JP2003068977A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体パワーモジュールで、従来のPN平行配
線方式よりも一層高い配線インダクタンスの低減化が図
れるように内部配線構造を適正化する。 【解決手段】入,出力用の主回路端子をケース周域に配
列した端子一体形の外囲ケースに、金属ベースに搭載し
たパワー回路を組合せてパワー回路と主回路端子との間
を内部配線した半導体装置であり、パワー回路が回路基
板に各相に対応する複数のパワー半導体素子を実装して
なるものにおいて、回路基板上に形成した配線パター
ン,該配線パターンに対峙するフレーム構造の主回路端
子,およびその間を接続するボンディングワイヤを経由
する配線ルート上で、P,Nの一方の配線ライン(N配
線ライン9)で他方の配線ライン(P配線ライン8,W
相配線ライン10)を両側から挟み込み(配線挟み込み
部9a,9b)、配線相互間の電磁的な結合を高めて配
線インダクタンスとノイズの低減化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インバータ装置な
どに適用するインテリジェントパワーモジュール(Inte
lligent Power Module) を対象とした半導体装置に関
し、詳しくはその内部配線構造に係わる。
【0002】
【従来の技術】頭記のインバータ装置(三相用)に適用
するインテリジェントパワーモジュールを例に、その従
来例の組立構造を図8に、その結線回路を図9に示す。
まず、図8において、1は放熱用の金属ベース(銅ベー
ス)、2は樹脂成形品になる端子一体形の外囲ケース、
3は主回路端子(パワー回路に対する入,出力、および
ブレーキ回路用の外部導出端子)、4は制御端子(制御
回路に対する制御信号入,出力用の外部導出端子(ピン
端子))、5はパワー回路、6は制御回路、7は内部配
線用のボンディングワイヤである。ここで、パワー回路
5は、回路基板5aの上に後記のU,V,W,X,Y,
Z相,およびB(ブレーキ回路)に対応する7個のパワ
ー半導体素子(IGBTなどのスイッチング素子)5
b,およびフリーホイーリングダイオード5cを実装し
て回路基板5aに形成した配線パターン,および制御回
路6との間をボンディングワイヤ7で接続しており、パ
ワー回路基板5aにはセラミックス板の上面に銅回路パ
ターン,下面に銅層を直接接合したDirect Bonding Cop
per 基板が採用されている。一方、制御回路6は、プリ
ント基板6aに前記パワー素子5bを駆動するIC6b
を含む各種回路部品を実装した構成になる。
【0003】かかる構成のパワーモジュールは次に記す
手順で組み立てる。まず、パワー回路5はその回路基板
5aの銅層を下に向けて金属ベース1に半田付し、制御
回路6はそのプリント基板6aを接着剤で金属ベース1
に接着する。続いてパワー回路5と制御回路6との間に
ワイヤ7をボンディングして内部配線を施す。次に、金
属ベース1の上に端子一体形の外囲ケース2を被せて接
着剤で接合した後に、外囲ケース2の内方に突き出した
主回路端子3のインナーリード3aとパワー回路基板5
aの配線パターンとの間、および制御端子4と制御回路
基板6aの導体パターンとの間を半田付けして配線す
る。この組立状態で、パッケージ内にゲル状充填材(例
えばシリコーンゲル)を注入してパワー回路5,制御回
路6を封止した上で、最後に外囲ケース2に上蓋(図示
せず)を被せて接着固定する。
【0004】また、図9に示すインバータ回路におい
て、P,Nは電源側の入力端子、U,V,Wは交流側の
出力端子、Bはダイナミックブレーキ回路の端子であ
り、図示のようにP端子はU,V,W相およびブレーキ
回路のパワー半導体素子(IGBT)5bのコレクタ
に,N端子はX,Y,Z相およびブレーキ回路のパワー
半導体素子(IGBT)5bのエミッタに接続され、
U,V,W端子はそれぞれ上アーム(U,V,W相のI
GBT)と下アーム(X,Y,Z相のIGBT)との直
列中間点に接続されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、インバータ
装置に適用する前記半導体装置(マルチチップ型パワー
モジュール)では、パワー半導体素子(IGBT)のス
イッチング動作に伴い、電源端子Pからパワー回路5を
経てN端子に至る配線経路に寄生する配線インダクタン
スによって、この配線経路にはそのスイッチング周波数
に比例した高いサージ電圧が発生する。また、このサー
ジ電圧は電気的ノイズの原因となって、回路の誤動作を
引き起こすほか、過度に高いサージ電圧が回路素子を破
壊するおそれもある。
【0006】この場合に、特にN端子に通じる主回路N
ラインの配線インダクタンスは回路の動作上で大きな影
響を与える。すなわち、図9のインバータ回路では下ア
