JP4164972B2 - So3濃度計 - Google Patents

So3濃度計 Download PDF

Info

Publication number
JP4164972B2
JP4164972B2 JP37410499A JP37410499A JP4164972B2 JP 4164972 B2 JP4164972 B2 JP 4164972B2 JP 37410499 A JP37410499 A JP 37410499A JP 37410499 A JP37410499 A JP 37410499A JP 4164972 B2 JP4164972 B2 JP 4164972B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust gas
concentration
cavity
flue
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP37410499A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001188038A (ja
Inventor
孝男 倉田
健 小林
孝平 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP37410499A priority Critical patent/JP4164972B2/ja
Publication of JP2001188038A publication Critical patent/JP2001188038A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4164972B2 publication Critical patent/JP4164972B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃焼設備等の煙道内の排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測するSO3 濃度計に関する。
【0002】
【従来の技術】
ボイラやゴミ焼却器等の燃焼設備から排出される排ガスには硫黄酸化物等の有害な成分が含まれているので、排煙処理装置等で除去することが必要である。また、燃焼設備や排煙処理装置から排出される排ガス中の硫黄酸化物等の濃度の測定も必要である。
【0003】
ここで、排ガス中の硫黄酸化物にはSO2 とSO3 とがあるが、通常の排煙処理装置ではSO2 の除去は行っているものの、SO3 の除去は行われておらず、従ってSO3 の濃度の計測もあまり行われていなかった。
【0004】
これは排ガス中のSO2 濃度に比べてSO3 濃度が低く、計測が面倒なためである。
【0005】
このようなSO3 ガスの濃度測定には酸凝縮法、イソプロピルアルコール吸収法、加熱食塩法、アンモニア注入法等が用いられている。
【0006】
(a) 酸凝縮法
排ガス中にSO3 ガスが含まれると、その濃度によって酸露点(凝縮温度)が変化することから、排ガス中のSO3 を硫酸ミスト化あるいは測定管の内壁(図示せず)に凝縮させて捕集して滴定により測定する方法である。測定管の内壁の温度は水露点以上酸露点以下に設定すれば、排ガス中の水分は凝縮しないので、煙道中の他の酸性ガスが凝縮されることはなく、硫酸ミストが選択的に凝縮することを利用するものである。
【0007】
SO3 ガスの捕集法としては、定温水槽中にスパイラル管を浸し、このスパイラル管中に測定ガスを流し、ガス中のSO3 をミスト化させ測定管の内壁に凝縮させて捕集する方法が挙げられる。
【0008】
(b) イソプロピルアルコール吸収法
イソプロピルアルコールはSO3 ガスを選択的に溶解し、その他の煙道中のガスを溶解しないことを利用するものである。
【0009】
SO3 ガスの捕集法としては、80%イソプロピルアルコールと測定ガスとを接触させて、排ガス中のSO3 を吸収させる。キャリオーバしたSO3 ミストをガラスフィルタで捕集し、滴定により測定する。
【0010】
(c) 加熱食塩法
SO3 とNaClとを反応させ、塩酸を生成する方法である。SO2 、NOX とNaClとの反応は少ないとされていることから、SO3 を選択的に捕集できる。
【0011】
SO3 ガスの捕集法としては、排ガス中の水分を除去した後、450℃に加熱したNaCl充填層内に排ガスを流し、生成したHClを水に吸収させる。そのHClを滴定することによりSO3 ガス濃度を測定する。
【0012】
(d) アンモニア注入法
SO3 ガスを含むガス中にNH3 を吹き込んで硫酸アンモニウムとし、余剰のNH3 濃度からSO3 濃度を推定する方法である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術(a) 〜(d) では燃焼設備等の煙道内の排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測することは困難であるという問題があった。
