JP6568833B2 - プラズマ表面処理方法、プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理システム - Google Patents

Description

この発明はプラズマ表面処理方法、プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理システムに関し、より詳細には、炭素繊維の製造工程において、サイジング処理の前の炭素繊維束に対して施す表面処理に適した表面処理技術に関する。

炭素繊維の製造工程では、原料となるアクリル樹脂やピッチを熱処理によって炭化または黒鉛化する工程の後に、炭素繊維束の切断防止や取扱性の向上などを図る改質処理としてサイジング処理が行われている。

サイジング処理は、炭素繊維束を構成する炭素繊維糸に液状のサイジング剤を付着させることにより行われるが、一般的に、炭化または黒鉛化後の炭素繊維糸はサイジング剤との密着性（親和性）が低いことから、サイジング処理の前には、炭素繊維束（糸）に対して濡れ性向上を目的とした表面処理が行われている。

ところで、熱処理された炭素繊維は、通常、多数の炭素繊維糸が束状に集合した状態の炭素繊維束として表面処理工程に供給される。具体的には、この炭素繊維束は、長尺の繊維束として構成されており、熱処理工程から表面処理工程に途切れることなく連続供給されるようになっている。

このような炭素繊維束の表面処理に関して、出願人は、プラズマ表面処理装置を用いた表面処理を提案している（たとえば、特許文献１参照）。

図８および図９は、出願人の提案に係る表面処理装置ａを示している。このプラズマ表面処理装置ａは、上下一組のプラズマヘッドｂ，ｃと、これら上部および下部のプラズマヘッドｂ、ｃの間にチャンバｆを形成させる一対のチャンバ形成部材ｄとを主要部として構成されている。

上部および下部のプラズマヘッドｂ、ｃは、プラズマ化された処理ガスを下向き（または上向き）に噴射するスリット状の噴出口ｅを備えており、これら上部および下部のプラズマヘッドｂ、ｃの各噴出口ｅが、装置ａの長手方向に貫通して設けられたチャンバｆを挟んで対向するように配置される。つまり、特許文献１に示すプラズマ表面処理装置ａでは、装置ａの長手方向に貫通して設けられたチャンバｆのほぼ全長が、炭素繊維束Ｗに対する表面処理用の処理空間として構成されている。

そして、炭素繊維束Ｗの表面処理にあたっては、図８に示すように、熱処理工程から連続供給される炭素繊維束Ｗをチャンバｆ内に導入し、炭素繊維束Ｗがチャンバｆ内を通過する間に、チャンバｆ内で炭素繊維束Ｗに対してプラズマ化された処理ガスによる表面処理を行うようにしている。

これにより、熱処理工程から連続供給される長尺の炭素繊維束Ｗに対して、連続的に、かつ、効率的に表面処理を行うことができる。

なお、特許文献１に示すプラズマ表面処理装置ａによる表面処理が提案される以前における炭素繊維束Ｗの表面処理工程には、いわゆる湿式処理、すなわち、熱処理後の炭素繊維束Ｗを電解液中に浸漬させて表面処理を施す電解酸化方式が採用されているが、このような湿式処理の場合、電解液の濃度管理や廃液処理、リンス工程、さらには、炭素繊維束Ｗに付着した電解液の乾燥工程が必要となり手間がかかるとともに、乾燥工程で多大な電力を消費するといったデメリットが多いことから、このようなデメリットのない特許文献１に示すプラズマ表面処理装置ａを用いた表面処理（乾式処理）方式は、炭素繊維の製造分野において画期的な表面処理技術として注目されている。

特開２０１６−３１９１６号公報

しかしながら、このような従来の表面処理（乾式処理）の工程には以下の問題があり、その改善が必要であった。

すなわち、熱処理工程から表面処理工程への炭素繊維束Ｗの供給は、通常、複数の炭素繊維束Ｗが並列に配列された状態で行われる。そのため、炭素繊維の製造ラインに特許文献１のプラズマ表面処理装置ａを配置する場合、図１０に示すように、ガイドローラｇなどの案内手段を用いて、複数（図示例では５本）の炭素繊維束Ｗをプラズマ表面処理装置ａの入口側で一旦集束させてプラズマ表面処理装置ａに導入するとともに、プラズマ表面処理装置ａの出口側では入口側で集束させた炭素繊維束Ｗを再び分離するという工程が必要であった。

