JP2002544433A - 電磁複合アクチュエータ - Google Patents

電磁複合アクチュエータ

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JP2002544433A JP2000618591A JP2000618591A JP2002544433A JP 2002544433 A JP2002544433 A JP 2002544433A JP 2000618591 A JP2000618591 A JP 2000618591A JP 2000618591 A JP2000618591 A JP 2000618591A JP 2002544433 A JP2002544433 A JP 2002544433A
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Abstract

(57)【要約】 電磁作動弁用の複合アクチュエータにおいて、それぞれ可動子（１０）と２つの電磁石とを有する複数の可動子軸部（９）が貫通するケーシング（１，２，３）を提案する。前記電磁石は両方ともケーシング内に位置している。各可動子（１０）を２つのばねが前記電磁石間の休止位置へ負荷する。この構造に基づき、駆動しようとする弁の上位に供与されている基底面が最適に利用されて可動子（１０）は最大面積を有しており且つ対応するケーシング下面（１５）を介して熱伝導による最適な熱導出が可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、特に内燃機関の２つのガス交換弁のための電磁複合アクチュエータ
に関する。
【０００２】 内燃機関のガス交換弁のためのアクチュエータは公知である。カムシャフト作
動式の弁とは異なり、電磁式で駆動される弁は開閉をクランクシャフトの回転位
置に関連して制御される。この場合、アクチュエータは特に排気弁の開放時に大
きな力を付与する必要があり、ガス交換弁の各終端位置は開閉時に確実に到達さ
れねばならない。
【０００３】 電磁式のアクチュエータは例えばドイツ連邦共和国特許第１９７３５３７５号
明細書に基づき公知である。この公知のアクチュエータは２つのばねによって２
つの電磁石間の中間位置で保持される可動子を有している。前記電磁石の内の一
方に給電することにより、可動子は電磁石に対応した各終端位置へ引きつけられ
、そこで保持される。アクチュエータ延いてはこのアクチュエータによって駆動
されるガス交換弁を一方の終端位置から他方の終端位置へ移動させるためには、
保持しているコイルの給電が終了されて他方のコイルが給電され、これにより、
可動子がばね及び接続された電磁石の力に基づき他方の終端位置へ運動させられ
る。
【０００４】 例えば内燃機関における弁運動制御のためにアクチュエータの運動を制御する
には、アクチュエータのストローク運動を常に測定する必要がある。内燃機関の
場合、ガス交換弁の弁ストロークは一般に８ｍｍである。
【０００５】 有効な弁制御を可能にするためには、このストロークは約１／１００ｍｍまで
正確に測定しなければならない。
【０００６】 このためには、電磁石のコイルのインダクタンスを測定する（ヨーロッパ特許
第０５００３８９号明細書）か、又は可動子の位置を認識するためには渦電流セ
ンサ又は光学位置センサ（ヨーロッパ特許第０４９３６３４号明細書）を使用す
ることが公知である。
【０００７】 アクチュエータの電磁式の駆動はかなりの力を付与しなければならないので、
一方では可動子及び電磁石の面積をなるべく大きく選択するのが望ましく、且つ
他方では電磁石の強度の熱的負荷が生ぜしめられる。但し、例えば内燃機関のガ
ス交換弁を駆動するアクチュエータのために供与されている構成空間は制限され
ている。
【０００８】 このようなアクチュエータにおける熱問題を解決する手段は、例えば内燃機関
の冷却回路等の冷却回路への接続である。但しこのことは相殺不能に大きな手間
を要する。
【０００９】 更に、上で述べたアクチュエータは比較的組み込み難い。それというのも、こ
れらのアクチュエータは多数の個別部材から構成されているからである。
【００１０】 従って本発明の課題は、大きな力を付与し且つ冷却回路への接続無しで済むコ
ンパクトな電磁アクチュエータを提供することである。
【００１１】 この課題は請求項１で規定された本発明によって解決される。