【0014】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測することができるSO3 濃度計を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のSO3 濃度計は、燃焼設備等の煙道内の排ガス中のSO3 の濃度を計測するSO3 濃度計であって、煙道から排ガスを吸入する吸入用配管及び煙道に排ガスを排出する排出用配管を有すると共に、対向する二つの透明窓を有するキャビティと、キャビティを覆うように配置された加熱炉と、加熱炉の温度を350℃〜450℃の範囲内に制御する温度コントローラと、キャビティ内に光を照射するための光源と、キャビティの外部に配置され、光源からの光をキャビティ内に複数回往復させるための反射ミラーと、往復後の光を分光分析することにより排ガス中のSO3 濃度を算出する算出手段とを備えたものである。
【0016】
上記構成に加え本発明のSO3 濃度計は、吸入用配管の途中に排ガス中のダストを除去するフィルタを設けるのが好ましい。
【0017】
上記構成に加え本発明のSO3 濃度計は、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガスを煙道に強制的に排出するポンプを設けるのが好ましい。
【0018】
本発明によれば、煙道からキャビティ内に吸入された排ガスに、光源からの光を複数回往復させ、往復後の光を分光分析することにより排ガス中のSO3 濃度を計測することができる。キャビティ内に常に煙道からの排ガスが吸入されて濃度計測された後煙道内に排出されるので、排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測することができる。また、加熱炉の温度を350℃〜450℃の範囲内に制御することにより、排ガス中のSO3 が硫酸ガスになったり、SO3 がSO2 に分解したりすることがなくなるので、SO3 の濃度計測を正確に行うことができる。さらに、反射ミラーがキャビティの外部に配置されているので、SO3 で反射ミラーが腐食することがない。またさらに、吸入用配管の途中にフィルタを設けることにより、排ガスがダストを含む場合にダストを除去することができるので、キャビティ内にダストが侵入して光源からの光を散乱させて計測誤差を生じさせることがない。また、排出用配管の途中にキャビティ内の排ガスを強制的に排出するポンプを設けることにより、煙道内を流れる排ガスの流速が低下することなくキャビティ内に常に排ガスが吸入されて濃度計測された後煙道に排出されるので、キャビティ内に排ガスが滞留することがない。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0020】
図1は本発明のSO3 濃度計の一実施の形態を示す概念図である。
【0021】
同図において1は燃焼設備等の煙道である。排ガスが矢印2方向に流れる煙道1の上流側には吸入用配管3aの一端(吸入口)が取付けられ、煙道1の下流側には排出用配管4aの一端(排出口)が取付けられている。吸入用配管3aの他端はフィルタ(例えば容器内にグラスウールが充填されたもの)5の吸入口5aに接続され、フィルタ5の排出口5bは吸入用配管3bを介してキャビティ6の吸入口6aに接続されている。キャビティ6の排出口6bは排出用配管4bを介してポンプ7の吸入口7aに接続されている。ポンプ7の排出口7bは排出用配管4aの他端に接続されている。
【0022】
キャビティ6は略筒状の密閉容器であり、対向する二つの透明な部材(例えば石英ガラス)からなる透明窓8a、8bを有する。
【0023】
キャビティ6は加熱炉18で覆われており、温度コントローラ19、20によりキャビティ6内に吸入された排ガスが350℃以上450℃以下の温度に加熱されるよう制御される。
【0024】
キャビティ6の一方の端面側(図では右側)には光源(例えばキセノンランプ)9と、スリット22と、反射ミラー21a〜21c、21e〜21hとが配置されており、キャビティ6の他方の端面側(図では左側)には反射ミラー21dが配置されており、光源9から出射された光がキャビティ6内を複数回往復するようになっている。反射ミラー21hの反射側には往復後の光を受けて分光する分光器10が配置されている。これらキャビティ6と反射ミラー21a〜21hとでマルチパスセルが構成されている。
【0025】
分光器10には分光された光を受けて電気信号に変換する光検出素子(例えばフォトダイオード)12が設けられている。光検出素子12には光検出素子12からの信号に基づいて排ガス中のSO3 濃度を演算する(例えば多変量解析を行う)演算装置(例えばパソコン)13が接続されている。これら分光器10と、光検出素子12と、演算装置13とで算出手段が構成されている。
【0026】
本SO3 濃度計はこのように構成したことで、煙道1内の排ガスが吸入されたキャビティ6内に光源9からの光が往復する。キャビティ6内を往復した光がSO3 ガスによって吸収され、光検出素子12で受光されて演算装置13で演算されることによりSO3 濃度が求まる。
【0027】
キャビティ6内には常に煙道1から排ガスが吸入された後煙道1に排出されるので、排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測することができる。
【0028】
温度コントローラ19、20によって加熱炉18が350℃以上450℃以下の温度になるように制御されるので、後述するように排ガス中のSO3 が硫酸ガスになったり、SO3 がSO2 に分解したりすることがなくなり、SO3 の濃度計測を正確に行うことができる。