しかし、サイジング処理前の炭素繊維束Ｗは脆く折れやすくことから、ガイドローラｇなどの案内手段を用いて搬送経路を曲げると、これによって炭素繊維束Ｗの一部が欠損（たとえば、断裂など）するという問題が生じた。

つまり、炭素繊維束Ｗの部分的な欠損により、表面処理工程における処理能力が低下するという問題があった。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、長尺の被処理体が並列に連続供給されるプロセスにおいて、被処理体の欠損が少なく処理効率の高いプラズマ表面処理技術を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係るプラズマ表面処理方法は、長尺の被処理体を並列に配列して長手方向に搬送する搬送路上において、上記被処理体に対して表面処理を行うプラズマ表面処理方法であって、上記被処理体の搬送路上に、プラズマ化された処理ガスを下向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された上部プラズマヘッドと、プラズマ化された処理ガスを上向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された下部プラズマヘッドと、これら上部および下部のプラズマヘッドの各噴出口が対面する位置のそれぞれに、上記噴出口の配列方向と直交する向きのチャンバが上記上部および下部プラズマヘッドを貫通して配設され、これら各チャンバがそれぞれ上記被処理体の表面処理用のチャンバとされているプラズマ表面処理装置を配置し、このプラズマ表面処理装置の各チャンバのそれぞれに上記被処理体を導入するとともに、上記噴出口からプラズマ化された処理ガスを上記チャンバ内に噴射することにより、上記各チャンバ内を搬送される被処理体のそれぞれにプラズマ化された処理ガスを噴き付けることを特徴とする。

そして、その好適な実施態様として、上記長尺の被処理体は、サイジング処理前の炭素繊維束であることを特徴とする。

また、本発明に係るプラズマ表面処理装置は、複数の長尺の被処理体が並列に配列された状態で長手方向に搬送される工程において、上記長尺の被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であって、プラズマ化された処理ガスを下向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された上部プラズマヘッドと、プラズマ化された処理ガスを上向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された下部プラズマヘッドと、これら上部および下部のプラズマヘッドの各噴出口が対面する位置のそれぞれに、上記噴出口の配列方向と直交する向きのチャンバが上記上部および下部プラズマヘッドを貫通して配設され、これら各チャンバがそれぞれ上記被処理体の表面処理用のチャンバとされていることを特徴とする。

そして、その好適な実施態様として、上記各チャンバは、上記上部および下部のプラズマヘッドにおいて上記噴出口が備えられる底板に形成された凹状溝をつき合わせることによって構成されていることを特徴とする。

さらに、本発明に係るプラズマ表面処理システムは、本発明に係るプラズマ表面処理装置が、被処理体の搬送方向に複数台配設されてなり、上記各チャンバを通過した被処理体は、被処理体の搬送方向に隣接する次段のプラズマ表面処理装置によって再度表面処理されるように構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、長尺の被処理体が並列に配列された状態で長手方向に搬送される搬送路上に、各被処理体の外周をそれぞれ囲うチャンバが配置され、上記チャンバ内において被処理体に対する処理ガスの噴き付け、すなわち、被処理体に対する表面処理が行われるので、被処理体の表面処理に際して、被処理体の搬送路を曲げる必要がない。そのため、被処理体が脆い材質（たとえば、サイジング処理前の炭素繊維束など）であっても、被処理体を欠損することなく、効率的に表面処理を行うことができる。

また、各チャンバは、被処理体を挟んで対向する位置に、被処理体の搬送方向に直交するスリット状の噴出口（処理ガスの噴出口）が形成されるので、チャンバ内を通る被処理体に対して両面から処理ガスが噴き付けられる。そのため、処理ガスの噴き付けが被処理体の片面に集中することがなく、処理ムラが発生せず、表面処理をムラなく均一に行うことができる。特に、複数のチャンバを用いる場合（被処理体ごとにチャンバを設ける場合）、被処理体はそれぞれのチャンバ内で個別に表面処理が行われるので、確実かつ効果的に表面処理を施すことができる。

