JP2002062666A - 感光性積層材料の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラミネート工程におけるゴミの付着を極力無
くすことによってカラーフィルターの歩留まりを上げる
ことができる感光性積層材料の製造方法及びその製造装
置を提供。 【解決手段】 可撓性プラスチック支持体、感光性材料
層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層され
た長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを
剥がして、別個に用意された基板１に前記感光性材料層
２をラミネートする感光性積層材料を製造するに際し、
基板１に感光性材料層２の面をラミネートする前及び／
又はラミネート後に基板１及び／又は感光性材料層２に
粘着ローラ６Ａ、６Ｂ、６Ｃを接触させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は感光性積層材料の製
造方法及び製造装置に関し、可撓性プラスチックシート
支持体、感光材料層、そして保護プラスチックフィルム
がこの順に積層されてなる長尺状感光性シートを用い、
その感光材料層を、別に用意した基板の上に順次、連続
的に積層（ラミネート）するに際し、ごみの付着に起因
する欠陥を生じない感光性積層材料を得るのに好適な感
光性積層材料の製造方法及び製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の
上に感光性樹脂層などの感光材料層を積層した感光性積
層材料は、プリント配線基板やカラーフィルタの製造に
用いる感光材料として利用されている。このような感光
性積層材料の用途として液晶パネルがあるが、液晶パネ
ルの重要課題は、製造コストを下げることにある。とり
わけ、カラーフィルターは、液晶パネルに占めるコスト
の比率が高く、カラーフィルターの歩留まりを上げるこ
とが液晶パネルのコストダウンに大きく寄与する。

【０００３】カラーフィルターを基板上に形成する方法
としてスピンコート法がある。しかしながら、この方法
は、高価な高分散顔料液を大量に吹き飛ばすため、高価
な高分散顔料液の使用率が低く、カラーフィルターの製
造コストが高くなる欠点がある。

【０００４】一方、カラーフィルターの製造方法として
ラミネート法がある。この方法は、それぞれの画素用の
感光材料層付き帯状支持体を基板上や画素上にラミネー
トして画素を形成する方法であるため、スピンコート法
に比べると、感光材料層付き帯状支持体の利用率が遥か
に高くなり、カラーフィルターの製造コストを低くでき
る利点がある。

【０００５】ラミネート法によるカラーフィルターの製
造方法において、カラーフィルターの歩留まりを低下さ
せる大きな要因は、カラーフィルターの製造工程で混入
するゴミによる欠陥の発生である。ラミネート法による
カラーフィルターの製造工程には、感光材料層付き帯状
支持体から保護フィルムを剥がす工程、基板と貼り合わ
せる領域以外の感光材料層の部分を支持体から剥離する
工程、ラミネート後の基板と張り合わされていない支持
体の部分を切断する工程等から、感光材料層のゴミ、支
持体のゴミ等が浮遊し、これらのゴミが付着した状態で
感光材料層が積層された基板が作製され、この基板がパ
ターン露光工程、現像工程等を経てＲ、Ｇ、Ｂの各画素
の１つが形成される。

【０００６】前記と同様なラミネート工程、パターン露
光工程、現像工程等でＲ、Ｇ、Ｂの各画素の他の画素が
形成されてカラーフィルターが形成される。また、少な
くとも一つの画素を形成する際にゴミに起因する欠陥が
発生すると、カラーフィルター自体の欠陥の発生とな
る。したがって、それぞれの画素を形成するためのラミ
ネート工程におけるゴミの付着を防止することがカラー
フィルターの歩留まり、ひいては液晶パネルの歩留まり
を上げることになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ラミ
ネート工程におけるゴミの付着を極力無くすことによっ
てカラーフィルターの歩留まりを上げることができる感
光性積層材料の製造方法及びその製造装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した目的は、下記の
感光性積層材料の製造方法及び製造装置によって達成さ
れる。すなわち、本発明の感光性積層材料の製造方法
は、 ＜１＞ 可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及
び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺
状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がし
て、別個に用意された基板に前記感光性材料層の面をラ
ミネートする感光性積層材料を製造する方法において、
前記基板に前記感光性材料層の面をラミネートする前及
び／又はラミネート後に前記基板及び／又は前記感光性
材料層の面に粘着ローラを接触させることを特徴とする
感光性積層材料の製造方法である。 ＜２＞ 前記粘着ローラをラミネートする前の基板及び
感光性材料層のそれぞれの貼り合せ面側に接触させるこ
とを特徴とする前記＜１＞に記載の感光性積層材料の製
造方法である。本発明の感光性積層材料の製造装置は、 ＜３＞ 可撓性プラスチック支持体、感光性材料層、及
び保護プラスチックフィルムがこの順に積層された長尺
状感光性シートから保護プラスチックフィルムを剥がし
て、別個に用意された基板に前記感光性材料層の面を熱
圧着ローラを介してラミネートする感光性積層材料を製
造する装置において、前記熱圧着ローラにおける前記基
板及び／又は前記感光性材料層の搬送路の上流及び／又
は下流の少なくともいずれかに前記基板の面及び／又は
前記感光性材料層の面に接触するように粘着ローラを配
置したことを特徴とする感光性積層材料の製造装置であ
る ＜４＞ 前記粘着ローラをラミネートする前の基板及び
感光性材料層のそれぞれの貼り合せト面側に接触するよ
うに配置したことを特徴とする前記＜３＞に記載の感光
性積層材料の製造装置である。