【００１２】 本発明によるコンセプトでは、少なくとも２つの個別アクチュエータが１つの
複合アクチュエータに統合される。このような複合アクチュエータはケーシング
を有しており、このケーシングを通って少なくとも２本の可動子軸部が延びてお
り、これらの可動子軸部に各１つの可動子が固定されており、この可動子は２つ
の電磁石間に位置しており且つ２つのばねによって休止位置で保持される。
【００１３】 このコンセプトに基づき、複合アクチュエータの下面、即ち例えば内燃機関内
のガス交換弁に面した側の大面積が、例えば内燃機関のシリンダヘッド等の冷却
される面に接触してよい。この場合、この冷却される構成部材の提供されている
面は複合アクチュエータによって最適に被覆されている。それというのも、通常
は個別アクチュエータ間に残るギャップが省かれているからである。複数の個別
アクチュエータを１つのケーシング内にまとめることにより、可動子及び電磁石
の面積を最大にすることができる。最終的には複合アクチュエータの大面積の側
壁に基づき、冷却される構成部材に接触している下面に対するアクチュエータの
上面の良好な熱結合が生ぜしめられる。
【００１４】 有利には、ばねはケーシング外に位置している。この場合、コイルコアを簡単
に固定することができる。
【００１５】 更に、ケーシングは可動子軸部の軸に沿った可動子の長手方向ガイドを引き受
けるので、従来技術では必要な別個の捻れ防止装置を省くことができる。それと
いうのも、可動子は前記長手方向ガイドに基づいて、最早ばねにより惹起される
ねじれに従う恐れはないからである。
【００１６】 更に、本発明による構成はアクチュエータの構成部材を減らすので、これによ
り組込みが著しく簡単になる。有利には、ケーシングはまず一体で製作されてか
ら目標破断箇所で破断され、これにより、少なくとも１つの側壁を貫通するボル
トによって一緒に保持される複数のケーシング部材が接合された後に最適な嵌合
が得られる。
【００１７】 各アクチュエータの可動子の位置測定は、有利には複合アクチュエータのケー
シングに固定された磁界感応型測定センサ及び可動子に関してそれぞれ不動に取
り付けられた対応する永久磁石を用いた無接触式の測定によって行われる。各永
久磁石は漂遊磁界を発生させる。対応配置された磁界感応型測定センサの信号は
、有利には磁界の方向だけに関連しており、当該センサは永久磁石の位置延いて
は可動子の位置を検出する。複合アクチュエータが内燃機関のガス交換弁を駆動
する場合、可動子の位置は各ガス交換弁の位置に対応している。
【００１８】 本発明の原理は全てのアクチュエータアレイに適用可能であり、例えば内燃機
関の吸排気側の全てのアクチュエータを１つのアクチュエータアレイに統合する
ことができる。この場合、可動子のガイドを保証するためにはケーシング内に垂
直な隔壁を設けることができる。
【００１９】 本発明の有利な構成は従属請求項に記載されている。
【００２０】 以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００２１】 図１には、内燃機関のガス交換弁である少なくとも２つのキノコ弁を駆動する
電磁複合アクチュエータの断面図が示されている。この複合アクチュエータは、
例えばシリンダの２つの吸気弁を駆動する。但し、図１の断面図にはこれらの弁
の内の１つだけが対応するアクチュエータ部材と一緒に示されている。
【００２２】 図１の電磁複合アクチュエータは内燃機関のシリンダヘッド６０に固定されて
おり且つガス交換弁を駆動する。このためには、複合アクチュエータはケーシン
グ内に、駆動しようとするガス交換弁当たり１枚のプレート状の可動子１０を有
しており、この可動子１０は可動子軸部９に取り付けられており、この可動子軸
部９もやはり弁軸部６４に載着されている。この場合、可動子軸部９はシリンダ
ヘッド６０の凹部６３に突入しており、この凹部６３には弁座６１を備えた弁か
さ６２を有するガス交換弁が座着している。
【００２３】 弁かさ６２は、シリンダヘッド６０の凹部６３に載着された座金６９と弁軸部
６４に固定された弁ばね皿６７との間で緊締されているばね６８によって上向き
で、弁座６１がガス交換弁を閉鎖する終端位置に向かって押圧される。
【００２４】 この場合、前記ばね６８は可動子軸部９及び可動子１０にも作用する。ばね６
８に抗して作用するように、可動子軸部に固定された可動子ばね皿１３とケーシ