さらに、複数のチャンバを備えたプラズマ表面処理装置を被処理体の搬送方向に複数台配設することにより、被処理体の表面処理を確実に行うことができる。具体的には、被処理体の搬送速度が１台のプラズマ表面処理装置で対応可能な表面処理能力を超える速さである場合であっても、配設するプラズマ表面処理装置の台数を増やすことで対応することが可能であり、被処理体の表面処理を確実に行うことができる。

本発明に係るプラズマ表面処理装置の外観構成の一例を示す斜視図である。 同プラズマ表面処理装置の概略構成を示す分解斜視図である。 同プラズマ表面処理装置における下部のプラズマヘッドの底板の構成を示す説明図であって、図３（ａ）は同底板を上方から見た平面図を、図３（ｂ）は同底板のＢ−Ｂ断面を拡大して示した断面図を示している。 同プラズマ表面処理装置におけるチャンバの改変例を示す分解斜視図である。 同プラズマ表面処理装置におけるチャンバの改変例を示す分解斜視図である。 同プラズマ表面処理装置を用いた表面処理の性能を示す説明図である。 同プラズマ表面処理装置を用いたプラズマ表面処理システムの概略構成を示す説明図である。 従来のプラズマ表面処理装置を用いた炭素繊維束の表面処理方法を示す斜視図である。 従来のプラズマ表面処理装置の概略構成を示す分解斜視図である。 従来のプラズマ表面処理装置を炭素繊維の製造ラインに適用した場合を示す説明図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
実施形態１
図１は、本発明に係るプラズマ表面処理装置１の外観構成の一例を示している。図１に示すプラズマ表面処理装置１は、炭素繊維の製造工程において、熱処理工程（炭化または黒鉛化処理）が完了した炭素繊維束（被処理体）Ｗに対して、濡れ性向上などを目的として行う表面処理工程に用いられるプラズマ表面処理装置を示している。

ここで、熱処理工程から表面処理工程に供給される炭素繊維束Ｗについて説明する。熱処理工程から表面処理工程に供給される炭素繊維束Ｗは、通常、図１に示すように、複数の炭素繊維束Ｗが並列に配列された状態で略直線状に熱処理工程から表面処理工程に搬送・供給される。各炭素繊維束Ｗは、いずれも熱処理工程から途切れることなく連続して表面処理工程に供給される。すなわち、各炭素繊維束Ｗはいずれも長尺に構成されており、その長手方向（搬送方向Ｘ）に搬送される。

各炭素繊維束Ｗは、極細の炭素繊維糸が多数集合することによって構成されており、断面形状が、略円形、略楕円形あるいは略長方形状などの束状の態様を呈している（図示例では、断面形状が略長方形状を呈した帯状の繊維束）。また、炭素繊維束Ｗの幅寸法（図１の水平方向の寸法）は、製造ライン側の能力（たとえば、炭化炉または黒鉛化炉の処理能力）などによって適宜決定される。

プラズマ表面処理装置１は、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂを主要部として構成される。

上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂは、同一構造のプラズマヘッド２で構成されており、各プラズマヘッド２ａ，２ｂにおける処理ガスの噴出口５が対面するように上下に対向配置されている（図１および図２参照）。

プラズマヘッド２は、横長の箱型の筐体３内に、誘電体バリア放電によって処理ガスをプラズマ化させるプラズマ発生装置４（図３参照）を収容してなるもので、筐体３の底面３ａにプラズマ化された処理ガスの噴出口５が備えられている。つまり、上部のプラズマヘッド２ａは、処理ガスが下向きに噴射されるように噴射口５が配置されており、下部のプラズマヘッド２ｂは、処理ガスが上向きに噴射されるように噴射口５が配置されている。

プラズマ発生装置４は、電圧印加電極と接地電極とが一定の間隔を空けて対向配置されるとともに、これら電極の一方または双方の電極対向面をセラミックスなどの誘電体で覆った構造を備えており、電圧印加電極に高周波電圧を印加することによって両電極間に放電（誘電体バリア放電）を発生させるように構成されている。そして、放電中の電極間に処理ガスを供給することによって処理ガスがプラズマ化（プラズマ活性化）され、プラズマ化した処理ガスが噴出口５から筐体外部に噴射されるようになっている。