【０００９】本発明の感光性積層材料の製造方法によれ
ば、感光材料層が積層された基板が作製される段階で粘
着ローラによって感光材料層及び／または基板からゴミ
が除去されて粘着ローラに付着する結果、感光材料層が
積層された基板をパターン露光する際のゴミに起因する
欠陥部分が生じない。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態をカラーフィルターの製造を例にとって図面に基づい
て説明する。本発明において、基板と感光材料層をラミ
ネートする際のそれぞれ貼り合せ面側に粘着ローラを設
け、基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面に付着
したゴミを粘着ローラを介して除去することが望まし
い。また、これらの手段と並行してラミネート前または
後の基板及び感光材料層のそれぞれの貼り合せ面と反対
側の面に付着したゴミを粘着ローラを介して除去するこ
とも望ましい。

【００１１】粘着ローラは、感光材料層付き帯状支持体
や基板の搬送に伴って駆動してもフリーロール化しても
よい。粘着ローラは小さすぎると、粘着ローラのメンテ
ナンスの頻度が多くなり、大きすぎると工程に導入しに
くい。したがって、粘着ローラの径は１．０ｃｍ〜１０
ｃｍ程度が望ましい。粘着ローラは、公知の除塵用粘着
ローラが使用可能であり、例えば、ローラ表面がシリコ
ーンゴム、ウレタンゴム、ブチルゴム等からなるものが
望ましい。粘着ローラのローラ表面の材質は、基板、感
光材料層、支持体（フィルム）等の材質、及びゴミの材
質等に対応させて任意に選定することができる。また、
粘着ローラのローラ表面の粘着力が強すぎると、支持体
（フィルム）搬送や基板搬送の障害とする可能性がある
反面、粘着力が低すぎると、ゴミ除去効果が小さすぎ、
本発明の所期する十分な効果を期待することができな
い。したがって、基板、感光材料層、支持体（フィル
ム）等の材質、及びゴミの材質等に応じて任意な粘着力
に調整すべきである。

【００１２】また、粘着ローラは、粘着力と共に導電性
を有することが望ましい。粘着ローラが粘着力と導電性
を有すると、ラミネート工程での静電気の発生を防止で
き、これにより静電気に起因するゴミ、欠陥の発生を抑
制することができる。粘着ローラは長時間にわたって使
用すると、ローラ表面に次第にゴミが付着し、粘着性能
が低下するおそれがある。この場合、所定の間隔で粘着
ローラを取り外してローラ表面を純水等で洗浄して粘着
性能を復元させた後、再度粘着ローラを装着したゴミの
除去を行なうことができる。また、粘着ローラのローラ
表面に周接してクリーニングローラを配置してもよい。
この場合、粘着ローラの表面に付着したゴミをクリーニ
ングローラに付着させて粘着ローラの粘着性能を常時維
持することができる。

【００１３】図１及び図２は、本発明の好ましい実施の
形態を概略的に示す説明図であって、図１は基板に対し
て感光材料層を下貼り合わせする態様を示し、図２は基
板に対して、感光材料層を上貼り合わせする態様を示し
ている。図１において、基板１に対して感光材料層２を
有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５を介
してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材料層
２側の面にそれぞれ粘着ローラ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６
Ｄ、６Ｅが配置されている。本発明において、これらの
粘着ローラの少なくとも１つの粘着ローラが配置されて
いればよい。

【００１４】粘着ローラ６Ａ、６Ｂは、基板１の材質等
によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整するこ
とが望ましい。また、粘着ローラ６Ｃは、感光材料層の
組成等に応じてローラ表面の材質を選定し、粘着力を調
整することが望ましい。粘着ローラ６Ｂ、６Ｃは、基板
１と感光材料層２との間に混入されるようとするゴミを
除去することができ、最も好ましい態様である。粘着ロ
ーラ６Ａは、カラーフィルターを製造する際、透明な基
板１を介して裏露光によりパターン露光するときに基板
１面に付着したゴミによる露光欠陥の発生を防止するこ
とができる。