【0029】
吸入用配管3a、3bの途中には排ガス中のダストを除去するフィルタ5が設けられているので、キャビティ6内にダストが侵入して光源9からの光を散乱させて計測誤差を生じさせることがない。排出用配管4a、4bの途中にはキャビティ6内の排ガスを強制的に煙道1内に排出するポンプ7が設けられているので、煙道1内を流れる排ガスの流速が低下することなくキャビティ6内に常に排ガスが吸入され、煙道1に排出されるので、キャビティ6内に排ガスが滞留することがない。反射ミラー21a〜21hがキャビティ6の外側に配置されているので、排ガスによる反射ミラー21a〜21hの腐食等の影響がない。
【0030】
図2は図1に示したSO3 濃度計を用いて計測したSO3 の吸収スペクトルを示す図であり、横軸が波長軸を示し、縦軸が透過率を示している。
【0031】
直線L0は光源からの光を示し、曲線L1はSO3 濃度が95ppmのときの特性を示し、曲線L2はSO3 濃度が289ppmのときの特性を示し、曲線L3はSO3 濃度が474ppmのときの特性を示している。SO3 濃度の違いによるスペクトルが表されており、本SO3 濃度計によって煙道中の排ガスのSO3 の濃度を測定することができることが分かる。
【0032】
なお、キャビティの温度は300℃であり、キャビティの長さは1mであった。
【0033】
図3は図1に示したSO3 濃度計を用いてSO2 のスペクトルとSO3 のスペクトルとを計測した結果を示す図であり、横軸が波長軸を示し、縦軸が透過率を示している。
【0034】
同図より波長200nm〜260nm、特に230nm〜260nmの範囲でSO3 のスペクトルとSO3 のスペクトルとが分離されているので、分光分析でSO3 の濃度を測定できることが分かる。
【0035】
従ってキャビティからの光を分光分析で計測する際には波長200nm〜260nmの光を用いるのが好ましい。
【0036】
図4は図1に示したSO3 濃度計を用いた場合の検量線グラフであり、横軸が調整SO3 濃度軸を示し、縦軸が吸光度軸を示している。
【0037】
同グラフは長さ1mのセルを用いて230℃の条件下で単回帰分析により得られたものであり、検量線グラフが数1式で表されている。
【0038】
【数1】
y=0.0001x+0.0059
但し、重相関係数R2 は0.9795である。
【0039】
この検量線グラフを用いることにより、吸光度からSO3 の濃度が分かる。
【0040】
図5はSO3 の組成と水の濃度と温度との関係を示す図であり、横軸が水の濃度軸を示し、縦軸がSO3 の組成軸を示している。
【0041】
同図より、350℃以下の温度では水の濃度が増加するとSO3 の組成が減少することが分かる。すなわち、SO3 は350℃以下の温度では水蒸気と化合して硫酸ガスになるため、濃度を計測することができないが、350℃以上の温度では水の濃度が増加してもSO3 の組成はあまり変化しないことが分かる。しかし、SO3 は450℃以上の温度ではSO2 に分解してしまうため濃度を計測することができない。このため、排ガスの温度を350℃〜450℃に保つ必要がある。
【0042】
しかし本実施の形態では温度コントローラにより加熱炉を制御してキャビティ内の温度が350℃〜450℃になるように制御するので、キャビティ内のSO3 を分解したり、硫酸ガスになることなく精度良く計測することができる。
【0043】
図6は本発明のSO3 濃度計の他の実施の形態を示す概念図である。
【0044】
図1に示した実施の形態との相違点は、キャビティを加熱炉で覆う代わりに、キャビティの下部に加熱炉を設けた点である。以下、図1に示した実施の形態と同様の部材には共通の符号を用いた。
【0045】
すなわち、本SO3 濃度計は、煙道1から排ガスを吸入する吸入用配管3a、3b及び煙道1に排ガスを排出する排出用配管4a、4bを有すると共に、対向する二つの透明窓8a、8bを有するキャビティ6と、キャビティ6内に光を照射するための光源9と、キャビティ6の外部に配置され、光源9からの光をキャビティ6内に複数回往復させるための反射ミラー11a〜11cと、往復後の光を分光する分光器10と、分光された光を受ける光検出素子12と、光検出素子12からの信号に基づいて排ガス中のSO3 濃度を演算する演算装置13とで構成されている。なお、15はキャビティ6内の温度が350℃以上450℃以下になるように保温するためのヒータであり、14はヒータ15の温度を調節するための温度調節器である。
【0046】
このような簡略な構成のSO3 濃度計においても排ガス中のSO3 濃度を連続的に測定することができる。
【0047】
図7は本発明のSO3 濃度計を利用した硫酸ガス濃度計を示す概念図である。
【0048】
図1に示した実施の形態との相違点は、SO3 濃度計のキャビティの吸入用配管に、温度調節器で温度が調節される予熱部を設けたものであり、SO3 の濃度だけでなく、硫酸ガスの濃度も計測できる点である。
【0049】
