JP3195269B2 - 酸化セリウムと二酸化珪素とからなる微細なシリコンウェハー用研磨材、及びその製造方法 - Google Patents
酸化セリウムと二酸化珪素とからなる微細なシリコンウェハー用研磨材、及びその製造方法Info
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- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、酸化セリウムと、
金属酸化物およびメタロイド酸化物の群から選択される
少なくとも１種の酸化物とからなる微細な混合物、その
製造方法および使用法に関する。
金属酸化物およびメタロイド酸化物の群から選択される
少なくとも１種の酸化物とからなる微細な混合物、その
製造方法および使用法に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化
物の群から選択される少なくとも１種の酸化物とからな
る微細な混合物を提供することである。
は、酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化
物の群から選択される少なくとも１種の酸化物とからな
る微細な混合物を提供することである。
【０００３】
【課題を解決するための手段】前記課題は、酸化セリウ
ム０.００１〜９５重量％と、熱分解により製造される
金属酸化物およびメタロイド酸化物の群から選択される
少なくとも１種の酸化物とからなり、得られた混合物の
比表面積が１０〜４００ｍ2／ｇであることを特徴とす
る、酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化
物の群から選択される少なくとも１種の酸化物とからな
る微細な混合物により解決される。
ム０.００１〜９５重量％と、熱分解により製造される
金属酸化物およびメタロイド酸化物の群から選択される
少なくとも１種の酸化物とからなり、得られた混合物の
比表面積が１０〜４００ｍ2／ｇであることを特徴とす
る、酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化
物の群から選択される少なくとも１種の酸化物とからな
る微細な混合物により解決される。
【０００４】本発明は更に、比表面積３０〜４００ｍ2
／ｇを有する、熱分解、特に火炎加水分解（flame hydr
olysis）により製造される金属酸化物およびメタロイド
酸化物の群から選択される少なくとも１種の酸化物を、
高めた温度で酸化物に分解可能なセリウム化合物、有利
には炭酸セリウムと強力に混合し、セリウム化合物を有
利には３００〜６００℃の温度でおよび０.５〜１０時
間の焼結時間で酸化物に熱分解することを特徴とする、
酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化物の
群から選択される少なくとも１種の酸化物とからなる微
細な混合物の製造方法に関する。
／ｇを有する、熱分解、特に火炎加水分解（flame hydr
olysis）により製造される金属酸化物およびメタロイド
酸化物の群から選択される少なくとも１種の酸化物を、
高めた温度で酸化物に分解可能なセリウム化合物、有利
には炭酸セリウムと強力に混合し、セリウム化合物を有
利には３００〜６００℃の温度でおよび０.５〜１０時
間の焼結時間で酸化物に熱分解することを特徴とする、
酸化セリウムと、金属酸化物およびメタロイド酸化物の
群から選択される少なくとも１種の酸化物とからなる微
細な混合物の製造方法に関する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の有利な実施態様において
は、熱分解、特に火炎熱分解により製造される金属酸化
物およびメタロイド酸化物の群から選択される少なくと
も１種の酸化物として、珪素、アルミニウム、ホウ素、
チタンまたはジルコニウムの酸化物またはこれらの酸化
物の混合物またはこれらの元素の混合酸化物を、高めた
温度で酸化物に分解可能なセリウム化合物と強力に混合
し、セリウム化合物を酸化物に熱分解することができ
る。
は、熱分解、特に火炎熱分解により製造される金属酸化
物およびメタロイド酸化物の群から選択される少なくと
も１種の酸化物として、珪素、アルミニウム、ホウ素、
チタンまたはジルコニウムの酸化物またはこれらの酸化
物の混合物またはこれらの元素の混合酸化物を、高めた
温度で酸化物に分解可能なセリウム化合物と強力に混合
し、セリウム化合物を酸化物に熱分解することができ
る。
【０００６】本発明の混合物は単独でまたは懸濁液で、
シリコンウェーハを研磨するためのまたは電子産業で生
じるほかの研磨作業のための研磨材として使用すること
ができる。前記化合物はポリマーを充填するためのＵＶ
吸収充填剤として使用することもできる。
シリコンウェーハを研磨するためのまたは電子産業で生
じるほかの研磨作業のための研磨材として使用すること
ができる。前記化合物はポリマーを充填するためのＵＶ
吸収充填剤として使用することもできる。
【０００７】
例１ 熱分解シリカＯＸ５０ ９５０ｇをレーディゲミキサー
（Loedige mixer）内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3
・５Ｈ2Ｏ）８３.５ｇと３０分間強力に混合した。引き
続き粉末を４００℃の温度で１時間空気に接触して熱処
理した。酸化セリウム含量は５重量％であり、得られた
ＢＥＴ表面積は４４ｍ2／ｇであった。
（Loedige mixer）内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3
・５Ｈ2Ｏ）８３.５ｇと３０分間強力に混合した。引き
続き粉末を４００℃の温度で１時間空気に接触して熱処
理した。酸化セリウム含量は５重量％であり、得られた
ＢＥＴ表面積は４４ｍ2／ｇであった。
【０００８】例２ 熱分解シリカＯＸ５０ ９５０ｇをレーディゲミキサー
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）８３.
５ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を５００
℃の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリ
ウム含量は５重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は４
１ｍ2／ｇであった。
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）８３.
５ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を５００
℃の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリ
ウム含量は５重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は４
１ｍ2／ｇであった。
【０００９】例３ 熱分解シリカＯＸ５０ ９００ｇをレーディゲミキサー
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）１６
７ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を４００
℃の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリ
ウム含量は１０重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は
４４ｍ2／ｇであった。
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）１６
７ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を４００
℃の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリ
ウム含量は１０重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は
４４ｍ2／ｇであった。
【００１０】例４ 熱分解シリカＯＸ５０ ９００ｇをレーディゲミキサー
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）１６７
ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を５００℃
の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリウ
ム含量は１０重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は４
２ｍ2／ｇであった。
内で炭酸セリウム（Ｃｅ2（ＣＯ3）3・５Ｈ2Ｏ）１６７
ｇと３０分間強力に混合した。引き続き粉末を５００℃
の温度で１時間空気に接触して熱処理した。酸化セリウ
ム含量は１０重量％であり、得られたＢＥＴ表面積は４
２ｍ2／ｇであった。
【００１１】例１〜４の粉末試料の分析
【００１２】
【表１】
【００１３】脚注） 乾燥減量（１０５℃で２時間、ＤＩＮ／ＩＳＯ７８７／
ＩＩ、ＡＳＴＭ Ｄ２８０、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２１
による） 強熱減量（１０００℃で２時間、ＤＩＮ５５９２１、Ａ
ＳＴＭ Ｄ１２０８、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２３によ
る、１０５℃で２時間乾燥した物質に関する） ＳｉＣｌ4の火炎加水分解により製造した熱分解シリカ
ＯＸ５０（製造元 Degussa）は以下の物理的および化学
的特性を有する。
ＩＩ、ＡＳＴＭ Ｄ２８０、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２１
による） 強熱減量（１０００℃で２時間、ＤＩＮ５５９２１、Ａ
ＳＴＭ Ｄ１２０８、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２３によ
る、１０５℃で２時間乾燥した物質に関する） ＳｉＣｌ4の火炎加水分解により製造した熱分解シリカ
ＯＸ５０（製造元 Degussa）は以下の物理的および化学
的特性を有する。
【００１４】
【表２】
【００１５】脚注）１） ＤＩＮ６６１３１による２） ＤＩＮ ＩＳＯ７８７／ＸＩ、ＪＩＳ Ｋ５１０１
／１８による（濾過していない）３） ＤＩＮ ＩＳＯ７８７／ＩＩ、ＡＳＴＭ Ｄ２８
０、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２１による４） ＤＩＮ５５９２１、ＡＳＴＭ Ｄ１２０８、ＪＩＳ
Ｋ５１０１／２３による５） ＤＩＮ ＩＳＯ７８７／ＩＸ、ＡＳＴＭ Ｄ１２
０８、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２４による６） ＤＩＮ ＩＳＯ ７８７／ＸＶＩＩＩ、ＪＩＳ Ｋ
５１０１／２０による７） １０５℃で２時間乾燥した物質に関する８） １０００℃で２時間焼成した物質に関する１１） ＨＣｌ含量は強熱損失の一部である
／１８による（濾過していない）３） ＤＩＮ ＩＳＯ７８７／ＩＩ、ＡＳＴＭ Ｄ２８
０、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２１による４） ＤＩＮ５５９２１、ＡＳＴＭ Ｄ１２０８、ＪＩＳ
Ｋ５１０１／２３による５） ＤＩＮ ＩＳＯ７８７／ＩＸ、ＡＳＴＭ Ｄ１２
０８、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２４による６） ＤＩＮ ＩＳＯ ７８７／ＸＶＩＩＩ、ＪＩＳ Ｋ
５１０１／２０による７） １０５℃で２時間乾燥した物質に関する８） １０００℃で２時間焼成した物質に関する１１） ＨＣｌ含量は強熱損失の一部である
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リチャード アーカム ドイツ連邦共和国 カルベン シャイト ヴェーク 25 (56)参考文献 特開 平９−321003（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−187648（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−328102（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−292480（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C09K 3/14 550 B24D 3/00 320 C01B 13/18 H01L 21/304 622