【００１５】図２において、基板１に対して感光材料層
２を有する支持体（フィルム）３を熱圧着ローラ４，５
を介してラミネートするに際し、基板１の両面と感光材
料層２側の面にそれぞれ粘着ローラ７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、
７Ｄ、７Ｅが配置されている。本発明において、これら
の粘着ローラの少なくとも１つの粘着ローラが配置され
ていればよい。

【００１６】粘着ローラ７Ａ、７Ｂは、基板１の材質等
によりローラ表面の材質を選定し、粘着力を調整するこ
とが望ましい。また、粘着ローラ７Ｃは、支持体（フィ
ルム）及び感光材料層の組成等に応じてローラ表面の材
質を選定し、粘着力を調整することが望ましい。粘着ロ
ーラ７Ｂ、７Ｃは、基板１と感光材料層２との間に混入
されるようとするゴミを除去することができ、最も好ま
しい態様である。粘着ローラ７Ａは、カラーフィルター
を製造する際、透明な基板１を介して裏露光によりパタ
ーン露光するときに基板１面に付着したゴミによる露光
欠陥の発生を防止することができる。

【００１７】図１及び図２においては、ラミネート前に
基板１及び感光材料層２を粘着ローラを接触させてゴミ
を除去する態様を示しており、この態様の場合、粘着ロ
ーラを配置上支障の範囲でできるだけラミネート直前が
望ましい。また、本発明においては、ラミネート後に基
板１及び感光材料層２を粘着ローラに接触させてゴミを
除去するようにしてもよい。感光材料層を基板に積層さ
せる工程には、ラミネート後、支持体を切断する工程が
あり、この切断工程においてゴミが発生しやすい。これ
らのゴミが粘着ローラによって除去するためには，ラミ
ネート後であって、前記切断工程の下流側に粘着ローラ
を配置させて切断工程等で発生したゴミが付着した基板
面からゴミを除去することが望ましい。また、ゴミを確
実に除去するために、ゴム硬度や粘着ローラの押圧をコ
ントロールすることも可能であり、特にＴＦＴ基板のよ
うな凹凸のある基板の上にラミネートして感光性積層材
料を得る場合に重要である。なお、原理的には、基板や
フィルムへの押し付け圧がほぼ０であってもゴミの除去
は可能である。さらに粘着ローラは適当な温度まで加熱
してもよい。この場合、粘着ローラ表面のゴムが軟化
し、より良好な基板と感光性材料とのコンタクト状態を
実現することができる。

【００１８】図３は、本発明の感光性積層材料を製造す
るための長尺状感光性シートを示す断面図である。この
感光材料層付き帯状支持体１０は、帯状の可撓性プラス
チックシート支持体１１の一方の表面に感光材料層１２
が設けられ、さらに感光材料層１２の表面上、感光材料
層を保護するための保護プラスチックフィルム１３が覆
設された構造からなっている。プラスチックシート支持
体１１としては、一般にポリエチレンテレフタレート、
ポリプロピレンその他のポリマーから作られたフィルム
（一般に１０〜２００μｍの厚さを有する）が使用でき
る。感光材料層１２は、通常は、光重合性レジストで形
成されたものであり、一般に１〜３μｍの層厚を有する
ものである。この光重合性レジストとしては特に限定さ
れず、どのような材料であってもよい。また、熱圧着性
を向上させるために、支持体と感光材料層との間に中間
層を介在させることもできる。この中間層は、例えば、
ポリビニルアルコールなどの樹脂で形成することがで
き、一般に１０〜５０μｍの層厚を有する。

【００１９】図４は、本発明の感光性積層材料の製造装
置の好ましい実施の形態を示す概略的構成図であって、
この装置は、保護フィルム感光層切断部、保護フィルム
除去部、シート基板裏返し部、感光層熱圧着部、帯状支
持体切断部、シート基板表返し部とから構成されてい
る。なお、感光層は感光材料層ともいう。

【００２０】粘着ローラは、保護フィルム除去部と感光
材料層熱圧着部との間で、長尺状感光性シート３１の感
光材料層面側に接触するように配置された粘着ローラ１
５と、基板３２が熱圧着ローラ３７、３８の間に挿入さ
れる前の段階で基板３２の下面側に接触するように配置
された粘着ローラ１６とからなる。特に図示していない
が粘着ローラ１５と感光材料層付き帯状支持体３１を挟
んで反対面側に支持部材を設け、粘着ローラ１５の押圧
による感光材料層付き帯状支持体３１の弛みを防止する
ようにしてもよい。

