JP4233204B2 - 感光性積層材料の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性積層材料の製造方法及び製造装置に関し、可撓性プラスチックシート支持体、感光材料層、そして保護プラスチックフィルムがこの順に積層されてなる長尺状感光性シートを用い、その感光材料層を、別に用意した基板の上に順次、連続的に積層（ラミネート）するに際し、ごみの付着に起因する欠陥を生じない感光性積層材料を得るのに好適な感光性積層材料の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の上に感光性樹脂層などの感光材料層を積層した感光性積層材料は、プリント配線基板やカラーフィルタの製造に用いる感光材料として利用されている。このような感光性積層材料の用途として液晶パネルがあるが、液晶パネルの重要課題は、製造コストを下げることにある。とりわけ、カラーフィルターは、液晶パネルに占めるコストの比率が高く、カラーフィルターの歩留まりを上げることが液晶パネルのコストダウンに大きく寄与する。
【０００３】
カラーフィルターを基板上に形成する方法としてスピンコート法がある。しかしながら、この方法は、高価な高分散顔料液を大量に吹き飛ばすため、高価な高分散顔料液の使用率が低く、カラーフィルターの製造コストが高くなる欠点がある。
【０００４】
一方、カラーフィルターの製造方法としてラミネート法がある。この方法は、それぞれの画素用の感光材料層付き帯状支持体を基板上や画素上にラミネートして画素を形成する方法であるため、スピンコート法に比べると、感光材料層付き帯状支持体の利用率が遥かに高くなり、カラーフィルターの製造コストを低くできる利点がある。
【０００５】
ラミネート法によるカラーフィルターの製造方法において、カラーフィルターの歩留まりを低下させる大きな要因は、カラーフィルターの製造工程で混入するゴミによる欠陥の発生である。ラミネート法によるカラーフィルターの製造工程には、感光材料層付き帯状支持体から保護フィルムを剥がす工程、基板と貼り合わせる領域以外の感光材料層の部分を支持体から剥離する工程、ラミネート後の基板と張り合わされていない支持体の部分を切断する工程等から、感光材料層のゴミ、支持体のゴミ等が浮遊し、これらのゴミが付着した状態で感光材料層が積層された基板が作製され、この基板がパターン露光工程、現像工程等を経てＲ、Ｇ、Ｂの各画素の１つが形成される。
【０００６】
前記と同様なラミネート工程、パターン露光工程、現像工程等でＲ、Ｇ、Ｂの各画素の他の画素が形成されてカラーフィルターが形成される。また、少なくとも一つの画素を形成する際にゴミに起因する欠陥が発生すると、カラーフィルター自体の欠陥の発生となる。したがって、それぞれの画素を形成するためのラミネート工程におけるゴミの付着を防止することがカラーフィルターの歩留まり、ひいては液晶パネルの歩留まりを上げることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ラミネート工程におけるゴミの付着を極力無くすことによってカラーフィルターの歩留まりを上げることができる感光性積層材料の製造方法及びその製造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した目的は、下記の感光性積層材料の製造方法及び製造装置によって達成される。
すなわち、本発明の感光性積層材料の製造方法は、
＜１＞可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層をラミネートする感光性積層材料を製造する方法において、前記基板に前記感光性材料層をラミネートする前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に粘着ロールを接触させることを特徴とする感光性積層材料の製造方法である。
本願発明の感光性積層材料の製造装置は
可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層を熱圧着ローラを介してラミネートする感光性積層材料を製造する装置において、前記基板と前記感光性材料層のラミネート前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に接触させるように粘着ロールを配置したことを特徴とする感光性積層材料の製造装置である。
【０００９】
本発明の感光性積層材料の製造方法によれば、感光材料層が積層された基板が作製される段階で粘着ローラによって感光材料層及び／または基板からゴミが除去されて粘着ローラに付着する結果、感光材料層が積層された基板をパターン露光する際のゴミに起因する欠陥部分が生じない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態をカラーフィルターの製造を例にとって図面に基づいて説明する。
本発明において、基板と感光材料層をラミネートする際のそれぞれ貼り合せ面側に粘着ローラを設け、基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面に付着したゴミを粘着ローラを介して除去することが望ましい。また、これらの手段と並行してラミネート前または後の基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面と反対側の面に付着したゴミを粘着ローラを介して除去することも望ましい。
【００１１】
粘着ローラは、感光材料層付き帯状支持体や基板の搬送に伴って駆動してもフリーロール化してもよい。粘着ローラは小さすぎると、粘着ローラのメンテナンスの頻度が多くなり、大きすぎると工程に導入しにくい。したがって、粘着ローラの径は１．０ｃｍ〜１０ｃｍ程度が望ましい。粘着ローラは、公知の除塵用粘着ローラが使用可能であり、例えば、ローラ表面がシリコーンゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム等からなるものが望ましい。粘着ローラのローラ表面の材質は、基板、感光材料層、支持体（フィルム）等の材質、及びゴミの材質等に対応させて任意に選定することができる。また、粘着ローラのローラ表面の粘着力が強すぎると、支持体（フィルム）搬送や基板搬送の障害とする可能性がある反面、粘着力が低すぎると、ゴミ除去効果が小さすぎ、本発明の所期する十分な効果を期待することができない。したがって、基板、感光材料層、支持体（フィルム）等の材質、及びゴミの材質等に応じて任意な粘着力に調整すべきである。
【００１２】
また、粘着ローラは、粘着力と共に導電性を有することが望ましい。粘着ローラが粘着力と導電性を有すると、ラミネート工程での静電気の発生を防止でき、これにより静電気に起因するゴミ、欠陥の発生を抑制することができる。粘着ローラは長時間にわたって使用すると、ローラ表面に次第にゴミが付着し、粘着性能が低下するおそれがある。この場合、所定の間隔で粘着ローラを取り外してローラ表面を純水等で洗浄して粘着性能を復元させた後、再度粘着ローラを装着したゴミの除去を行なうことができる。また、粘着ローラのローラ表面に周接してクリーニングローラを配置してもよい。この場合、粘着ローラの表面に付着したゴミをクリーニングローラに付着させて粘着ローラの粘着性能を常時維持することができる。
【００１３】
図１及び図２は、本発明の好ましい実施の形態を概略的に示す説明図であって、図１は基板に対して感光材料層を下貼り合わせする態様を示し、図２は基板に対して、感光材料層を上貼り合わせする態様を示している。
図１において、基板１に対して感光材料層２を有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５を介してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材料層２側の面にそれぞれ粘着ローラ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅが配置されている。
【００１４】