ングに載着された座金１１との間にばね１２が緊締されており、このばね１２は
可動子軸部９を下向きに押圧する。
【００２５】 可動子１０は、下側のケーシング部材３と上側のケーシング部材１と真ん中の
ケーシング部材２とから構成されたケーシング内で２つの電磁石間に位置してい
る。下側の電磁石は下側のコイルコア６と下部コイル８とから成っており、上側
の電磁石は上側のコイルコア５と上部コイル７とから成っている。前記ケーシン
グ部材は互いにねじ締結されている。
【００２６】 コイル７，８は制御回路（図示せず）によって制御される適当な駆動回路によ
って給電される。
【００２７】 コイルコアの端面はそれぞれ可動子１０用のストッパであり、この可動子１０
の終端位置を規定する。ばね１２，６８は、コイル７，８の非給電状態において
可動子１０を前記終端位置間の休止位置で保持し、これらの休止位置から可動子
１０は電磁石によって変位可能である。
【００２８】 ３ピースケーシングはアルミニウムダイカストから製作されている。ケーシン
グ部材１，２，３は４本のスペーサボルト５８によって一緒に保持されており、
これらのスペーサボルト５８はケーシング上面１４からケーシング下面１５に向
かって延び且つシリンダヘッド６０においてねじ締結されている。
【００２９】 電磁複合アクチュエータのケーシングを貫通して複数の可動子軸部９が延びて
おり、それぞれブシュ４内を案内される。可動子軸部９毎に一方のブシュ４が上
側のケーシング部材１に固定されており且つ他方のブシュ４が下側のケーシング
部材３に固定されている。
【００３０】 図２及び図３では下側のケーシング部材３がコイルコア６及びコイル８と一緒
により正確に示されている。
【００３１】 図２では、複合アクチュエータに関して下側の全ての電磁石のためには唯一の
下側のコイルコア６しか設けられていないということが判る。このコイルコア６
はコイル８を収容するための適当なスリット１９と、各可動子軸部９用の孔１８
とを有している。各孔１８に整合されてコイルコア６の下位にはブシュ４が位置
しており、このブシュ４は下側のケーシング部材３に固定されており且つ対応す
る可動子軸部９を案内する。前記スリット１９は下側のケーシング部材３の内壁
の対応する成形部と協働するので、図３において良く判るように、コイル８用の
収容部が得られる。対応する開口を通ってコイル８の端子２０が外部へ突出して
いるので、これらの端子は接触接続して駆動回路に接続することができる。下側
のケーシング部材３の角隅部にはそれぞれ孔１７が設けられており、これらの孔
１７を通って、ケーシング部材を互いに結合し且つ内燃機関のシリンダヘッド６
０に結合するスペーサボルト５８が延びている。
【００３２】 上で説明した構成により、１つにはケーシング下面１５が内燃機関のシリンダ
ヘッド６０に接して提供されている面を最適に利用するということが達成される
。これにより、複合アクチュエータの別個の冷却を省くことができる。それとい
うのも、下側のケーシング部材３と冷却されるシリンダヘッド６０との間で熱伝
達のための大きな面が得られるからである。
【００３３】 上側のケーシング部材１は図２及び図３に示した構成の下側のケーシング部材
３と同様に構成されている。これらの両ケーシング部材１，３の間には真ん中の
ケーシング部材２が配置されており、この真ん中のケーシング部材２は可動子１
０の長手方向ガイドを引き受ける（図１参照）ガイド部材１９ａを有している。
前記長手方向ガイドにより、別個の捻れ防止装置を考慮する必要がなくなる。そ
れというのも、可動子１０は最早ばね１２，６８により惹起される、圧縮時に発
生する捻れに従わないからである。
【００３４】 ケーシングの側壁の上位、例えば良好に温められる材料（この場合はアルミニ
ウム）から製作された側壁１６を介して、上側のケーシング部材１からシリンダ
ヘッド６０と接触状態にある下側のケーシング部材３への良好な熱搬送が可能で
ある。これにより、上側の電磁石で発生する損失熱は良好にケーシング下面１５
へ搬送され、このケーシング下面１５において、冷却されたシリンダヘッド６０
と接触することにより導出される。
【００３５】 １つのケーシング内に複数の可動子軸部９を可動子１０及び対応する電磁石と
一緒に配置することにより、ケーシング部材１，２，３を相互に固定し且つこれ
