請求項１ないし請求項
４のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおい
て、さらに、d)前記複製情報取得手段に対して、定期的
に複製情報の取得処理を実行させるスケジュール管理
部、を備えることを特徴とする。

【００１４】請求項６の発明は、請求項１ないし請求項
５のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおい
て、前記格納手段は、c-1)前記複製情報取得手段の取得
した制御情報の複製情報と、すでに前記第２の記憶手段
に格納されている複製情報との差分情報を抽出する手段
と、c-2)前記差分情報を前記第２の記憶手段に格納する
手段と、を備えることを特徴とする。

【００１５】請求項７の発明は、請求項１ないし請求項
６のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおい
て、さらに、e)前記基板処理装置と広域ネットワークを
介して接続された遠隔操作用コンピュータ、を備え、前
記遠隔操作用コンピュータは、前記複製情報取得手段に
対して、前記複製情報の取得指示命令を送出する遠隔指
示手段、を備えることを特徴とする。

【００１６】請求項８の発明は、a)基板処理装置の動作
を制御するための制御情報を格納する第１の記憶手段
と、b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の
複製情報を取得する複製情報取得手段と、c)前記複製情
報取得手段の取得した複製情報を、ネットワークを経由
して接続された所定のコンピュータに対して送信する手
段と、を備えることを特徴とする。

【００１７】請求項９の発明は、請求項８に記載の基板
処理装置において、前記制御情報は、前記基板処理装置
を制御する制御プログラム、を含むことを特徴とする。

【００１８】請求項１０の発明は、請求項８または請求
項９に記載の基板処理装置において、前記制御情報は、
前記基板処理装置の動作を規定する設定情報、を含むこ
とを特徴とする。

【００１９】請求項１１の発明は、請求項８ないし請求
項１０のいずれかに記載の基板処理装置において、前記
設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための
基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するため
に前記基本情報に加えられる補正情報と、を含むことを
特徴とする。

【００２０】請求項１２の発明は、請求項８ないし請求
項１１のいずれかに記載の基板処理装置において、さら
に、d)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情
報の取得処理を実行させるスケジュール管理部、を備え
ることを特徴とする。

【００２１】請求項１３の発明は、基板処理装置を管理
する方法であって、前記基板処理装置の動作を制御する
ための制御情報は、前記基板処理装置の備える第１の記
憶手段に格納されており、前記第１の記憶手段に格納さ
れている制御情報の複製情報を取得する第１の工程と、
前記第１の工程において取得した複製情報を、前記基板
処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積
用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する第２
の工程と、を備えることを特徴とする。

【００２２】請求項１４の発明は、プログラムであっ
て、基板処理装置が備えるコンピュータによって実行さ
れることにより、前記基板処理装置が、請求項８ないし
請求項１２のいずれかに記載の基板処理装置として動作
することを特徴とする。

【００２３】請求項１５の発明は、コンピュータ読み取
り可能な記録媒体であって、請求項１４に記載のプログ
ラムを記録してあることを特徴とする。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。

【００２５】｛１．システム全体構成｝まず、本実施の
形態に係る基板処理システム１０全体の概略について説
明する。図１は、基板処理システム１０の概略構成を示
す図である。図１に示すように基板処理システム１０
は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１
および情報蓄積サーバ２と、サポートセンター５に備え
られたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を
介して接続される構成となっている。サポートセンター
５には、基板処理装置１をリモート管理するリモート管
理担当者が配置される。

【００２６】基板処理工場４において、基板処理装置１
と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４
１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやフ
ァイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介し
てインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続さ
れている。また、サポートセンター５も、サポートコン
ピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡ
Ｎ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する
接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続され
ている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ
２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ
通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４
１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネッ
トワーク６とする。

【００２７】なお、図１において、基板処理工場４には
複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置
１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５に
は複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサ
ポートコンピュータ３は１台であってもよい。

【００２８】｛２．基板処理装置｝次に、基板処理工場
４に配置された基板処理装置１について説明する。図２
は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理
装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそ
れらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置
１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処
理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサ
ＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジ
ストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニッ
トＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に
現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理
ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデ
クサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬
送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニッ
トＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省
略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟ん
で配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加
熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）
および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユ
ニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。
なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現
像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基
板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。