粘着ローラ６Ａ、６Ｂは、基板１の材質等によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。また、粘着ローラ６Ｃは、感光材料層の組成等に応じてローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。粘着ローラ６Ｂ、６Ｃは、基板１と感光材料層２との間に混入されるようとするゴミを除去することができ、最も好ましい態様である。粘着ローラ６Ａは、カラーフィルターを製造する際、透明な基板１を介して裏露光によりパターン露光するときに基板１面に付着したゴミによる露光欠陥の発生を防止することができる。
【００１５】
図２において、基板１に対して感光材料層２を有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５を介してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材料層２側の面にそれぞれ粘着ローラ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ、７Ｅが配置されている。
【００１６】
粘着ローラ７Ａ、７Ｂは、基板１の材質等によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。また、粘着ローラ７Ｃは、支持体（フィルム）及び感光材料層の組成等に応じてローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。粘着ローラ７Ｂ、７Ｃは、基板１と感光材料層２との間に混入されるようとするゴミを除去することができ、最も好ましい態様である。粘着ローラ７Ａは、カラーフィルターを製造する際、透明な基板１を介して裏露光によりパターン露光するときに基板１面に付着したゴミによる露光欠陥の発生を防止することができる。
【００１７】
図１及び図２においては、ラミネート前に基板１及び感光材料層２を粘着ローラを接触させてゴミを除去する態様を示しており、この態様の場合、粘着ローラを配置上支障のない範囲でできるだけラミネート直前が望ましい。また、本発明においては、ラミネート後に基板１及び感光材料層２を粘着ローラに接触させてゴミを除去するようにしてもよい。感光材料層を基板に積層させる工程には、ラミネート後、支持体を切断する工程があり、この切断工程においてゴミが発生しやすい。これらのゴミが粘着ローラによって除去するためには，ラミネート後であって、前記切断工程の下流側に粘着ローラを配置させて切断工程等で発生したゴミが付着した基板面からゴミを除去することが望ましい。
また、ゴミを確実に除去するために、ゴム硬度や粘着ローラの押圧をコントロールすることも可能であり、特にＴＦＴ基板のような凹凸のある基板の上にラミネートして感光性積層材料を得る場合に重要である。
なお、原理的には、基板やフィルムへの押し付け圧がほぼ０であってもゴミの除去は可能である。さらに粘着ローラは適当な温度まで加熱してもよい。この場合、粘着ローラ表面のゴムが軟化し、より良好な基板と感光性材料とのコンタクト状態を実現することができる。
【００１８】
図３は、本発明の感光性積層材料を製造するための長尺状感光性シートを示す断面図である。この感光材料層付き帯状支持体１０は、帯状の可撓性プラスチックシート支持体１１の一方の表面に感光材料層１２が設けられ、さらに感光材料層１２の表面上、感光材料層を保護するための保護プラスチックフィルム１３が覆設された構造からなっている。プラスチックシート支持体１１としては、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンその他のポリマーから作られたフィルム（一般に１０〜２００μｍの厚さを有する）が使用できる。感光材料層１２は、通常は、光重合性レジストで形成されたものであり、一般に１〜３μｍの層厚を有するものである。この光重合性レジストとしては特に限定されず、どのような材料であってもよい。また、熱圧着性を向上させるために、支持体と感光材料層との間に中間層を介在させることもできる。この中間層は、例えば、ポリビニルアルコールなどの樹脂で形成することができ、一般に１０〜５０μｍの層厚を有する。
【００１９】
図４は、本発明の感光性積層材料の製造装置の好ましい実施の形態を示す概略的構成図であって、この装置は、保護フィルム感光層切断部、保護フィルム除去部、シート基板裏返し部、感光層熱圧着部、帯状支持体切断部、シート基板表返し部とから構成されている。なお、感光層は感光材料層ともいう。
【００２０】
粘着ローラは、保護フィルム除去部と感光材料層熱圧着部との間で、長尺状感光性シート３１の感光材料層面側に接触するように配置された粘着ローラ１５と、基板３２が熱圧着ローラ３７、３８の間に挿入される前の段階で基板３２の下面側に接触するように配置された粘着ローラ１６とからなる。特に図示していないが粘着ローラ１５と感光材料層付き帯状支持体３１を挟んで反対面側に支持部材を設け、粘着ローラ１５の押圧による感光材料層付き帯状支持体３１の弛みを防止するようにしてもよい。
【００２１】
この感光性積層材料において、シート基板裏返し部では、図４で左から右方向へ搬送ローラ３３で送られて来たシート基板３２を、裏返しアーム３５で下側より保持し、持ち上げ、アームを回転し裏返して搬送ローラ３３に載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を下に向ける。シート基板３２の裏返しまでは裏面接触搬送でよいが、裏返し後は下側の表面に搬送ローラ３３が接触しないように、シート基板３２のエッジ接触で搬送する。シート基板加熱部では、ヒータ３４でシート基板３２を約５０〜１１０℃の温度で加熱する。
【００２２】
また、別に設けたロール４３から、保護フィルムを付けた状態の感光材料層付き帯状支持体（長尺状感光性シート）３１を巻き出し、これを走行させながら、保護フィルム・感光材料層切断部において、積層領域（基板に接合させる領域）と非積層領域（基板に接合させない領域）との境界にて、保護フィルムと感光材料層とを一緒を切断し（支持体は切断しない）、次いで保護フィルム除去部で積層領域（基板に接合させる予定の領域）の保護フィルムを除去する。
【００２３】
保護フィルム・感材層切断部は、感光材料層付き帯状支持体３１を固定保持しながらその搬送方向に一緒に移動可能な固定台３９、そしてその感光材料層付き帯状支持体３１の搬送方向とは直角の方向（即ち保護フィルム切断方向）に移動することができ、カッター刃４１が固定されたスライド台４０からなる。感光材料層付き帯状支持体３１を固定する固定台３９は、保護フィルムと感光材料層の切断時には感光材料層付き帯状支持体を固定保持しながら感光材料層付き帯状支持体３１の走行速度と同じ速度で搬送方向に移動し、保護フィルム・感光材料層の切断が終了すると、感光材料層付き帯状支持体３１を放し、その後スタート位置に戻る。スライド台４０には、感光材料層付き帯状支持体３１の移動方向に対して直角に向けたカッター刃４１を、保護フィルムを残す領域の幅に合わせて二枚配置し、例えばシリンダーやバネ等を利用して、調整可能な一定の刃圧で感光材料層付き帯状支持体３１の上の保護フィルム表面に接触する様に固定する。また、切断工程では、板状の粘着シートをカッター刃と連動させてもよく、カッター刃と連動してフィルム幅方向に径の小さな粘着ローラをフィルム幅方向に移動させる構造を採用してもよい。
【００２４】
保護フィルム・感光材料層の切断は次のように行なわれる。まず、固定台３９が感光材料層付き帯状支持体３１を保持し、該帯状支持体３１の走行速度と同じ速度で移動しながら、スライド台４０のカッター刃４１が固定台３９上の帯状支持体３１の保護フィルム表面に押し当てられ、切断方向に移動する。カッター刃４１は感光材料層付き帯状支持体３１上の保護フィルムと感光材料層とをのみ切断するように作用する。そして、スライド台４０は、カッター刃４１が感光材料層付き帯状支持体３１の少なくとも端まで移動したら、後退する。上記の保護フィルム・感光材料層切断工程において、固定台３９が感光材料層付き帯状支持体３１の移動に同期して移動しているため、保護フィルムと感光材料層との切断は、感光材料層付き帯状支持体が走行して移動状態にあっても、感光材料層付き帯状支持体３１の幅方向に直角に行なわれる。
【００２５】