らのケーシング部材をシリンダヘッド６０に固定するスペーサボルトがケーシン
グの最外縁部へ移動することができるので、可動子１０は提供されている面を最
適に利用する。これにより、ガス交換弁を最大の力で駆動することができる。
【００３６】 ガイド部材１９ａによる可動子ガイドに基づき、磁極面延いてはアクチュエー
タによって付与可能な力を減少させる恐れのあるコイルコア５，６における別個
のガイド側壁は不要である。その結果、同時にケーシングがより一層安定し、コ
イルコア５，６はより良好に固定されている。
【００３７】 択一的な実施例では、ケーシングは２ピースで構成されている。この場合、ま
ず１体に製作されて目標破断箇所が溝付けされる。次いで、ケーシングは前記目
標破断箇所で上側部分と下側部分とに破断される。次いでブシュ４，コイルコア
５，６及びコイル７，８が挿入されて、可動子１０を備えた可動子軸部９が挿入
される。それから前記の上側部分と下側部分とが再び接合される。この場合、破
断面に基づき極めて高い寸法安定性が得られる。更に、前記破断面を介した熱伝
達は、大きな噛合いに基づき普通の突合わせ面を介した熱伝達よりも良好である
。最終的には、接触面における加工ステップが省かれるので、ケーシングに関す
る製作コストが下がる。
【００３８】 可動子１０及びこの可動子１０により駆動される弁かさ６２の行程位置を測定
するためには、可動子軸部９がブシュ４を介して上側のケーシング部材１から導
出されている。可動子軸部９にはケーシングの外側で永久磁石５０が固定されて
いる。この場合、可動子軸部９がほぼ非磁性の材料から成っていると好適である
。
【００３９】 永久磁石５０付近のケーシング上面１４には、ホルダ５２とねじ５３とによっ
て磁界感応型の測定センサ５１が固定されている。この場合はジャイアントＭＲ
測定センサである。但し、測定センサ５１としては別の原理で作動する測定セン
サ若しくは複数の測定センサの組合せも可能である。
【００４０】 測定センサ５１は出力信号を導線（詳しくは図示せず）を介して評価電子機器
に送る。測定センサ５１の出力信号は、永久磁石５０によって発生された磁界の
磁力線の方向だけに関連し、磁界の強度には関連しないか又は僅かにしか関連し
ない。これにより、永久磁石５０延いては可動子１０延いては弁かさ６２の位置
は、永久磁石５０と測定センサ５１との間の間隔若しくは永久磁石５０の磁界の
強さに関して製作誤差がある場合でも確実に検出され得る。
【００４１】 可動子軸部９の回転は、ガイド部材１９ａの可動子長手方向ガイドによって排
除されているので、別個の捻れ防止装置は不要である。但し念のために、可動子
軸部９の軸線に対して回転対称で位置する環状の永久磁石５０が使用されてよい
。
【００４２】 勿論、永久磁石５０の位置を規定するためには、複数の磁界感応型の測定セン
サ５１を可動子軸部９に設けられた例えばホイートストーンブリッジ又はディフ
ァレンシャル装置等の装置に設けることも可能である。
【００４３】 本発明によるコンセプトの変化態様では、永久磁石５０は測定センサ５１に固
着結合されていてよく、弁軸部９若しくはこの弁軸部に固定された構成部材は軟
磁性材料若しくは強磁性材料から成っていてよい。この場合、前記材料は可動部
材と永久磁石５０との間の空隙に位置する測定センサに対して相対的に運動する
。
【００４４】 有利には、全ての磁界感応型測定センサ５１が保護カバー５７によって磁気障
害及び電気障害から保護される（図４参照）。複合アクチュエータの全ての磁界
感応型測定センサ５１は、エネルギ供給のため及び測定信号を読み取るために共
通のコネクタ条片５６に接続されており且つこのコネクタ条片５６を介して接触
接続される。
【００４５】 ここで説明したダブルアクチュエータの代わりに、２つ以上のガス交換弁を単
一の複合アクチュエータによって作動させることもできる。このようにして、例
えば内燃機関の吸気側の弁全てを１アクチュエータアレイによって駆動すること
が可能である。この場合、安定性の理由から及び可動子のガイドを改良するため
に、個々のアクチュエータ部材間又はダブルアクチュエータ間に形成された垂直
な中間壁を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 複合アクチュエータの断面図である。
【図２】 複合アクチュエータのケーシング下側部分の分解図を下部コイルコア及びブシ
ュと一緒に示した図である。
