JP2002512555A

JP2002512555A - 流体移送装置及び方法

Info

Publication number: JP2002512555A
Application number: JP53433798A
Authority: JP
Inventors: エー．ヒムス，リッキー
Original assignee: アトテックユーエスエー，インコーポレイティド
Priority date: 1997-01-21
Filing date: 1997-11-25
Publication date: 2002-04-23
Also published as: WO1998031475A1; EP0954385B1; ATE269169T1; EP0954385A4; CA2275330A1; US6045874A; DE69729578T2; HK1025754A1; US5904773A; DE69729578D1; EP0954385A1

Abstract

(57)【要約】本発明は流体移送装置及び方法を提供する。流体によって処理される物品１１の搬送路の各側において、液体もしくは気体状流体が、ノズルプレート４０を介して流体供給器から供給される。ノズルプレートのノズル開口部は、物品の搬送路２２の横方向に延びて物品の方に方向付けられる流体流れのスクリーンを提供するために、横溝６７と協動する。流体が液体の場合には、液体の円筒形フィラメント状円柱部を提供し、この円柱部は、対応する溝によって平坦な、横方向に配置される液体のスクリーンスプレーとなる。流体が気体の場合には、ノズル開口部と横溝とが、搬送路の方に方向付けられた気体の横方向に間隔を空けた平面領域に気体を移送するよう協動する。

Description

【発明の詳細な説明】流体移送装置及び方法発明の分野エッチング、電気メッキなどの化学処理を含む種々の湿式処理法において、被処理物品の表面への流体の移送が知られている。多くの場合、被処理物品はプリント回路基盤などである。多くの場合、そのような物品は略水平通路に沿って搬送され、エッチング、洗浄、すすぎ、活性化、乾燥などが、通路に沿った種々の部署で施される。被処理物品がプリント回路基盤の場合、基盤は内部を通って延びるボアホールを有し、処理流体が基盤の上部及び下部表面だけでなく、ボアホールにも当たることが要求されている。例えば、米国特許第４、７８９、４０５号に記載されるように、ノズル装置によって物品の処理は行われる。他の例では、米国特許第４、５７６、６８５号、第４、０１７、９８２号、第３、９３５、０４１号、第３、９０５、８２７号又は第３、７７６、８００号で開示されている様々な他の流体の移送、吹きつけ、乾燥技術によって処理が行われる。米国特許第４、０４６、２４８号などに記載されるように、プリント回路基盤又は他の物品を移動させ、種々の処理部署を通過させるために種々の駆動技術が用いられる。従って、本発明の技術分野は、導体基盤処理の方法及び装置に関する。処理過程には、導体基盤の貫通孔及びその表面からの液体の除去、基盤の乾燥、更に洗浄、被覆、すすぎ、エッチング、活性化、及び種々の電解法が含まれる。本発明は、流体の被処理物品、特に導体基盤などへの効果的な移送に関する。流体の移送に関して、例えば、溝付管が用いられてきたが、オリフィスやスロットを出た時点で流れの生成が制限され、基盤からの距離が遠くなるほど、流れは早く放散し、方向性が保たれていても、運動量が損失する。スプレーノズルも用いられるが、多くの場合、被加工流動媒体について、エネルギー量を多く必要とする。更に、場合によって、スプレーノズルは、被覆領域における均一性の要求レベルを満たせず、ノズルスプレー模様の中央における流量及び圧力の割合が高く、その外側での流量及び圧力の割合が低い。ノズルの中心線に直交する方向への距離が大きくなるほど、流量と圧力とが小さくなることがしばしばある。流体ジェットインジェクターも、流れの中に堅固な柱状部を発生させるために用いられてきたが、概して被処理物品の均一で完全な被覆のための要求レベルを満たせない。更に、小さなインジェクターには、被処理物品への要求された衝撃力を維持するために、より高い圧力が必要であるが、衝撃力が高いことは必ずしも望ましいことではない。発明の概要本発明は、プリント回路基盤又は他の被処理物品に流体を移送する方法及び装置を提供し、物品は搬送路に沿って搬送される間に、搬送路の両側から流体を当てられる。流体がノズルから供給され、ノズル自体及びノズルに接続される溝を介して送り出される間、流体はノズル開口部からの横方向に延びるスクリーン状の流れとなる。移送される流体は、液体又は気体のどちらでもよい。液体の場合、ノズル開口部から散布された流体は、液体流れの円筒形フィラメント状円柱部となり、溝を介して接続され、横方向に配置された、略平坦な液体の平面スクリーンスプレーとなる。流体が気体の場合、流体は、ノズル開口部及び開口部の列を接続する横方向溝を介して供給される。開口部は横方向に間隔をあけて設けられ、分離され、間隔を置いて横方向に並んだ、搬送路方向への気体流の平面領域の溝を介した開口部からの散布を容易にしている。