JP2003071932A - 積層体フイルム転写設備及び転写方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層体フイルムの長尺化に対応可能とし、生
産効率を上げる。 【解決手段】 ラミネート部１４を設け、積層体フイル
ム１７を基板に貼り付ける。フイルム供給回収部１２を
設け、ラミネート部１４へ積層体フイルム１７を供給す
ると共に、ラミネート部１４で貼り付けられた積層体フ
イルム１７のベースフイルム１７ａ、カバーフイルム１
７ｃを回収する。フイルム供給回収部１２を２階１１の
第１クリーンルーム１５に配置する。ラミネート部１４
を１階１３の第２クリーンルーム１６に配置する。フイ
ルム供給回収部１２とラミネート部１４とを階層的に分
離したから、積層体フイルム１７が長尺化しても、クリ
ーンルームが大型化することがなく、ランニングコスト
が下げられる。塵埃発生が高いフイルム供給回収部１２
と、高クリーン度が要求されるラミネート部１４とが分
離され、塵埃による障害の発生が抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂層とベ
ースフイルムとを有する積層体フイルムを、プリント配
線用基板、液晶パネル用基板、ＰＤＰ用基板等の各種基
板の表面に貼り付けた後に、ベースフイルムを基板から
剥がして、感光性樹脂層を基板に転写する転写設備及び
転写方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】感光性顔料分散液（感光性樹脂層）を塗
布した透光性ベースフイルムからなる着色フイルム（積
層体フイルム）をガラス基板に転写（ラミネート）し、
フォトリソグラフィ法で各色毎に露光・現像することに
より、液晶パネル用のカラーフィルタなどを製造するこ
とが行われている（例えば、特開平８−１６０２１５号
公報、特開平７−１５７１８６号公報、特開平１０−１
５１７１７号公報）。この製造方法では、ガラス基板へ
の塗布工程が不要となり、スピナー方式における突起欠
陥、白抜け欠陥等の諸問題を解決することができる。

【０００３】積層体フイルムは、帯状支持体に感光層を
塗布して、これをカバーフイルムで覆って構成されてお
り、ロール状に巻き取られている。ガラス基板への転写
では積層体フイルムを引き出してカバーフイルムを剥が
した後に、感光層側を基板の一方の面に合わせて、１対
の熱圧着ローラ間に通し、この熱圧着ローラによって、
積層体フイルムを基板に熱圧着する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、液晶
パネルの需要の増加に応じて、生産効率を上げるため
に、積層体フイルムを長尺化したいという要請がある。
このため、積層体フイルムの転写設備も大型化する傾向
がある。したがって、一般的な通常の高さのクリーンル
ームには転写設備が収まりにくいという問題がある。こ
れに対しては、クリーンルームを大型化することで対処
可能であるが、単に大型化すると、建屋やクリーンルー
ムの設備コストアップとともに、そのランニングコスト
も増大してしまうという問題がある。また、単に積層体
フイルムを長尺化すると巻き径の増大とともに、搬送時
や送出時に巻きずれが発生しやすくなるという問題もあ
る。

【０００５】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、積層体フイルムの長尺化に容易に対応することが
でき、しかも効率良く転写することができるようにした
積層体フイルム転写装置及び方法を提供することを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、複数の基板を離して連続
的に送りながら、複数の基板上に樹脂層とベースフイル
ムとの少なくとも２層からなる積層体フイルムを切断す
ることなく連続的に貼り付けていく積層体フイルム転写
設備において、前記積層体フイルムを前記基板に貼り付
けるラミネート部と、このラミネート部へ積層体フイル
ムを供給するとともに、前記ラミネート部で貼り付けら
れた積層体フイルムのベースフイルムを回収するフイル
ム供給回収部とを設け、これらラミネート部及びフイル
ム供給回収部を階層的または平面的に分離して配置して
いる。

【０００７】なお、前記フイルム供給回収部に、前記積
層体フイルムの耳部を切り取るスリッタ等の裁断装置を
設けることが好ましい。また、前記積層体フイルムはロ
ール形態で供給及び回収され、前記フイルム供給回収部
に、前記積層体フイルムを接合するスプライサを設ける
ことが好ましい。さらに、前記フイルム供給回収部と前
記ラミネート部とを別々のクリーンルームに配置し、前
記フイルム供給回収部が配置される第１クリーンルーム
よりも前記ラミネート部が配置される第２クリーンルー
ムのクリーン度を高くすることが好ましい。また、前記
第２クリーンルームを前記第１クリーンルームよりも加
圧し、これら各ルームの境界貫通部であって前記積層体
フイルム及びベースフイルムの通路に除塵装置を配置す
ることが好ましい。