【００２１】この感光性積層材料において、シート基板
裏返し部では、図４で左から右方向へ搬送ローラ３３で
送られて来たシート基板３２を、裏返しアーム３５で下
側より保持し、持ち上げ、アームを回転し裏返して搬送
ローラ３３に載せることにより、シート基板３２の熱圧
着面を下に向ける。シート基板３２の裏返しまでは裏面
接触搬送でよいが、裏返し後は下側の表面に搬送ローラ
３３が接触しないように、シート基板３２のエッジ接触
で搬送する。シート基板加熱部では、ヒータ３４でシー
ト基板３２を約５０〜１１０℃の温度で加熱する。

【００２２】また、別に設けたロール４３から、保護フ
ィルムを付けた状態の感光材料層付き帯状支持体（長尺
状感光性シート）３１を巻き出し、これを走行させなが
ら、保護フィルム・感光材料層切断部において、積層領
域（基板に接合させる領域）と非積層領域（基板に接合
させない領域）との境界にて、保護フィルムと感光材料
層とを一緒を切断し（支持体は切断しない）、次いで保
護フィルム除去部で積層領域（基板に接合させる予定の
領域）の保護フィルムを除去する。

【００２３】保護フィルム・感材層切断部は、感光材料
層付き帯状支持体３１を固定保持しながらその搬送方向
に一緒に移動可能な固定台３９、そしてその感光材料層
付き帯状支持体３１の搬送方向とは直角の方向（即ち保
護フィルム切断方向）に移動することができ、カッター
刃４１が固定されたスライド台４０からなる。感光材料
層付き帯状支持体３１を固定する固定台３９は、保護フ
ィルムと感光材料層の切断時には感光材料層付き帯状支
持体を固定保持しながら感光材料層付き帯状支持体３１
の走行速度と同じ速度で搬送方向に移動し、保護フィル
ム・感光材料層の切断が終了すると、感光材料層付き帯
状支持体３１を放し、その後スタート位置に戻る。スラ
イド台４０には、感光材料層付き帯状支持体３１の移動
方向に対して直角に向けたカッター刃４１を、保護フィ
ルムを残す領域の幅に合わせて二枚配置し、例えばシリ
ンダーやバネ等を利用して、調整可能な一定の刃圧で感
光材料層付き帯状支持体３１の上の保護フィルム表面に
接触する様に固定する。また、切断工程では、板状の粘
着シートをカッター刃と連動させてもよく、カッター刃
と連動してフィルム幅方向に径の小さな粘着ローラをフ
ィルム幅方向に移動させる構造を採用してもよい。

【００２４】保護フィルム・感光材料層の切断は次のよ
うに行なわれる。まず、固定台３９が感光材料層付き帯
状支持体３１を保持し、該帯状支持体３１の走行速度と
同じ速度で移動しながら、スライド台４０のカッター刃
４１が固定台３９上の帯状支持体３１の保護フィルム表
面に押し当てられ、切断方向に移動する。カッター刃４
１は感光材料層付き帯状支持体３１上の保護フィルムと
感光材料層とをのみ切断するように作用する。そして、
スライド台４０は、カッター刃４１が感光材料層付き帯
状支持体３１の少なくとも端まで移動したら、後退す
る。上記の保護フィルム・感光材料層切断工程におい
て、固定台３９が感光材料層付き帯状支持体３１の移動
に同期して移動しているため、保護フィルムと感光材料
層との切断は、感光材料層付き帯状支持体が走行して移
動状態にあっても、感光材料層付き帯状支持体３１の幅
方向に直角に行なわれる。

【００２５】次に、保護フィルム除去部は、感光材料層
付き帯状支持体の搬送系において、保護フィルム・感光
材料層切断部の後に位置し、粘着テープの巻き出しロー
ラ４４ｂと回収ローラ４４ａ、及び保護フィルムへの押
し付けローラ４４ｃからなる保護フィルム除去ユニット
が、感光材料層付き帯状支持体の平面に対して略垂直方
向に移動する機構となっている。保護フィルム除去部
に、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィルムの先
頭部の切断線（基板への積層領域の先端部）が搬送され
てくると、保護フィルム除去ユニットの粘着テープ押し
付けローラ４４ｃが保護フィルムに押し付けられ、保護
フィルムと粘着テープが密着する。粘着テープの巻き出
しローラ４４ｂ、回収ローラ４４ａ、押し付けローラ４
４ｃが、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ速度で回
転し、保護フィルムを感光材料層から剥ぎ取りながら、
回収ローラ４４ａに巻き込むように除去していく。そし
て、次の非積層領域との境界である切断部手前まで来る
と、保護フィルム除去ユニットは感光材料層付き帯状支
持体３１の表面より離れる。従って、積層領域（接合予
定領域）の保護フィルムのみが除去され、非積層領域の
保護フィルムは巻き取られることなく、感光材料層上に
残る。

