JP2003017896A - 小型チップマウンター - Google Patents

小型チップマウンター

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JP2003017896A
JP2003017896A JP2001195826A JP2001195826A JP2003017896A JP 2003017896 A JP2003017896 A JP 2003017896A JP 2001195826 A JP2001195826 A JP 2001195826A JP 2001195826 A JP2001195826 A JP 2001195826A JP 2003017896 A JP2003017896 A JP 2003017896A
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JP
Japan
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chip
suction nozzle
supply unit
chip mounter
small
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JP2001195826A
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Takakazu Nara
孝和 奈良
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Mitsumi Electric Co Ltd
Original Assignee
Mitsumi Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型チップマウンターに於て、チップ供給ユ
ニット交換時にチップをマウントするための吸着ノズル
の移動位置を自動的に、且つ、精度良く補正する。 【解決手段】 チップフィーダー2,2…を備えた複数
の供給ユニット3,3…をチップマウンター本体4に並
列に配置すると共に、該供給ユニット3,3…の下流側
に離間して基板5を載置し、且つ、該供給ユニット3,
3…及び該基板5上方に前後左右方向に摺動自在に可動
ヘッド6を備え、該可動ヘッド6に設けた吸着ノズル1
2によって前記チップフィーダー2,2…に収納された
チップを吸着して前記基板5上に搭載するように構成し
た小型チップマウンター26に於て、前記可動ヘッド6
及び前記チップマウンター本体4側に夫々CCDカメラ
27,28を設け、該CCDカメラ27,28によって
撮影される画像データをコンピュータを用いて解析する
ことによって前記吸着ノズル12の移動位置を補正する
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、小型チップマウ
ンターに関するものであり、特に、可動ヘッドに設けた
吸着ノズルによってチップフィーダーに収納されたチッ
プを吸着して基板上に搭載するように構成した小型チッ
プマウンターに於て、CCDカメラを用いて前記吸着ノ
ズルの移動位置補正を自動的に、且つ、精度良く行える
ようにした小型チップマウンターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の此種小型チップマウンターを図4
及び図5に従って説明する。図4に於て、1は小型チッ
プマウンターであり、該小型チップマウンター1はチッ
プフィーダー2,2…を備えた複数の供給ユニット3,
3…をチップマウンター本体4に並列に配置し、該供給
ユニット3,3…の下流側に離間して基板5を載置して
いる。
【0003】更に、該供給ユニット3,3…及び該基板
5上方に可動ヘッド6が備えられ、該可動ヘッド6はX
軸制御モータ7及びY軸制御モータ8によって駆動さ
れ、X軸レール9及びY軸レール10に案内されて前後
左右方向に摺動自在となっている。
【0004】そして、前記可動ヘッド6には下方向に向
かって撮影する上カメラ11が設置されると共に、前記
チップフィーダー2,2…に収納されるチップを吸着す
るための吸着ノズル12が設けられ、一方、前記チップ
マウンター本体4下部には上方向に向かって撮影する下
カメラ13が配設される。