【０００８】また、請求項１ないし５いずれか１つ記載
の積層体フイルム転写設備を用いて、積層体フイルムを
転写する方法において、前記積層体フイルムの種別の変
更に際して、前の積層体フイルムにリードフイルムを接
合することが好ましい。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の積層体フイルム転
写設備を示す概略図である。この積層体フイルム転写設
備は、建物１０の２階１１に設けたフイルム供給回収部
１２と、建物１０の１階１３に設けたラミネート部１４
とから構成されてている。前記フイルム供給回収部１２
は第１クリーンルーム１５内に配置され、前記ラミネー
ト部１４は第２クリーンルーム１６内に配置されてい
る。

【００１０】図２に示すように、積層体フイルム１７
は、ベースフイルム１７ａに図示しない補助層、中間層
などを介して感光層１７ｂが層設されており、更に感光
層１７ｂの上にはカバーフイルム１７ｃ、ベースフイル
ム１７ａの他方の面には帯電防止層１７ｄなどが層設さ
れている。

【００１１】第１クリーンルーム１５と第２クリーンル
ーム１６との間でのフイルム１７，１７ａ，１７ｃの出
し入れは、境界貫通部２１〜２３を介して行われる。第
１境界貫通部２１からは積層体フイルム１７が第１クリ
ーンルーム１５から第２クリーンルーム１６に向けて送
り出される。また、第２境界貫通部２２からは、カバー
フイルム１７ｃが第２クリーンルーム１６から第１クリ
ーンルーム１５に向けて送り出される。第３境界貫通部
２３からは、ベースフイルム１７ａが第２クリーンルー
ム１６から第１クリーンルーム１５に向けて送り出され
る。

【００１２】図３に示すように、第３境界貫通部２３の
２階側にはエアシール２４が配置されており、また、第
３境界貫通部２３の１階側にはエアシールを兼ねた除塵
装置２５が配置されている。図３は第３境界貫通部２３
を例にとって説明しているが、他の第１及び第２境界貫
通部２１，２２も同様の構成になっている。なお、符号
２３ａは境界貫通部２３に配置されるフイルム通路用ダ
クトを示している。

【００１３】エアシール２４は、フイルム１７ａの両面
に対面させて配置した吸引ノズル２４ａ，２４ｂから構
成されており、エアを吸引することで、第１クリーンル
ーム１５と第２クリーンルーム１６とを連結する境界貫
通部２３をシールする。

【００１４】除塵装置２５も、フイルム１７ａの両面に
対面させて配置した吸引ノズル２５ａ，２５ｂから構成
されており、吸引ノズル２５ａ，２５ｂ内には吹き出し
ノズル２５ｃ，２５ｄが配置されている。吹き出しノズ
ル２５ｃ，２５ｄからエアを吹き出して、この吹き出し
たエアにより除塵を行い、吸引ノズル２５ａ，２５ｂに
より吹き出したエア及び塵を吸引する。なお、各境界貫
通部２１〜２３には、２階にエアシール２４、１階に除
塵装置２５を配置しているが、この他に、各フイルムの
送り方向に合わせて、エアシール２４及び除塵装置２５
を順に配置してもよく、また逆に、フイルムの送り方向
に対して除塵装置２５、エアシール２４の順に配置して
もよい。また、このようなエアシールや除塵装置を設け
る代わりに、ラミネート部１４が配置されているクリー
ン度が高い第２クリーンルーム１６から第１クリーンル
ーム１５へ向けて加圧風を吹き出してもよい。

【００１５】図４に示すように、フイルム供給回収部１
２は、積層体フイルム送り出し装置３０、カバーフイル
ム巻き取り装置３１、ベースフイルム巻き取り装置３２
から構成されている。