次に、保護フィルム除去部は、感光材料層付き帯状支持体の搬送系において、保護フィルム・感光材料層切断部の後に位置し、粘着テープの巻き出しローラ４４ｂと回収ローラ４４ａ、及び保護フィルムへの押し付けローラ４４ｃからなる保護フィルム除去ユニットが、感光材料層付き帯状支持体の平面に対して略垂直方向に移動する機構となっている。保護フィルム除去部に、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィルムの先頭部の切断線（基板への積層領域の先端部）が搬送されてくると、保護フィルム除去ユニットの粘着テープ押し付けローラ４４ｃが保護フィルムに押し付けられ、保護フィルムと粘着テープが密着する。粘着テープの巻き出しローラ４４ｂ、回収ローラ４４ａ、押し付けローラ４４ｃが、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ速度で回転し、保護フィルムを感光材料層から剥ぎ取りながら、回収ローラ４４ａに巻き込むように除去していく。そして、次の非積層領域との境界である切断部手前まで来ると、保護フィルム除去ユニットは感光材料層付き帯状支持体３１の表面より離れる。従って、積層領域（接合予定領域）の保護フィルムのみが除去され、非積層領域の保護フィルムは巻き取られることなく、感光材料層上に残る。
【００２６】
次に保護フィルム感光材料層切断部、その他の工程で飛散し、感光材料層付き帯状支持体３１の感光材料層１２面に付着したゴミ等が粘着ローラ１５に付着して感光材料層１２面から除去される。熱圧着ローラ部では、一対の熱圧着ローラが、それぞれシート基板の上方に上の熱圧着ローラ３８及び下方に下の熱圧着ローラ３７が対向する位置に設けられ、上の熱圧着ローラ３８の両端にはシリンダー等で下方に圧力がかけられる構造となっている。上下の熱圧着ローラ３７、３８は協同して、シート基板３２の上に感光材料層付き帯状支持体３１の感光材料層を熱圧着する役割と、シート基板３２を支持し搬送することの役割を持つ。上下の熱圧着ローラ３７、３８は、シート基板３２を挟んでいない時にはシート基板の厚さより小さい隙間で非接触状態にて対向している。
【００２７】
感光材料層付き帯状支持体３１は、粘着ローラ１５によって感光材料層１２面側のゴミ等が除去された後、下の熱圧着ローラ３７に巻き付けられ、その先端は、熱圧着ローラ３７、３８の出口側にあるサクション付きベルト４５に保持される。サクション付きベルト４５は、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ移動速度で動き、穴のあいた搬送ベルトの下側に設置された真空室４６の作用で感光材料層付き帯状支持体３１の先端付近が吸引保持されている。シート基板３２が連続して送られて来ない時は、熱圧着ローラ３７、３８とサクション付きベルト４５とは、感光材料層付き帯状支持体３１を保持しながら、その移動速度に同期して回転している。
【００２８】
予備加熱され、裏返しにされたシート基板３２は左方向から送られて来ると、シート基板押し出し機構部で一旦停止し待機する。このシート基板押し出し機構部は、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィルム除去部分（保護フィルムが存在していない領域）の端を、反射率または透過率の変化を利用してセンサにより感知して、シート基板３２の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端部が来るように、一定速度で搬送される感光材料層付き帯状支持体１に同期させて、押し出し機構３６によってシート基板３２をタイミング良く熱圧着ローラ３７、３８の間に押し出す。このとき、粘着ローラ１６は、基板３２の下側（加熱面側）に付着したゴミ等を基板３２から除去する。
【００２９】
その後、シート基板３２がその熱圧着ローラの隙間に侵入すると同時に、熱圧着ローラ３８により上方から圧力が掛かり、感光材料層付き帯状支持体３１とシート基板３２とが熱圧着される。そして、シート基板３２の後端位置まで感光材料層付き帯状支持体３１が熱圧着されると、上の熱圧着ローラ３８の圧力は解除され、シート基板３２の表面から僅かに離れる。
【００３０】
一方、その間に次のシート基板が予備加熱されたのち裏返しにされ、シート基板押し出し機構部で待機している。上記の工程が完了し、シート基板押し出し機構部が感光材料層付き帯状支持体３１の次の保護フィルム除去部分の先端を感知すると、同様にして、シート基板の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端が来るように、一定速度で走行する感光材料層付き帯状支持体３１に同期させ、タイミングよくシート基板を熱圧着ローラ３７、３８の隙間に押し出す。上記のように、感光材料層付き帯状支持体３１の走行を停止することなく連続的に順次帯状感光材料層付き帯状支持体３１とシート基板とを熱圧着していく。
【００３１】
サクション付きベルト４５による感光材料層付き帯状支持体３１の先端の保持は、シート基板３２が連続して熱圧着ローラ３７、３８に投入されていない時の仮の保持であり、シート基板３２が投入されてラミネートが連続的に行われている時は、サクション付きベルト４５の真空室は不作動となる。そして、感光材料層付き帯状支持体３１にシート基板３２が貼り付いた状態で図４の右側に搬送される。帯状支持体切断部には、下側に固定刃４８、そして上側にロータリー刃４７が設置され、シート基板３２が接合している感光材料層付き帯状支持体３１が移動してくると、シート基板と次のシート基板の間の領域の保護フィルムと感光材料層とが共に残留している部分を切断し、順次シート基板を切り離す。
【００３２】
感光材料層付き帯状支持体３１が熱圧着され、切り離させれたシート基板３２は、帯状支持体が、その基板の両端部より突き出た状態で、シート基板表返し部まで搬送され、上方より熱圧着体を基板表返しアーム４９で裏面を保持しながら持ち上げ、次いで基板表返しアーム４９を回転し、熱圧着体を表返したのち搬送ローラに載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を上側に向けた状態とされ、次工程（図示なし）に搬送されるか、あるいはシート基板カセット（図示なし）に回収される。
【００３３】
また、熱圧着体４５には、帯状支持体切断部、その他の工程で発生するゴミ等が付着するおそれがある。熱圧着体４５の両面に付着したゴミ等はシート基板表返し部に設けられた一対の粘着ローラ５０、５１により除去される。その後、熱圧着体は次工程においてパターン露光、現像工程等を経て、１つの画素（Ｒ）が形成される。
【００３４】
同様にして１つの画素（Ｒ）が形成された基板に対して、図３に示す装置によって再び感光材料層が積層され、パターン露光、現像工程等を経て、次の画素（Ｇ）が形成される。次に画素（Ｒ）、画素（Ｇ）が形成された基板に対して感光材料層が積層され、パターン露光、現像工程等を経て、次の画素（Ｂ）が形成される。これらの一連の工程において、粘着ローラにより確実にゴミ等が除去されるため、パターン露光工程等において、ゴミ等の付着に起因する欠陥の発生を防止することができ、カラーフィルターの歩留まりを上げることができる。
【００３５】
図４に示す方法は、基板下貼りの方式の例を示したが、本発明は基板上貼り方式の場合にも図４と同様に粘着ローラを配置してゴミ等を除去することができる。
【００３６】
図５は、基板上貼り方式の例を示す概略的構成図である。図５において、１００Ａ、１００Ｂが粘着ローラであり、熱圧着ローラ１１７と１１８は、エアシリンダー１２８が動作することによって開閉するようになっている。まず、感光材料層１２１のシート基板１０２への積層準備として、手動操作により上部のフィルムロール１１３から巻き出した保護フィルム１２２付き感光材料層積層フィルム１０１をバキュームプレート１２４と支持体保持部材１２６で吸着保持する。
【００３７】
ローラ１４１と１４２の間に保護フィルム１２２と感光材料層１２１の剥離再積層部分をセットする方法としては、まず保護フィルム１２２付きの感光材料層積層フィルム１０１をローラ１４１及び１４２の間で弛みを付けてセットし、バキュームプレート１２４と支持体保持部材１２６で吸着保持する。手動で保護フィルム１２２付きの感光材料層積層フィルム１０１の先端から保護フィルム１２２をローラ１４１まで剥離して、剥離した保護フィルム１２２をピンと張った状態で再び感光材料層面に積層させる。保護フィルム付き感光材料層積層フィルムが搬送されても、この保護フィルム１２２と感光材料層１２１の剥離再積層部分はローラ１４１及び１４２の間に停滞する為、フィルム搬送により自動的に剥離と再積層が進行する。これにより、保護フィルム１２２と感光材料層１２１の間にエアの層が入り、保護フィルムと感光材料層間の密着力が格段に低下して、後の保護フィルム剥離が容易になる。