任意にではあるが、ノズルの上流収束面によって吸引効果を作り出すこともできる。本発明による装置には種々の調整が施される。更に、種々の好適なパラメータ及び構造上の配置が施される。ノズル開口部の列がある角度で搬送路に向き、搬送路の上流方向を向く場合もある。従って、本発明の第一の目的は、所定通路に沿って搬送される物品に流体を移送する、新規な方法及び装置を提供することである。更に、上記目的を達成するための本発明の目的において、移送流体は気体であり、導体基盤のような物品を乾燥させる。上記第一の目的を達成するための本発明の他の目的において、移送流体は液体移送流体であり、すすぎ、エッチングなどを行う。上記目的を達成するための本発明の他の目的において、流体放出部又はオリフィスを含む簡易着脱自在ノズル部が設けられ、このノズル部の洗浄などを容易にする。更に、上記目的を達成するための本発明の目的において、一列のノズルの横方向中心線とノズルを接続する横方向溝の中心線との間にずれがある。上記目的を達成するための本発明の他の目的において、ノズルのオリフィスを接続する横方向溝が、被処理物品の長手方向搬送路に対して鋭角である。下記図面の簡単な説明、好適な実施例の詳細な説明及び添付される請求の範囲により、他の目的及び利点が容易に理解できるであろう。図面の簡単な説明図１は、本発明による複合部署装置全体の縦断面概略図であり、複数のエッチング、すすぎ、乾燥工程が図示され、回路導体のような物品の上下に流体を移送する手段が図示される。図２は、本発明による、上部及び下部流体供給マニフォールド間の通路に沿って移送される回路基盤導体の概略斜視図であり、マニフォールドは、図１の搬送路の上下に図示される。図３は、図１に示される上部及び下部流体移送マニフォールドの拡大図であり、移送プレートは、物品搬送路に近いものは実線で示され、それより物品搬送路から離れたものは仮想線で示される。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿ってみた図であり、上部マニフォールドのノズルプレート表面の下端を部分的に示している。図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿ってみた縦断面図であり、ほぼ垂直に配置された二つのノズルが示され、その間に配置された角度付ノズルが示される。図５Ａは、図５のノズルの一つとその対応する溝の拡大詳細図であり、幾何学上の配置をより明確に示す。図６は、図４の液体供給ノズルプレートの図に類似する図であるが、図６のノズルプレートは、特に乾燥用空気などの気体供給に適応される。図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ってみた、図５に類似する縦断面図である。図８は、被処理物品の搬送路の対向する側に配置された他の一組の気体移送マニフォールドを示す拡大部分縦断面図であり、搬送路に最も近いマニフォールドプレートの表面は、上流方向へ収束し、被処理物品の表面に当たるように移送される流体の吸引作用を容易にする。図９は、本発明によるノズルプレートの部分的縦断面図であり、個別のノズルプレート基部及びノズルプレート着脱自在部が、横方向あり継ぎ部に沿うシールと共に示されている。図１０は、図９のＸ−Ｘ線に沿ってみた拡大部分縦断面図であり、端部プレートが図示され、ノズル基部とノズル着脱自在部とを封止接続する。図１１は、本発明によるノズルオリフィス及び溝の拡大部分縦断面図である。図１２は、図１１に類似する図であり、流体（液体が望ましい）の円筒形柱状部のノズルからの放出が示される。図１３は、図１２に類似する図であり、図示された流体の柱状部が、物品の搬送路（又は、ノズルプレートの略水平表面）に対して鋭角であり、横方向溝は、ノズルプレートの横方向に接続されるノズルオリフィスの中心線と異なる中心線に位置する。好適な実施例の詳細な説明詳細につき、図面を参照して説明する。まず、図１に関して、参照番号１０は被搬送物品の流体処理システムの概略を示す。本実施例において、被搬送物品１１はプリント配線基盤などであり、内部を貫通する貫通孔１２を有するとともに、図２に示すように、基盤上で導体として機能する接続部１３を有する。図１において、複数の部署１４、１５、１６が図示されている。部署１４をエッチング室とすると、内部において適切な腐食液をプリント配線基盤などの適切な表面部に供給し、その後、すすぎ部署１５にて、流体供給器１７、１８を使用して、腐食液（または他の処理液）を物品１１から洗い流す。引き続き、被搬送物品の経路は、例えば、空気乾燥部署のような気体処理部署とされた部署１６へと流入する。部署１６において、空気は、供給器１７、１８と同様に、システム１０内の装置間を左から右へ矢印２３方向に通過する被搬送物品用の搬送路２２の対向面に配置された供給器２０、２１を介して供給される。各部署１４、１５、１６は、上壁２４及び底壁２５、側壁２６、適切な入口開口部３０及び出口開口部３１の付いた入口壁２７及び出口壁２８をそれぞれ有する。従って、本実施例において、物品１１の搬送路２２は長手方向に装置を通過して、略水平である。