【図３】 複合アクチュエータのケーシング下側部分の分解図を組み込まれたコイルコア
及び２つの下部コイルと一緒に示した図である。
【図４】 複合アクチュエータの斜視図である。
【符号の説明】
１ 上側のケーシング部材、 ２ 真ん中のケーシング部材、 ３ 下側のケ
ーシング部材、 ４ ブシュ、 ５，６ コイルコア、 ７ 上部コイル、 ８
下部コイル、 ９ 可動子軸部、 １０ 可動子、 １１ 座金、 １２ ば
ね、 １３ 可動子ばね皿、 １４ ケーシング上面、 １５ ケーシング下面
、 １６ 側壁、 １７，１８ 孔、 １９ スリット、 １９ａ ガイド部材
、 ２０ 端子、 ５０ 永久磁石、 ５１ 測定センサ、 ５２ ホルダ、
５８ スペーサボルト、 ６０ シリンダヘッド、 ６１ 弁座、 ６２ 弁か
さ、 ６３ 凹部、 ６４ 弁軸部、 ６８ ばね、 ６９ 座金
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年４月３日（２００１．４．３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルベルト ヘール−リーグル ドイツ連邦共和国 タウフキルヒェン／フ ィルス ガイスルバッハ 24 (72)発明者 フェルディナント レベリング ドイツ連邦共和国 アルテグロフスハイム アムゼルヴェーク ６ (72)発明者 シュテファン ロイドル ドイツ連邦共和国 エメリング モーゼフ ェルトシュトラーセ ６ Ｆターム(参考） 3G018 AB08 AB09 AB16 BA38 DA34 DA35 DA36 DA37 DA38 DA42 DA66 DA83 DA86 GA14 GA24

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも２本の可動子軸部（９）が貫通しているケーシン
    グ（１，２，３）が設けられており、前記可動子軸部に各１つの可動子（１０）
    が固定されており、該可動子がそれぞれ各１つのコイルコア（５，６）とコイル
    （７，８）とを有する２つの電磁石間に位置しており、各可動子（１０）が第１
    及び第２のばね（１２，６８）によって逆方向で前記電磁石間の休止位置へ負荷
    されるようになっており、前記第１のばね（１２）がそれぞれケーシングの１部
    材（３）と可動子軸部（９）に固定された可動子ばね皿（１３）との間で緊締さ
    れていることを特徴とする、特に内燃機関の少なくとも２つのガス交換弁のため
    の電磁複合アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 ケーシング（１，２，３）が内側に、可動子（１０）を可動
    子軸部（９）の軸に沿ってガイドするガイド部材（１９ａ）を有している、請求
    項１記載の複合アクチュエータ。
  3. 【請求項３】 ケーシング（１，２，３）の少なくとも１つの側壁（１６）
    が、ケーシング上面（１４）から、冷却された部材（６０）との接触によって冷
    却されるケーシング下面（１５）への良好な熱導出が生ぜしめられるように形成
    されている、請求項１又は２記載の複合アクチュエータ。
  4. 【請求項４】 各可動子軸（９）が、ケーシング上面（１４）若しくはケー
    シング下面（１５）に挿入されたブシュ（４）内を案内されている、請求項１か
    ら３までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  5. 【請求項５】 第１のばね（１２）がケーシング側で、ばねテンションの調
    整のために軸方向で調節可能な座金（１１）に支持されている、請求項１から４
    までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  6. 【請求項６】 ケーシングが２ピースであり、両ケーシング部材（１，３）
    が、ケーシング（１，２，３）の少なくとも１つの側壁（１６）を貫通して延び
    るボルトを介して結合されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の複
    合アクチュエータ。
  7. 【請求項７】 ケーシング部材（１，３）が一体のケーシングを破断するこ