【００３８】
ロータリーカッター１１７及び１１８で、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１の供給方向の先端側を切り揃える。これで準備完了し、搬送ローラー１０３によりシート基板１０２が搬送されてくるのを待機する。
【００３９】
次に、一連の積層動作を開始すると、シート基板１０２の両面は、それぞれ、粘着ローラ１００Ａ、１００Ｂと接触し、表面に付着したゴミが除去される。そして、搬送ローラー１０３により、加熱ヒーター１０４で所定の温度まで予備加熱したシート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２が熱圧着動作位置１３０に接近してくる検出信号に基づいて、感光材料層積層領域の先端位置１３２を熱圧着動作位置１３０に停止させる。
【００４０】
支持体保持部材１２６及び固定刃１１８を右の退避位置に移動し、粘着テープ押し付けローラー１１４ｃをバキュームプレート１２４の先端部傾斜部に沿って、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１を押さえつけて、支持体フィルム１２０をバキュームプレート１２４の先端部に吸着保持させながら、粘着テープ１１２を保護フィルム１２２に粘着させる。次いで、粘着テープ１１２を回収ローラ１１４ａで巻き上げながら粘着テープ押し付けローラー１１４ｃを引っ込める。保護フィルム１２２は、粘着テープ１１２に引っ張られ感光材料層積層フィルム１０１の先端から剥離し、保護フィルム及び粘着テープ回収ローラ１１４ａに巻き取られる。
【００４１】
次に、仮付けヒーター１２５で、感光材料層積層フィルム１０１の先端を加熱する。シート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２に感光材料層積層フィルムの先端を適度な圧力がかかるように押し当てて仮付けする。この時の押し当て圧力でシート基板１０２が撓まないように、バキュームプレート１２４と同じ形状の補助台（図示せず）が上昇してシート基板１０２を下から支える。
【００４２】
一方、仮付け時に、感光材料層積層フィルム１０１の感光材料層積層領域の後端位置に位置したカッター１１１を動作させ、保護フィルム１２２及び感光材料層１２１に切断線を入れる。
【００４３】
次に、感光材料層積層フィルム１０１の吸着保持を解除してバキュームプレート１２４及びその先端部を感光材料層仮付け位置から離反する。バキュームプレート１２４の離反動作が終了した時点で、固定刃１１８と支持体保持部材１２６は帯状支持体１２０に接近させる。
【００４４】
熱圧着ローラー退避位置１３１から熱圧着動作位置１３０へ熱圧着ローラー１０７及び１０８が移動し、シート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２に適度な押圧力で当接する。熱圧着ローラー１０７及び１０８の回転力と搬送ローラー１０３の回転再開によりシート基板１０２を搬送し、熱圧着ローラー１０７及び１０８の回転により自動的に感光材料層積層フィルムを供給しながらシート基板２の感光材料層積層領域の先端位置１３２から後端位置に向かってシート基板１０２の感光材料層貼付け面に所定の距離だけ感光材料層積層フィルムを熱圧着する。
【００４５】
熱圧着ローラー１０７及び１０８によって、シート基板１０２及び感光材料層積層フィルム１０１を搬送と同時に保護フィルム１２２を連続的に剥離し、保護フィルム１２２及び感光材料層１２１を切断した感光材料層積層領域の後端位置１３４で、保護フィルム１２２の回収は完了する。
【００４６】
次に、感光材料層積層フィルム１０１の熱圧着はさらに進行し、シート基板１０２の感光材料層積層領域の後端位置が熱圧着動作位置１３０まできた時、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１をロータリーカッター１１７及び１１８で切断する。
【００４７】
次に、熱圧着ローラー１１７及び１１８が開き、熱圧着ローラー退避位置１３１に戻ると共に、熱圧着されたシート基板１０２は搬送機構によって右に搬送され装置より次工程に出され、次のシート基板１０２が搬送されてくるまで待機する。
このような一連の動作において、シート基板１０２上のゴミが除去されており、シート基板１０２と感光材料層１２１との間にほとんどゴミが介在することがなく、また、シート基板１０２の裏面（感光材料層１２１の積層側と反対側）にもほとんどゴミが介在しないので、ゴミに起因する欠陥の発生を未然に防止することができる。
【００４８】
【実施例】
（参考例１）
粘着ローラとして宮川ローラ（株）性の粘着ローラ（ローラ表面：ブチルゴム） を使用し、クラス１００００のクリーンブースでのモデルテストにて感光材料層面をラミネートする工程前の基板（ガラス）に粘着ローラを接触させた後、熱圧着ローラによって感光材料層面をラミネートして熱圧着体を作製した。
【００４９】
（参考例２）
ラミネート工程前の感光材料層に粘着ローラを接触させた以外は、参考例１と同じである。
【００５０】
（実施例１）
ラミネート工程前の基板（ガラス）と感光材料層にそれぞれ粘着ローラを接触させた以外は、実施例１と同じである。
【００５１】
（比較例）
粘着ローラを用いない以外は、実施例１と同じである。
【００５２】
＜評価＞
得られた熱圧着体の欠陥数を目視によって測定し、その結果を評価した。
○ ： 欠陥がほとんどない。
△ ： 欠陥がわずかにある。
× ： 欠陥が多い。
【００５３】
参考例１ ： △
参考例２ ： △
実施例１ ： ○
比較例 ： ×
【００５４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ラミネート工程におけるゴミの付着を極力無くすことによってゴミに起因する欠陥の発生を防止し、カラーフィルターの歩留まりを上げることができ、これによって液晶パネルのコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好ましい一実施の形態を示す説明図である。
【図２】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好ましい他の実施の形態を示す説明図である。
【図３】 本発明における感光材料層付き帯状支持体の断面図である。
【図４】 本発明の感光性積層材料の製造装置の好ましい一実施の形態を示す概略的構成図である。
【図５】 本発明の感光性積層材料の製造装置の他の実施の形態を示す概略的構成図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 感光材料層
３ 感光材料層付き帯状支持体
４，５ 熱圧着ローラ
６Ａ〜６Ｃ 粘着ローラ
７Ａ〜７Ｃ 粘着ローラ
１０ 長尺状感光性シート
１１ 支持体
１２ 感光材料層
１３ 保護プラスチックフィルム
１５，１６ 粘着ローラ
３１ 長尺状感光性シート
３２ シート基板
３３ 搬送ローラ
３４ 加熱ヒータ
３５ 基板裏返しアーム
３６ 基板押し出し機構
３７ 下の熱圧着ローラ
３８ 上の熱圧着ローラ
３９ 長尺状感光性シートの固定台
４０ スライド台
４１ カッター刃
４２ 粘着テープ（保護フィルム除去用）
４３ 長尺状感光性シートの巻き出し用ロール
４４ａ 保護フィルム回収ローラ
４４ｂ 粘着テープ巻き出しローラ
４４ｃ 粘着テープ押し付けローラ
４５ サクション付きベルト
４６ 真空室
４７ ロータリー刃
４８ 固定刃
４９ 基板表返しアーム
５０，５１ 粘着ローラ
１００Ａ、１００Ｂ 粘着ローラ