【００２９】図３は、基板処理装置１の制御システムの
構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処
理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステ
ム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に
制御するユニット制御部１１５とにより構成されてい
る。

【００３０】システム制御部１００は装置全体を統括的
に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて
構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ
１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域と
なる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、アプリ
ケーションプログラムデータなどを記憶しておく固定デ
ィスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との
間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それ
ぞれをバスライン１９０によって接続した構成となって
いる。

【００３１】通信部１０５は、ネットワーク・インター
フェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続さ
れており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ
２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの
送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワ
ーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、
本実施形態では有線による通信方式が採用されている。

【００３２】バスライン１９０には、システム制御部１
００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情
報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピ
の入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４
０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１
から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども
電気的に接続されている。これにより、システム制御部
１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバ
スライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっ
ている。

【００３３】処理ユニット１１０は、実際に基板に処理
を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に
処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる
基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備
えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１
０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニッ
ト制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基
板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、
上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体
における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は
基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うように
その役割を分担している。ユニット制御部１１５は、シ
ステム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備
えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１
１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読
み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データ
を記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭ
などからなる記憶部１１４とを備えている。

【００３４】システム制御部１００の記憶部１０４に
は、装置全体にかかわるシステム制御用のアプリケーシ
ョンプログラムである制御プログラム１５２や、基板処
理装置の動作を規定する設定情報１５１などが記憶され
ている（図７参照）。システム制御部１００のＣＰＵ１
０１がこの制御プログラム１５２および設定情報１５１
に従って演算処理を実行することにより、基板処理装置
１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されるこ
ととなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４
には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処
理内容に応じたユニット制御用のアプリケーションプロ
グラムである制御プログラム１５３が記憶されている。
ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこの制御プログ
ラム１５３に従って演算処理を実行することにより、基
板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されるこ
ととなる。

【００３５】このように、基板処理装置１の動作を制御
するための制御情報は、基板処理装置１を制御する制御
プログラム１５２，１５２と、基板処理装置１の動作を
規定する設定情報１５１とを含んでおり、記憶部１０４
と記憶部１１４とから、制御情報を格納する第１の記憶
手段を構成している。

【００３６】｛３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピ
ュータ｝次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サ
ーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポート
コンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２お
よびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての
構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。した
がって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ
３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である
図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポ
ートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各
種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ
２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同
様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）
および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバス
ラインに接続した構成となっている。また、バスライン
には、アプリケーションプログラムなど各種情報を記憶
する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行
うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受
け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス
（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁
気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取り
を行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク
６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）
が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して
接続される。

【００３７】情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ
３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１か
らデータを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶
することができる。また、他のサーバ等からネットワー
ク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，
３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２
１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶された
各種プログラムに従って演算処理を実行することにより
各種動作を行うようになっている。

【００３８】｛４．基板処理装置の設定情報｝基板処理
装置１は、あらかじめ記述されたフローレシピの処理順
序に従い、記憶部１０４，１１４に格納された制御プロ
グラム１５２,１５３によって、その動作が制御され
る。そして、制御プログラム１５２，１５３は、記憶部
１０４に格納された設定情報１５１にしたがって基板処
理装置１を制御する。図５は、記憶部１０４に格納され
た設定情報１５１の内容の一例を示した図である。

【００３９】なお、設定情報１５１は、基板処理装置１
の全体制御に関わる設定情報と、各処理ユニット１１０
の制御に関わる設定情報とを含んでおり、本実施の形態
においては、これらを含む設定情報１５１がシステム制
御部１００の記憶部１０４に一括して格納されているも
のとして説明する。ただし、処理ユニットごとの設定情
報は、各ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納す
るようにしてもよい。

【００４０】設定情報１５１は、レシピデータ１５１
ａ、装置基本データ１５１ｂ、装置固有データ１５１ｃ
を含むデータである。これらのデータは、オペレータが
操作部１４０を用いて入力操作することなどにより、必
要に応じて修正を加えながら更新される。また、サポー
トコンピュータ３や情報蓄積サーバ２からリモート操作
により設定情報１５１の入力操作を行うようにしてもよ
い。