また、プラズマ発生装置４の電圧印加電極および接地電極は、筐体３内の長手方向（搬送方向Ｘと直交する方向）のほぼ全長にわたって対向配置されており、後述するすべての噴出口５からプラズマ化された処理ガスが噴射されるように構成されている。

ここで、本実施形態のプラズマヘッド２の電極構造について簡単に説明する。
本実施形態に示すプラズマヘッド２の電圧印加電極４１は、図３（ｂ）に示すように円筒状の外周面４１ａを備えており、上述したとおり、筐体３の長手方向のほぼ全長にわたって配設されている（図３（ａ）参照）。

一方、接地電極４２は、筐体３の底板を兼ねる構造とされている。具体的には、筐体３は、下向きの開口を有する金属製の本体カバー３１の開口部に底板を嵌合させることによって構成されるが、本実施形態では、プラズマ発生装置４の接地電極４２がこの底板を兼ねるように構成されている。

具体的には、接地電極４２は、図３（ｂ）に示すように、電圧印加電極側の面に、電圧印加電極４１の外周面４１ａと対応する断面円弧状の溝４２ａが長手方向に形成されており、この溝４２ａと一定の間隔をあけて対面するように電圧印加電極４１が配設されるようになっている。そして、この溝４２ａの所定位置（図３（ａ）参照）には、スリット状の噴出口５が直線上に複数設けられている（詳細は後述する）。なお、噴出口５は、図３（ｂ）に示すように、溝４２ａの最深部（図３（ｂ）では最上部）に設けられている。

一方、接地電極４２において電圧印加電極４１と反対側の面には、図２に示すように、複数（図示例では、５本）の凹状溝４３が形成されている。この凹状溝４３は、後述するように、筐体３の底面３ａを他方のプラズマヘッド２の筐体底面３ａとつき合わせることによってチャンバ６（図１参照）を形成するための溝であって、接地電極４２の長手方向と直交する向きに（すなわち、搬送方向Ｘと平行に）形成されている。なお、本実施形態では、凹状溝４３を５本設けた場合を図示したが、凹状溝４３は電圧印加電極４１が配置された領域内であれば、２本以上の適当数（たとえば、１０本や１５本など）設けることができる。

ここで、この凹状溝４３の形状について説明する。この凹状溝４３は、上述したように、他方のプラズマヘッド２とつき合わせてチャンバ６を形成するものである。そのため、この凹状溝４３の形状は、チャンバ６に導入する炭素繊維束Ｗの断面形状に応じて適宜変更可能である。たとえば、凹状溝４３の断面形状としては、略円形、略長方形、あるいは略Ｖ形など、束状の炭素繊維束Ｗを収容可能な形態が適宜採用可能である。

本実施形態では、炭素繊維束Ｗが帯状を呈することから、これに対応して凹状溝４３の断面形状は、炭素繊維束Ｗの断面形状より少し大きい扁平な略円弧状の断面としている。なお、炭素繊維束Ｗの外周面とチャンバ６の内周面との間は、数ｍｍ乃至十数ｍｍ程度、たとえば、２ｍｍ〜１０ｍｍ程度の隙間が形成されるように構成しておくのが好ましい。これは、炭素繊維束Ｗの外周面とチャンバ６の内周面との間隔が狭すぎると炭素繊維束Ｗがチャンバ６の内周面と接触して毀損するおそれがある一方、間隔が広すぎる（炭素繊維束Ｗの断面形状に対するチャンバ６の断面形状が大きすぎる）と表面処理時における処理ガスの使用量が過大となるからである。

また、凹状溝４３の幅寸法（噴出口５の幅寸法）Ｌ１および隣接する凹状溝４３同士の間隔Ｌ２は、それぞれ一定間隔であることが望ましい。すなわち、噴出口５の幅寸法Ｌ１や隣接する凹状溝４３同士の間隔Ｌ２がまちまちであると噴出口５から噴射される処理ガスの噴射量にムラが発生するおそれがある。したがって、凹状溝４３の幅寸法（噴出口５の幅寸法）Ｌ１および隣接する凹状溝４３同士の間隔Ｌ２をそれぞれ一定間隔とすることで、各チャンバ７での均一な表面処理を図ることができる。