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性積層材料の製造方法及び製造装置に関し、可撓性プラスチックシート支持体、感光材料層、そして保護プラスチックフィルムがこの順に積層されてなる長尺状感光性シートを用い、その感光材料層を、別に用意した基板の上に順次、連続的に積層（ラミネート）するに際し、ごみの付着に起因する欠陥を生じない感光性積層材料を得るのに好適な感光性積層材料の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の上に感光性樹脂層などの感光材料層を積層した感光性積層材料は、プリント配線基板やカラーフィルタの製造に用いる感光材料として利用されている。このような感光性積層材料の用途として液晶パネルがあるが、液晶パネルの重要課題は、製造コストを下げることにある。とりわけ、カラーフィルターは、液晶パネルに占めるコストの比率が高く、カラーフィルターの歩留まりを上げることが液晶パネルのコストダウンに大きく寄与する。
【０００３】
カラーフィルターを基板上に形成する方法としてスピンコート法がある。しかしながら、この方法は、高価な高分散顔料液を大量に吹き飛ばすため、高価な高分散顔料液の使用率が低く、カラーフィルターの製造コストが高くなる欠点がある。
【０００４】
一方、カラーフィルターの製造方法としてラミネート法がある。この方法は、それぞれの画素用の感光材料層付き帯状支持体を基板上や画素上にラミネートして画素を形成する方法であるため、スピンコート法に比べると、感光材料層付き帯状支持体の利用率が遥かに高くなり、カラーフィルターの製造コストを低くできる利点がある。
【０００５】
ラミネート法によるカラーフィルターの製造方法において、カラーフィルターの歩留まりを低下させる大きな要因は、カラーフィルターの製造工程で混入するゴミによる欠陥の発生である。ラミネート法によるカラーフィルターの製造工程には、感光材料層付き帯状支持体から保護フィルムを剥がす工程、基板と貼り合わせる領域以外の感光材料層の部分を支持体から剥離する工程、ラミネート後の基板と張り合わされていない支持体の部分を切断する工程等から、感光材料層のゴミ、支持体のゴミ等が浮遊し、これらのゴミが付着した状態で感光材料層が積層された基板が作製され、この基板がパターン露光工程、現像工程等を経てＲ、Ｇ、Ｂの各画素の１つが形成される。
【０００６】
前記と同様なラミネート工程、パターン露光工程、現像工程等でＲ、Ｇ、Ｂの各画素の他の画素が形成されてカラーフィルターが形成される。また、少なくとも一つの画素を形成する際にゴミに起因する欠陥が発生すると、カラーフィルター自体の欠陥の発生となる。したがって、それぞれの画素を形成するためのラミネート工程におけるゴミの付着を防止することがカラーフィルターの歩留まり、ひいては液晶パネルの歩留まりを上げることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ラミネート工程におけるゴミの付着を極力無くすことによってカラーフィルターの歩留まりを上げることができる感光性積層材料の製造方法及びその製造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した目的は、下記の感光性積層材料の製造方法及び製造装置によって達成される。
すなわち、本発明の感光性積層材料の製造方法は、
＜１＞可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層をラミネートする感光性積層材料を製造する方法において、前記基板に前記感光性材料層をラミネートする前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に粘着ロールを接触させることを特徴とする感光性積層材料の製造方法である。
本願発明の感光性積層材料の製造装置は
可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層を熱圧着ローラを介してラミネートする感光性積層材料を製造する装置において、前記基板と前記感光性材料層のラミネート前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に接触させるように粘着ロールを配置したことを特徴とする感光性積層材料の製造装置である。
【０００９】
本発明の感光性積層材料の製造方法によれば、感光材料層が積層された基板が作製される段階で粘着ローラによって感光材料層及び／または基板からゴミが除去されて粘着ローラに付着する結果、感光材料層が積層された基板をパターン露光する際のゴミに起因する欠陥部分が生じない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態をカラーフィルターの製造を例にとって図面に基づいて説明する。
本発明において、基板と感光材料層をラミネートする際のそれぞれ貼り合せ面側に粘着ローラを設け、基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面に付着したゴミを粘着ローラを介して除去することが望ましい。また、これらの手段と並行してラミネート前または後の基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面と反対側の面に付着したゴミを粘着ローラを介して除去することも望ましい。
【００１１】
粘着ローラは、感光材料層付き帯状支持体や基板の搬送に伴って駆動してもフリーロール化してもよい。粘着ローラは小さすぎると、粘着ローラのメンテナンスの頻度が多くなり、大きすぎると工程に導入しにくい。したがって、粘着ローラの径は１．０ｃｍ〜１０ｃｍ程度が望ましい。粘着ローラは、公知の除塵用粘着ローラが使用可能であり、例えば、ローラ表面がシリコーンゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム等からなるものが望ましい。粘着ローラのローラ表面の材質は、基板、感光材料層、支持体（フィルム）等の材質、及びゴミの材質等に対応させて任意に選定することができる。また、粘着ローラのローラ表面の粘着力が強すぎると、支持体（フィルム）搬送や基板搬送の障害とする可能性がある反面、粘着力が低すぎると、ゴミ除去効果が小さすぎ、本発明の所期する十分な効果を期待することができない。したがって、基板、感光材料層、支持体（フィルム）等の材質、及びゴミの材質等に応じて任意な粘着力に調整すべきである。
【００１２】
また、粘着ローラは、粘着力と共に導電性を有することが望ましい。粘着ローラが粘着力と導電性を有すると、ラミネート工程での静電気の発生を防止でき、これにより静電気に起因するゴミ、欠陥の発生を抑制することができる。粘着ローラは長時間にわたって使用すると、ローラ表面に次第にゴミが付着し、粘着性能が低下するおそれがある。この場合、所定の間隔で粘着ローラを取り外してローラ表面を純水等で洗浄して粘着性能を復元させた後、再度粘着ローラを装着したゴミの除去を行なうことができる。また、粘着ローラのローラ表面に周接してクリーニングローラを配置してもよい。この場合、粘着ローラの表面に付着したゴミをクリーニングローラに付着させて粘着ローラの粘着性能を常時維持することができる。
【００１３】
図１及び図２は、本発明の好ましい実施の形態を概略的に示す説明図であって、図１は基板に対して感光材料層を下貼り合わせする態様を示し、図２は基板に対して、感光材料層を上貼り合わせする態様を示している。
図１において、基板１に対して感光材料層２を有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５を介してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材料層２側の面にそれぞれ粘着ローラ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅが配置されている。
【００１４】
粘着ローラ６Ａ、６Ｂは、基板１の材質等によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。また、粘着ローラ６Ｃは、感光材料層の組成等に応じてローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。粘着ローラ６Ｂ、６Ｃは、基板１と感光材料層２との間に混入されるようとするゴミを除去することができ、最も好ましい態様である。粘着ローラ６Ａは、カラーフィルターを製造する際、透明な基板１を介して裏露光によりパターン露光するときに基板１面に付着したゴミによる露光欠陥の発生を防止することができる。
【００１５】