ーム(X,Y,Z相)の制御GNDラインは主回路のN
ラインに接続されて閉回路を形成していることから、I
GBTのスイッチング動作時にNラインで発生するサー
ジ電圧(L×di/dt)によって、制御GNDライン
にノイズ電流が流れ、このノイズ電流が制御GND電圧
を変動さて制御回路の誤動作を引き起こす要因となる。
【0007】かかる点、従来のパワーモジュールでは、
内部の配線インダクタンスを低く抑える手段として、モ
ジュール内部の配線距離をできるだけ短くする、配線導
体を太くする、あるいはP端子とN端子の端子導体を互
いに近接して並行に配線し、各端子導体に互いに逆向き
の電流を流すなどのインダクタンス低減対策が採られて
いるが、その低減効果にも限界があるほか、半導体装置
の小形化に伴いその内部配線経路が複雑となるなどの制
約もあることから、簡易な方式でより一層高い成果の得
られる配線インダクタンスの低減対策の出現が望まれて
いる。
【0008】そこで、本発明の目的は、パワーモジュー
ルの組立構造を生かしてその内部配線ルートを適正化
し、従来方式よりも一層高い配線インダクタンスの低減
が図れるように改良した半導体装置を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、入,出力用の主回路端子(P,
N、U,V,W相およびB)をケース周域に配列してイ
ンサート成形した端子一体形の外囲ケースに金属ベー
ス, 上蓋を組合せてなるパッケージに対して、そのパッ
ケージ内にパワー回路を搭載し、該パワー回路と前記主
回路端子との間を内部配線した半導体装置であって、前
記パワー回路が回路基板に各相に対応する複数のパワー
半導体素子を実装してなるものにおいて、 (1) パワー回路から主回路端子に至る配線ルートについ
て、P,Nの一方の配線ラインで他方の配線ラインを両
側から挟み込むようにレイアウトする(請求項1)。
【0010】(2) 上記の応用例として、P,Nの一方の
配線ラインでU,V,W相のいずれかの配線ラインを挟
み込むようにレイアウトする(請求項2)。 (3) 前項(1) および(2) において、パワー回路基板上に
形成した配線パターン,該配線パターンに対峙して外囲
ケース側に布設したフレーム構造の主回路端子,および
その配線パターンと主回路端子の間を接続するボンディ
ングワイヤを経由する配線ルート上で他方の配線ライン
を挟み込むようにする(請求項3)。
【0011】前記において、例えば、N配線ラインはパ
ワー回路の基板上に形成して該基板に実装した各パワー
半導体素子(IGBTのエミッタ)とボンディングワイ
ヤで接続した配線パターン(N)、回路基板の側方に対
峙して外囲ケース側に布設したフレーム構造のN端子、
および該N端子と前記配線パターン(N)の間を接続す
るボンディングワイヤを経由する配線ルートで形成さ
れ、ここで同じ回路基板上に形成したPラインに対応す
る配線パターン(P端子とB端子とを結ぶ配線ルート上
の配線パターン(P)で電流の向きはN配線ラインと逆
向き)を、前記P配線ラインの配線パターン(N)とN
端子とで両側から挟み込むようにレイアウトする。
【0012】この場合に、前記のように平行配線した
P,Nラインの配線インダクタンスは、P,Nラインそ
れぞれの自己インダクタンスの和と相互インダクタンス
の差となることから、前記のように一方の配線ライン
(例えばNライン)で他方の配線ライン(Pライン)を
両側から挟み込むようにすれば、NとPの配線ライン間
における電磁的結合の度合いが高くなって相互インダク
タンスの値が増加するので、その結果として配線インダ
クタンスの低減,および配線インダクタンスの起因する
電気的ノイズの低減化に大きく寄与する。
【0013】また、前記に加えて前項(2) のように、
P,Nの一方の配線ラインでU,V,Wのいずれかの配
線ラインを挟み込むようにレイアウトすれば、トータル
的により一層高い配線インダクタンスの低減効果が得ら
れる。しかも、前記の配線挟み込み部の形成には、特別
な配線部品を追加したり、モジュール内部の配線経路を
大幅に変更することなしに、本来のモジュール組立構造
を生かしてその配線ルート上で形成することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、インバータ(三相)装置に
適用するパワーモジュールを例に、本発明の実施の形態
を図1〜図7に示す実施例に基づいて説明する。なお、
実施例の図において、図8,図9に対応する部材には同
じ符号を付してその説明は省略する。
【0015】まず、図1(a) 〜(c) および図2(a) 〜
(c) は、本発明の各実施例を回路図の上で模式的に表し
たものであり、図中で8は主回路端子3のP端子からイ
ンバータ回路(図9参照)における上アームのW相パワ
ー半導体素子(IGBT)5bに至るP配線ライン、9