    とによって製作されており、これにより破断箇所がケーシング部材の嵌合を保証
    する、請求項６記載の複合アクチュエータ。
  8. 【請求項８】 ２本以上の可動子軸部（９）が可動子（１０）及び所属の電
    磁石を備えて設けられており、２つの可動子とその電磁石との間にケーシング（
    １，２，３）が分割部を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載の
    複合アクチュエータ。
  9. 【請求項９】 分割部が、少なくとも１つの可動子（１０）を可動子軸部（
    ９）の軸に沿ってガイドするガイド部材（１９ａ）を有している、請求項８記載
    の複合アクチュエータ。
  10. 【請求項１０】 複数の電磁石が共通のコイルコア（５，６）を有している
    、請求項１から９までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  11. 【請求項１１】 第２のばね（１２）が、それぞれ駆動されるガス交換弁の
    弁軸部（６４）に固定された弁ばね皿（６７）と、前記ガス交換弁のガイドされ
    るシリンダヘッド（６０）との間で緊締されている、請求項１から１０までのい
    ずれか１項記載のガス交換弁のための複合アクチュエータ。
  12. 【請求項１２】 可動子（１０）毎に、該可動子（１０）に関して固定され
    た永久磁石（５０）とケーシング（１，２，３）に関して固定された磁界感応型
    測定センサ（５１）とを備えた測定装置（５０，５１）が設けられている、請求
    項１から１１までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  13. 【請求項１３】 永久磁石（５０）の内の少なくとも１つが所属の可動子軸
    部（９）に固定されている、請求項１２記載の複合アクチュエータ。
  14. 【請求項１４】 可動子（１０）毎に、該可動子（１０）に関して固定され
    た構成部材とケーシング（１，２，３）内に固定された永久磁石（５０）とを備
    えた測定装置（５０，５１）、並びにケーシング（１，２，３）に固定された少
    なくとも１つの磁界感応型測定センサ（５１）が設けられており、該測定センサ
    （５１）が前記構成部材と永久磁石（５０）との間の空隙に位置している、請求
    項１から１１までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  15. 【請求項１５】 前記各構成部材が軟磁性材料又は強磁性材料から成ってい
    る、請求項１４記載の複合アクチュエータ。
  16. 【請求項１６】 少なくとも１つの測定センサ（５１）の出力信号がほぼ磁
    界の方向だけに関連している、請求項１２から１５までのいずれか１項記載の複
    合アクチュエータ。
  17. 【請求項１７】 磁界感応型測定センサ（５１）の内の少なくとも１つが、
    異方性ＭＲセンサ、ホールセンサ、マグネットレジスター、マグネットリストリ
    クティブジャイアントＭＲ層システム（magnetorestriktives Giant-MR-Schicht
    system)の内の１つ又は複数のセンサを有している、請求項１２から１６までの
    いずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  18. 【請求項１８】 永久磁石（５０）の内の少なくとも１つが可動子軸部（９
    ）の軸線に対して対称的である、請求項１２から１７までのいずれか１項記載の
    複合アクチュエータ。
  19. 【請求項１９】 磁界感応型測定センサ（５１）の内の少なくとも１つが、
    電気的及び／又は磁気的なノイズフィールドから少なくとも部分的に保護されて
    いる、請求項１２から１８までのいずれか１項記載の複合アクチュエータ。
  20. 【請求項２０】 電磁石がそれぞれ１ケーシング内に位置しており、可動子
    軸部（９）がそれぞれケーシングから突出しており、永久磁石（５０）及び測定
    センサ（５１）がそれぞれケーシング外に位置している、請求項１９記載の複合
    アクチュエータ。
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