【００１６】図４に示すように、積層体フイルム送り出
し装置３０は２軸ターレット方式とされており、一方の
送り出し軸３０ａで積層体フイルム１７を送り出し中
に、他方の送り出し軸３０ｂで空の巻き芯を取りだして
新たなフイルムロール１８をセットする。例えば、ラミ
ネート部１４で赤色フイルムを用いて転写を行っている
場合で、連続して赤色を転写する場合には、新たなフイ
ルムロール１８として赤色フイルムをセットする。ま
た、色替えの場合には、他の緑色、青色、黒色等のフイ
ルムロールに交換する。さらに、調整や条件出し、作業
停止等の場合には、仮通し用のリードフイルム（不要の
フイルムまたは、透明ベース等で保護フイルム付きのも
の）のフイルムロール１８に交換する。

【００１７】積層体フイルム送り出し装置３０のターレ
ットは２軸以上であればよい。フイルム送り出し装置３
０への各フイルムロール１８の搬送はスキッド台車３３
を用いて行う。スキッド台車３３は、図示しないフイル
ムロール収納部から新たなフイルムロール１８をフイル
ム送り出し装置３０へ搬送する。なお、本実施形態で
は、スキッド台車３３からフイルム送り出し装置３０へ
のフイルムロール１８のセットは、リフター昇降や送り
出し軸のインデックス切替えなどを人手で操作している
が、これはロボットハンド等の自動機械によって行って
もよい。

【００１８】積層体フイルム送り出し装置３０の送り出
し軸３０ａ，３０ｂには、フイルム弛み防止のためにバ
ックテンションがかけられており、このバックテンショ
ン付与装置としては、トルクモータ方式、パウダーブレ
ーキ方式、ＤＣまたはＡＣサーボモータ方式のものが用
いられ、これらは巻き径変化に関わらず一定張力を保
つ。

【００１９】積層体フイルム送り出し装置３０から送り
出された積層体フイルム１７またはリードフイルム（図
示せず）は、スプライサ３５に送られる。スプライサ３
５では、先にセットされているフイルム後端と、新たな
フイルムの先端とを自動的に接合する。本実施形態では
フイルム送りを停止することなく、接合テープを用いた
突き合わせ接合方式により自動接合しているが、これは
必要に応じて、フイルム送りを停止して接合してもよ
い。また、接合方式は他の方式、例えば重ね合わせ接合
方式でもよく、接合方法も超音波圧着や熱圧着などでも
よい。接合のタイミングは、設定器や残長検出器の出力
信号を用いる。例えば、途中切り換えでは、任意の設定
長さを読み込んだ切り換え信号を出力する設定器を用い
たり、任意の手動設定にて行う。また、使用中のフイル
ムを使い切る場合には、残長検出器を用いて、この残長
検出器による残長がスプライスに必要な長さに達したか
否かを検出し、この検出信号に基づき自動接合を行う。

【００２０】スプライサ３５から出た積層体フイルム１
７は、ダンサー３６及びリザーバー３７を介してスリッ
タ３８に送られる。ダンサー３６は、積層体フイルム１
７の緩みや張力変動を吸収するためのものであり、特に
自動接合時には有効である。また、図示の位置の他に、
図示は省略したが、ハーフカット及び剥離装置４５の前
後等のようにフイルムの弛みやテンション変動の発生し
やすい箇所にダンサーを適宜設置することが好ましい。
このダンサー３６はウェイトによりダンサーローラ３６
ａを昇降させるウェイト方式の他に、エアシリンダーと
ベロフラムとを組み合わせた方式、トルクモータ方式な
どのいずれの方式を用いてもよい。また、構造もシング
ルに限らず複数個のダンサーローラを有するダブルタイ
プ等としてもよい。

【００２１】リザーバー３７は積層体フイルム１７を一
時的に貯留して、スプライサ３５での接合時のフイルム
送り速度と、ラミネート部１４での転写時のフイルム送
り速度とに、差がでた場合にこれを吸収する。

【００２２】スリッタ３８は、２組のスリット刃３８
ａ，３８ｂを備えており、積層体フイルム１７の両側縁
の耳部を切り落とす。耳部には、フイルム製造時の搬送
・送り出し・巻取りの安定化や、スキッド搬送時の巻き
ずれ防止のために、凹凸状模様のローレットが形成され
ており、このスリッタ３８を通過することで、両端の耳
部が切り落とされる。切り落とされた耳部は、図示しな
い巻き取り装置により巻き取られて、回収される。ま
た、巻き取り部に代えて、カッタへ風送やロール搬送し
て送り込み、ここでチップ化処理してもよく、この場合
には後の廃棄処理が容易になる。このスリッタ３８は、
クリーン対応の除塵及び除電装置付きのものが好まし
い。スリット方式は、一般に使われる刃物による丸刃方
式や、レザー刃方式、レーザーカット方式のような熱方
式、水圧によるウォータージェット方式などいずれでも
よいが、いずれの方式でも充分なクリーン対策が必要で
ある。