【００４１】レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１
の処理順序を規定するデータである。つまり、基板処理
装置１の搬送ロボットＴＲは、レシピデータ１５１ａに
記述されている処理スケジュールにしたがって、基板を
目的の処理ユニットに搬送するのである。

【００４２】図６は、レシピデータ１５１ａに記述され
たフローレシピの一例を示す図である。この例では、搬
送ロボットＴＲにより循環搬送される基板は、以下の順
序で処理される。

【００４３】ステップ１：ホットプレートにて密着強化
処理； ステップ２：クールプレートにて冷却処理； ステップ３：塗布処理ユニットＳＣにてレジスト塗布処
理； ステップ４：ホットプレートにてプリベーグ処理； ・・・。

【００４４】このように、レシピデータ１５１ａは、基
板処理装置１の処理順序を規定する情報であり、このデ
ータは、ユーザのノウハウとして蓄積されるものであ
る。つまり、ユーザは、最も効率のよい処理が行えるよ
うにレシピデータ１５１ａを作成し、このレシピデータ
１５１ａに従って基板処理装置１を制御するようにして
いるのである。

【００４５】装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置
１に共通の設定情報である。言い換えれば、基板処理装
置１のデフォルト設定情報である。基板処理装置１は、
搬送ロボットＴＲや各処理ユニット１１０などの数多く
の機構部や制御部を含んでいるが、それら各機構部や制
御部がどのような設定値で動作するのかを規定したもの
が装置基本データ１５１ｂである。装置基本データ１５
１ｂには、たとえば、ロボット基本データ、温度調節パ
ラメータなどのデータが含まれる。

【００４６】ロボット基本データは、搬送ロボットＴＲ
の動作を規定するデータである。搬送ロボットＴＲは、
基板を各処理ユニット１１０やインデクサＩＤ、熱処理
ユニットなどに搬送するが、ロボット基本データは、こ
のような搬送ロボットＴＲの動作の設定値（移動距離に
関する設定値、アーム回転角の設定値など）を規定した
データである。温度調節データは、基板処理装置内にお
いて、熱処理ユニットなどの温度を設定するデータであ
る。

【００４７】装置固有データ１５１ｃは、複数ある基板
処理装置ごとに固有に設定される補正データである。基
板処理装置１，１・・・が同一の装置構成である場合、
基本的には、同一の設定情報、つまり、装置基本データ
１５１ｂにより制御することが可能であるが、実際に
は、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。これ
は、基板処理装置の装置構成が同一の場合でも、厳密に
は、各装置間で装置構成にばらつきがあるためであり、
また、基板処理装置の設置場所や設置環境の違いから、
環境に応じた調整が必要となるためである。つまり、基
板処理装置が同一の処理を行うことにより、同一の処理
結果を生むためには、装置ごとに設定情報を補正する必
要がある。

【００４８】装置固有データ１５１ｃには、たとえば、
ティーチングデータや温度調節補正データなどのデータ
が含まれる。

【００４９】ティーチングデータは、前述したロボット
基本データを補正するデータである。搬送ロボットＴＲ
は、基板処理装置が同一の装置構成であれば、基本的に
は、同一の設定情報に従って同一の動作を行えばよい。
しかし、多数の部材や可動部を含む搬送ロボットＴＲ
は、その構成に微妙な差があることにより、動作に誤差
が生じる。そこで、搬送ロボットＴＲの動作が最適とな
るよう調整し、その調整時の設定情報をティーチングデ
ータとして蓄積するのである。そして、ティーチングデ
ータによって、ロボット基本データを補正することによ
り、搬送ロボットＴＲの制御を最適化することができる
のである。

【００５０】また、温度調節補正データは、基板処理装
置１の設置場所、設置環境の違いにより、デフォルトで
設定されている温度調節データを補正するデータであ
る。

【００５１】このように、基板処理装置１は、レシピデ
ータ１５１ａによって、その処理工程順序が決定され、
その動作は、デフォルトとして設定される装置基本デー
タ１５１ｂと装置ごとの補正データである装置固有デー
タ１５１ｃを用いて制御されるのである。そして、ユー
ザのノウハウとして蓄積されるレシピデータ１５１ａ
や、装置ごとに固有の装置固有データ１５１ｃは、非常
に大切な情報であるが、その復旧は容易でないため、こ
れらの情報を消失させないよう、効率的なバックアップ
を行う必要がある。