そして、各凹状溝４３には、それぞれ処理ガスの噴出口５が設けられている。噴出口５は、図３（ａ）に示すように、炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘと直交する向きの細長いスリット状の開口部として形成されており、接地電極４２には、この噴出口５が凹状溝４３の配設位置に合わせて直線上に複数（図示例では５か所）配置されている。つまり、接地電極４２は、これらの噴出口５が直線上に断続的に一定間隔で配列された形態とされている。

しかして、このように構成されたプラズマヘッド２が、図１および図２に示すように、筐体３の底面３ａ同士を突き合わせる恰好で上下に対向配置されることにより、上部および下部プラズマヘッド２ａ，２ｂの間に、炭素繊維束Ｗの搬送方向に筐体３を貫通する複数条のチャンバ６，６，…を備えたプラズマ表面処理装置１が構成される。

なお、本実施形態では、チャンバ６の形成にあたり、プラズマヘッド２の底面３ａに凹状溝４３を構成し、これを突き合わせてチャンバ６を構成する場合を示したが、チャンバ６は、たとえば、図４に示すように、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂの間に、チャンバ６を形成するための専用の部材（チャンバ形成部材）７を介在させることによって構成することも可能である。

この場合、チャンバ６は、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂの各底面３ａと、チャンバ形成部材７，７…の側面とで囲まれた空間で構成される。そして、このようにチャンバ６を構成した場合、プラズマヘッド２側の噴出口５の形状は、図４に示すように、各チャンバ６を横断する長さの１本のスリット状の噴出口５１として簡素化することができる。ただし、この場合においても、チャンバ形成部材７が配設された部分の噴出口５１はチャンバ形成部材７によって閉塞され、チャンバ形成部材７同士の間に形成される隙間（すなわち、チャンバ６）にのみ噴出口５１が開口されることになるので、チャンバ６としては、図１に示すプラズマ表面処理装置１と同様の構造が得られる。

また、チャンバ６の他の改変例として、たとえば、図５に示すような構造を採用することも可能である。すなわち、この例では、複数の炭素繊維束Ｗに対して１つのチャンバ６を用いる構成（換言すれば、１つのチャンバ６に複数の炭素繊維束Ｗを導入する構成）を採用している。

具体的には、図５に示すように、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂの間（の長手方向両端）に、一対のチャンバ形成部材７′，７′を介在させて、炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘと平行な１つの大きなチャンバ６を形成する。そして、このチャンバ６において、炭素繊維束Ｗが通過する位置のそれぞれに、炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘと直交するスリット状の噴出口５１′を形成する。つまり、この改変例においても噴出口５１′は、図５に示すように、直線上に一定間隔で断続的に配列される。なお、この噴出口５１′の形成にあたっては、接地電極４２に噴出口５１′を構成する個々の貫通孔をそれぞれ穿設して構成することができるほか、図４に示すような長いスリット（電圧印加電極１の長さに相当するスリット）を形成しておき、このスリットを部分的に塞いで複数の噴出口５１′を形成することも可能である。

次に、このように構成されたプラズマ表面処理装置１を用いた炭素繊維束Ｗの表面処理方法について説明する。

本発明に係るプラズマ表面処理装置１は、上述したように、熱処理工程が完了した炭素繊維束Ｗの表面処理に用いられる。

炭素繊維束Ｗの表面処理にあたっては、はじめに、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂのプラズマ発生装置４，４でそれぞれ誘電体バリア放電を行わせ、この状態で、電圧印加電極４１と接地電極４２との間への処理ガスの供給を開始する。これにより、チャンバ６内にはプラズマ化された処理ガスが噴出口５から噴射・供給され、チャンバ６内がプラズマ化された処理ガスで充満する。

具体的には、本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、接地電極４２の短手方向の中央に噴出口５が形成されているので、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂの各噴出口５は、チャンバ６内で上下に正対した位置に配置され、（炭素繊維束Ｗを挟んで）上下方向からチャンバ６にプラズマ化された処理ガスが供給されるようになっている。