適切な駆動ローラ３２は一般に、例えば米国特許第４、０１５、７０６号に示された駆動手段のような適切な手段により駆動される横方向に配置された軸に軸着される。特に、部署１５におけるように、任意の部署における処理流体が液体である場合、適切な液体排出ライン３３がリサイクルなどを目的とした排出用に、適宜設けられる。図２を参照するに、特に物品１１が矢印２３方向略水平に、供給器１７の下部であって供給器１８の上部を移送される様子が示されている。図２は供給器２０、２１についても同様に適宜適用できる。図３を参照するに、図示のように、上部供給器１７は、下部供給器１８の上部に位置し、その間を物品１１は、長手方向略水平な搬送路上を搬送される。供給器１７は、入口管３６などを介して処理液体が流入するマニフォールド３５を含み、マニフォールド３５、マニフォールド移行プレート３７を介して液体を下部へ移送する。マニフォールド移行プレート３７は、図３において点線で示されるように、間隔を置いて一列に並んで配置される多数の移行穴３８を内部に有し、実質上、装置の側壁２６の間に横方向に広がる。このように入口管３６及びマニフォールドの移行穴３８を介して移送された流体は、多孔流体供給器ノズルプレート４０へと移送される。ノズルプレートは複数の流体供給器ノズル開口部４１、４２、４３を有し、これら複数の流体供給器ノズル開口部４１、４２、４３は、物品１１の長手方向搬送路２２に直交して横方向に一列に並ぶとともに、実質上完全に装置の対向する側壁２６の間で、マニフォールド１７のほぼ横方向の長さに広がる。（図示されない手段によって）マニフォールド１７によって間接的に担持され、４６、４７それぞれにおいて軸着する一組の物品係合ローラ４４、４５が設けられ、被処理部物品１１の上面４８に係合する。上部及び下部ローラ４４、４５は、マニフォールドを介して物品１１へ移送される流体の衝撃力を搬送路２２の反対側で抑えることを目的とする。以上図３に示されるように、物品１１の上面４８に係合するローラ４４、４５からの抵抗がないならば、下部供給器１８を介して移送される流体によって、動きの上方向の成分が被処理物品１１に伝わる。逆に、上部供給器１７から物品１１の上面４８へと移送される流体は、供給器１８に担持される下部ローラ（番号なし）の存在によって抵抗を受ける。異なる厚さの物品１１を収容するために、供給器１７、１８は、適切な手段によって縦方向に調整可能であり、付属する供給器ノズルプレート４０は、例えば、図３の実線で示される位置から仮想線で示される位置まで移動でき、プレート４０の表面（例えば、図３のプレート４０の下面）と隣接する物品１１の表面（例えば、図３の上面４８）との間に所定の小さな間隔を維持しながら、例えば、より厚みのある物品１１を収容する。供給器１７、１８の位置は、搬送路２２に向かう方向、及びそれから離れる方向へ任意の適切な手段によって調整される。代表的な手段として図示されているところでは、可調整位置決め部材５０を固定プレート部材５１へ螺合し、横方向に延びる柱状体５２を供給器１７の対向する両横端部で担持すると共に、ねじ込み部材５０を回すことにより、供給器１７を図３の柱状体５２の実線部分から仮想線部分へと動かし、上記のようにプレート４０を実線部分から仮想線部分へと動かす。供給器の相対的な位置を変化させるために適切な手段であれば、いかなる調整手段でもよい。搬送路２２が図示のようにほぼ水平であり、上部マニフォールドのローラ４４、４５が、被処理物品１１の上面４８に係合している場合、ローラ４４、４５の重量は、供給器１８からの上向きの流れに抵抗する、被処理物品１１の抑え具として働く。この例において、図示のように、ローラ４４、４５の軸４６、４７はそれぞれ縦穴５３、５４に装着される。また、図４を参照するに、側壁２６の間で、プレート４０全体に沿って間隔を置いて設けられた複数の切欠５５は、図３に示すように、プレート４０の切欠５５が形成された部分に触れないように隙間を設けて、切欠内部を通るローラ４４、４５を収容することも可能である。これにより、ローラ４４、４５を開口部４１、４２、４３の近くに設置できる。供給器１８のノズルプレートにおける、搬送路２２の反対（下部）側に位置する開口部についても同様である。図３から明らかなように、供給器１８の構造、作用、調整などは、実質的に供給器１７と同様であり、その説明を繰り返すことはしない。しかし、搬送路２２の上部及び下部における供給器の作用について、下部ローラに設けられた柱状体の縦（上下）方向の運動を容易にする縦穴５３、５４のような縦穴は概して不要と思われる。つまり、ローラ４４、４５及びそれらが縦穴５３、５４内を上方へ動くことについての上記現象は、上部ローラと物品１１の上面４８での接触を確実なものとするために重力を利用したものである。また、ノズルプレートからの流体の吐出に関する詳細以外において、供給器２０、２１は概して供給器１７及び１８と同様の構造であり、同様に設置されていることは明らかであり、供給器１７に関する上記説明も同様に適用される。図４に図示されたノズルプレート４０に関して、プレート４０は、その下端で切り離された断片が図示されているが、実際は、実質的完全に装置の側壁２６間に延在する。