【００５２】｛５．システムの機能および処理内容｝以
上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処
理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３
のハードウェア構成、および、設定情報１５１の内容に
ついて説明したが、次に基板処理システム１０の機能お
よび処理内容について説明する。図７は、基板処理シス
テム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。

【００５３】なお、図７において、ローカル指示部１２
１、複製情報取得部１２２，リストア処理部１２３はシ
ステム制御部１００のＣＰＵ１０１が保守用プログラム
１５４を実行することによって実現される処理部であ
る。この保守用プログラム１５４は、記憶部１０４に格
納されている。

【００５４】また、図７において、格納部２２１、差分
抽出部２２２は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が保守用
プログラム２５２を実行することによってそれぞれ実現
される処理部である。この保守用プログラム２５２は、
固定ディスク２４に格納されている。また、リモート指
示部３２１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が保
守用プログラム３５１を実行することによって実現され
る処理部である。この保守用プログラム３５１は、固定
ディスク３４に格納されている。

【００５５】＜５−１．バックアップ処理＞ローカル指
示部１２１は、複製情報取得部１２２に対して設定情報
１５１、制御プログラム１５２，１５３のバックアップ
処理の指示命令を送出する機能、および、リストア処理
部１２３に対して設定情報１５１、制御プログラム１５
２，１５３のリストア処理の指示命令を送出する機能を
有している。

【００５６】ローカル指示部１２１によりバックアップ
処理の指示命令が送出されるタイミングは、ローカル指
示部１２１自身が備えているスケジュール機能によりバ
ックアップを行うタイミングが判断された場合である。
ただし、スケジュール機能による定期的なバックアップ
処理に加えて、ユーザが、基板処理装置１の操作部１４
０において入力操作を行い、設定情報１５１、制御プロ
グラム１５２，１５３のバックアップ処理を明示的に指
示することも可能である。

【００５７】つまり、スケジュール機能による指示によ
って、計画的に設定情報１５１などのバックアップが自
動的に行われる。一方、ユーザの指示による場合とは、
メンテナンス前や、装置一時停止前など、任意の時点
で、現在の装置状態を保存するために実行される場合が
考えられる。

【００５８】ローカル指示部１２１からバックアップ処
理の指示命令がされると、複製情報取得部１２２は、シ
ステム制御部１００の記憶部１０４に格納されている設
定情報１５１、制御プログラム１５２、および、ユニッ
ト制御部１１５の記憶部１１４に格納されている制御プ
ログラム１５３の複製情報を生成し、生成した複製情
報、つまり、設定情報１５１、制御プログラム１５２，
１５３のデータをＬＡＮ４１経由で情報蓄積サーバ２に
送信する。

【００５９】なお、バックアップ処理は、設定情報１５
１、制御プログラム１５２，１５３の全てのデータにつ
いて行ってもよいし、個別のデータのみに対してバック
アップ処理を行うようにしてもよい。

【００６０】図８に示すように、ローカル指示部１２１
は、スケジュール管理部１２１ａを備えている。スケジ
ュール管理部１２１ａは、バックアップ処理を行うスケ
ジュールを設定する機能部であり、ローカル指示部１２
１は、スケジュール管理部１２１ａに設定されたスケジ
ュールに従ってバックアップ処理の指示命令を送出する
のである。スケジュール設定は、どの情報を、どのタイ
ミングでバックアップするかが示される。

【００６１】たとえば、「設定情報１５１は、１週間ご
とにバックアップをとり、制御プログラム１５２，１５
３は、１ヶ月ごとにバックアップをとる」といった内容
のスケジュールを設定することが可能である。また、後
述するが、全データをバックアップするのか、差分デー
タをバックアップするのかといった設定をすることも可
能である。たとえば、「設定情報１５１について、１週
間ごとに全データをバックアップし、毎日、差分データ
をバックアップする」といった内容のスケジュールを設
定することが可能である。スケジュールの設定は、ユー
ザが操作部１４０を用いて行うことができる。また、表
示部１３０に案内メニューを表示させ、メニューにしが
って設定操作ができるようにすれば、より利便性がよ
い。

