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【特許請求の範囲】
【請求項１】 酸化アルミニウムを含んでなる粒子の集合体であって、約５ｎｍから約５００ｎｍの平均粒径を有し、且つその粒子の集合体の平均粒径の約３倍より大きい粒径を有する粒子を実質的に含んでいない、粒子の集合体。
【請求項２】 その粒子の集合体が、その粒子の少なくとも約９５パーセントがその平均粒径の約４０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１６０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、請求項１に記載の粒子の集合体。
【請求項３】 酸化アルミニウムを含んでなる粒子の集合体であって、その粒子の集合体は、約５ｎｍから約５００ｎｍの平均粒径および、その粒子の少なくとも約９５パーセントがその平均粒径の約４０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１６０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、粒子の集合体。
【請求項４】 その粒子の集合体が約５ｎｍから約２５ｎｍの平均粒径を有する、請求項１〜３のいずれかに記載の粒子の集合体。
【請求項５】 その酸化アルミニウムがγ−Ａｌ2Ｏ3の結晶構造を有する、請求項１〜４のいずれかに記載の粒子の集合体。
【請求項６】 その酸化アルミニウムがδ−Ａｌ 2 Ｏ 3 又はθ−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶構造を有する、請求項１〜４のいずれかに記載の粒子の集合体。
上に説明した実施態様は、例示的であることを意図するものであり、限定を意図するものではない。本発明の追加的実施態様は、本特許請求の範囲内である。本発明は、推奨される実施態様を引用することにより説明されたが、この技術分野の習熟者なら、本発明の精神と範囲から逸脱することなしに、形および細部において、変更がなされ得ることを認めるであろう。
［本発明の態様］
［１］ 酸化アルミニウムを含んでなる粒子の集合体であって、約５ｎｍから約５００ｎｍの平均粒径を有し、且つその粒子の集合体の平均粒径の約４倍より大きい粒径を有する粒子を実質的に含んでいない、粒子の集合体。
［２］ その粒子の集合体が約５ｎｍから約２５ｎｍの平均粒径を有する、１に記載の粒子の集合体。
［３］ その酸化アルミニウムがγ−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶構造を有する、１に記載の粒子の集合体。
［４］ その粒子の集合体がその平均粒径の約３倍より大きい粒径を有する粒子を実質的に含んでいない、１に記載の粒子の集合体。
［５］ その粒子の集合体がその平均粒径の約２倍より大きい粒径を有する粒子を実質的に含んでいない、１に記載の粒子の集合体。
［６］ その粒子の集合体が、その粒子の少なくとも約９５パーセントがその平均粒径の約４０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１６０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、１に記載の粒子の集合体。
［７］ その粒子の集合体が、その粒子の少なくとも約９５パーセントがその平均粒径の約６０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１４０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、１に記載の粒子の集合体。
［８］ その粒子の集合体が、その粒子の少なくとも約９９パーセントがその平均粒径の約４０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１６０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、１に記載の粒子の集合体。
［９］ １に記載の酸化アルミニウム粒子の分散物を含んでなる研磨用組成物。
［１０］ その酸化アルミニウム粒子がγ−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶構造を有する、９に記載の研磨用組成物。
［１１］ その研磨用組成物が約０．０５重量パーセントから約１５重量パーセントの酸化アルミニウム粒子を含んでなる、９に記載の研磨用組成物。
［１２］ その研磨用組成物が約１．０重量パーセントから約１０重量パーセントの酸化アルミニウム粒子を含んでなる、９に記載の研磨用組成物。
［１３］ その分散液が水系分散液である、９に記載の研磨用組成物。
［１４］ その分散液が非水系分散液である、９に記載の研磨用組成物。
［１５］ 炭化ケイ素、酸化アルミニウム以外の金属酸化物、金属硫化物および金属炭化物からなる群から選ばれる組成物を含んでなる研磨性粒子をさらに含んでなる、９に記載の研磨用組成物。
［１６］ コロイド状粒子をさらに含んでなる、９に記載の研磨用組成物。
［１７］ 約５ｎｍから約５００ｎｍの平均粒径を有する酸化アルミニウム粒子の集合体を製造する方法であって、この方法は反応チャンバー中で分子流を熱分解することを含んでなり、その分子流はアルミニウム前駆体、酸化剤および赤外線吸収剤を含んでなり、その熱分解はレーザビームから吸収された熱により駆動されるところの方法。
［１８］ その酸化アルミニウム粒子が約５ｎｍから約１００ｎｍの平均粒径を有する、１６に記載の方法。
［１９］ 酸化アルミニウムを含んでなる粒子の集合体であって、その粒子の集合体は、約５ｎｍから約５００ｎｍの平均粒径および、その粒子の少なくとも約９５パーセントがその平均粒径の約４０パーセントより大きく且つその平均粒径の約１６０パーセントより小さい直径を有するような粒径分布を有する、粒子の集合体。
［２０］ その酸化アルミニウムがγ−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶構造を有する、１９に記載の粒子の集合体。
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