JP2002516741A - プロセス廃ガスを精製する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
付属する洗浄剤の循環部を備えた精製室または収着室内でこの反応室から出る反
応生成物を最処理してプロセス廃ガスを精製する方法に関する。
主に熱作用による廃ガス処理方法が使用されている。
解させる方法が知られている。これはそこでは燃焼ガスと酸素が供給される火炎
により行われ、その後に反応室を出る廃ガスが洗浄室もしくは収着室に導入され
る。その室内で固体および/または溶解性の成分が収着剤で廃ガスから除去され
る。燃焼ガスとしては例えば水素または天然ガスも考えられる。次に、有害なも
しくは毒性のある成分を除去した廃ガスを換気設備を介して周囲に排出する。
よび/またはエッチング処理や部屋の清浄化処理からの廃ガスは、有害なまたは
場合によっては有毒な物質で環境を汚染することが防止されるように精製される
。特にCVD低圧プロセス(LP−CVD)で超小型電子回路の部品を作製する
ため半導体基板を化学的に処理する設備からのプロセス廃ガスはこの種の方法で
精製されるか、あるいは無害な物質に変換される。
示されていて、この方法によりプロセス廃ガスは反応室内で酸素過剰度の下で燃
やされ、洗浄または収着室を経由して換気設備に供給される。プロセス廃ガスを
冒頭に述べた方法で精製できる廃ガス精製装置の構成はドイツ特許第 195 01 91
4 号明細書に開示されている。この装置は、バーナーの火炎が下流に向いている
バーナーを配置した外側管の内部の燃焼室とこの燃焼室の外にある収着室とで構
成されている。燃焼室を出た廃ガスは外側管の内部で上向きに収着室の中に導入
され、フィルターと換気設備を経由して外気に排出される。収着室を流れる廃ガ
スを集中的に加湿してこの廃ガスから固体の反応生成物を確実に洗い落とすため
、ここでは収着剤、例えば水を廃ガスの流れ方向とは逆向きに吹き付ける。この
収着剤を、例えば円錐状にしても廃ガスの流れ方向とは逆向きに吹き付ける。そ
の場合、固体の反応生成物は外側管の内壁に沿って下向きに洗い落とされ、収着
剤用の処理設備に導入される。
H4 ,PH3 ,N2Oと油の蒸気や塵(SiO2 )を含む。これ等のプロセスガス
は前記酸素過剰度で動作する酸水素バーナーの火炎の中で燃える。水素と酸素の
混合物で主に内部混合バーナーとして動作する酸水素バーナーの代わりに、天然
ガスあるいは液化ガスで動作するバーナーも当然使用できる。
要があることが容易に分かる。その場合、当然なことであるが、反応室に導入さ
れるプロセスガスの毒性成分の全てを完全に無害な物質に変換することを確実に
しなければならない。
な燃焼ガスと補助酸素を確定できることが必要である。更に、最適な燃焼を確実
にするため火炎を常時監視する必要がある。
ような廃ガス精製方法に対して使用される。この方法は、当然廃ガスを精製する
他の方法と関連しても使用できる。
ガスの組成は既知であるから、通常のように経験値に基づきまたは化学量論的な
計算に基づき処理パラメータを求める。プロセス廃ガスから有害物質を全て除去
することを無条件に確実にしなければならいので、採用する精製方法には無関係
に、処理パラメータ、例えば酸素過剰度や導入する燃焼ガスの量または他の処理
パラメータを非常に充分に設定する必要がある。
あれば、これは必要な処理パラメータを決める時に非常な困難を与える。従って
、著しい多重な経費が生じ、これ等の経費が廃ガス精製方法を著しく高価にする
。
セス廃ガスを精製する方法を提供することにある。
プロセス廃ガスを廃ガス精製システムに入れる直前に、プロセス廃ガス中の有害
物質の種類と量を連続的に測定し、同時に廃ガス精製システムから出る反応生成
物の有害物質の種類と量を廃ガス精製システムの出口の直後で連続的に測定し、
廃ガス精製システムの動作パラメータを調整するためそれ等の測定値を直接使用
することにより解決されている。
質に基づき行われる。その場合、例えば第一および第二の検出器により過弗化炭
素C2F6 ,CF4 ,C4F8 およびO2 の少なくとも一つが、また第二検出器に
より更にHFが検出される。
るなら有利である。
検出する場合、廃ガス精製システムの動作パラメータの予備調整が燃焼ガスの量
、有害物質の成分(例えば酸素過剰度),洗浄循環部の洗浄剤の量、洗浄剤のp
H値に関する経験値に基づき行われる点に特徴がある。特に、動作パラメータの