【００２３】なお、スリッタ３８により積層体フイルム
１７の耳部のみを切り落とすようにしたが、これに限ら
ず、更に多くのスリット刃を設け、積層体フイルムを例
えば２スリットあるいはそれ以上に幅落としして多スリ
ット化してもよい。この場合には、下流側に多列のラミ
ネート部を設けて、これらにスリット化した積層体フイ
ルムを供給する。また、スリッタ３８の取付位置は上記
のものに限られず、ラミネート前であれば、どの位置で
あってもよい。

【００２４】スリッタ３８で耳部が切り落とされた積層
体フイルムは、第１境界貫通部２１を介して第２クリー
ンルーム１６に送られる。

【００２５】第２クリーンルーム１６では、まずサクシ
ョンドラム４０で積層体フイルム１７のカバーフイルム
１７ｃが剥がされる。このカバーフイルム１７ｃは、第
２境界貫通部２２を介して、第１クリーンルーム１５に
送られる。なお、第１境界貫通部２１からの積層体フイ
ルム１７及び第２境界貫通部２１へのカバーフイルム１
７ｃは、傾き角度θが９０°よりも小さくされている。
これにより、剥離前及び剥離後の積層体フイルム１７の
上に塵埃が落下しにくくなる。

【００２６】第１クリーンルーム１５内には、カバーフ
イルム巻き取り装置３１が設けられている。このカバー
フイルム巻き取り装置３１へ、リザーバー４１、ダンサ
ー４２を介してカバーフイルム１７ｃが送られる。この
カバーフイルム巻き取り装置３１は、基本的には積層体
フイルム送り出し装置３０と同様の構成であり、積層体
フイルム１７を送り出す代わりに、カバーフイルム１７
ｃを巻き取る。そして、一方の巻き取り軸３１ａで、カ
バーフイルム１７ｃが巻き取られると、他方の空の巻き
芯がセットされた巻取り軸３１ｂへカバーフイルム１７
ｃが自動巻付け機３１ｃにより巻き取られる。

【００２７】この巻付け機３１ｃは、連続して送られて
来るカバーフイルム１７ｃを切断し、この切断先端部を
巻き芯に巻き付けるもので、この巻付け処理は停止する
ことなく、ノンストップで行われるが、必要に応じて停
止して行ってもよい。そして、巻き取られたカバーフイ
ルムロール４３はスキッド台車４４に載せられて、カバ
ーフイルム収納部に送られる。また、リザーバー４１、
ダンサー４２も積層体フイルム送り出し部３０と同様に
構成されている。

【００２８】図５に示すように、サクションドラム４０
でカバーフイルム１７ｃが剥がされて、感光層１７ｂ
（図２参照）がむき出しにされたベースフイルム１７ａ
は、ハーフカット及び剥離装置４５に送られる。ハーフ
カット及び剥離装置４５では、ラミネート部１４におけ
る各基板（図示せず）の隙間に対応する部分の感光層を
剥離する。このため、ハーフカッタにより感光層のみに
切れ目を入れるハーフカットを行う。次に、このハーフ
カット部分で各基板の隙間部分に相当する感光層を粘着
テープ等によって自動的に剥離する。これらハーフカッ
ト及び剥離処理は、ベースフイルム１７ａの移動中に連
続して行われる。このため、ハーフカット及び剥離装置
は移動機構を備えており、この移動機構は、カッタ本体
及び剥離のための粘着テープ支持機構をフイルムの送り
に同期させて移動する。

【００２９】なお、ハーフカットはベースフイルム１７
ａを切り離さない程度できれいに感光層のみを取り除け
ればよいので、通常の円刃による切れ目をつける以外
に、鈍角刃または軽く押しつけたレザー刃等で押し跡や
溝状の切れ目等を付けるだけでもよい。更には、レーザ
ー方式のような熱方式、水圧によるウォタージェット方
式などのいずれの方式でもよいが、いずれの場合でも十
分なクリーン対策が必要である。