はN端子から下アームのZ相IGBTに至るN配線ライ
ン、また10はW相とZ相のIGBTの中間点からW端
子に至るW相の配線ラインを表している。
【0016】また、図中に表した8a,8bおよび9
a,9bは、配線インダクタンスの低減手段として、本
発明によりモジュール内部の配線ルート上に形成した配
線ラインの挟み込み部を表している。この挟み込み部を
どのようにして形成するかは後記するとして、P配線ラ
イン8の挟み込み部8a,8bではP配線ライン8がN
配線ライン9,およびW相とZ相の中間点部分を挟み込
み、N配線ライン9の挟み込み部9a,9bではN配線
ライン9がP配線ライン,W相とZ相の中間点部分を挟
み込んでおり、これにより配線相互間の電磁的な結合を
高めて配線インダクタンスを低減するようにしている。
【0017】なお、図1,図2では、図9のインバータ
回路におけるW相とZ相との直列回路について、そのW
相配線ライン10をP配線ライン8あるいはN配線ライ
ン9で挟み込む場合を例示したが、同様な挟み込み方式
をV相とY相,U相とX相についても実施適用できるこ
とは勿論である。次に、前記の配線挟み込み部の形成に
対応するパワーモジュールの組立構造を説明する。ま
ず、図3は金属ベース1に搭載したパワー回路5の平面
図を示しており、パワー回路5は左右に並ぶ2枚の回路
基板5aに分けた上で、左側の回路基板にはインバータ
回路の上アームに対応するU,V,W相のパワー半導体
素子(IGBT)5bおよびフリーホイーリングダイオ
ード5cを、また右側の回路基板にはX,Y,Z相のI
GBTおよびフリーホイーリングダイオードを実装し、
さらに各回路基板5aには、後記の主回路端子P,N,
U,V,WおよびBとのワイヤボンディングに対応する
配線パターン5a-1が形成されている。なお、図中には
主回路端子の端子記号に合わせて、各区分の配線パター
ンにはp,n.u,v,w,x,y,zおよびbの記号
が付してある。
【0018】また、図4(a),(b) は主回路端子3を備え
た端子一体形外囲ケース2の構造図であり、該外囲ケー
ス2の一側辺には左右に並んでP,N,U,V,Wおよ
びB端子が布設されており、各端子のインナーリード部
3aが図示のように外囲ケースの内側に突き出してい
る。この主回路端子3は銅フレーム端子になり、図示の
ようにP,NおよびB端子を左右両端に配してその中間
にU,V,W端子を配列している。また、NおよびU,
V,W端子については、その銅フレームが外囲ケース2
の側壁に沿って延在し、他の端子フレームと内外で対峙
し合うように布設されている。
【0019】次に、前記したパワー回路5と金属ベース
1との組立体に外囲ケース2を組合せ、パワー回路5と
主回路端子3との間をボンディングワイヤ7で相互接続
した組立状態を図5(a),(b) に示し、また図5における
P,W,Nの配線ルート,およびP,V,Nの配線ルー
トをそれぞれ図6(a),(b) および図7(a),(b) に分けて
表す。すなわち、図6においては、右側の回路基板5a
に形成した配線パターンp(図3参照)として斜線を付
して表したPライン(P端子から左側の回路基板を経由
してブレーキ端子Bに至る配線ルート)を、該Pライン
に沿ってその内側に形成した回路基板5aの配線パター
ンnと、この配線パターンnと対峙して外囲ケース2に
設けたフレーム構造のN端子とで両側から挟み込み、こ
の領域で図1(a) に表した挟み込み部9aを形成してい
る。
【0020】また、図6においては、左側の回路基板5
aに実装したW相のIGBTと右側の回路基板5aに実
装したZ相のIGBTに対応する基板上の配線パターン
w,z(図3参照)とこの間に跨がってボンディングワ
イヤで接続されるW端子との間のW相配線ラインについ
ても、そのワイヤ部分を前記したN配線ラインで囲み、
さらにW端子のフレーム一部をN端子のフレームと平行
に沿わせて、図1(b)あるいは(c) に対応する挟み込み
部9bを形成している。
【0021】さらに、図示実施例では、図7で示すよう
に右側の回路基板5aに実装したY相のIGBT(図3
参照)からV端子(銅フレーム端子)に至る配線ルート
についても、前記のW相配線ラインと同様にN配線ライ
ンで挟み込んでいる。このように、N配線ライン9の配
線ルート上で、回路基板5aに形成した配線パターン
n,これに対峙する主回路端子(銅フレーム端子)3の
N端子,および配線パターンnとN端子の間を接続する
ボンディングワイヤ7(2箇所)を利用してPライン,
V,W相の配線ラインを両側から挟み込むようにレイア
ウトすることにより、先述のようにライン相互間の電磁
的結合の度合いが増して配線インダクタンスを低減でき
る。
【0022】なお、前記の実施例では、その配線ルート
上でN配線ライン9がPライン(ブレーキ回路Bに通じ
る回路基板上の配線パターン)およびV,W相の配線ラ