【００２６】次に保護フィルム感光材料層切断部、その
他の工程で飛散し、感光材料層付き帯状支持体３１の感
光材料層１２面に付着したゴミ等が粘着ローラ１５に付
着して感光材料層１２面から除去される。熱圧着ローラ
部では、一対の熱圧着ローラが、それぞれシート基板の
上方に上の熱圧着ローラ３８及び下方に下の熱圧着ロー
ラ３７が対向する位置に設けられ、上の熱圧着ローラ３
８の両端にはシリンダー等で下方に圧力がかけられる構
造となっている。上下の熱圧着ローラ３７、３８は協同
して、シート基板３２の上に感光材料層付き帯状支持体
３１の感光材料層を熱圧着する役割と、シート基板３２
を支持し搬送することの役割を持つ。上下の熱圧着ロー
ラ３７、３８は、シート基板３２を挟んでいない時には
シート基板の厚さより小さい隙間で非接触状態にて対向
している。

【００２７】感光材料層付き帯状支持体３１は、粘着ロ
ーラ１５によって感光材料層１２面側のゴミ等が除去さ
れた後、下の熱圧着ローラ３７に巻き付けられ、その先
端は、熱圧着ローラ３７、３８の出口側にあるサクショ
ン付きベルト４５に保持される。サクション付きベルト
４５は、感光材料層付き帯状支持体３１と同じ移動速度
で動き、穴のあいた搬送ベルトの下側に設置された真空
室４６の作用で感光材料層付き帯状支持体３１の先端付
近が吸引保持されている。シート基板３２が連続して送
られて来ない時は、熱圧着ローラ３７、３８とサクショ
ン付きベルト４５とは、感光材料層付き帯状支持体３１
を保持しながら、その移動速度に同期して回転してい
る。

【００２８】予備加熱され、裏返しにされたシート基板
３２は左方向から送られて来ると、シート基板押し出し
機構部で一旦停止し待機する。このシート基板押し出し
機構部は、感光材料層付き帯状支持体３１の保護フィル
ム除去部分（保護フィルムが存在していない領域）の端
を、反射率または透過率の変化を利用してセンサにより
感知して、シート基板３２の所定の位置に保護フィルム
除去部分の先端部が来るように、一定速度で搬送される
感光材料層付き帯状支持体１に同期させて、押し出し機
構３６によってシート基板３２をタイミング良く熱圧着
ローラ３７、３８の間に押し出す。このとき、粘着ロー
ラ１６は、基板３２の下側（加熱面側）に付着したゴミ
等を基板３２から除去する。

【００２９】その後、シート基板３２がその熱圧着ロー
ラの隙間に侵入すると同時に、熱圧着ローラ３８により
上方から圧力が掛かり、感光材料層付き帯状支持体３１
とシート基板３２とが熱圧着される。そして、シート基
板３２の後端位置まで感光材料層付き帯状支持体３１が
熱圧着されると、上の熱圧着ローラ３８の圧力は解除さ
れ、シート基板３２の表面から僅かに離れる。

【００３０】一方、その間に次のシート基板が予備加熱
されたのち裏返しにされ、シート基板押し出し機構部で
待機している。上記の工程が完了し、シート基板押し出
し機構部が感光材料層付き帯状支持体３１の次の保護フ
ィルム除去部分の先端を感知すると、同様にして、シー
ト基板の所定の位置に保護フィルム除去部分の先端が来
るように、一定速度で走行する感光材料層付き帯状支持
体３１に同期させ、タイミングよくシート基板を熱圧着
ローラ３７、３８の隙間に押し出す。上記のように、感
光材料層付き帯状支持体３１の走行を停止することなく
連続的に順次帯状感光材料層付き帯状支持体３１とシー
ト基板とを熱圧着していく。

【００３１】サクション付きベルト４５による感光材料
層付き帯状支持体３１の先端の保持は、シート基板３２
が連続して熱圧着ローラ３７、３８に投入されていない
時の仮の保持であり、シート基板３２が投入されてラミ
ネートが連続的に行われている時は、サクション付きベ
ルト４５の真空室は不作動となる。そして、感光材料層
付き帯状支持体３１にシート基板３２が貼り付いた状態
で図４の右側に搬送される。帯状支持体切断部には、下
側に固定刃４８、そして上側にロータリー刃４７が設置
され、シート基板３２が接合している感光材料層付き帯
状支持体３１が移動してくると、シート基板と次のシー
ト基板の間の領域の保護フィルムと感光材料層とが共に
残留している部分を切断し、順次シート基板を切り離
す。