【００３０】また、感光層の剥離方法は、一般的に用い
られる粘着テープ方式の他に、レーザー加熱による蒸散
や、ブラスト方式を用いてよい。ブラスト方式では、砂
粒、プラスチックビーズ、ドライアイス粒などであって
剥離に適したものが吹きつけられる。また、感光層の剥
離に代えて、剥離対象部分にテープを貼り付けて、感光
層の不要部分の熱圧着ローラや基板への接着を阻止して
もよい。

【００３１】これらハーフカット及び剥離装置４５にお
いても、クリーン対策として、吸引ボックスや除塵ノズ
ルなどを設けられており、これらの図示は省略してい
る。

【００３２】ハーフカット及び剥離装置４５からのベー
スフイルム１７ａは、除電除塵装置４６により除電及び
除塵がされた後に、エアーダンサー等のテンション調整
装置４７により張力が調整される。これにより、ラミネ
ート中のフイルム１７ａに、テンション変動や、伸び・
弛み等の外乱が与えられることがなくなり、これら外乱
に起因する不良要因（例えば、ラミムラ、しわ、気泡
等）の発生が抑制される。なお、必要に応じて、更にサ
クションドラムを設けて、テンション変動や伸び・弛み
等の外乱がラミネータ５６に伝達されることがないよう
にしてもよい。

【００３３】テンション調整装置４７とラミネータ５６
との間には、更に蛇行修正装置４８、マーキング検出機
４９、面状検査機５０、ハーフカット位置検出器５１、
張力検出器５２が順に設けられている。

【００３４】蛇行修正装置４８は感光層１７ｂがむき出
しにされたベースフイルム１７ａの蛇行を修正する。な
お、蛇行修正装置４８はこの位置に限らず適宜位置に設
けてよい。マーキング検出機４９は、製造時の表面検査
工程でマーキングされた欠陥マークを検知器で検知す
る。また、面状検査機５０は、製造時に発生した積層体
フイルム自体の異物、スジ、色ムラ等の欠陥情報に基づ
き、欠陥を特定する。特定された欠陥部分は、ラミネー
タ５６において、基板送りを停止したり、または遅らせ
てスキップすることにより、欠陥部分の貼付を無くする
ことができ、ラミネート工程のロス減、生産効率向上を
図ることができる。また、同色フイルムで短尺品をつな
いだ場合には、その接合部分を欠陥と同じようにスキッ
プする。面検知としては、異物（凹凸、キズ等）に強い
レーザー方式及びムラ、スジ、色むら等の平面検出に適
しているＣＣＤカメラ等の画像処理方式、その他のいず
れでもよく、複数方式を備えていてもよい。なお、面状
検査機４９の前に除塵機を設け、付着ゴミを除いておく
と、その分だけ積層体フイルム１７の損失が抑えられ
る。

【００３５】張力検出器５２では、ラミネート部１４の
張力を検出する。この張力検出器５２では、この他にハ
ーフカットの位置を検出する。ハーフカット位置の検出
は、レーザー変位計などが用いられるが、その他のもの
であってもよい。このハーフカット位置の検出信号、及
びハーフカット装置のタイミング信号のどちらか、ある
いは両方の組み合わせに基づき、基板との貼り付け位置
の確認が行われる。

【００３６】ラミネート部１４は、基板予熱部５５、ラ
ミネータ５６、基板冷却部５７、ピーラー（剥離部）５
８から構成されている。基板予熱部５５では、基板に感
光層を貼り付けるために予熱する。ラミネータ５６で
は、予熱された基板を、ハーフカット部分の通過タイミ
ングに合わせて熱圧着ローラ５６ａに挿入し、基板に感
光層を熱圧着する。基板冷却部５７では、冷却エア吹き
付けや冷却ローラ等の冷却手段によって基板を冷却しな
がら搬送し、ほぼ室温（例えば３０℃）程度にする。ピ
ーラー５８では、基板からベースフイルム１７ａを剥が
す。これにより、感光層１７ｂが熱圧着された基板と、
ベースフイルム１７ａとに分離される。なお、符号５４
は基板の搬送路を示している。