【００６２】複製情報取得部１２２から送信された複製
情報は、情報蓄積サーバ２の格納部２２１に受け渡さ
れ、格納部２２１により、第２の記憶手段としての固定
ディスク２４に対して複製情報の格納処理が行われる。
図７において、固定ディスク２４に格納された複製情報
をバックアップデータ２５１として図示している。

【００６３】なお、差分データをバックアップする場合
（スケジュール管理部１２１ａにおいて差分データをバ
ックアップするよう指定されている場合、もしくは、ユ
ーザにより差分データをバックアップするよう明示的に
指示された場合）、複製情報取得部１２２は、複製情報
に、差分データをバックアップすることを示す情報を付
加したうえで、格納部２２１に送信する。格納部２２１
は、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３を
全データとして固定ディスク２４に格納することもでき
るが、差分データとしてバックアップする指示情報を受
け取った場合には、差分抽出部２２２において、バック
アップ対象データの差分データを抽出したうえで固定デ
ィスク２４に複製情報を格納する。

【００６４】つまり、差分抽出部２２２は、複製情報取
得部１２２から受け取った複製情報と、固定ディスク２
４に格納されているバックアップデータ２５１を比較し
たうえで、その差分データを抽出するのである。

【００６５】たとえば、ローカル指示部１２１のスケジ
ュール機能により定期的にバックアップ処理が行われる
場合、全回において、全データを格納していく方法で
は、固定ディスク２４に蓄積されるバックアップデータ
のデータ量が非常に大きくなる。バックアップデータ２
５１は、最新のデータのみならず、過去にバックアップ
されたデータが必要となる場合も多い。たとえば、装置
の設定情報を数週間前に状態に戻したいといった要望が
でる場合もある。また、フローレシピを試行錯誤しなが
ら変更してきたが、２ヶ月前のフローレシピに戻したい
といった要望がでる場合もあるからである。

【００６６】したがって、なるべく、長期間における多
時点のバックアップデータを残す方が有効であるが、固
定ディスク２４の容量は無制限ではない。そこで、固定
ディスク２４への格納時には、差分抽出部２２２によっ
て、前回のバックアップデータとの差分を抽出し、その
差分データのみを格納するのである。

【００６７】このように、本実施の形態の基板処理シス
テム１０は、基板処理装置１の動作を制御するための設
定情報１５１と、制御プログラム１５２，１５３が、基
板処理装置１とネットワークを介して接続された情報蓄
積サーバ２に定期的にバックアップとして蓄積されるの
で、ユーザは面倒なバックアップ操作を行う必要はな
い。

【００６８】特に、基板処理装置１は、ユーザのノウハ
ウによって更新されるレシピデータ１５１ａや、実際の
設置場所において装置を稼働させながら調節する装置固
有データ１５１ｃなどを含んでいるので、これらのデー
タを消失させないように定期的にバックアップをとるこ
との意義は大きい。

【００６９】また、基板処理装置１は、クリーンルーム
内に設置されているが、ネットワークで接続された情報
蓄積サーバ２をクリーンルーム外に設置すれば、バック
アップ処理によって格納されているデータのメンテナン
ス作業などはクリーンルーム外で行うことが可能であ
る。

【００７０】また、本実施の形態においては、ユーザに
よるバックアップ処理の手動操作は、基板処理装置１の
操作部１４０を用いることにより可能としているが、情
報蓄積サーバ２からネットワークを介してバックアップ
処理の指示命令を送出する構成でもよい。これにより、
クリーンルーム外からバックアップの処理命令を送出す
ことも可能である。

【００７１】また、情報蓄積サーバは、必ずしも基板処
理工場内に存在する必要はない。基板処理工場に近くに
システム管理センタを設置し、専用線経由でバックアッ
プデータを転送するようにしてもよい。