インを挟み込むようにしているが、配線ルートのレイア
ウト変更により、図2(a) 〜(c) で示すように、P配線
ライン8のルート上に形成した挟み込み部8a,8bで
N配線ライン9,W相配線ライン10を挟み込むように
しても配線インダクタンスを低減できる。
【0023】また、前記したN/P/Nの配線挟み込み
部9aは、図5に示した構成とは別に、回路基板5a上
の配線パターンで形成してもよく、さらに主回路端子3
の銅フレームの配列によって形成することも可能であ
る。
【0024】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の構成によれ
ば、パワー回路/主回路端子間の配線ルートについて、
P,Nの一方の配線ラインで他方の配線ラインを両側か
ら挟み込むようにレイアウトしたことにより、配線イン
ダクタンスの低減手段として従来より採用されているP
N平行配線と比べて、より一層高い配線インダクタンス
低減効果が得られる。
【0025】しかも、前記の配線挟み込み部の形成に
は、特別な配線部品を追加したり、モジュール内部の配
線経路を大幅に変更することなしに、半導体装置の組立
構造を生かしてその配線ルート上で形成することができ
るなど、製品の小型化に伴い配線経路が複雑化する半導
体装置に適用してその配線インダクタンスを低減し、そ
の配線インダクタンスに起因する電気的ノイズの発生,
装置の誤動作を効果的に抑えて製品の信頼性向上が図れ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による配線インダクタンスの低
減手段を回路上で模式的に表した原理図であり、(a) 〜
(c) はN配線ラインでP,Wラインを挟み込んだ実施例
の回路図
【図2】図1と異なる実施例の模式回路図であり、(a)
〜(c) はP配線ラインでN,Wラインを挟み込んだ実施
例の回路図
【図3】本発明の実施例による半導体装置の組立構造図
で金属ベースにパワー回路を搭載した回路組立体の平面
【図4】図3の回路組立体に組合せる端子一体形外囲ケ
ースの構造図で、(a),(b) はそれぞれ平面図,および主
回路端子の配列を表した側面図
【図5】図3の回路組立体に図4の外囲ケースを組み合
わせて内部配線した半導体装置の組立構造図で、(a),
(b) はそれぞれ平面図,および縦断側面図
【図6】図5におけるP,N,W,Bの配線ルートを表
す図で、(a),(b) はそれぞれ平面図,および側面図
【図7】図5におけるP,N,V,Bの配線ルートを表
す図で、(a),(b) はそれぞれ平面図,および側面図
【図8】インバータ装置に適用するパワーモジュールを
対象とした従来例の半導体装置の組立構造図
【図9】本発明の実施対象となるインバータ装置の回路
【符号の説明】
1 金属ベース 2 外囲ケース 3 主端子 5 パワー回路 5a パワー回路基板 5a-1 配線パターン 5b パワー半導体素子(IGBT) 7 ボンディングワイヤ 8 P配線ライン 8a,8b 配線挟み込み部 9 N配線ライン 9a,9b 配線挟み込み部 10 W相配線ライン P,N 直流側の入力端子 U,V,W 交流側の出力端子 B ブレーキ回路の端子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】入,出力用の主回路端子(P,N、U,
    V,W相およびB)をケース周域に配列してインサート
    成形した端子一体形の外囲ケースに金属ベース, 上蓋を
    組合せてなるパッケージにパワー回路を搭載し、該パワ
    ー回路と前記主回路端子との間を内部配線した半導体装
    置であり、パワー回路が回路基板に各相に対応する複数
    のパワー半導体素子を実装してなるものにおいて、 パワー回路/主回路端子間の配線ルートについて、P,
    Nの一方の配線ラインで他方の配線ラインを両側から挟
    み込むようにレイアウトしたことを特徴とする半導体装
    置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の半導体装置において、P,
    Nの一方の配線ラインでU,V,W相のいずれかの配線
    ラインを挟み込むようにレイアウトしたことを特徴とす
    る半導体装置。
  3. 【請求項3】請求項1または2記載の半導体装置におい
    て、パワー回路基板上に形成した配線パターン,該配線
    パターンに対峙して外囲ケース側に布設したフレーム構
    造の主回路端子,およびその配線パターンと主回路端子
    の間を接続するボンディングワイヤを経由する配線ルー
    ト上で他方の配線ラインを挟み込むようにしたことを特
    徴とする半導体装置。
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