【００３７】図１に示すように、ピーラー５８で基板か
ら剥がされたベースフイルム１７ａは、第３境界貫通部
２３を介して、ベースフイルム巻き取り装置３２に巻き
取られる。ベースフイルム巻き取り装置３２も、カバー
フイルム巻き取り装置３１と同様の構成になっており、
リザーバー６０、ダンサー６１を備えている。巻き芯に
巻き取られたベースフイルムロール６２はスキッド台車
６３に載せられて、図示しないベースフイルム収納部に
送られる。なお、符号６２ａは自動巻付け機である。ま
た、リザーバー６０、ダンサー６１も積層体フイルム送
り出し装置３０と同様に構成されている。

【００３８】ラミネート部１４には、図示は省略した
が、基板予熱部５５に各基板を供給する基板供給部と、
ピーラー５８でベースフイルム１７ａが剥離された基板
を排出する基板排出部とが設けられている。これら基板
の供給及び排出は、ロボットハンドや搬送ローラ等が用
いられるが、その他のハンドリング手段を用いてもよ
い。

【００３９】基板に感光層を熱圧着する場合に、従来で
は、ハーフカット位置からのパルス測長により基板投入
のタイミングが決定されていた。これに対して、本実施
形態では、この他に、熱圧着ローラ５６ａの近傍に設け
たハーフカット位置検出器５１を併用している。そし
て、パルス長とハーフカット位置検出信号とを比較しな
がら修正係数に基づき修正する。または、どちらかの信
号を優先してこの信号をメインとして採用する等のロジ
ックを工夫する。これにより、ハーフカット位置からの
パルス測長では、ラミネート位置までのフイルム長が長
くなりがちなため誤差が大きく、更に過熱やテンション
によるフイルムの伸び、ばらつき等による位置ずれのお
それがあったが、本実施形態では２つの検出結果に基づ
き基板投入のタイミングが決定されるため、安定性及び
位置決め精度に優れる。しかも、ラミネート工程での重
要ポイントである貼り付け位置についての制御が二重と
なるため、一方がダウンしても他方がバックアップとな
るため、安定性がより一層高まる。

【００４０】なお、色替えの場合、例えば赤色から緑色
へ転写するフイルムを変える場合には、緑色感光層の最
初の転写対象基板の通過に合わせて、赤色フイルムと緑
色フイルムの接合部をスキップさせ、基板と転写するフ
イルムとの位置を合わせることにより、ラミネート部１
４を停止させることなくノンストップで色替えすること
ができる。

【００４１】このように、ラミネート部１４を配置して
なる第２クリーンルーム１６を建物１０の１階１３に設
け、フイルム供給回収部１２を配置してなる第１クリー
ンルーム１５を建物の２階１１に設けることにより、そ
れぞれのクリーンルーム１５，１６自体はそれほど大型
化することがなく、クリーンレベルの確保とともにラン
ニングコストの低減を図ることができる。

【００４２】また、製造原反ロールを用いた長尺化によ
る運送効率の向上、切り替え頻度の減少に加えて、倉庫
（ロール収納部）とラミネータ間の自動搬入搬出化によ
る省力化、積層体フイルム、カバーフイルム、ベースフ
イルム等の自動交換と自動接合とによる停止ロス減や切
り替え時間の短縮化、リードフイルムを用いた送り出し
によるフイルムロス防止化などによって、効率的な生産
が可能になる。

【００４３】上記実施形態ではラミネート部１４を下側
の１階１３に配置したが、図６に示すように、ラミネー
ト部７０を上側の２階１１に配置し、フイルム供給回収
部７１を下側の１階１３に配置してもよい。この場合に
は、塵の発生しやすいフイルム送り出し、巻き取りが下
の階になるので、図１に示す設備に比べて、境界貫通部
７２，７３からの塵埃の進入に対しては有利になる。た
だし、基板は通常はラミネート面が上側として搬送され
るので、ラミネートに際して基板をその上流側及び下流
側で反転する必要がある。反転されてラミネート面が下
側とされた基板は、エア吹き出し等によりラミネート面
に非接触式で搬送され、ラミネータ５６に送り出され
る。なお、図１に示すものと同一構成部材には同一符号
が付してある。