【0005】図5(a)は前記供給ユニット3を示し、
該供給ユニット3には前記チップフィーダー2,2…が
取付けられ、該チップフィーダー2はキャリアテープ1
4と該キャリアテープ14を巻回するリール15から構
成され、該キャリアテープ14にチップ16,16…が
一定間隔で収納されている。
【0006】そして、前記供給ユニット3は該供給ユニ
ット3の下端部を支持する2つの第1ピン17,第2ピ
ン18と該供給ユニット3の上流端部を支持する第3ピ
ン19とで保持され、該3つのピン17,18,19は
前記チップマウンター本体4に固設されている。
【0007】更に、詳細に説明すると、前記供給ユニッ
ト3の下端部に該供給ユニット3の長手方向に長溝状に
切欠され上流方向に開口する第1支持部20と、該第1
支持部20に離間して上流側に位置し下方向に開口する
半円状に切欠された第2支持部21と、前記供給ユニッ
ト3の上流部を長手方向直角方向に折曲して形成したブ
ラケット22に鉛直方向に延びる長孔状に開穿された第
3支持部23が設けられ、前記第1支持部20を前記第
1ピン17に係合し、前記第2支持部21を前記第2ピ
ン18に支持させ、前記第3支持部23を前記第3ピン
19に係合させる。
【0008】而して、複数の前記供給ユニット3,3…
に前記キャリアテープ14,14…を巻回した前記リー
ル15,15…を装着し、該供給ユニット3,3…を前
記チップマウンター本体4に取付け、該供給ユニット
3,3…のチップ収納位置を夫々、前記上カメラ11に
より確認する。
【0009】そして、該上カメラ11によって確認した
チップ位置を初期設定時に予め入力されたチップ位置デ
ータ、又は、先にキー入力されたチップ位置データと比
較して、位置変化がある場合は該チップ収納位置データ
をキー入力にて補正する。更に、該補正された入力デー
タによって前記X軸制御モータ7及び前記Y軸制御モー
タ8が駆動され、該X軸制御モータ7及び前記Y軸制御
モータ8の駆動によって、前記可動ヘッド6が駆動さ
れ、該可動ヘッド6に設けられた前記吸着ノズル12が
前記チップフィーダー2上に収納されたチップ16を吸
着し、前記基板5上に移送し該基板5上に搭載させる。
【0010】又、該基板5上に搭載されたチップ16は
前記上カメラ11で確認して、初期設定時に予め入力さ
れたチップ搭載位置データ、又は、先に入力されたチッ
プ搭載位置データとズレがある場合はキー入力にて補正
される。以後、前記吸着ノズル12によるチップ16の
吸着及び搭載作業が繰り返される。
【0011】次に、前記供給ユニット3を交換した場合
は、再度、前記キャリアテープ14に収納されたチップ
16の位置を前記上カメラ11で確認し、ズレがある場
合は前記チップ収納位置データをキー入力にて補正す
る。又、前記基板5上に搭載された前記チップ16の位
置を前記上カメラ11で確認し、ズレがある場合は該チ
ップ搭載位置データをキー入力にて補正する。
【0012】図5(b)は他の供給ユニット24を示
し、該供給ユニット24は図5(a)に示した前記供給
ユニット3の長孔状に開穿された第3支持部23に代え
て、下方向に開放するV字状の切欠きが形成された第3
支持部25が設けられたものであり、該第3支持部25
を第3ピン19上に載置させることにより該第3支持部
25が第3ピン19に係合される。該第3支持部25は
前記第3支持部23に比較して第3ピン19への係合が
容易になるが、該係合が外れやすいという問題がある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例の小型チッ
プマウンターは、例えば、チップフィーダーを交換する
度、又は、基板の種類を変更する度、供給ユニットを交
換するが、該供給ユニットの機構部品には加工誤差があ
り、交換する供給ユニット間に寸法のバラツキがある。
又、機械的な位置決めを繰返すことにより、位置決めの
精度が悪くなる。
【0014】そのため、前記小型チップマウンターは前
記供給ユニットを交換する度、上カメラで覗いてチップ
収納位置及びチップ搭載位置を確認し、チップ収納位置
データ及びチップ搭載位置データを補正し、吸着ノズル
の吸着動作位置を補正するが、該作業は人手を介して行
われるため精度が悪く、且つ、非効率的である。
【0015】そこで、小型チップマウンターに於て、チ