図２において、基板１に対して感光材料層２を有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５を介してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材料層２側の面にそれぞれ粘着ローラ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ、７Ｅが配置されている。
【００１６】
粘着ローラ７Ａ、７Ｂは、基板１の材質等によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。また、粘着ローラ７Ｃは、支持体（フィルム）及び感光材料層の組成等に応じてローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。粘着ローラ７Ｂ、７Ｃは、基板１と感光材料層２との間に混入されるようとするゴミを除去することができ、最も好ましい態様である。粘着ローラ７Ａは、カラーフィルターを製造する際、透明な基板１を介して裏露光によりパターン露光するときに基板１面に付着したゴミによる露光欠陥の発生を防止することができる。
【００１７】
図１及び図２においては、ラミネート前に基板１及び感光材料層２を粘着ローラを接触させてゴミを除去する態様を示しており、この態様の場合、粘着ローラを配置上支障のない範囲でできるだけラミネート直前が望ましい。また、本発明においては、ラミネート後に基板１及び感光材料層２を粘着ローラに接触させてゴミを除去するようにしてもよい。感光材料層を基板に積層させる工程には、ラミネート後、支持体を切断する工程があり、この切断工程においてゴミが発生しやすい。これらのゴミが粘着ローラによって除去するためには，ラミネート後であって、前記切断工程の下流側に粘着ローラを配置させて切断工程等で発生したゴミが付着した基板面からゴミを除去することが望ましい。
また、ゴミを確実に除去するために、ゴム硬度や粘着ローラの押圧をコントロールすることも可能であり、特にＴＦＴ基板のような凹凸のある基板の上にラミネートして感光性積層材料を得る場合に重要である。
なお、原理的には、基板やフィルムへの押し付け圧がほぼ０であってもゴミの除去は可能である。さらに粘着ローラは適当な温度まで加熱してもよい。この場合、粘着ローラ表面のゴムが軟化し、より良好な基板と感光性材料とのコンタクト状態を実現することができる。
【００１８】
図３は、本発明の感光性積層材料を製造するための長尺状感光性シートを示す断面図である。この感光材料層付き帯状支持体１０は、帯状の可撓性プラスチックシート支持体１１の一方の表面に感光材料層１２が設けられ、さらに感光材料層１２の表面上、感光材料層を保護するための保護プラスチックフィルム１３が覆設された構造からなっている。プラスチックシート支持体１１としては、一般にポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンその他のポリマーから作られたフィルム（一般に１０〜２００μｍの厚さを有する）が使用できる。感光材料層１２は、通常は、光重合性レジストで形成されたものであり、一般に１〜３μｍの層厚を有するものである。この光重合性レジストとしては特に限定されず、どのような材料であってもよい。また、熱圧着性を向上させるために、支持体と感光材料層との間に中間層を介在させることもできる。この中間層は、例えば、ポリビニルアルコールなどの樹脂で形成することができ、一般に１０〜５０μｍの層厚を有する。
【００１９】
図４は、本発明の感光性積層材料の製造装置の好ましい実施の形態を示す概略的構成図であって、この装置は、保護フィルム感光層切断部、保護フィルム除去部、シート基板裏返し部、感光層熱圧着部、帯状支持体切断部、シート基板表返し部とから構成されている。なお、感光層は感光材料層ともいう。
【００２０】
粘着ローラは、保護フィルム除去部と感光材料層熱圧着部との間で、長尺状感光性シート３１の感光材料層面側に接触するように配置された粘着ローラ１５と、基板３２が熱圧着ローラ３７、３８の間に挿入される前の段階で基板３２の下面側に接触するように配置された粘着ローラ１６とからなる。特に図示していないが粘着ローラ１５と感光材料層付き帯状支持体３１を挟んで反対面側に支持部材を設け、粘着ローラ１５の押圧による感光材料層付き帯状支持体３１の弛みを防止するようにしてもよい。
【００２１】
この感光性積層材料において、シート基板裏返し部では、図４で左から右方向へ搬送ローラ３３で送られて来たシート基板３２を、裏返しアーム３５で下側より保持し、持ち上げ、アームを回転し裏返して搬送ローラ３３に載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を下に向ける。シート基板３２の裏返しまでは裏面接触搬送でよいが、裏返し後は下側の表面に搬送ローラ３３が接触しないように、シート基板３２のエッジ接触で搬送する。シート基板加熱部では、ヒータ３４でシート基板３２を約５０〜１１０℃の温度で加熱する。
【００２２】
また、別に設けたロール４３から、保護フィルムを付けた状態の感光材料層付き帯状支持体（長尺状感光性シート）３１を巻き出し、これを走行させながら、保護フィルム・感光材料層切断部において、積層領域（基板に接合させる領域）と非積層領域（基板に接合させない領域）との境界にて、保護フィルムと感光材料層とを一緒を切断し（支持体は切断しない）、次いで保護フィルム除去部で積層領域（基板に接合させる予定の領域）の保護フィルムを除去する。
【００２３】
保護フィルム・感材層切断部は、感光材料層付き帯状支持体３１を固定保持しながらその搬送方向に一緒に移動可能な固定台３９、そしてその感光材料層付き帯状支持体３１の搬送方向とは直角の方向（即ち保護フィルム切断方向）に移動することができ、カッター刃４１が固定されたスライド台４０からなる。感光材料層付き帯状支持体３１を固定する固定台３９は、保護フィルムと感光材料層の切断時には感光材料層付き帯状支持体を固定保持しながら感光材料層付き帯状支持体３１の走行速度と同じ速度で搬送方向に移動し、保護フィルム・感光材料層の切断が終了すると、感光材料層付き帯状支持体３１を放し、その後スタート位置に戻る。スライド台４０には、感光材料層付き帯状支持体３１の移動方向に対して直角に向けたカッター刃４１を、保護フィルムを残す領域の幅に合わせて二枚配置し、例えばシリンダーやバネ等を利用して、調整可能な一定の刃圧で感光材料層付き帯状支持体３１の上の保護フィルム表面に接触する様に固定する。また、切断工程では、板状の粘着シートをカッター刃と連動させてもよく、カッター刃と連動してフィルム幅方向に径の小さな粘着ローラをフィルム幅方向に移動させる構造を採用してもよい。
【００２４】
保護フィルム・感光材料層の切断は次のように行なわれる。まず、固定台３９が感光材料層付き帯状支持体３１を保持し、該帯状支持体３１の走行速度と同じ速度で移動しながら、スライド台４０のカッター刃４１が固定台３９上の帯状支持体３１の保護フィルム表面に押し当てられ、切断方向に移動する。カッター刃４１は感光材料層付き帯状支持体３１上の保護フィルムと感光材料層とをのみ切断するように作用する。そして、スライド台４０は、カッター刃４１が感光材料層付き帯状支持体３１の少なくとも端まで移動したら、後退する。上記の保護フィルム・感光材料層切断工程において、固定台３９が感光材料層付き帯状支持体３１の移動に同期して移動しているため、保護フィルムと感光材料層との切断は、感光材料層付き帯状支持体が走行して移動状態にあっても、感光材料層付き帯状支持体３１の幅方向に直角に行なわれる。
【００２５】
次に、保護フィルム除去部は、感光材料層付き帯状支持体の搬送系において、保護フィルム・感光材料層切断部の後に位置し、粘着テープの巻き出しローラ４４ｂと回収ローラ４４ａ、及び保護フィルムへの押し付けローラ４４ｃからなる保護フィルム除去ユニットが、感光材料層付き帯状支持体の平面に対して略垂直方向に移動する機構となっている。保護フィルム除去部に、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィルムの先頭部の切断線（基板への積層領域の先端部）が搬送されてくると、保護フィルム除去ユニットの粘着テープ押し付けローラ４４ｃが保護フィルムに押し付けられ、保護フィルムと粘着テープが密着する。粘着テープの巻き出しローラ４４ｂ、回収ローラ４４ａ、押し付けローラ４４ｃが、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ速度で回転し、保護フィルムを感光材料層から剥ぎ取りながら、回収ローラ４４ａに巻き込むように除去していく。そして、次の非積層領域との境界である切断部手前まで来ると、保護フィルム除去ユニットは感光材料層付き帯状支持体３１の表面より離れる。従って、積層領域（接合予定領域）の保護フィルムのみが除去され、非積層領域の保護フィルムは巻き取られることなく、感光材料層上に残る。