図示されたプレート４０は、上面５５及び下面５６、上流側の面取下部表面５７及び下流側の面取下部表面５８をそれぞれ有する。面取下部表面５７は対向する一組のプレート４０間への被搬送物品の流入を容易にし、面取下部表面５８は、直線状ノズル６１、６２に挟まれて並んでいる角度付ノズル６０からの前方つまり上流方向への流れによる排出効果によって作り出される部分的真空域への空気の流入を容易にする。詳細に付き、以下に説明する。上記空気の排出は、図５の矢印６３に示す方向に発生し、角度付ノズル６０から排出される液体によって作り出される部分的真空域を充填し、図５の矢印６４に従って、上流方向から下流方向へ搬送されるプリント回路基盤または他の被搬送物品の上面を流れる６０からの液体の流れを容易にする。ノズル６１は長手方向搬送路の横方向に一列に延びて配置され、長手方向搬送路２２に略直交している。列中の各々のノズル６１は上端における大径円筒状盲穴領域６５、及びその下部に接合し、横溝６７に連なる円筒状テーパ領域６６からなる。横溝は、図４に示すように、プレート４０の下面５６の全長に亙って延び、ノズル領域６６のノズル開口部に接続している。領域６６の円筒状テーパ「ａ」は、その径に対して１００度から１６０度の範囲であり、最も好ましくは１２０度である。横溝６７は、図５Ａに示すように、開先角度「ｂ」を３０度から９０度の範囲で有し、最も好ましくは６０度である。ノズル６１を介して散布される液体に付与する圧力及びノズル６１の配置間隔を設定することにより、図示の横列におけるノズル６１の集合から発散される液体の流れを生み出し、ノズル６１から略円筒形フィラメント状液体柱状部６８を発生させると共に、溝６７で複数の小さな液体柱状部を接続し、略平坦で横方向に配置された液体の平面スクリーンスプレーを発生させる。このように溝６７は個々のノズル６１から出る扇状の液体スプレーによる上記スクリーン化を促進する。ノズル６１の列の他に、以下に記すように、その下流及び角度付ノズル６０の下流に配置された、同一の、または実質的に同一のノズル６２の列を設けることが望ましい。各々のノズル６０は、概してノズル６１用の盲穴領域６５を有するノズル６１と同等であり、下端で円筒状テーパに接触し、次に複数のノズル６０を接続する接続溝７０に接触するが、接続溝７０及びいくつかのノズル６０の領域には、図５に示すように、上流方向に液体を排出するために、水平に対して角度「ｃ」が付いており、角度は約７５度が望ましい。ノズル６０を介しての上流方向スプレーにより、方向６３の空気の流れに対して部分的真空域を発生させ、上流方向つまり搬送路における被搬送物品の流れと逆方向にノズル６０、６１、６２からの液体の散布を促進する。図６及び図７を参照するに、気体（一般には空気）供給部署１６に付随する多孔気体供給器ノズルプレートが図示されている。ノズルプレート７４を除く供給器２０、２１の他の部分は、上述のように、供給器１７、１８のラインに沿った構造通りである。各々のノズルプレート７４は、図４のプレートにおける切欠５５の上述のような機能を持つ複数の切欠７５を有する。更に、上記実施例に従い、各プレート７４もまた側壁２６の間を横方向に延在し、上面７６及び下面７７、及び、上流側及び下流側の面取下部表面７８、８０を有する。しかし、プレート７４は、図示のように、プレート７４に沿った横一列に配置された複数の長穴８１を有する。長穴は複数の横方向間隔８２で分離されている。長穴８１は、プレート７４の下面７７で横溝８３によって接続される。溝８３は、その下部を通過する被搬送物品の長手方向流路に直交し、望ましい寸法であった場合には、下面７７から上向きに測定された溝８３の深さは、長手方向に測定された（長穴の寸法のうち最小の）長穴８１の幅の１から４倍の範囲である。溝８３は、図６において寸法「ｄ」で示される幅を残すように、各長穴８１を介する空気又は他の気体の排出作用を維持することを促進し、その下方に位置する被搬送物品の搬送路２２に直交する矢印８４の方向に下向きに発せられる空気は、複数の横方向に間隔を置いた、横向きの平面状の空気流領域を形成する。複数のノズル８５もまた図６及び図７に示すように、横一列に設けられ、同様にお互いに間隔を置いて設けられた長穴を有する。また、各々の長穴を基準にして、横方向寸法「ｄ」を有する、横方向に間隔を置いて配置された気体流の平面領域が、物品の搬送路方向に向かって発生するように配置される。しかし、ノズル８５から発生する空気または他の気体の流れる方向は、図７に示される角度付切り口「ｅ」による配向によって上流方向の成分を有するので、溝８６は、約３０度の角度「ｅ」で下面７７に刻まれる。さらに、溝８６と整列した列にある長穴８５は、溝８３と整列した列にある長穴８１と「互い違い」に配置されており、長穴８５は間隔８２を有して長手方向に整列され、長穴８１は間隔８９を有して長手方向に整列される。このように、空気流または他の気体流で処理される被処理物品は、長穴８１の下部通過時に、最初に切れ目のない単一の空気のスクリーンに接するのではなく、鉛直方向に対し平行な複数の空気の平面スクリーンに接し、次に被処理物品の表面上の長手方向仮想リボン状域９０（図２参照）に沿って、長穴８５を介して複数の空気のスクリーンに接する。