ップ供給ユニット交換時にチップをマウントするための
吸着ノズルの移動位置を自動的に、且つ、精度良く補正
するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであ
り、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために提案されたものであり、チップフィーダーを
備えた複数の供給ユニットをチップマウンター本体に並
列に配置すると共に、該供給ユニットの下流側に離間し
て基板を載置し、且つ、該供給ユニット及び該基板上方
に前後左右方向に摺動自在に可動ヘッドを備え、該可動
ヘッドに設けた吸着ノズルによって前記チップフィーダ
ーに収納されたチップを吸着して前記基板上に搭載する
ように構成した小型チップマウンターに於て、前記可動
ヘッド及び前記チップマウンター本体側に夫々CCDカ
メラを設け、該CCDカメラによって撮影される画像デ
ータをコンピュータを用いて解析することによって前記
吸着ノズルの移動位置を補正するように構成した小型チ
ップマウンター、及び、上記CCDカメラによって撮影
される画像データは上記チップフィーダーに収納された
チップ収納位置と、該チップを収納するチップ収納部位
置と、上記吸着ノズルで前記チップを吸着した時の該チ
ップの吸着位置と、該チップを上記基板上に搭載した時
のチップ搭載位置とを選択的に撮影した画像データであ
る小型チップマウンター、及び、上記供給ユニットの交
換を光センサーで感知するように構成した小型チップマ
ウンター、並びに、上記供給ユニットの交換を光センサ
ーで感知した時、上記吸着ノズルの移動位置を自動補正
するように構成した小型チップマウンターを提供するも
のである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
1乃至図3に従って詳述する。尚、説明の都合上、従来
例と同一構成部分については同一符号を付してその説明
を省略する。図1に於いて、26は小型チップマウンタ
ーであり、該小型チップマウンター26は可動ヘッド6
に下方向に向かって撮影する上CCDカメラ27が設置
されると共に、吸着ノズル12が設けられ、一方、前記
チップマウンター本体4下部には上方向に向かって撮影
する下CCDカメラ28が配設される。
【0018】他方、供給ユニット3側には該供給ユニッ
ト3を交換した時、該供給ユニット3の交換を感知する
透過型の光センサー29,29が設けられている。図2
は前記可動ヘッド6の駆動機構30及び制御機構31の
概念図を示す。該可動ヘッド6は前記駆動機構30に設
けられたX軸制御モータ7及びY軸制御モータ8によっ
てX軸レール9及びY軸レール10に案内されて前後左
右に摺動自在であり、且つ、該X軸制御モータ7及びY
軸制御モータ8は前記制御機構31のコンピュータ32
から出力されるX軸ドライバ33及びY軸ドライバ34
の指示によって駆動される。
【0019】又、前記吸着ノズル12は前記上CCDカ
メラ27にA寸法離間して前記可動ヘッド6に取付けら
れ、且つ、回転モータ35によって回転自在であり、該
回転モータ35は前記コンピュータ32に制御されるモ
ータドライバ36の指示信号によって駆動される。
【0020】一方、前記上CCDカメラ27及び下CC
Dカメラ28は画像処理CPU37に接続され、該画像
処理CPU37は画像メモリ38に接続されると共に、
前記コンピュータ32に接続される。尚、図に於て、3
9は前記コンピュータ32の制御メモリである。
【0021】而して、前記小型チップマウンター26の
操作手順を図1乃至図3に従って説明すると、先ず、複
数の前記供給ユニット3,3…にキャリアテープ14,
14…を巻回した前記リール15,15…を装荷し、該
供給ユニット3,3…を前記チップマウンター本体4に
取付け、更に、前記供給ユニット3,3…の下流側に該
供給ユニット3,3…と離間して基板5を載置する。
【0022】そして、前記上CCDカメラ27、吸着ノ
ズル12及び下CCDカメラ28の位置をキー入力して
前記コンピュータ32に記憶させる(ステップS1)。
又、前記複数のキャリアテープ14,14…上の最下流
位置にあるチップ16,16…の収納位置、又は、該チ
ップ16,16…が収納された収納部位置と、該チップ
16,16…の前記吸着ノズル12による吸着位置と、