Claims (5)
- 【請求項１】 酸化セリウム０.００１〜９５重量％
と、比表面積３０〜４００ｍ２／ｇを有する懸濁液でな
い熱分解により製造される二酸化珪素とからなり、得ら
れた混合物の比表面積が１０〜４００ｍ２／ｇである微
細なシリコンウェハー研磨材の製造方法において、熱分
解により製造される二酸化珪素を、酸化物に分解可能な
セリウム化合物と強力に混合し、セリウム化合物を酸化
物に３００〜６００℃（ただし６００℃を除く）の温度
で熱分解することを特徴とする、酸化セリウムと熱分解
により製造される二酸化珪素とからなる、微細なシリコ
ンウェハー用研磨材の製造方法。 - 【請求項２】 熱分解により製造される二酸化珪素を火
炎加水分解により製造する請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 セリウム化合物が炭酸セリウムである請
求項１記載の方法。 - 【請求項４】 熱分解を０.５〜１０時間の焼結時間実
施する請求項１記載の方法。 - 【請求項５】 請求項１から４までのいずれか１項記載
の方法により製造された、酸化セリウム０.００１〜９
５重量％と、熱分解により製造される二酸化珪素とから
なり、得られた混合物の比表面積が１０〜４００ｍ２／
ｇであることを特徴とする、酸化セリウムと、熱分解に
より製造される二酸化珪素とからなる微細なシリコンウ
ェハー用研磨材。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19616780A DE19616780A1 (de) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Ceroxid-Metall/Metalloidoxid-Mischung |
| DE19616780.9 | 1996-04-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10130004A JPH10130004A (ja) | 1998-05-19 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10852997A Expired - Fee Related JP3195269B2 (ja) | 1996-04-26 | 1997-04-25 | 酸化セリウムと二酸化珪素とからなる微細なシリコンウェハー用研磨材、及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3195269B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| CN100431946C (zh) | 2003-05-20 | 2008-11-12 | 苏黎世联合高等工业学校 | 生产金属氧化物的方法及所述方法生产的金属氧化物和用途 |
| CN1942396B (zh) | 2004-03-15 | 2010-09-01 | 苏黎世联合高等工业学校 | 金属盐纳米颗粒，特别是包含钙和磷酸根的纳米颗粒的火焰合成 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2663319B1 (fr) * | 1990-06-13 | 1993-08-13 | Rhone Poulenc Chimie | Materiau a matrice poreuse contenant un second element sous forme dispersee et procede de fabrication. |
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| EP0649885A1 (de) * | 1993-10-25 | 1995-04-26 | Wacker-Chemie GmbH | Übergangsmetallhaltige hydrophobe Kieselsäure |
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| JPH09321003A (ja) * | 1995-05-22 | 1997-12-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 研磨材およびその製造方法、ならびにそれを使用した半導体基板上の絶縁膜の平坦化方法 |
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1996
- 1996-04-26 DE DE19616780A patent/DE19616780A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-17 EP EP97104499A patent/EP0803471B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-17 DE DE59711892T patent/DE59711892D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-04-23 CA CA002203468A patent/CA2203468C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-04-25 JP JP10852997A patent/JP3195269B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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| CA2203468A1 (en) | 1997-10-26 |
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| EP0803471A2 (de) | 1997-10-29 |
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