また、図６及び図７を参照するに、下面７７の溝９３によって接続され、被処理物品上に他の気体流を供給できる円筒状穴９２が図示される。さらに、図７に示すように横溝９５によって接続され、下部を通過する物品の搬送路２２に直交する円筒状穴９４の列をプレート９４の下流端に設けてもよい。穴９４及び溝９５は、図６に示されていないが、オプションとして設けられる。図８を参照するに、気体または他の空気吐出供給器１２０、１２１に対する他の構造が示され、上部及び下部ノズルプレート１７４の形状が、対応するマニフォールドによって担持される。長穴１８１、１８５及びそれぞれの下部溝１８３、１８６の列は、基本的に図６及び図７の実施例について上述された長穴８１、８５及び対応する溝の列と同等であり、ここに繰り返すことはしない。しかし、ノズル開口部１８５及び対応する溝１８６を介して吐出される、上流側に配向した空気により、矢印１９０によって示されるような部分的真空域が発生する。本実施例におけるプレート１７４の下面１７７は、被搬送物品の搬送路２２に対し平行というよりもむしろ傾斜しており、従って下流部１８０から上流部１７８に向かって収束する。この収束により、被搬送物品１１１の貫通孔２００を通過する空気流の速度が増す。上部及び下部プレート１７４における上部及び下部長穴が横方向に互い違いであれば、任意の穴においては上部または下部長穴のどちらかから吐出される空気が当たることとなり、同時に両方から当たることはなく、ポンプ作用が生じ、空気が長穴２００を上向きまたは下向きに通過するが、両方向同時に通過することはない。収束する下面１７７と角度付吐出溝１８６とによって発生する高い流速では、上部及び下部プレート１７４における上部及び下部長穴の相対的配置によって発生するポンプ作用により、長穴２００を通過する流体の上下方向への動きが促進される。図９及び図１０を参照するに、ノズルプレート３００の長手方向縦断面が図示される。ノズルプレート３００は、ノズル基部３０１及びその内部に設けられた着脱自在ノズル部３０２からなり、図９に示される横方向のあり継ぎ構造において、ノズル基部は着脱自在ノズル部を３０３、３０４の部分で覆い、継ぎ目３０５、３０６は横方向に伸び、エラストマーシール３０７、３０８は、図示のようにＯリングタイプであり、着脱自在部３０２を基部３０１へ封止する。ノズルオリフィス３１０は、着脱自在ノズル部３０２に内蔵される。従って、液体であるのが望ましい流体は、上述のように、矢印３１１方向に上向きに図９に示すノズルからオリフィス３１０を通り、オリフィス３１０から流出する。しかし、薄いフィルム状あるいは薄片状の処理材料が生じる場合には、着脱自在ノズル部３０２を洗浄などのために取り除くことができる。即ち、装置の主要部分を実質的に分解することなく、オリフィスを含むノズルプレートのノズル部を素早く洗浄することができる。下部ノズルプレート３００のみが図示されているが、同構造の上部ノズルプレートが通常は上部に配置され、上下プレート間に被処理物品の搬送路があり、図９の左から右または右から左へ移動する。図１０を参照するに、端部プレート３１２が着脱自在ノズル部３０２の両端部に設けられ、適切な固定部材３１３によってノズル基部３０１に固定され、端部プレート３１２により担持されたＯリング３１４が長手方向に配置されて、シール３０７及び３０８を接続し、端部プレート３１２は周辺部を完全に封止される。シール３０７、３０８、３１４は、必要に応じて、個別のシールでも単一のエンドレスシールでもよい。また、ひとつの端部プレート３１２及びシール３１４のみが図１０に示されているが、着脱自在プレート部３０２の対向端部には同等のプレートおよびシールが設けられている。このように、着脱自在プレート部は、洗浄などのために容易に取り外せ、装置に容易に再組み込みできる。また、あり継ぎ３０５、３０６は、一般に液体である流体（または気体でもよいが）の矢印３１１方向の流れによる力に対抗して、確実に着脱自在部３０２を保持する。図１１から図１３を参照するに、ノズルプレート４００は、横溝４０２によって接続された複数のノズル４０１を備える。横溝４０２は、図１１に示すように、深さ４０３でオリフィス４０４内に延在し、長手方向幅Ｄ１及び溝の角度付側面４０２を有し、角度付側面４０２は開先角度「ｆ」を有する。図１１において、溝４０４の中心線及びノズルオリフィスまたは開口部４０４の中心線は４０５において同一である。図１２を参照するに、ノズルのオリフィス４０４からの液体は、中心線４０５に沿って、矢印４０６で示される上向きに、図１２に図示したような流体柱状部４０７の形で吐出され、横溝４０２で接続される多数のノズルオリフィス４０４においても同様である。柱状部４０７の吐出角度は、ノズル表面４０８から９０度の角度「ｇ」で示され、一組のノズルプレート４００の間にある長手方向搬送路に対する角度「ｇ」と同一である。図１３を参照するに、ノズルプレート５００は、複数の吐出用オリフィス５０４を装置の横方向に接続する横方向中心線５０５と、装置の複数のノズルオリフィス５０４を横方向に接続する横方向溝５０２の中心線５０９とが、装置による被処理物品搬送路の長手方向において異なる地点にあるよう構成される。