該チップ16,16…の前記基板5搭載位置とを初期位
置としてキー入力する(ステップS2)。
【0023】次に、前記上CCDカメラ27で1つの前
記供給ユニット3の前記キャリアテープ14に収納され
た最下流位置の前記チップ16又は該チップ16が収納
された収納部を撮影し、該画像を前記画像処理CPU3
7及び前記コンピュータ32に送り、該画像を解析する
ことにより(ステップS3)、前記チップ16収納位置
又は前記チップ収納部位置を検知し、既に入力されてい
る前記コンピュータ32内の既入力データとズレがある
場合は(ステップS4)該既入力データを補正する(ス
テップS5)。
【0024】そして、前記吸着ノズル12で前記キャリ
アテープ14に収納された前記チップ16を吸着し(ス
テップS6)、前記可動ヘッド6を摺動させることによ
り該チップ16を前記下CCDカメラ28上に移動さ
せ、該下CCDカメラ28で該チップ16を撮影し、該
画像を前記画像処理CPU37及び前記コンピュータ3
2に送り、該画像を解析することにより(ステップS
7)、前記チップ16の吸着位置を検知し、既に入力さ
れている前記コンピュータ32内の既入力データとズレ
がある場合は(ステップS8)該記入力データを補正す
る(ステップS9)。
【0025】次に、前記チップ16を前記基板5上に搭
載し(ステップS10)、搭載した該チップ16を前記
上CCDカメラ27で撮影して、該画像を前記画像処理
CPU37及び前記コンピュータ32に送り、該画像を
解析することにより(ステップS11)、前記チップ1
6の搭載位置を検知し、既に入力されている前記コンピ
ュータ32内の既入力データとズレがある場合は(ステ
ップS12)該既入力データを補正する(ステップS1
3)。そして、更に、他の供給ユニット3のチップ16
を撮影して補正する場合は(ステップS14)、前記ス
テップS3に戻り、一方、他の供給ユニット3のチップ
16を撮影しない場合は次のステップに進む。
【0026】これにより、前記チップ16,16…の収
納位置データ又は収納部位置データと、吸着位置データ
と、搭載位置データとを1台又は複数台の供給ユニット
3,3…のチップ16,16…について補正することが
でき、該補正されたデータを用いて、前記吸着ノズル1
2で前記チップ16を吸着し(ステップS15)、該チ
ップ16を前記基板5上に搭載する(ステップS1
6)。
【0027】そして、前記光センサー29で前記供給ユ
ニット24の交換を感知した場合は(ステップS1
7)、前記コンピュータ32のプログラムを交換用プロ
グラムに交換し(ステップS18)、該交換用プログラ
ムによって前記ステップS3に戻り、以下前記同様の手
順を繰り返し、前記光センサー29による前記供給ユニ
ット24の交換が感知されない場合は、次に作業終了か
どうかの確認をし(ステップS19)作業終了の場合は
作業停止し(ステップS20)、作業終了しない場合は
前記ステップS15に戻り、以下前記同様の手順を繰り
返す。
【0028】尚、前記光センサー29は透過型のセンサ
ーであるため、交換する前記供給ユニット24の特定が
出来ず、前記補正操作が行われる時は該補正操作は全供
給ユニット3,3…の最下流位置のチップ16,16…
について行われるが、交換する供給ユニット3を特定で
きる適宜手段を備えた場合には、前記補正操作は該特定
された供給ユニット3の最下流位置のチップ16に対し
てのみ行えばよい。
【0029】斯くして、前記小型チップマウンター26
は前記供給ユニット3の交換を前記光センサー29で感
知すると、連動して、前記チップ16をマウントするた
めの吸着ノズル12の位置補正を自動的に、且つ、精度
良く行うことができる。尚、本発明は、本発明の精神を
逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、
本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【0030】
【発明の効果】本発明は上記一実施の形態に詳述したよ
うに、請求項1記載の発明は小型チップマウンターに於
て、可動ヘッド及びチップマウンター本体側に夫々CC
Dカメラを設け、該CCDカメラによって撮影される画
像データをコンピュータを用いて解析することによって
前記吸着ノズルの移動位置を補正するように構成したか