【００７２】＜５−２．リストア処理＞上記の処理によ
り、情報蓄積サーバ２には、定期的に、または、任意の
タイミングで、設定情報１５１、制御プログラム１５
２，１５３のバックアップデータ２５１が保存される。

【００７３】システム制御部１００の備えるリストア処
理部１２３は、固定ディスク２４からバックアップデー
タ２５１を取り出し、設定情報１５１、制御プログラム
１５２，１５３の復旧処理を行う。

【００７４】復旧処理を行うタイミングは様々である。
たとえば、ハードウェアの障害が発生し、設定情報１５
１や制御プログラム１５２，１５３を消失した場合や、
ユーザがメンテナンス作業中に誤ってデータを消失した
場合などが考えられる。このような復旧処理のタイミン
グは異常発生時の処理であるが、その他にも、ユーザの
要望によって、設定情報１５１や制御プログラム１５
２，１５３を過去のバックアップデータに戻す操作が考
えられる。

【００７５】たとえば、レシピデータ１５１ａを更新し
て基板処理装置１を稼働しているが、以前のレシピデー
タ１５１ａに戻したいという要望がでる場合がある。ま
た、搬送ロボットＴＲに対してあらたに動作の微調整を
行いティーチングデータを更新したが、稼働してみる
と、やはり、前の状態に戻したいという要望がでる場合
もある。

【００７６】このような場合、ユーザは、基板処理装置
１の操作部１４０において、リストア処理の指示入力を
行う。リストア処理の指示は、具体的には、リストアす
る対象のデータは何か、過去のどの時点のデータに復旧
するのか、といった情報を指定することにより行われ
る。これにより、ローカル指示部１２１よりリストア処
理部１２３に対してリストア指示命令が送出される。リ
ストア処理部１２３は、情報蓄積サーバ２の固定ディス
ク２４内に格納されているバックアップデータ２５１を
参照し、必要な情報を抽出したうえでリストア処理を行
う。

【００７７】リストア処理部１２３は、リストア処理の
対象として指定された設定情報１５１、制御プログラム
１５２，１５３が、全データとして保存されている場合
には、全データをそのまま抽出し、システム制御部１０
０の記憶部１０４、もしくは、ユニット制御部１１５の
記憶部１１４に格納する。

【００７８】リストア処理の対象として指定された設定
情報１５１、制御プログラム１５２，１５３が、差分デ
ータとして保存されている場合には、その差分データが
バックアップされた日より過去にバックアップされた全
データと、その全データがバックアップされてから、指
定された日までの差分データを累積することによって得
られるデータを抽出する。このようにして、差分データ
として格納されているバックアップデータに対しても全
データを復旧処理するのである。

【００７９】このように、本実施の形態における基板処
理システム１０では、バックアップされたデータが、基
板処理装置１とネットワークで接続された情報蓄積サー
バ２に格納されているので、リストア処理時において
も、ネットワーク経由で容易に復旧作業を行うことが可
能である。これにより、短時間で復旧作業を完了するこ
とができるので、基板処理装置１の稼働率の向上を図る
ことができる。

【００８０】＜５−３．リモート機能＞上述のごとく、
バックアップ処理は、システム制御部１００のローカル
指示部１２１が処理命令を送出することにより実行され
る。そして、ローカル指示部１２１がバックアップ処理
命令を送出するのは、スケジュール機能による場合、も
しくは、ユーザが基板処理装置１の操作部１４０におい
て指示入力をした場合を説明した。

【００８１】本実施の形態におけるシステム構成では、
基板処理装置１は、広域ネットワーク６１を介してサポ
ートセンター５のサポートコンピュータ３が接続されて
おり、このサポートコンピュータ３から遠隔操作により
バックアップ処理を実行することも可能である。

【００８２】サポートセンター３において、各基板処理
装置１を遠隔管理している担当者がサポートコンピュー
タ３においてバックアップ処理の指示入力をすると、リ
モート指示部３２１が、ネットワーク６を介してバック
アップ処理命令を送出する。基板処理装置１において、
バックアップ処理命令が複製情報取得部１２２に受け渡
されると、上述した処理と同様の処理が行われる。