【００２６】
次に保護フィルム感光材料層切断部、その他の工程で飛散し、感光材料層付き帯状支持体３１の感光材料層１２面に付着したゴミ等が粘着ローラ１５に付着して感光材料層１２面から除去される。熱圧着ローラ部では、一対の熱圧着ローラが、それぞれシート基板の上方に上の熱圧着ローラ３８及び下方に下の熱圧着ローラ３７が対向する位置に設けられ、上の熱圧着ローラ３８の両端にはシリンダー等で下方に圧力がかけられる構造となっている。上下の熱圧着ローラ３７、３８は協同して、シート基板３２の上に感光材料層付き帯状支持体３１の感光材料層を熱圧着する役割と、シート基板３２を支持し搬送することの役割を持つ。上下の熱圧着ローラ３７、３８は、シート基板３２を挟んでいない時にはシート基板の厚さより小さい隙間で非接触状態にて対向している。
【００２７】
感光材料層付き帯状支持体３１は、粘着ローラ１５によって感光材料層１２面側のゴミ等が除去された後、下の熱圧着ローラ３７に巻き付けられ、その先端は、熱圧着ローラ３７、３８の出口側にあるサクション付きベルト４５に保持される。サクション付きベルト４５は、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ移動速度で動き、穴のあいた搬送ベルトの下側に設置された真空室４６の作用で感光材料層付き帯状支持体３１の先端付近が吸引保持されている。シート基板３２が連続して送られて来ない時は、熱圧着ローラ３７、３８とサクション付きベルト４５とは、感光材料層付き帯状支持体３１を保持しながら、その移動速度に同期して回転している。
【００２８】
予備加熱され、裏返しにされたシート基板３２は左方向から送られて来ると、シート基板押し出し機構部で一旦停止し待機する。このシート基板押し出し機構部は、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィルム除去部分（保護フィルムが存在していない領域）の端を、反射率または透過率の変化を利用してセンサにより感知して、シート基板３２の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端部が来るように、一定速度で搬送される感光材料層付き帯状支持体１に同期させて、押し出し機構３６によってシート基板３２をタイミング良く熱圧着ローラ３７、３８の間に押し出す。このとき、粘着ローラ１６は、基板３２の下側（加熱面側）に付着したゴミ等を基板３２から除去する。
【００２９】
その後、シート基板３２がその熱圧着ローラの隙間に侵入すると同時に、熱圧着ローラ３８により上方から圧力が掛かり、感光材料層付き帯状支持体３１とシート基板３２とが熱圧着される。そして、シート基板３２の後端位置まで感光材料層付き帯状支持体３１が熱圧着されると、上の熱圧着ローラ３８の圧力は解除され、シート基板３２の表面から僅かに離れる。
【００３０】
一方、その間に次のシート基板が予備加熱されたのち裏返しにされ、シート基板押し出し機構部で待機している。上記の工程が完了し、シート基板押し出し機構部が感光材料層付き帯状支持体３１の次の保護フィルム除去部分の先端を感知すると、同様にして、シート基板の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端が来るように、一定速度で走行する感光材料層付き帯状支持体３１に同期させ、タイミングよくシート基板を熱圧着ローラ３７、３８の隙間に押し出す。上記のように、感光材料層付き帯状支持体３１の走行を停止することなく連続的に順次帯状感光材料層付き帯状支持体３１とシート基板とを熱圧着していく。
【００３１】
サクション付きベルト４５による感光材料層付き帯状支持体３１の先端の保持は、シート基板３２が連続して熱圧着ローラ３７、３８に投入されていない時の仮の保持であり、シート基板３２が投入されてラミネートが連続的に行われている時は、サクション付きベルト４５の真空室は不作動となる。そして、感光材料層付き帯状支持体３１にシート基板３２が貼り付いた状態で図４の右側に搬送される。帯状支持体切断部には、下側に固定刃４８、そして上側にロータリー刃４７が設置され、シート基板３２が接合している感光材料層付き帯状支持体３１が移動してくると、シート基板と次のシート基板の間の領域の保護フィルムと感光材料層とが共に残留している部分を切断し、順次シート基板を切り離す。
【００３２】
感光材料層付き帯状支持体３１が熱圧着され、切り離させれたシート基板３２は、帯状支持体が、その基板の両端部より突き出た状態で、シート基板表返し部まで搬送され、上方より熱圧着体を基板表返しアーム４９で裏面を保持しながら持ち上げ、次いで基板表返しアーム４９を回転し、熱圧着体を表返したのち搬送ローラに載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を上側に向けた状態とされ、次工程（図示なし）に搬送されるか、あるいはシート基板カセット（図示なし）に回収される。
【００３３】
また、熱圧着体４５には、帯状支持体切断部、その他の工程で発生するゴミ等が付着するおそれがある。熱圧着体４５の両面に付着したゴミ等はシート基板表返し部に設けられた一対の粘着ローラ５０、５１により除去される。その後、熱圧着体は次工程においてパターン露光、現像工程等を経て、１つの画素（Ｒ）が形成される。
【００３４】
同様にして１つの画素（Ｒ）が形成された基板に対して、図３に示す装置によって再び感光材料層が積層され、パターン露光、現像工程等を経て、次の画素（Ｇ）が形成される。次に画素（Ｒ）、画素（Ｇ）が形成された基板に対して感光材料層が積層され、パターン露光、現像工程等を経て、次の画素（Ｂ）が形成される。これらの一連の工程において、粘着ローラにより確実にゴミ等が除去されるため、パターン露光工程等において、ゴミ等の付着に起因する欠陥の発生を防止することができ、カラーフィルターの歩留まりを上げることができる。
【００３５】
図４に示す方法は、基板下貼りの方式の例を示したが、本発明は基板上貼り方式の場合にも図４と同様に粘着ローラを配置してゴミ等を除去することができる。
【００３６】
図５は、基板上貼り方式の例を示す概略的構成図である。図５において、１００Ａ、１００Ｂが粘着ローラであり、熱圧着ローラ１１７と１１８は、エアシリンダー１２８が動作することによって開閉するようになっている。まず、感光材料層１２１のシート基板１０２への積層準備として、手動操作により上部のフィルムロール１１３から巻き出した保護フィルム１２２付き感光材料層積層フィルム１０１をバキュームプレート１２４と支持体保持部材１２６で吸着保持する。
【００３７】
ローラ１４１と１４２の間に保護フィルム１２２と感光材料層１２１の剥離再積層部分をセットする方法としては、まず保護フィルム１２２付きの感光材料層積層フィルム１０１をローラ１４１及び１４２の間で弛みを付けてセットし、バキュームプレート１２４と支持体保持部材１２６で吸着保持する。手動で保護フィルム１２２付きの感光材料層積層フィルム１０１の先端から保護フィルム１２２をローラ１４１まで剥離して、剥離した保護フィルム１２２をピンと張った状態で再び感光材料層面に積層させる。保護フィルム付き感光材料層積層フィルムが搬送されても、この保護フィルム１２２と感光材料層１２１の剥離再積層部分はローラ１４１及び１４２の間に停滞する為、フィルム搬送により自動的に剥離と再積層が進行する。これにより、保護フィルム１２２と感光材料層１２１の間にエアの層が入り、保護フィルムと感光材料層間の密着力が格段に低下して、後の保護フィルム剥離が容易になる。
【００３８】
ロータリーカッター１１７及び１１８で、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１の供給方向の先端側を切り揃える。これで準備完了し、搬送ローラー１０３によりシート基板１０２が搬送されてくるのを待機する。