すなわち、本硫酸ガス濃度濃度計は、煙道1から排ガスを吸入する吸入用配管3a、3b、3c及び煙道1に排ガスを排出する排出用配管4a、4bを有すると共に、対向する二つの透明窓8a、8bを有するキャビティ6と、吸入用配管3b、3c間に設けられ吸入用配管3a〜3c内を通過する排ガスを予熱する予熱部23と、予熱部23の予熱室23a内の温度が400℃以上450℃以下になるようにヒータ23bの温度を調節する温度調節器24と、キャビティ6内に光を照射するための光源9と、キャビティ6の外部に配置され、光源9からの光をキャビティ6内に複数回往復させるための反射ミラー11a〜11cと、反射ミラー11a〜11cで反射された光を分光する分光器10と、分光器10からの光を受ける光検出素子12と、光検出素子12からの信号に基づいて排ガス中のSO3 濃度を求め、そのSO3 濃度から硫酸ガス濃度を演算する演算装置25とで構成されたものである。
【0050】
このような硫酸ガス濃度計においても図1に示したSO3 濃度計と同様に排ガス中のSO3 の濃度や硫酸ガス濃度を連続的に計測することができる。
【0051】
ここで、煙道1中のSO3 は低温では硫酸ガスとして存在し、紫外線分光法を用いたSO3 濃度計では硫酸ガスの吸収がないためそのままでは濃度計測を行うことができない。しかしながら本硫酸ガス濃度計は硫酸ガスを400℃以上450℃以下に加熱することによってSO3 に変化させて、そのSO3 濃度を求めることにより硫酸ガス濃度を間接的ではあるが連続的に計測することができる。
【0052】
すなわち、吸入用配管3a〜3cに排ガスを予熱する予熱部23と、予熱部23の温度が400℃以上450℃以下になるように調節する温度調節器24とを設けることにより、排ガス中の硫酸ガスをSO3 に変化させることにより硫酸ガス濃度を計測することができるのである。
【0053】
また、本硫酸ガス濃度計は、硫酸ガスの分解速度に応じて予熱部23の大きさを変更してもよい。本硫酸ガス濃度計は、硫酸ガスとSO3 とが混在した条件では両者を加えた濃度が求められる。
【0054】
図8は本発明のSO3 濃度計に用いられるフィルタの変形例を示す排ガスサンプリング装置の概念図である。図9は図8に示した排ガスサンプリング装置を燃焼設備の煙道に取付けた状態を示す図である。
【0055】
図1、6、7に示したフィルタは容器内にグラスウールが充填されたものであるのに対し、この排ガスサンプリング装置26は、燃焼設備等から排出されダストを含有する排ガスから排ガスのみサンプリングする排ガスサンプリング装置であって、吸入口27aが燃焼設備の煙道1の上流側に接続され排出口27bが煙道1の下流側に接続されたダクト27と、ダクト27の途中に挿入され内壁がダクト27と略同一断面形状を有する略筒状のフィルタ28と、フィルタ28の外側を覆うと共にろ過された排ガスを取り出す取り出し口29aを有するカバー29とで構成されたものである。
【0056】
ダクト27にはダストを含有する排ガスを煙道1から吸入して煙道1内に強制的に排出するためのポンプ30が挿入されている。
【0057】
このサンプリング装置を図1に示したSO3 濃度計に用いる場合には、SO3 濃度計の吸入用配管3a及びフィルタ5を取り外した後でダクトの吸入口及び排出口を煙道1に取り付け、取り出し口29aを吸入用配管3bに取付ければよい(この場合2台のポンプ7、30を用いることになる。)。
【0058】
この排ガスサンプリング装置によれば、フィルタ28の形状がダクト27と略同一断面形状を有する略筒状のため、ダスト含有排ガスがフィルタ28内を矢印31方向に流れる時に流れを遮るような抵抗が少なく、たとえダスト32がフィルタ28の内壁に付着、堆積しようとしても排ガスの流れに押されるので、再びダクト27を通過して煙道1に戻るので、フィルタ28が目詰まりすることがほとんどない。ダクト27内に吸入された排ガス中のSO3 ガスはフィルタ28を矢印33方向に通過してカバー29に形成された取り出し口29aから矢印34方向にキャビティ6に送られる。
【0059】
また、ダクト27に排ガスを煙道1から吸入して煙道1内に強制的に排出するためのポンプ30が挿入されているので、ダクト27内を矢印35、36方向に流れる排ガスの流量が減少することなくフィルタ28上に付着したダスト32が強制的に除去されて煙道1に排出されフィルタ28の目詰まりがほとんどない。
【0060】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【0061】
排ガス中のSO3 の濃度を連続的に計測することができるSO3 濃度計の提供を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のSO3 濃度計の一実施の形態を示す概念図である。
【図2】図1に示したSO3 濃度計を用いて計測したSO3 の吸収スペクトルを示す図である。
【図3】図1に示したSO3 濃度計を用いてSO2 のスペクトルとSO3 のスペクトルとを計測した結果を示す図である。
【図4】図1に示したSO3 濃度計を用いた場合の検量線グラフである。
【図5】SO3 の組成と水の濃度と温度との関係を示す図である。
【図6】本発明のSO3 濃度計の他の実施の形態を示す概念図である。
【図7】本発明のSO3 濃度計を利用した硫酸ガス濃度計を示す概念図である。
【図8】本発明のSO3 濃度計に用いられるフィルタの変形例を示す排ガスサンプリング装置の概念図である。
【図9】図8に示した排ガスサンプリング装置を燃焼設備の煙道に取付けた状態を示す図である。
【符号の説明】
1 煙道
5 フィルタ
6 キャビティ
7 ポンプ
8a、8b 透明窓
9 光源
10 分光器
12 光検出素子
13 演算装置
18 加熱炉
19、20 温度コントローラ
21a〜21h 反射ミラー