また、図１３において、矢印５０６方向にノズルオリフィス５０４から吐出される、線図で示した流体柱状部５０７の水平面５０８に対する角度「ｈ」は、図１３に示すように鋭角である。中心線５０５と中心線５０９間の距離は、望ましくは０．０インチ（０．０ｃｍ）から０．０２０インチ（約０．０５ｃｍ）の範囲で変化し、角度「ｈ」は概して、約７０度から約９０度の間で変化できる。上記から明らかなように、構成の詳細については種々の変更が可能であり、装置の使用及び作用、及び本発明による方法においても同様である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１０年１２月７日（１９９８．１２．７）【補正内容】請求の範囲１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して、横方向に延びる前記ノズル開口部からの流体流れのスクリーンを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）前記ノズルプレートは、基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は、前記着脱自在ノズル部に配置される、流体処理装置。２．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめるノズル開口部を有し、（ｆ）前記ノズルプレートは、基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は、前記着脱自在ノズル部に配置される、流体処理装置。１１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して、横方向に延びる前記ノズル開口部からの流体流れのスクリーンを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）横方向溝手段は、前記所定通路に沿った第１の地点において横方向中心線を有し、（ｉ）ノズル開口部の列は、前記所定通路に沿った、前記第１の地点とは異なる第２の地点において横方向中心線を有する、流体処理装置。１２．前記所定通路に沿った前記第１及び第２の地点間の距離が約０．０２０インチ（約０．０５ｃｍ）までである請求項１１に記載の流体処理装置。１３．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して横方向に延びる前記ノズル開口部からの流体流れのスクリーンを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）前記横方向溝手段は、前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する、流体処理装置。１４．前記鋭角は約７０度から約９０度の間である請求項１３に記載の流体処理装置。１５．前記横方向溝手段は、前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する請求項１１に記載の流体処理装置。１６．前記所定通路に沿った前記第１及び第２の地点間の距離が約０．０２０インチ（約０．０５ｃｍ）までであり、前記鋭角は約７０度から約９０度の間である請求項１５に記載の流体処理装置。２０．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドを、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置し、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びる流体流れのスクリーンを供給し、（ｈ）前記ノズルプレートは基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は前記着脱自在ノズル部に配置され、着脱自在ノズル部を基部から取り外すようになっている、流体処理方法。２１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめるノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレートは基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は前記着脱自在ノズル部に配置され、洗浄などのために着脱自在ノズル部を基部から取り外すようになっている、流体処理方法。２５．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びる流体流れのスクリーンを供給し、（ｈ）前記所定通路に沿った第１の地点において横方向中心線を有する横方向溝手段を設け、（ｉ）前記所定通路に沿った、前記第１の地点とは異なる第２の地点において横方向中心線を有するノズル開口部の列を設ける、流体処理方法。２６．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びる流体流れのスクリーンを供給し、（ｈ）前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する前記横方向溝手段を設ける、流体処理方法。

