JP6242946B2 - 炭素繊維の表面処理方法 - Google Patents
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Description
実施形態1
図1は、本発明に係るプラズマ表面処理装置1の外観構成の一例を示している。この図1に示すプラズマ表面処理装置1は、長尺の被処理体Wに対して、プラズマ化させた処理ガスを噴き付けることにより、被処理体Wの表面処理を行う装置であって、プラズマ化させた処理ガスを噴射する一対のプラズマヘッド2a,2bと、プラズマヘッド2a,2bの間にチャンバ4を形成させる一対のチャンバ形成部材3a,3bとを主要部として備えている。
次に、本発明に係るプラズマ表面処理システムを図4に基づいて説明する。
本発明に係るプラズマ表面処理システムは、上述したプラズマ表面処理装置1を複数台連結することにより構成されている。
2a,2b プラズマヘッド
3a,3b チャンバ形成部材
4 チャンバ
5 噴出口
6 プラズマヘッドの筐体
7 プラズマヘッドの底板
8 凹状溝
W 被処理体
X 被処理体の搬送方向
Claims (3)
- 誘電体バリア放電によってプラズマ化された処理ガスをチャンバ内に噴出させる細長いスリット状の噴出口を炭素繊維の搬送方向に備えたチャンバ内に、プラズマ化された処理ガスを充満させ、このチャンバ内に炭素繊維の繊維束を連続供給することによって、前記炭素繊維の繊維束をプラズマ化された処理ガスに晒して表面処理を行う
ことを特徴とする炭素繊維の表面処理方法。 - 前記炭素繊維は長尺の繊維束で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の炭素繊維の表面処理方法。
- 前記炭素繊維は板状に構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の炭素繊維の表面処理方法。
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