【００４４】上記各実施形態では、図１及び図６に示す
ように、建物１０の鉛直方向でフイルム供給回収部１
２，７１とラミネート部１４，７０とを分離して配置し
たが、この他に、建物の水平方向で両者を分離して配置
してもよい。この場合には、図７に示すように、フイル
ム供給回収部７５とラミネート部７６とを平面方向に並
べて配置し、両者の間でエアターンバー７７，７８，７
９を用いて、フイルム１７，１７ａ，１７ｃの供給及び
回収を行う。なお、図１に示すものと同一構成部材には
同一符号が付してある。積層体フイルム送り出し装置３
０からは、積層体フイルム１７が送り出され、エアター
ンバー７７を用いてラミネート部７６に送られる。ま
た、ラミネート部７６で剥離されたカバーフイルム１７
ｃはエアターンバー７８を用いて、カバーフイルム巻き
取り装置３１に送られる。また、ラミネート部７６で基
板から剥離されたベースフイルム１７ａはエアターンバ
ー７９を用いてベースフイルム巻き取り装置３２に送ら
れる。この場合に、ラミネート部７６、各装置３０〜３
２は各装置単位でクリーンルームに配置してもよく、ま
た、フイルム供給回収部７５とラミネート部７６とを別
々のクリーンルームに配置してもよい。さらには、これ
らを同一のクリーンルーム内に配置してもよい。

【００４５】エアターンバー７７〜７９は、例えば４５
度の傾斜でハ字形に配置されており、その周面にはエア
吹き出し孔が形成されている。これらのエアターンバー
７７〜７９によって積層体フイルム１７，ベースフイル
ム１７ａ，カバーフイルム１７ｃがオフセットされて送
り出される。なお、エアターンバー７７〜７９の代わり
に、他の各種方向転換部材を用いて、フイルムをオフセ
ットさせて送り出してもよい。

【００４６】なお、各ロール収納部とフイルム供給回収
部との間には、フイルムロールのカバーを脱着するため
に、エアシャワー室が設けられており、このエアシャワ
ー室でのカバー脱着作業などは人手により行われるが、
これ以外は全自動搬送としている。また、ラミネート作
業や、各フイルム１７，１７ａ，１７ｃの在庫管理はシ
ステム化されており、自動管理として可能な限り無人化
が図られている。このように無人化を徹底することによ
り、塵埃源である作業者の出入りが少なくなり、クリー
ン確保が容易になる。なお、送り出し、巻き取り、ラミ
ネート部はクリーンブース内に収めて、個別にクリーン
化を図ることが望ましい。特に、スキッド台車の待機部
とは完全にブース分離し、クリーン化を確保することが
特に望ましい。

【００４７】上記実施形態ではカバーフイルム１７ｃ付
きの積層体フイルム１７を用いたが、これに代えて、カ
バーフイルム無しの積層体フイルムを用いてもよい。こ
の場合には、カバーフイルム剥離部や巻き取り装置３１
が不要となり、設備構成が簡素になる。また、上記実施
形態では、ハーフカット及び剥離装置４５の下流側に蛇
行修正装置４８を設けているが、この蛇行修正装置４８
は、フイルネ供給回収部１２やラミネート部１４の適宜
位置にも設けることが好ましい。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、積層体フイルムを基板
に貼り付けるラミネート部と、積層体フイルムをラミネ
ート部に供給し、感光層を転写した後のベースフイルム
及びカバーフイルムを回収するフイルム供給回収部と
を、階層的または平面的に分離して配置したから、積層
体フイルムを長尺化して生産効率を上げる場合でも、ク
リーンルームの増大が抑制され、クリーンレベルの確保
が容易で、且つランニングコストが抑えられる。塵埃発
生が高いフイルム供給回収部と、高クリーン度が要求さ
れるラミネート部とが分離され、塵埃による障害の発生
が抑制される。

【００４９】積層体フイルムの耳部を切り取る裁断装置
を設けることにより、フイルムの両側縁の耳切りが可能
になる。これにより、フイルム製造後の原反ロールを巻
きなおして耳切りする必要もなくなり、原反ロールをそ
のまま使用することができる。このため、長尺化に容易
に対応することができる他に、ローレット加工された耳
部を備えることにより、巻きずれも発生しにくくなる。