なお、本実施形態では、噴出口５がチャンバ６内で上下に正対する場合を示したが、たとえば、噴出口５を接地電極４２の短手方向の一方に片寄らせて形成し、噴出口５がチャンバ６内で正対位置からずれた位置で対向するよに構成することも可能である。具体的には、たとえば、各プラズマヘッド２ａ，２ｂに形成される噴出口５を、それぞれ短手方向の中央から数ｍｍずらして構成しておき、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂを突き合わせた際に、両者の噴出口５が炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘに２ｍｍ〜５０ｍｍ程度ずれるように構成することもできる。このように、上部および下部のプラズマヘッド２ａ，２ｂの噴出口５の位置をずらすことにより、噴出５から噴射される処理ガスが互いに干渉（衝突）するのを防止することができ、表面処理効果を高めることができるようになる。

また、このときにプラズマ発生装置４に供給する処理ガスとしては、たとえば、窒素（Ｎ₂）ガスと空気（ＣＤＡ：Clean Dry Air）の混合ガスが用いられる。

このようにして、チャンバ６内にプラズマ化された処理ガスが充満すると、次に、チャンバ６内への炭素繊維束Ｗの導入・搬送を開始する。この搬送は、図示しない搬送手段によって行われ、図１に示すように、各炭素繊維束Ｗがそれぞれチャンバ６内を通過するように、換言すれば、チャンバ６によって囲まれた空間（プラズマ化した処理ガスが充満した空間）内を炭素繊維束Ｗが通過するように、炭素繊維束Ｗの長手方向（搬送方向Ｘ）に搬送する。

ここで、炭素繊維束Ｗの配設間隔とチャンバ６の配設間隔（凹状溝４３同士の間隔Ｌ２）について説明する。

本発明に係るプラズマ表面処理装置１では、チャンバ６の配設間隔は、炭素繊維束Ｗの配設間隔（隣接する炭素繊維束Ｗとの間隔）と同一となるようにあらかじめ設計される。これは、熱処理工程から供給される炭素繊維束Ｗの搬送路上にチャンバ６が配置されるようにするためである。このように本発明に係るプラズマ表面処理装置１では、炭素繊維束Ｗの搬送路上にチャンバ６が配設されることにより、熱処理工程から表面処理工程に供給する炭素繊維束Ｗを曲げることなく表面処理を行うことができ、搬送路の曲がりに伴う炭素繊維束Ｗの断裂などを防止することができる。そのため、本発明に係るプラズマ表面処理装置１を表面処理工程に用いた炭素繊維の製造ラインでは、炭素繊維束Ｗの欠損が少なく効率良く炭素繊維を製造することができる。

そして、このようにしてチャンバ６内に導入された炭素繊維束Ｗは、炭素繊維束Ｗの外周を囲うように形成されたチャンバ６内を通過する際に、噴出口５から噴射されるプラズマ化された処理ガスに晒されることになり、チャンバ６内で表面処理が施される。このとき、チャンバ６内では、処理ガスが上下両方向から、炭素繊維束Ｗに噴き付けられるため、炭素繊維束Ｗに対して均一な表面処理を施すことができる。

図６は、本発明に係る表面処理装置１の表面処理性能（カバーガラスの接触角）を測定した実験結果を示している。この実験では、本発明に係るプラズマ表面処理装置１と性能比較を行う比較品として、水平方向の幅を拡張した単一のチャンバを備えたプラズマ表面処理装置（処理ガスの噴出口は、炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘと直交する向きに、複数の炭素繊維束Ｗを横断するように連続する細長い単一のスリット状の形態としたもの）を用い、本発明に係るプラズマ表面処理装置１には、噴出口５の幅寸法Ｌ１および隣接する凹状溝４３同士の間隔Ｌ２がそれぞれ１２．５ｍｍのものを用いた。

また、被処理体であるカバーガラスには、松波硝子工業株式会社製の「マツナミカバーガラス」を用い、処理ガスには、窒素（Ｎ₂）ガスと空気（ＣＤＡ：Clean Dry Air）の混合ガス（窒素ガスの流量は２５０ＳＬＭ、空気の流量は３．０ＳＬＭ）を用いた。