Claims (3)

  1. 燃焼設備等の煙道内の排ガス中のSO3 の濃度を計測するSO3 濃度計であって、上記煙道から排ガスを吸入する吸入用配管及び上記煙道に排ガスを排出する排出用配管を有すると共に、対向する二つの透明窓を有するキャビティと、該キャビティを覆うように配置された加熱炉と、該加熱炉の温度を350℃〜450℃の範囲内に制御する温度コントローラと、上記キャビティ内に光を照射するための光源と、上記キャビティの外部に配置され、上記光源からの光を上記キャビティ内に複数回往復させるための反射ミラーと、往復後の光を分光分析することにより上記排ガス中のSO3 濃度を算出する算出手段とを備えたことを特徴とするSO3 濃度計。
  2. 上記吸入用配管の途中に上記排ガス中のダストを除去するフィルタを設けた請求項1に記載のSO3 濃度計。
  3. 上記排出用配管の途中に上記キャビティ内の排ガスを上記煙道に強制的に排出するポンプを設けた請求項2に記載のSO3 濃度計。
JP37410499A 1999-12-28 1999-12-28 So3濃度計 Expired - Lifetime JP4164972B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37410499A JP4164972B2 (ja) 1999-12-28 1999-12-28 So3濃度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37410499A JP4164972B2 (ja) 1999-12-28 1999-12-28 So3濃度計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001188038A JP2001188038A (ja) 2001-07-10
JP4164972B2 true JP4164972B2 (ja) 2008-10-15