【００８３】このようにサポートセンター３から遠隔操
作によりバックアップ処理を行うことにより、より手厚
いユーザサポート体制を提供することが可能である。ま
た、転送速度の問題は残るが、バックアップデータをサ
ポートセンター５に転送するようにしてもよい。

【００８４】

【発明の効果】以上、説明したように請求項１の発明
は、基板処理装置の制御情報を、ネットワークを経由し
て接続された情報蓄積用コンピュータの記憶手段に格納
するので、記録媒体へのバックアップ操作が不要とな
る。これにより、バックアップ処理に関わるユーザ負担
を大幅に軽減させることが可能である。

【００８５】請求項２の発明では、制御情報には、基板
処理装置の動作を制御する制御プログラムが含まれるの
で、最新バージョンのプログラムについてバックアップ
処理が容易に行える。

【００８６】請求項３の発明では、制御情報には、基板
処理装置の動作を規定する設定情報が含まれるので、基
板処理装置の最新の動作状態を保存可能となる。

【００８７】請求項４の発明では、設定情報には、基板
処理装置の制御を最適化するための補正情報が含まれる
ので、ユーザ固有の蓄積された情報も保存可能となる。

【００８８】請求項５の発明では、基板処理装置は、定
期的に複製情報を取得するためのスケジュール管理部を
備えているので、設定したスケジュールにしたがってバ
ックアップ処理を自動化させることができる。これによ
り、ユーザの作業負担を、さらに、大幅に軽減させるこ
とができる。

【００８９】請求項６の発明では、バックアップデータ
を、差分データとして格納することができるので、デー
タサイズを小さくすることができる。これにより、同一
の記憶手段に対しても長期間のバックアップデータを格
納することができ、バックアップデータの有効性を向上
させることができる。

【００９０】請求項７の発明では、遠隔操作によりバッ
クアップ処理命令を送出可能としたので、ユーザサポー
ト体制を強化することができる。

【００９１】請求項８の発明では、基板処理装置の制御
情報を、ネットワークを経由して接続されたコンピュー
タの記憶手段に送信するので、記録媒体へのバックアッ
プ操作が不要となる。これにより、バックアップ処理に
関わるユーザ負担を大幅に軽減させることが可能であ
る。また、記録媒体への書き込みと異なり、ネットワー
クに対して制御情報を送信するので、バックアップ処理
の自由度を高めることが可能である。

【００９２】請求項９の発明では、制御情報には、基板
処理装置の動作を制御する制御プログラムが含まれるの
で、最新バージョンのプログラムについてバックアップ
処理が容易に行える。

【００９３】請求項１０の発明では、制御情報には、基
板処理装置の動作を規定する設定情報が含まれるので、
基板処理装置の最新の動作状態を保存可能となる。

【００９４】請求項１１の発明では、設定情報には、基
板処理装置の制御を最適化するための補正情報が含まれ
るので、ユーザ固有の蓄積された情報も保存可能とな
る。

【００９５】請求項１２の発明では、基板処理装置は、
定期的に複製情報を取得するためのスケジュール管理部
を備えているので、設定したスケジュールにしたがって
バックアップ処理を自動化させることができる。これに
より、ユーザの作業負担を、さらに、大幅に軽減させる
ことができる。

【００９６】請求項１３の発明では、バックアップデー
タを、差分データとして格納することができるので、デ
ータサイズを小さくすることができる。これにより、同
一の記憶手段に対しても長期間のバックアップデータを
格納することができ、バックアップデータの有効性を向
上させることができる。

【００９７】請求項１４の発明は、プログラムの発明で
あり、基板処理装置の備えるコンピュータにインストー
ルされることによって、バックアップ処理が効率的に行
える基板処理装置を実現することができる。

【００９８】請求項１５の発明は、バックアップ処理が
効率的に行える基板処理装置を実現するプログラムを格
納した記録媒体であり、記録媒体を頒布することによ
り、容易に、プログラムのインストールが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成図で
ある。