【００５０】積層体フイルムはロール形態で供給及び回
収され、フイルム供給回収部に積層体フイルムを接合す
るスプライサを設けることにより、無停止で連続して転
写することが可能になり、生産効率が向上する。また、
フイルム供給回収部とラミネート部とを別々のクリーン
ルームに配置し、前記フイルム供給回収部が配置される
第１クリーンルームよりもラミネート部が配置される第
２クリーンルームのクリーン度を高くすることにより、
塵埃の影響を少なくすることができる。さらに、第２ク
リーンルームを第１クリーンルームよりも加圧し、これ
ら各ルームの境界貫通部であって積層体フイルム及びベ
ースフイルムの通路に除塵装置を設けることにより、塵
埃の発生が高いフイルム供給回収部からの塵埃の侵入を
抑制することができる。また、積層体フイルムの種別の
変更に際して、前の積層体フイルムにリードフイルムを
接合することにより、フイルム種別の変更を効率良く行
うことができる他に、切り替えロスが少なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層体フイルム転写設備を示す概略図
である。

【図２】積層体フイルムの層構造を示す断面図である。

【図３】境界貫通部を拡大して示す要部断面図である。

【図４】積層体フイルム送り出し装置を示す概略図であ
る。

【図５】積層体フイルムの剥離部からラミネータまでを
示す概略図である。

【図６】ラミネート部を上の階に設けた他の実施形態を
示す概略図である。

【図７】ラミネート部とフイルム供給回収部とを平面方
向に並べた他の実施形態を示す概略図である。

【符号の説明】

１０ 建物 １２，７１，７５ フイルム供給回収部 １４，７０，７６ ラミネート部 １５，１６ クリーンルーム １７ 積層体フイルム １８ フイルムロール ２１〜２３ 境界貫通部 ２４ エアシール ２５ 除塵装置 ３０ 積層体フイルム送り出し装置 ３１ カバーフイルム巻き取り装置 ３２ ベースフイルム巻き取り装置 ３３，４４ スキッド台車 ４０ サクションドラム ４５ ハーフカット及び剥離装置 ４６ 除電除塵装置 ４７ テンション調整装置 ４９ マーキング検出機 ５０ 面状検査機 ５１ ハーフカット位置検出器 ５６ ラミネータ ７７〜７９ エアターンバー

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F211 AD10 AD20 AG02 AG03 AH36 AH73 AM31 TA03 TC02 TD11 TH19 TJ13 TJ15 TJ30 TJ31 TN43 TQ03 TW23 TW45 5E339 CE11 CE14 CF01 CF16 CF17 DD04 EE10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を離して連続的に送りなが
   ら、複数の基板上に樹脂層とベースフイルムとの少なく
   とも２層からなる積層体フイルムを切断することなく連
   続的に貼り付けていく積層体フイルム転写設備におい
   て、 前記積層体フイルムを前記基板に貼り付けるラミネート
   部と、 このラミネート部へ積層体フイルムを供給するととも
   に、前記ラミネート部で貼り付けられた積層体フイルム
   のベースフイルムを回収するフイルム供給回収部とを設
   け、 これらラミネート部及びフイルム供給回収部を階層的ま
   たは平面的に分離して配置したことを特徴とする積層体
   フイルム転写設備。
2. 【請求項２】 前記フイルム供給回収部に、前記積層体
   フイルムの耳部を切り取る裁断装置を設けたことを特徴
   とする請求項１記載の積層体フイルム転写設備。
3. 【請求項３】 前記積層体フイルムはロール形態で供給
   及び回収され、前記フイルム供給回収部に、前記積層体
   フイルムを接合するスプライサを設けたことを特徴とす
   る請求項１または２記載の積層体フイルム転写設備。
4. 【請求項４】 前記フイルム供給回収部と前記ラミネー
   ト部とを別々のクリーンルームに配置し、前記フイルム
   供給回収部が配置される第１クリーンルームよりも前記
   ラミネート部が配置される第２クリーンルームのクリー
   ン度を高くしたことを特徴とする請求項１ないし３いず
   れか１つ記載の積層体フイルム転写設備。
5. 【請求項５】 前記第２クリーンルームを前記第１クリ
   ーンルームよりも加圧し、これら各ルームの境界貫通部
   であって前記積層体フイルム及びベースフイルムの通路
   に除塵装置を配置したことを特徴とする請求項４記載の
   積層体フイルム転写設備。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５いずれか１つ記載の積
   層体フイルム転写設備を用いて、積層体フイルムを転写
   する方法において、 前記積層体フイルムの種別の変更に際して、前の積層体
   フイルムにリードフイルムを接合することを特徴とする
   積層体フイルムの転写方法。