【００３９】
次に、一連の積層動作を開始すると、シート基板１０２の両面は、それぞれ、粘着ローラ１００Ａ、１００Ｂと接触し、表面に付着したゴミが除去される。そして、搬送ローラー１０３により、加熱ヒーター１０４で所定の温度まで予備加熱したシート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２が熱圧着動作位置１３０に接近してくる検出信号に基づいて、感光材料層積層領域の先端位置１３２を熱圧着動作位置１３０に停止させる。
【００４０】
支持体保持部材１２６及び固定刃１１８を右の退避位置に移動し、粘着テープ押し付けローラー１１４ｃをバキュームプレート１２４の先端部傾斜部に沿って、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１を押さえつけて、支持体フィルム１２０をバキュームプレート１２４の先端部に吸着保持させながら、粘着テープ１１２を保護フィルム１２２に粘着させる。次いで、粘着テープ１１２を回収ローラ１１４ａで巻き上げながら粘着テープ押し付けローラー１１４ｃを引っ込める。保護フィルム１２２は、粘着テープ１１２に引っ張られ感光材料層積層フィルム１０１の先端から剥離し、保護フィルム及び粘着テープ回収ローラ１１４ａに巻き取られる。
【００４１】
次に、仮付けヒーター１２５で、感光材料層積層フィルム１０１の先端を加熱する。シート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２に感光材料層積層フィルムの先端を適度な圧力がかかるように押し当てて仮付けする。この時の押し当て圧力でシート基板１０２が撓まないように、バキュームプレート１２４と同じ形状の補助台（図示せず）が上昇してシート基板１０２を下から支える。
【００４２】
一方、仮付け時に、感光材料層積層フィルム１０１の感光材料層積層領域の後端位置に位置したカッター１１１を動作させ、保護フィルム１２２及び感光材料層１２１に切断線を入れる。
【００４３】
次に、感光材料層積層フィルム１０１の吸着保持を解除してバキュームプレート１２４及びその先端部を感光材料層仮付け位置から離反する。バキュームプレート１２４の離反動作が終了した時点で、固定刃１１８と支持体保持部材１２６は帯状支持体１２０に接近させる。
【００４４】
熱圧着ローラー退避位置１３１から熱圧着動作位置１３０へ熱圧着ローラー１０７及び１０８が移動し、シート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２に適度な押圧力で当接する。熱圧着ローラー１０７及び１０８の回転力と搬送ローラー１０３の回転再開によりシート基板１０２を搬送し、熱圧着ローラー１０７及び１０８の回転により自動的に感光材料層積層フィルムを供給しながらシート基板２の感光材料層積層領域の先端位置１３２から後端位置に向かってシート基板１０２の感光材料層貼付け面に所定の距離だけ感光材料層積層フィルムを熱圧着する。
【００４５】
熱圧着ローラー１０７及び１０８によって、シート基板１０２及び感光材料層積層フィルム１０１を搬送と同時に保護フィルム１２２を連続的に剥離し、保護フィルム１２２及び感光材料層１２１を切断した感光材料層積層領域の後端位置１３４で、保護フィルム１２２の回収は完了する。
【００４６】
次に、感光材料層積層フィルム１０１の熱圧着はさらに進行し、シート基板１０２の感光材料層積層領域の後端位置が熱圧着動作位置１３０まできた時、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１をロータリーカッター１１７及び１１８で切断する。
【００４７】
次に、熱圧着ローラー１１７及び１１８が開き、熱圧着ローラー退避位置１３１に戻ると共に、熱圧着されたシート基板１０２は搬送機構によって右に搬送され装置より次工程に出され、次のシート基板１０２が搬送されてくるまで待機する。
このような一連の動作において、シート基板１０２上のゴミが除去されており、シート基板１０２と感光材料層１２１との間にほとんどゴミが介在することがなく、また、シート基板１０２の裏面（感光材料層１２１の積層側と反対側）にもほとんどゴミが介在しないので、ゴミに起因する欠陥の発生を未然に防止することができる。
【００４８】
【実施例】
（参考例１）
粘着ローラとして宮川ローラ（株）性の粘着ローラ（ローラ表面：ブチルゴム） を使用し、クラス１００００のクリーンブースでのモデルテストにて感光材料層面をラミネートする工程前の基板（ガラス）に粘着ローラを接触させた後、熱圧着ローラによって感光材料層面をラミネートして熱圧着体を作製した。
【００４９】
（参考例２）
ラミネート工程前の感光材料層に粘着ローラを接触させた以外は、参考例１と同じである。
【００５０】
（実施例１）
ラミネート工程前の基板（ガラス）と感光材料層にそれぞれ粘着ローラを接触させた以外は、実施例１と同じである。
【００５１】
（比較例）
粘着ローラを用いない以外は、実施例１と同じである。
【００５２】
＜評価＞
得られた熱圧着体の欠陥数を目視によって測定し、その結果を評価した。
○ ： 欠陥がほとんどない。
△ ： 欠陥がわずかにある。
× ： 欠陥が多い。
【００５３】
参考例１ ： △
参考例２ ： △
実施例１ ： ○
比較例 ： ×
【００５４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ラミネート工程におけるゴミの付着を極力無くすことによってゴミに起因する欠陥の発生を防止し、カラーフィルターの歩留まりを上げることができ、これによって液晶パネルのコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好ましい一実施の形態を示す説明図である。
【図２】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好ましい他の実施の形態を示す説明図である。
【図３】 本発明における感光材料層付き帯状支持体の断面図である。
【図４】 本発明の感光性積層材料の製造装置の好ましい一実施の形態を示す概略的構成図である。
【図５】 本発明の感光性積層材料の製造装置の他の実施の形態を示す概略的構成図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 感光材料層
３ 感光材料層付き帯状支持体
４，５ 熱圧着ローラ
６Ａ〜６Ｃ 粘着ローラ
７Ａ〜７Ｃ 粘着ローラ
１０ 長尺状感光性シート
１１ 支持体
１２ 感光材料層
１３ 保護プラスチックフィルム
１５，１６ 粘着ローラ
３１ 長尺状感光性シート
３２ シート基板
３３ 搬送ローラ
３４ 加熱ヒータ
３５ 基板裏返しアーム
３６ 基板押し出し機構
３７ 下の熱圧着ローラ
３８ 上の熱圧着ローラ
３９ 長尺状感光性シートの固定台
４０ スライド台
４１ カッター刃
４２ 粘着テープ（保護フィルム除去用）
４３ 長尺状感光性シートの巻き出し用ロール
４４ａ 保護フィルム回収ローラ
４４ｂ 粘着テープ巻き出しローラ
４４ｃ 粘着テープ押し付けローラ
４５ サクション付きベルト
４６ 真空室
４７ ロータリー刃
４８ 固定刃
４９ 基板表返しアーム
５０，５１ 粘着ローラ
１００Ａ、１００Ｂ 粘着ローラ
Claims (2)
- 可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層をラミネートする感光性積層材料を製造する方法において、前記基板に前記感光性材料層をラミネートする前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に粘着ロールを接触させることを特徴とする感光性積層材料の製造方法。
- 可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層を熱圧着ローラを介してラミネートする感光性積層材料を製造する装置において、前記基板と前記感光性材料層のラミネート前の前記基板及び前記感光性材料層のそれぞれの貼り合わせ面側に接触させるように粘着ロールを配置したことを特徴とする感光性積層材料の製造装置。
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