JP6482014B2 - プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理システム - Google Patents
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Description
(1)上記上部および下部のプラズマヘッドの噴出口は、上記被処理体を挟んで正対する位置から相互に偏心させて対向配置されている。
実施形態1
図1は、本発明に係るプラズマ表面処理装置1の外観構成の一例を示している。この図1に示すプラズマ表面処理装置1は、大気圧近傍の圧力下において、長尺の被処理体Wに対して、プラズマ化させた処理ガスを噴き付けることにより、被処理体Wの表面処理を行う装置であって、プラズマ化させた処理ガスを噴射する一対のプラズマヘッド2a,2bと、プラズマヘッド2a,2bの間にチャンバ4を形成させる一対のチャンバ形成部材3a,3bとを主要部として備えている。
次に、本発明に係るプラズマ表面処理システムを図4に基づいて説明する。
本発明に係るプラズマ表面処理システムは、上述したプラズマ表面処理装置1を複数台連結することにより構成されている。
2a,2b プラズマヘッド
3a,3b チャンバ形成部材
4 チャンバ
5 噴出口
6 プラズマヘッドの筐体
7 プラズマヘッドの底板
8 凹状溝
W 被処理体
X 被処理体の搬送方向
Claims (4)
- 大気圧近傍下で繊維または繊維束で構成された長尺の被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理方法であって、前記長尺の被処理体を長手方向に搬送する搬送経路に、前記被処理体の外周を囲うようにチャンバを形成し、このチャンバにおいて前記被処理体を挟んで対向する位置に、電気的に接地された金属板が配置されるとともに、この金属板に前記被処理体の搬送方向に沿ってスリット状の噴出口を一対形成し、この一対の噴出口からプラズマ化された処理ガスを前記チャンバ内に噴射することにより、前記チャンバ内を搬送される被処理体に対して前記噴出口のスリット長に応じた広範囲の区間でプラズマ化された処理ガスを噴き付けるプラズマ表面処理方法を実施するプラズマ表面処理装置であって、
プラズマ化された処理ガスを下向きに噴射するスリット状の噴出口を備えた上部プラズマヘッドと、
プラズマ化された処理ガスを上向きに噴射するスリット状の噴出口を備えた下部プラズマヘッドと、
これら上部および下部のプラズマヘッド間にチャンバを形成させる一対のチャンバ形成部材とを備えてなり、
上部および下部のプラズマヘッドは、いずれも処理ガスの噴出口が形成された面が電気的に接地されるとともに、互いに処理ガスの噴出口が平行に向かい合うように対向配置され、
前記一対のチャンバ形成部材は、上部および下部のプラズマヘッドの噴出口を挟んで対面配置されて、上部および下部のプラズマヘッドの間に、前記噴出口の長手方向に貫通するチャンバが形成されている
ことを特徴とするプラズマ表面処理装置。 - 前記上部および下部のプラズマヘッドの噴出口は、前記被処理体を挟んで正対する位置から相互に偏心させて対向配置されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記一対のチャンバ形成部材は、互いが対面する面に、いずれも前記噴出口の長手方向に沿った凹状溝が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ表面処理装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置を複数連結し、隣接するプラズマ表面処理装置のチャンバ同士が連通するように構成されていることを特徴とするプラズマ表面処理システム。
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