【００３２】感光材料層付き帯状支持体３１が熱圧着さ
れ、切り離させれたシート基板３２は、帯状支持体が、
その基板の両端部より突き出た状態で、シート基板表返
し部まで搬送され、上方より熱圧着体を基板表返しアー
ム４９で裏面を保持しながら持ち上げ、次いで基板表返
しアーム４９を回転し、熱圧着体を表返したのち搬送ロ
ーラに載せることにより、シート基板３２の熱圧着面を
上側に向けた状態とされ、次工程（図示なし）に搬送さ
れるか、あるいはシート基板カセット（図示なし）に回
収される。

【００３３】また、熱圧着体４５には、帯状支持体切断
部、その他の工程で発生するゴミ等が付着するおそれが
ある。熱圧着体４５の両面に付着したゴミ等はシート基
板表返し部に設けられた一対の粘着ローラ５０、５１に
より除去される。その後、熱圧着体は次工程においてパ
ターン露光、現像工程等を経て、１つの画素（Ｒ）が形
成される。

【００３４】同様にして１つの画素（Ｒ）が形成された
基板に対して、図３に示す装置によって再び感光材料層
が積層され、パターン露光、現像工程等を経て、次の画
素（Ｇ）が形成される。次に画素（Ｒ）、画素（Ｇ）が
形成された基板に対して感光材料層が積層され、パター
ン露光、現像工程等を経て、次の画素（Ｂ）が形成され
る。これらの一連の工程において、粘着ローラにより確
実にゴミ等が除去されるため、パターン露光工程等にお
いて、ゴミ等の付着に起因する欠陥の発生を防止するこ
とができ、カラーフィルターの歩留まりを上げることが
できる。

【００３５】図４に示す方法は、基板下貼りの方式の例
を示したが、本発明は基板上貼り方式の場合にも図４と
同様に粘着ローラを配置してゴミ等を除去することがで
きる。

【００３６】図５は、基板上貼り方式の例を示す概略的
構成図である。図５において、１００Ａ、１００Ｂが粘
着ローラであり、熱圧着ローラ１１７と１１８は、エア
シリンダー１２８が動作することによって開閉するよう
になっている。まず、感光材料層１２１のシート基板１
０２への積層準備として、手動操作により上部のフィル
ムロール１１３から巻き出した保護フィルム１２２付き
感光材料層積層フィルム１０１をバキュームプレート１
２４と支持体保持部材１２６で吸着保持する。

【００３７】ローラ１４１と１４２の間に保護フィルム
１２２と感光材料層１２１の剥離再積層部分をセットす
る方法としては、まず保護フィルム１２２付きの感光材
料層積層フィルム１０１をローラ１４１及び１４２の間
で弛みを付けてセットし、バキュームプレート１２４と
支持体保持部材１２６で吸着保持する。手動で保護フィ
ルム１２２付きの感光材料層積層フィルム１０１の先端
から保護フィルム１２２をローラ１４１まで剥離して、
剥離した保護フィルム１２２をピンと張った状態で再び
感光材料層面に積層させる。保護フィルム付き感光材料
層積層フィルムが搬送されても、この保護フィルム１２
２と感光材料層１２１の剥離再積層部分はローラ１４１
及び１４２の間に停滞する為、フィルム搬送により自動
的に剥離と再積層が進行する。これにより、保護フィル
ム１２２と感光材料層１２１の間にエアの層が入り、保
護フィルムと感光材料層間の密着力が格段に低下して、
後の保護フィルム剥離が容易になる。

【００３８】ロータリーカッター１１７及び１１８で、
保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１の供給
方向の先端側を切り揃える。これで準備完了し、搬送ロ
ーラー１０３によりシート基板１０２が搬送されてくる
のを待機する。

【００３９】次に、一連の積層動作を開始すると、シー
ト基板１０２の両面は、それぞれ、粘着ローラ１００
Ａ、１００Ｂと接触し、表面に付着したゴミが除去され
る。そして、搬送ローラー１０３により、加熱ヒーター
１０４で所定の温度まで予備加熱したシート基板１０２
の感光材料層積層領域の先端位置１３２が熱圧着動作位
置１３０に接近してくる検出信号に基づいて、感光材料
層積層領域の先端位置１３２を熱圧着動作位置１３０に
停止させる。