Claims

【特許請求の範囲】１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して横方向に延びる前記ノズル開口部からのスクリーン状流体流れを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）前記ノズルプレートは、基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は、前記着脱自在ノズル部に配置される、流体処理装置。２．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめるノズル開口部を有し、（ｆ）前記ノズルプレートは、基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は、前記着脱自在ノズル部に配置される、流体処理装置。３．前記ノズルプレートの前記基部及び前記ノズルプレートの前記着脱自在ノズル部が、少なくとも一つの略横方向接合部に沿って隣接する請求項１及び２のいずれか１項に記載の流体処理装置。４．前記基部の少なくとも一部分が、前記着脱自在ノズル部の少なくとも一部分を覆う関係にあり、ノズルから流体が流れている間に前記接合部において前記ノズル部が前記基部から分離するのを防止する手段を具備する請求項３に記載の流体処理装置。５．前記基部と前記着脱自在ノズル部間の封止係合において、前記接合部にエラストマーシールが設けられる請求項４に記載の流体処理装置。６．前記シールはＯリングから成る請求項５に記載の流体処理装置。７．前記基部と前記着脱自在ノズル部間の封止係合において、前記基部と前記着脱自在ノズル部との間に、前記着脱自在ノズル部の両側に沿って二つの略横方向接合部が、それぞれエラストマーシールを伴って設けられる請求項３に記載の流体処理装置。８．前記接合部はあり継ぎ部から成る請求項７に記載の流体処理装置。９．前記基部の少なくとも一部分が、前記着脱自在ノズル部の少なくとも一部分を覆う関係にあり、ノズルから流体が流れている間に前記接合部において前記ノズル部が前記基部から分離するのを防止する手段を具備し、前記基部と前記着脱自在ノズル部間の封止係合において、前記接合部にエラストマーシールが設けられる請求項８に記載の流体処理装置。１０．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置が、前記基部及び前記着脱自在ノズル部の端部に沿って設けられた端部プレートを含み、前記端部プレートと前記着脱自在ノズル部の隣接する部分の間にエラストマーシールが介在している請求項７に記載の流体処理装置。１１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して横方向に延びる前記ノズル開口部からのスクリーン状流体流れを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）横方向溝手段は、前記所定通路に沿った第１の地点において横方向中心線を有し、（ｉ）ノズル開口部の列は、前記所定通路に沿った、前記第１の地点とは異なる第２の地点において横方向中心線を有する、流体処理装置。１２．前記所定通路に沿った前記第１及び第２の地点間の距離が約０．０２０インチ（約０．０５ｃｍ）までである請求項１１に記載の流体処理装置。１３．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理装置において、所定の略長手方向に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送する手段を有し、更に、（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドと、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドとを有し、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有し、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端し、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有し、流体処理装置が更に、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を有し、（ｇ）前記ノズル開口部の列及び前記横方向溝手段は協働して横方向に延びる前記ノズル開口部からのスクリーン状流体流れを発生させる手段を具備するようにし、（ｈ）前記横方向溝手段は、前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する、流体処理装置。１４．