そして、このような条件の下で、被処理体の搬送速度を５〜１０ｍ／ｍｉｎの範囲で毎分１ｍずつ段階的に変化させ、各段階における被処理体の接触角の測定を３回行った。

その結果、図６に示すように、本発明に係るプラズマ表面処理装置１は、すべての搬送速度において、比較品に比べて３倍乃至４倍程度の高い表面処理効果（濡れ性向上）が得られることが判明した。たとえば、搬送速度が５ｍ／ｍｉｎの場合、比較品の接触角（平均）が６．５°であるのに対し、本発明に係るプラズマ表面処理装置では接触角（平均）が２．０°と３倍強、搬送速度が７ｍ／ｍｉｎの場合、比較品の接触角（平均）が１２．２°であるのに対し、本発明に係るプラズマ表面処理装置では接触角（平均）が３．１°とほぼ４倍、さらに、搬送速度が１０ｍ／ｍｉｎの場合、比較品の接触角（平均）が１９．５°であるのに対し、本発明に係るプラズマ表面処理装置では接触角（平均）が５．８°と３倍強との結果が得られた。

このことから、本発明に係るプラズマ表面処理装置１のように、炭素繊維束Ｗごとにチャンバ６を設ける構成（換言すれば、チャンバ６を狭く構成）することにより、被処理体Ｗの表面処理効果が向上することが判明した。

このように、本発明に係るプラズマ表面処理装置１によれば、炭素繊維束Ｗが並列に配列された状態で長手方向に搬送される搬送路上に、各炭素繊維束Ｗの外周をそれぞれ囲うチャンバ６が配置され、これら各チャンバ６内において炭素繊維束Ｗの表面処理が行われるので、熱処理工程を終了した炭素繊維束Ｗを断裂等させることなく（欠損することなく）、効率的に表面処理を行うことができる。

また、各チャンバ６の炭素繊維束Ｗを挟んで対向する位置に、炭素繊維束Ｗの搬送方向に直交するスリット状の噴出口５が形成されているので、チャンバ６内を通る炭素繊維束Ｗには上下両面から処理ガスが噴き付けられ、表面処理をムラなく均一に行うことができる。

さらに、本発明のプラズマ表面処理装置１は、熱処理工程を終了した炭素繊維束Ｗの搬送路を曲げずに表面処理を行えるので、既存の炭素繊維の製造ラインへの適用が容易である。

また、本発明に係るプラズマ表面処理装置１によれば、並列に配置された炭素繊維束Ｗの数がプラズマ表面処理装置１に備えられたチャンバ６の数を超えている場合には、炭素繊維束Ｗの配列に合わせて、プラズマ表面処理装置１を横に並べて（チャンバ６が横に並ぶように並列に）配置することで、多数の炭素繊維束Ｗに対しても同時に表面処理を行うことが可能である。

実施形態２
次に、本発明に係るプラズマ表面処理システムを図７に基づいて説明する。
この図７に示すプラズマ表面処理システムは、上述したプラズマ表面処理装置１を炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘに（チャンバ６が直列に配置されるように）複数台配設することによって構成される。

具体的には、各プラズマ表面処理装置１は、隣接するプラズマ表面処理装置１同士のチャンバ６が一直線上に並ぶように配置され、この一直線上に並んだチャンバ６を炭素繊維束Ｗが貫通して搬送されるように構成される。したがって、熱処理工程を終えた炭素繊維束Ｗは、はじめに初段のプラズマ表面処理装置１（最も熱処理工程側に配置されたプラズマ表面処理装置１）で表面処理が行われた後に隣接する次段のプラズマ表面処理装置１で再度表面処理が行われる。さらに、３段目以降のプラズマ表面処理装置１がある場合には３段目、４段目と順番に次段のプラズマ表面処理装置１で表面処理が行われる。

このように、本発明に係るプラズマ表面処理装置１を炭素繊維束Ｗの搬送方向Ｘに複数台配設することによって、たとえば、炭素繊維束Ｗの搬送速度が速く、１台のプラズマ表面処理装置１だけでは所望の表面処理効果が得られないような場合には、プラズマ表面処理装置１を複数台配置することで、所望の表面処理効果を得ることができるようになる。

なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれらに限定されることなくその範囲内で種々の設計変更が可能である。