Family

ID=18503272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP37410499A Expired - Lifetime JP4164972B2 (ja) 1999-12-28 1999-12-28 So3濃度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4164972B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011126476A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-13 Utc Fire & Security Corporation Toxic gas detector
JP5954136B2 (ja) * 2012-11-22 2016-07-20 株式会社島津製作所 ガスセル
KR101885651B1 (ko) * 2016-10-20 2018-08-07 한국산업기술시험원 삼산화황 검출장치
CN110806390A (zh) * 2019-10-31 2020-02-18 中国石油化工股份有限公司 一种低浓度三氧化硫气体在线测量装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001188038A (ja) 2001-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2957891B1 (en) Mercury monitor
US7454950B2 (en) Vehicle exhaust gas analyzer
CA2606720A1 (en) Method and apparatus for monitoring mercury in a gas sample
CN106248442B (zh) 一种检测烟气中so3的方法
JPH09257667A (ja) ダスト濃度測定装置
JP4164972B2 (ja) So3濃度計
JP4206592B2 (ja) So3濃度計
CN107515280A (zh) 一种烟气中三氧化硫的连续在线检测方法及装置
CN106289884B (zh) 一种so3在线检测的方法
JP2001188040A (ja) So3濃度計
JP4164973B2 (ja) 硫酸ガス濃度計
JP2007271460A (ja) 石炭燃焼排気ガス中の水銀測定方法および測定装置
KR101873642B1 (ko) 복합 가스 센서
JP4899259B2 (ja) So3,nh3同時連続濃度計
CN106596446A (zh) 一种手持式原位热湿法烟道气体检测仪
JP4678107B2 (ja) ボイラ設備
KR20220130950A (ko) 소형 굴뚝용 가스 및 미세먼지 복합 측정기
JP2003014626A (ja) So3分析計におけるベース補正方法
JP2003014625A (ja) So3,nh3同時連続濃度計
JP2003014627A (ja) 多成分分析計の検量線作成方法
JP2005331408A (ja) So3濃度計測装置
JP2003222591A (ja) ガス測定装置
JPH0412821B2 (ja)
CN105067553A (zh) 基于伴热池的烟气高精度的ftir在线测量系统
CN215493091U (zh) 一种免维护型烟气在线监测用光学气室

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061025

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080708

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080721

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4164972

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130808

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term