前記鋭角は約７０度から約９０度の間である請求項１３に記載の流体処理装置。１５．前記横方向溝手段は、前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する請求項１１に記載の流体処理装置。１６．前記所定通路に沿った前記第１及び第２の地点間の距離が約０．０２０インチ（約０．０５ｃｍ）までであり、前記鋭角は約７０度から約９０度の間である請求項１５に記載の流体処理装置。１７．前記ノズルプレートは基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は前記着脱自在ノズル部に配置される請求項１１に記載の流体処理装置。１８．前記ノズルプレートの前記基部及び前記ノズルプレートの前記着脱自在ノズル部は、少なくとも一つの略横方向接合部に沿って互いに隣接する請求項１７に記載の流体処理装置。１９．前記基部の少なくとも一部分が、前記着脱自在ノズル部の少なくとも一部分を覆う関係にあり、ノズルから流体が流れている間に前記接合部において前記ノズル部が前記基部から分離するのを防止する手段を具備し、前記基部と前記着脱自在ノズル部間の封止係合において、前記接合部にエラストマーシールが設けられる請求項３に記載の流体処理装置。２０．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドを、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置し、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びるスクリーン状流体流れを供給し、（ｈ）前記ノズルプレートは基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は前記着脱自在ノズル部に配置され、着脱自在ノズル部を基部から取り外すようになっている、流体処理方法。２１．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめるノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレートは基部と着脱自在ノズル部とを具備し、前記ノズル開口部は前記着脱自在ノズル部に配置され、洗浄などのために着脱自在ノズル部を基部から取り外すようになっている、流体処理方法。２２．前記ノズルプレートの前記基部及び前記ノズルプレートの前記着脱自在ノズル部は、少なくとも一つの略横方向接合部に沿って互いに隣接する請求項２０および２１のいずれか１項に記載の方法。２３．前記基部と前記着脱自在ノズル部間の封止係合において、前記接合部にエラストマーシールが設けられる請求項２２に記載の方法。２４．前記基部及び着脱自在ノズル部の端部に沿って設けられた端部プレートを含み、前記端部プレートと前記着脱自在ノズル部の隣接する部分の間にエラストマーシールが介在している請求項２２に記載の方法。 25．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、 (d)前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びるスクリーン状流体流れを供給し、（ｈ）前記所定通路に沿った第１の地点において横方向中心線を有する横方向溝手段を設け、（ｉ）前記所定通路に沿った、前記第１の地点とは異なる第２の地点において横方向中心線を有するノズル開口部の列を設ける、流体処理方法。２６．所定の略長手方向に延びる略長手方向通路に沿って搬送される物品の流体処理方法であって、所定の略長手方向通路に沿って物品を上流方向から下流方向へ搬送し、更に（ａ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第１の流体供給マニフォールドを設け、（ｂ）前記略長手方向通路に対して略横方向に配置された第２の流体供給マニフォールドを設け、（ｃ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドは、物品用長手方向通路を間に挟んで互いに略対向して配置され、（ｄ）前記第１及び第２の流体供給マニフォールドはそれぞれ、前記通路に対して略横方向に、かつこれに隣接して配置される第１及び第２の多孔流体供給器ノズルプレートを有しており、これらノズルプレートは前記通路の各側面に一つずつ設けられ、かつ前記通路に最も近いノズルプレート表面内で終端しており、（ｅ）前記第１及び第２のノズルプレートの少なくとも一方は、前記マニフォールドからの流体を供給して所定通路に沿いつつ搬送される物品に接触せしめる略横方向の少なくとも一列のノズル開口部を有しており、（ｆ）前記ノズルプレート表面に沿って前記長手方向通路の横方向に延び、かつ前記通路に最も近い前記ノズルプレート表面におけるノズル開口部を接続する横方向溝手段を設け、（ｇ）前記ノズル開口部から横方向溝手段を介して流出する横方向に延びるスクリーン状流体流れを供給し、（ｈ）前記長手方向通路に対して鋭角である一直線状の中心線を有する前記横方向溝手段を設ける、流体処理方法。