予備調整は比較で求めた廃ガスの種類や有害物質の濃度を基に自己学習性のある
システムにより行われる。これには、廃ガス精製システムの効率と基本調整が常
時最適にされ、これにより廃ガス精製システムの導入期間が短縮されると言う特
別な利点もある。
最小に維持するように、廃ガス精製システムの動作パラメータを第二検出器の測
定値に基づき調整している。
作パラメータが調整される。
。この特別な利点は、精製すべきプロセス廃ガスの一部特に刺激性のある成分が
測定結果あるいは測定装置にも影響を与えない点にある。
洗浄剤のpH値および/またはその量が高まる。
度を第二検出器で検出すれば、燃焼ガスの量および/または導入すべき酸素の量
を高める。
により第一および第二の検出器の測定結果に基づき同時に算出し、廃ガス精製シ
ステムの動作パラメータを入口側と出口側の有害物質量に応じて連続的に調整す
る。その場合、導入すべきプロセス廃ガスの量を考慮して動作パラメータが調整
される。
長時間安定性を保証できるので、通常の管理測定を省くことができる点にある。
監視期間を長くすることもできる。何故なら、例えバーナー内の避け難い付着物
により発生する動作パラメータの変化を自動的に排除できるからである。更に、
この方法は測定可能な濃度の広い動的範囲を保証するので、全範囲に対してただ
一つの測定装置で充分である。
害物質を導入することが常時プロトコル化されているので、更に使用される半導
体プロセスの管理が可能である。
れている精製方法に無関係に採用できる点にある。この発明による方法は廃ガス
精製の方式に関連するものでなく、非熱処理にも適する。相違は廃ガス精製設備
の他の動作パラメータをそれぞれ調整する必要がある点にある。
る廃ガス精製システム1では、プロセス廃ガスが半導体CVD設備のチェンバー
クリーニング・プロセスから排出される。このチェンバークリーニング・プロセ
スにはC2F6 とO2 を使用する。このチェンバークリーニング・プロセスから
のプロセス廃ガスは、初期物質や真空ポンプのパージ窒素の外に、例えばCF4 やC4F8 のような反応生成物を含む。
5には第一の検出器2があり、プロセス廃ガスを種類と量について分析する。測
定方法としては気相FT赤外分光法を採用する。その場合、窒素洗浄部を組み込
んだ赤外測定区間に対する材料の選択に関しては特別な注意を払う必要がある。
何故なら、廃ガス成分が一部非常に反応性が強いからである。
。この検出器の機能は第一検出器2の機能と同じである。
以上のガスを検出すれば、接続しているコンピュータ4によりガスの種類とその
濃度に基づき廃ガス精製システム1を燃焼ガス量、酸素成分(特に酸素過剰度)
,洗浄剤の循環部の洗浄剤の量と洗浄剤のpH値に関して予備調整が行われる。
純ガスの出口6では、過弗化炭素C2F6,CF4 とC4F8 の外にHFも検出され
る。
3により純ガス出口6で例えば1 ppm以上のHF濃度が検出されるなら、洗浄剤
のpH値および/または洗浄剤の循環量を高め、そうでない場合、低い値で動作
する。同様にこの過弗化炭素で処理されると、即ち濃度が純ガス出口6で高すぎ
れば、燃焼ガスおよび/または酸素量を(種類に応じて)高めてたり、あるいは
そうでない場合、低める。この方法により廃ガス精製システム1の媒質消費が常
時最適にされ、運転コストを低く維持し、廃ガスの最適な精製が実現する。
ガス精製システム1の予備調整に対する基礎として同じ廃ガスの種類と濃度で使
用される。これにより、基礎調整も常時最適にされ、廃ガス精製システム1の始
動期間が短縮される。
応生成物も当然生じる。もっとも、成分が多すぎる場合には、評価および目的に
向けて廃ガス精製システム1に影響を及ぼすことが困難になる。何故なら、組成
が非常に複雑になるからである。それ故、上に述べた成分を意識して選択する。
何故なら、 C2F6 使用する反応ガスとして最高濃度で期待できる。 CF4 化学的に最も安定な過弗化炭素である。 C4F8 毒性が高い。 HF 火炎中で過弗化炭素を変換する場合大量に生じる。 からである。
成分(HF)の除去のために洗浄剤のパラメータを決定する。
な燃焼ガスと補助酸素を確定できることが必要である。更に、最適な燃焼を確実
にするため火炎を常時監視する必要がある。 更に、ドイツ特許第 196 00 873 号明細書により、燃焼室内の火炎により燃焼
と化学変換により有害成分を含む廃ガスを精製する方法と装置が周知になってい
る。その場合、プロセス設備からの廃ガスの容積流の測定値が廃ガス精製装置を