【図２】基板処理装置の概略平面図である。

【図３】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロ
ック図である。

【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの
基本構成を示す図である。

【図５】設定情報の内容の一例を示す図である。

【図６】レシピデータの内容の一例を示す図である。

【図７】基板処理システムの機能構成を示すブロック図
である。

【図８】スケジュール管理部を含むローカル指示部のブ
ロック図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 ２ 情報蓄積サーバ ３ サポートコンピュータ ４ 基板処理工場 ５ サポートセンター ６ ネットワーク １０ 基板処理システム ２４ 固定ディスク（第２の記憶手段） １００ システム制御部 １０４，１１４ 記憶部（第１の記憶手段） １５１ 設定情報 １５２，１５３ プログラム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀井 謙治 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 井上 秀和 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 北本 徹 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 a)基板処理装置の動作を制御するための
   制御情報を格納する第１の記憶手段と、 b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製
   情報を取得する複製情報取得手段と、 c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、前記基
   板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄
   積用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する格
   納手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理
   システム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置管理シス
   テムにおいて、 前記制御情報は、 前記基板処理装置を制御する制御プログラム、を含むこ
   とを特徴とする基板処理装置管理システム。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の基板処
   理装置管理システムにおいて、 前記制御情報は、 前記基板処理装置の動作を規定する設定情報、を含むこ
   とを特徴とする基板処理装置管理システム。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の基板処理装置管理シス
   テムにおいて、 前記設定情報は、 前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、 前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情
   報に加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする基
   板処理装置管理システム。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
   載の基板処理装置管理システムにおいて、さらに、 d)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の
   取得処理を実行させるスケジュール管理部、を備えるこ
   とを特徴とする基板処理装置管理システム。
6. 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれかに記
   載の基板処理装置管理システムにおいて、 前記格納手段は、 c-1)前記複製情報取得手段の取得した制御情報の複製情
   報と、すでに前記第２の記憶手段に格納されている複製
   情報との差分情報を抽出する手段と、 c-2)前記差分情報を前記第２の記憶手段に格納する手段
   と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理システ
   ム。
7. 【請求項７】 請求項１ないし請求項６のいずれかに記
   載の基板処理装置管理システムにおいて、さらに、 e)前記基板処理装置と広域ネットワークを介して接続さ
   れた遠隔操作用コンピュータ、を備え、 前記遠隔操作用コンピュータは、 前記複製情報取得手段に対して、前記複製情報の取得指
   示命令を送出する遠隔指示手段、を備えることを特徴と
   する基板処理装置管理システム。
8. 【請求項８】 a)基板処理装置の動作を制御するための
   制御情報を格納する第１の記憶手段と、 b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製
   情報を取得する複製情報取得手段と、 c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、ネット
   ワークを経由して接続された所定のコンピュータに対し
   て送信する手段と、を備えることを特徴とする基板処理
   装置。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の基板処理装置におい
   て、 前記制御情報は、 前記基板処理装置を制御する制御プログラム、 を含むことを特徴とする基板処理装置。
10. 【請求項１０】 請求項８または請求項９に記載の基板
    処理装置において、 前記制御情報は、 前記基板処理装置の動作を規定する設定情報、を含むこ
    とを特徴とする基板処理装置。
11. 【請求項１１】 請求項８ないし請求項１０のいずれか
    に記載の基板処理装置において、 前記設定情報は、 前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、 前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情
    報に加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする基
    板処理装置。
12. 【請求項１２】 請求項８ないし請求項１１のいずれか
    に記載の基板処理装置において、さらに、 d)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の
    取得処理を実行させるスケジュール管理部、を備えるこ
    とを特徴とする基板処理装置。
13. 【請求項１３】 基板処理装置を管理する方法であっ
    て、前記基板処理装置の動作を制御するための制御情報
    は、前記基板処理装置の備える第１の記憶手段に格納さ
    れており、 前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情
    報を取得する第１の工程と、 前記第１の工程において取得した複製情報を、前記基板
    処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積
    用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する第２
    の工程と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理
    方法。
14. 【請求項１４】 基板処理装置が備えるコンピュータに
    よって実行されることにより、前記基板処理装置が、請
    求項８ないし請求項１２のいずれかに記載の基板処理装
    置として動作することを特徴とするプログラム。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載のプログラムを記録
    してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な
    記録媒体。