ら、チップ供給ユニット交換時に吸着ノズルの移動位置
を自動的に、且つ、精度良く補正することができる。
【0031】請求項2記載の発明は上記CCDカメラに
よって撮影される画像データは上記チップフィーダーに
収納されたチップ位置と、該チップを収納するチップ収
納部位置と、上記吸着ノズルで前記チップを吸着した時
の該チップの吸着位置と、該チップを上記基板上に搭載
した時のチップ搭載位置とを選択的に撮影した画像デー
タであるから、請求項1記載の発明の効果に加え、吸着
ノズルの移動位置補正を更に精度良く行うことができ
る。
【0032】請求項3記載の発明は上記供給ユニットの
交換を光センサーで感知するように構成したから、請求
項1又は2記載の発明の効果に加え、供給ユニットの交
換を自動感知できる。請求項4記載の発明は上記供給ユ
ニットの交換を光センサーで感知した時、上記吸着ノズ
ルの移動位置を自動補正するように構成したから、請求
項1,2又は3記載の発明の効果に加え、供給ユニット
の交換と吸着ノズルの移動位置補正を連動して自動的に
行える等、正に著大なる効果を奏する発明である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態を示し、小型チップマウ
ンターの平面図。
【図2】本発明の一実施の形態を示し、小型チップマウ
ンター可動ヘッド駆動機構及び制御機構の概念図。
【図3】本発明の一実施の形態を示し、小型チップマウ
ンターの操作手順を示すフローチャート図。
【図4】従来例を示し、小型チップマウンターの平面
図。
【図5】(a)従来例を示し、供給ユニットの斜視図。 (b)従来例を示し、他の供給ユニットの斜視図。
【符号の説明】
2 チップフィーダー 3 供給ユニット 4 チップマウンター本体 5 基板 6 可動ヘッド 12 吸着ノズル 16 チップ 26 小型チップマウンター 27,28 CCDカメラ 29 光センサー 32 コンピュータ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップフィーダーを備えた複数の供給ユ
    ニットをチップマウンター本体に並列に配置すると共
    に、該供給ユニットの下流側に離間して基板を載置し、
    且つ、該供給ユニット及び該基板上方に前後左右方向に
    摺動自在に可動ヘッドを備え、該可動ヘッドに設けた吸
    着ノズルによって前記チップフィーダーに収納されたチ
    ップを吸着して前記基板上に搭載するように構成した小
    型チップマウンターに於て、前記可動ヘッド及び前記チ
    ップマウンター本体側に夫々CCDカメラを設け、該C
    CDカメラによって撮影される画像データをコンピュー
    タを用いて解析することによって前記吸着ノズルの移動
    位置を補正するように構成したことを特徴とする小型チ
    ップマウンター。
  2. 【請求項2】 上記CCDカメラによって撮影される画
    像データは上記チップフィーダーに収納されたチップ収
    納位置と、該チップを収納するチップ収納部位置と、上
    記吸着ノズルで前記チップを吸着した時の該チップの吸
    着位置と、該チップを上記基板上に搭載した時のチップ
    搭載位置とを選択的に撮影した画像データであることを
    特徴とする請求項1記載の小型チップマウンター。
  3. 【請求項3】 上記供給ユニットの交換を光センサーで
    感知するように構成したことを特徴とする請求項1又は
    2記載の小型チップマウンター。
  4. 【請求項4】 上記供給ユニットの交換を光センサーで
    感知した時、上記吸着ノズルの移動位置を自動補正する
    ように構成したことを特徴とする請求項1,2又は3記
    載の小型チップマウンター。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7499145B2 (en) 2003-10-10 2009-03-03 Canon Kabushiki Kaisha Illumination optical system and exposure apparatus having the same

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