制御するために一緒に使用される。その場合、これ等の測定値は前置されている
プロセス設備から直接、あるいは廃ガス精製装置への廃ガスの導入部のセンサを
用いて容積流を直接測定して得られる。ここでは、精製処理用の入力量、即ち容
積流がその制御に使用される。
プロセス廃ガスを廃ガス精製システムに入れる直前に、プロセス廃ガス中の選択
された有害物質の種類と量を連続的に測定し、同時に廃ガス精製システムから出
る反応生成物の選択された有害物質の種類と量を廃ガス精製システムの出口の直
後で連続的に測定し、その場合、選択された有害物質として過弗化炭素を監視し
、廃ガス精製システムの出口で付加的な弗化水素酸を監視し、廃ガス精製システ
ムの動作パラメータを調整するためそれ等の測定値を直接使用することにより解
決されている。
精製するそのような方法に対して有利に使用される。この方法は当然廃ガスを精
製する他の方法と関連しても使用できる。
Claims (13)
- 【請求項1】 反応室を有する廃ガス精製システム(1)にプロセス廃ガス
を導入し、付属する洗浄剤の循環部を備えた精製室または収着室内でこの反応室
から出る反応生成物を最処理してプロセス廃ガスを精製する方法において、プロ
セス廃ガスを廃ガス精製システム(1)に入れる直前に、プロセス廃ガス中の有
害物質の種類と量を連続的に測定し、同時に廃ガス精製システム(1)から出る
反応生成物の有害物質の種類と量を廃ガス精製システム(1)の出口の直後で連
続的に測定し、廃ガス精製システム(1)の動作パラメータを調整するためそれ
等の測定値を直接使用することを特徴とする方法。 - 【請求項2】 有害物質の量の測定は第一と第二の検出器(2,3)で選択
された有害物質に対して行われることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 第一と第二の検出器(2,3)のところで有害物質の少なく
とも一つが、また第二の検出器(3)のところで付加的なHFが検出されること
を特徴とする請求項2に記載の方法。 - 【請求項4】 動作パラメータはプロセス廃ガス中の有害物質の量に応じて
調整されることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の方法。 - 【請求項5】 第一の検出器(2)により有害物質の少なくとも一つを検出
する場合、燃焼ガス量、酸素成分(特に酸素過剰度),洗浄剤の循環部の洗浄剤
の量および洗浄剤のpH値に関する経験値に基づき、廃ガス精製システム(1)
の動作パラメータの予備調整が行われることを特徴とする請求項4に記載の方法
。 - 【請求項6】 動作パラメータの予備調整は自己学習性のあるシステムによ
り同じように求めた廃ガスの種類と有害物質の濃度に基づき行われることを特徴
とする請求項5に記載の方法。 - 【請求項7】 廃ガス精製システム(1)の動作パラメータは第二の検出器
(3)の測定値に応じて廃ガス精製システム(1)の出口の有害物質の濃度を最
小にするように制御されることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の
方法。 - 【請求項8】 測定信号は非侵入性で無接触に得られることを特徴とする請
求項1〜7の何れか1項に記載の方法。 - 【請求項9】 測定信号は光学的な分析法により求まることを特徴とする請
求項8に記載の方法。 - 【請求項10】 第二の検出器(3)によりHFの濃度が高まったことを検
出したら、洗浄剤のpH値および/またはその量を高めることを特徴とする請求
項6〜9の何れか1項に記載の方法。 - 【請求項11】 第二の検出器(3)によりHFの濃度が高まったことを検
出したら、燃焼ガス量および/または導入する酸素の量を高めることを特徴とす
る請求項6〜9の何れか1項に記載の方法。 - 【請求項12】 有害物質の種類と量は設備内部のコンピュータ(4)によ
り第一および第二の検出器の測定結果に基づき同時に算出され、廃ガス精製シス
テム(1)の動作パラメータは入口側および出口側で求めた有害物質の量に応じ
て連続的に調整されることを特徴とする請求項1〜11の何れか1項に記載の方
法。 - 【請求項13】 動作パラメータは導入されたプロセス廃ガスの量を考慮し
て調整されることを特徴とする請求項1〜12の何れか1項に記載の方法。
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