【００４０】支持体保持部材１２６及び固定刃１１８を
右の退避位置に移動し、粘着テープ押し付けローラー１
１４ｃをバキュームプレート１２４の先端部傾斜部に沿
って、保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１
を押さえつけて、支持体フィルム１２０をバキュームプ
レート１２４の先端部に吸着保持させながら、粘着テー
プ１１２を保護フィルム１２２に粘着させる。次いで、
粘着テープ１１２を回収ローラ１１４ａで巻き上げなが
ら粘着テープ押し付けローラー１１４ｃを引っ込める。
保護フィルム１２２は、粘着テープ１１２に引っ張られ
感光材料層積層フィルム１０１の先端から剥離し、保護
フィルム及び粘着テープ回収ローラ１１４ａに巻き取ら
れる。

【００４１】次に、仮付けヒーター１２５で、感光材料
層積層フィルム１０１の先端を加熱する。シート基板１
０２の感光材料層積層領域の先端位置１３２に感光材料
層積層フィルムの先端を適度な圧力がかかるように押し
当てて仮付けする。この時の押し当て圧力でシート基板
１０２が撓まないように、バキュームプレート１２４と
同じ形状の補助台（図示せず）が上昇してシート基板１
０２を下から支える。

【００４２】一方、仮付け時に、感光材料層積層フィル
ム１０１の感光材料層積層領域の後端位置に位置したカ
ッター１１１を動作させ、保護フィルム１２２及び感光
材料層１２１に切断線を入れる。

【００４３】次に、感光材料層積層フィルム１０１の吸
着保持を解除してバキュームプレート１２４及びその先
端部を感光材料層仮付け位置から離反する。バキューム
プレート１２４の離反動作が終了した時点で、固定刃１
１８と支持体保持部材１２６は帯状支持体１２０に接近
させる。

【００４４】熱圧着ローラー退避位置１３１から熱圧着
動作位置１３０へ熱圧着ローラー１０７及び１０８が移
動し、シート基板１０２の感光材料層積層領域の先端位
置１３２に適度な押圧力で当接する。熱圧着ローラー１
０７及び１０８の回転力と搬送ローラー１０３の回転再
開によりシート基板１０２を搬送し、熱圧着ローラー１
０７及び１０８の回転により自動的に感光材料層積層フ
ィルムを供給しながらシート基板２の感光材料層積層領
域の先端位置１３２から後端位置に向かってシート基板
１０２の感光材料層貼付け面に所定の距離だけ感光材料
層積層フィルムを熱圧着する。

【００４５】熱圧着ローラー１０７及び１０８によっ
て、シート基板１０２及び感光材料層積層フィルム１０
１を搬送と同時に保護フィルム１２２を連続的に剥離
し、保護フィルム１２２及び感光材料層１２１を切断し
た感光材料層積層領域の後端位置１３４で、保護フィル
ム１２２の回収は完了する。

【００４６】次に、感光材料層積層フィルム１０１の熱
圧着はさらに進行し、シート基板１０２の感光材料層積
層領域の後端位置が熱圧着動作位置１３０まできた時、
保護フィルム付き感光材料層積層フィルム１０１をロー
タリーカッター１１７及び１１８で切断する。

【００４７】次に、熱圧着ローラー１１７及び１１８が
開き、熱圧着ローラー退避位置１３１に戻ると共に、熱
圧着されたシート基板１０２は搬送機構によって右に搬
送され装置より次工程に出され、次のシート基板１０２
が搬送されてくるまで待機する。このような一連の動作
において、シート基板１０２上のゴミが除去されてお
り、シート基板１０２と感光材料層１２１との間にほと
んどゴミが介在することがなく、また、シート基板１０
２の裏面（感光材料層１２１の積層側と反対側）にもほ
とんどゴミが介在しないので、ゴミに起因する欠陥の発
生を未然に防止することができる。

【００４８】

【実施例】（実施例１）粘着ローラとして宮川ローラ
（株）性の粘着ローラ（ローラ表面：ブチルゴム） を
使用し、クラス１００００のクリーンブースでのモデル
テストにて感光材料層面をラミネートする工程前の基板
（ガラス）に粘着ローラを接触させた後、熱圧着ローラ
によって感光材料層面をラミネートして熱圧着体を作製
した。

【００４９】（実施例２）ラミネート工程前の感光材料
層に粘着ローラを接触させた以外は、実施例１と同じで
ある。

【００５０】（実施例３）ラミネート工程前の基板（ガ
ラス）と感光材料層にそれぞれ粘着ローラを接触させた
以外は、実施例１と同じである。

【００５１】（比較例）粘着ローラを用いない以外は、
実施例１と同じである。

【００５２】＜評価＞得られた熱圧着体の欠陥数を目視
によって測定し、その結果を評価した。 ○ ： 欠陥がほとんどない。 △ ： 欠陥がわずかにある。 × ： 欠陥が多い。