たとえば、上述した実施形態では、本発明に係るプラズマ表面処理装置１を炭素繊維束Ｗの表面処理に用いた場合を示したが、本発明のプラズマ表面処理装置１は、長尺の被処理体であれば、炭素繊維束Ｗ以外の被処理体（たとえば、天然繊維、化学繊維、ガラス繊維など）の表面処理にも適用することができる。

また、被処理体に対して行う表面処理としては、上述した濡れ性向上を目的とした処理に限定されず、たとえば、撥水化、表面還元、有機物除去、コーティングなどを目的とした表面処理にも適用可能である。

また、上述した実施形態では、炭素繊維束Ｗが水平に搬送される場合を示したが、たとえば、炭素繊維束Ｗが垂直に搬送されるような場合には、この搬送方向に合わせてプラズマヘッド２ａ，２ｂは９０°傾けて配置される。

なお、上述した実施形態では、被処理体が繊維状の物体である場合を示したが、被処理体は長尺であれば繊維状のものに限られず、たとえば、線状、棒状、板状等の物体を被処理体として表面処理を行うことも可能である。

また、上述した実施形態では、プラズマヘッド２の電極構造として、電圧印加電極４１が円筒状の外周面４１ａを備える場合を示したが、対向配置される電圧印加電極４１と接地電極４２の間で誘電体バリア放電を行う電極構造であれば、他の構造（たとえば、平板状の電極を対向配置する平行平板式）を採用することも可能である。

１ プラズマ表面処理装置
２ プラズマヘッド
２ａ 上部プラズマヘッド
２ｂ 下部プラズマヘッド
４ プラズマ発生装置
４１ 電圧印加電極
４２ 接地電極
４３ 凹状溝
５ 噴出口
６ チャンバ
７ チャンバ形成部材
Ｗ 炭素繊維束（被処理体）
Ｘ 炭素繊維束の搬送方向

Claims (5)

1. 長尺の被処理体を並列に配列して長手方向に搬送する搬送路上において、前記被処理体に対して表面処理を行うプラズマ表面処理方法であって、
   前記被処理体の搬送路上に、プラズマ化された処理ガスを下向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された上部プラズマヘッドと、プラズマ化された処理ガスを上向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された下部プラズマヘッドと、これら上部および下部のプラズマヘッドの各噴出口が対面する位置のそれぞれに、前記噴出口の配列方向と直交する向きのチャンバが前記上部および下部プラズマヘッドを貫通して配設され、これら各チャンバがそれぞれ前記被処理体の表面処理用のチャンバとされているプラズマ表面処理装置を配置し、
   このプラズマ表面処理装置の各チャンバのそれぞれに前記被処理体を導入するとともに、前記噴出口からプラズマ化された処理ガスを前記チャンバ内に噴射することにより、前記各チャンバ内を搬送される被処理体のそれぞれにプラズマ化された処理ガスを噴き付ける
   ことを特徴とするプラズマ表面処理方法。
2. 前記長尺の被処理体は、サイジング処理前の炭素繊維束であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表面処理方法。
3. 複数の長尺の被処理体が並列に配列された状態で長手方向に搬送される工程において、前記長尺の被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であって、
   プラズマ化された処理ガスを下向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された上部プラズマヘッドと、
   プラズマ化された処理ガスを上向きに噴射するスリット状の噴出口が直線上に複数配列された下部プラズマヘッドと、
   これら上部および下部のプラズマヘッドの各噴出口が対面する位置のそれぞれに、前記噴出口の配列方向と直交する向きのチャンバが前記上部および下部プラズマヘッドを貫通して配設され、これら各チャンバがそれぞれ前記被処理体の表面処理用のチャンバとされている
   ことを特徴とするプラズマ表面処理装置。
4. 前記各チャンバは、前記上部および下部のプラズマヘッドにおいて前記噴出口が備えられる底板に形成された凹状溝をつき合わせることによって構成されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ表面処理装置。
5. 請求項３または４に記載のプラズマ表面処理装置が、被処理体の搬送方向に複数台配設されてなり、
   前記各チャンバを通過した被処理体は、被処理体の搬送方向に隣接する次段のプラズマ表面処理装置によって再度表面処理されるように構成されている
   ことを特徴とするプラズマ表面処理システム。

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