【００５３】 実施例１ ： △ 実施例２ ： △ 実施例３ ： ○ 比較例 ： ×

【００５４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ラミネー
ト工程におけるゴミの付着を極力無くすことによってゴ
ミに起因する欠陥の発生を防止し、カラーフィルターの
歩留まりを上げることができ、これによって液晶パネル
のコストダウンを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好まし
い一実施の形態を示す説明図である。

【図２】 本発明の感光性積層材料の製造方法の好まし
い他の実施の形態を示す説明図である。

【図３】 本発明における感光材料層付き帯状支持体の
断面図である。

【図４】 本発明の感光性積層材料の製造装置の好まし
い一実施の形態を示す概略的構成図である。

【図５】 本発明の感光性積層材料の製造装置の他の実
施の形態を示す概略的構成図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 感光材料層 ３ 感光材料層付き帯状支持体 ４，５ 熱圧着ローラ ６Ａ〜６Ｃ 粘着ローラ ７Ａ〜７Ｃ 粘着ローラ １０ 長尺状感光性シート １１ 支持体 １２ 感光材料層 １３ 保護プラスチックフィルム １５，１６ 粘着ローラ ３１ 長尺状感光性シート ３２ シート基板 ３３ 搬送ローラ ３４ 加熱ヒータ ３５ 基板裏返しアーム ３６ 基板押し出し機構 ３７ 下の熱圧着ローラ ３８ 上の熱圧着ローラ ３９ 長尺状感光性シートの固定台 ４０ スライド台 ４１ カッター刃 ４２ 粘着テープ（保護フィルム除去用） ４３ 長尺状感光性シートの巻き出し用ロール ４４ａ 保護フィルム回収ローラ ４４ｂ 粘着テープ巻き出しローラ ４４ｃ 粘着テープ押し付けローラ ４５ サクション付きベルト ４６ 真空室 ４７ ロータリー刃 ４８ 固定刃 ４９ 基板表返しアーム ５０，５１ 粘着ローラ １００Ａ、１００Ｂ 粘着ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ ５Ｅ３３９ Ｂ２９Ｌ 9:00 Ｂ２９Ｌ 9:00 Ｆターム(参考） 2H025 AB11 AB13 AB15 AC01 AD01 DA05 EA01 EA08 FA01 2H048 BA02 BA16 BA17 BA25 BA66 BB02 BB14 BB32 BB42 2H091 FA02Y FD06 FD16 GA16 LA02 2H096 AA26 AA27 BA05 CA01 CA16 DA00 4F211 AD04 AD05 AD08 AG01 AG03 AH73 AJ05 AM32 SA07 SC06 SD01 SD11 SH06 SJ01 SJ06 SJ13 SJ15 SJ22 SJ23 SJ29 SJ31 SN13 SN14 SP04 SP50 SW23 5E339 CC01 CE11 CE16 DD02

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性プラスチック支持体、感光性材料
   層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層され
   た長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを
   剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層を
   ラミネートする感光性積層材料を製造する方法におい
   て、前記基板に前記感光性材料層の面をラミネートする
   前及び／又はラミネート後に前記基板及び／又は前記感
   光性材料層の面に粘着ローラを接触させることを特徴と
   する感光性積層材料の製造方法。
2. 【請求項２】 前記粘着ローラをラミネートする前の基
   板及び感光性材料層のそれぞれの貼り合せ面側に接触さ
   せることを特徴とする請求項１に記載の感光性積層材料
   の製造方法。
3. 【請求項３】 可撓性プラスチック支持体、感光性材料
   層、及び保護プラスチックフィルムがこの順に積層され
   た長尺状感光性シートから保護プラスチックフィルムを
   剥がして、別個に用意された基板に前記感光性材料層を
   熱圧着ローラを介してラミネートする感光性積層材料を
   製造する装置において、前記熱圧着ローラにおける前記
   基板及び／又は前記感光性材料層の搬送路の上流及び／
   又は下流の少なくともいずれかに前記基板の面及び／又
   は前記感光性材料層の面に接触するように粘着ローラを
   配置したことを特徴とする感光性積層材料の製造装置。
4. 【請求項４】 前記粘着ローラをラミネートする前の基
   板及び感光性材料層のそれぞれの貼り合せ面側に接触す
   るように配置したことを特徴とする請求項３に記載の感
   光性積層材料の製造装置。