JP2002511981A - 基板上の層状構造体の製造方法、及び該方法によって製造された基板及び半導体部品 - Google Patents
基板上の層状構造体の製造方法、及び該方法によって製造された基板及び半導体部品Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.中空キャビティを有する物質層、好ましくは多孔性物質層が例えば単結晶p タイプまたはnタイプSiから成る基板上に生成され、次に層状構造体の一部が キャビティ露出または多孔性物質層上に設けられて、その後に例えばキャビティ 露出または多孔性層の境界面内または境界面上での機械的歪みの生成中にキャビ ティ露出または多孔性物質層を目的の分離位置として利用して基板から分離され る層状構造体製造方法であって、 該基板の表面は多孔性層の生成前に構造化され、あるいは該多孔性層の表面 が構造化されることを特徴とする層状構造体製造方法。 2.該基板の表面が、 a)光食刻法 b)例えば該基板の表面に無作為角錐を生成するためのKOHを使用したn またはpシリコンの処理などの食刻処理 c)化学的方法 d)機械的フライス削り e)レーザー処理 の内1つまたは複数の方法によって構造化されることを特徴とする請求項1に 記載の方法。 3.該多孔性層の表面が、 a)光食刻法 b)例えば該基板の表面に無作為角錐を生成するためのKOHを使用したn またはpシリコンの処理などの食刻処理 c)化学的方法 d)機械的フライス削り e)レーザー処理 f)機械的コイニング の内1つまたは複数の方法によって構造化されることを特徴とする請求項1に記 載の方法。 4.該層状構造体が少なくとも部分的にエピタキシャル法(同質エピタキシーま たは異質エピタキシー)で多孔性表面上に設けられ、該層状構造体に属する少な くとも1つの半導体層がエピタキシャル法によって該多孔性層の表面上に設けら れることを特徴とする上記請求項の何れかに記載の方法。 5.該層状構造体が金属層の施行または沈着によって少なくとも部分的に、加熱 及び表面拡散によって該層状構造体の隣接物質に施行されるアルミニウムフォイ ルまたはアルミニウムシート状に形成される上記請求項の何れかに記載の方法。 6.該層状構造体の形成過程が、例えばソル−ゲル処理または接着剤によって例 えば透明または光透過ウィンドウ層状の誘電体を設ける過程を含むことを特徴と する上記請求項の何れかに記載の方法。 7.例えば接着結合、ウエハー結合、拡散蝋着法によって該層状構造体に結合、 または該層状構造体の一部として形成されるキャリア層を設けることを特徴とす る上記請求項の何れかに記載の方法。 8.該基板から該層状構造体を分離した後、目的の破砕位置を形成する層状構造 体の任意で構造化した表面に別の構造体を生成あるいは設けることを特徴とする 上記請求項の何れかに記載の方法。 9.該別の構造体を生成する前に、目的の破砕位置によって形成された該表面を 洗浄及び/または部分的除去及び/または新規構造化または多孔化することを特 徴とする請求項8に記載の方法。 10.該設けられた目的の破砕位置で該基板から該層状構造体を分離した後、該 多孔性層の残留物を除去してからあるいは除去しな いまま、該基板を層状構造体を圧着するための基板として再び使用することを特 徴とする上記請求項の何れかに記載の方法。 11.構造化多孔性層、すなわち非平坦平行板形状の多孔性層を有する該基板を 新たに使用する場合、最後に使用した該基板に例えばエッチングまたは超音波洗 浄処理によって行われる洗浄処理を施すことを特徴とする請求項10に記載の方 法。 12.該基板から該層状構造体を除去する前または後で、該基板から離れた該層 状構造体の表面に別の多孔性層を生成し、さらにその上に別の層状構造体を形成 する過程を任意で複数回繰り返される方法によって実行するので、目的の破砕位 置を形成する多孔性層によって隣接する層状構造体から互いに分離している複数 の層状構造体、特に構造化層状構造体が互いに重なり合って生成され、このよう な多重構造体を生成した後、各多孔性層内で機械的応力を発生させることにより または各多孔性層の境界面での陽極化処理によりそれぞれの層状構造体は互いに 分離することを特徴とする上記請求項の何れかに記載の方法。 13.該それぞれの層状構造体の分離後、及び該多孔性層の残留物の任意の除去 後、該各層状構造体の一方及び/または他方の自由表面に別の構造体を生成する ことを特徴とする請求項12記載の方法。 14.該多重構造体から該各層状構造体を分離する前は、該各層状構造体はそれ ぞれキャリア層を備えているかあるいはキャリアに固定されていることを特徴と する請求項12記載の方法。 15.各別の構造体は、エピタキシャル法によって、本来該基板の方を向くよう に形成された層状構造体の表面で成長することを特徴とする請求項12または1 3または14記載の方法。 16.中空キャビティまたは多孔性物質層を有する層を第1基板からまたは上に 生成または圧着し、該層は例えば互いに平行に配列された溝を有する構造化自由 表面を有し、また該多孔性物質層の 自由な任意で構造化された表面上に第2基板を圧着し、該多孔性物質層の1つの 層または一部が基板に残留するかまたは付着した状態を保つよう、機械的歪みを 発生させることにより該多孔性層を目的の破砕位置として使用する該第1基板か ら該第2基板を分離し、これによって該第2基板をエピタキシャル法で使用可能 となることを特徴とする半導体エピタキシーの基板製造方法。 17.該第1基板から該第2基板を分離した後、該多孔性層の残留物を該第1基 板から除去し、該第1の基板上に新たな多孔性層を生成して請求項20の処理を 繰り返し、これによりこの方法を複数回繰り返して第1の基板から開始する複数 の第2基板を生成できることを特徴とする請求項16記載の方法。 18.該第2基板は該第1基板へ接着剤によって圧着されることを特徴とする請 求項16または17記載の方法。 19.基板を、特に、多孔性半導体物質のセクションで覆われる、すなわち多孔 性物質を含まない領域を持つ表面を有する絶縁キャリア物質上に、例えば該第1 基板からの分離後に請求項16〜18によって生成される該第2基板に基づいて 生成し、また該多孔性物質のセクションで覆われる該(第2)基板の自由表面は 非晶質シリコンの層で覆われており、該非晶質シリコンは該切断部分を覆う位置 でその後の熱処理によって単結晶シリコンに変化するので、非晶質シリコン及び 単結晶シリコンの所望のパターンが該(第2)基板に生成されて、例えばフラッ トスクリーンの製造に使用されることを特徴とする特に上記請求項の何れかに記 載の方法。 20.キャリア層及びシリコンまたは別の半導体物質の層が重ねられる基板の製 造方法であって、例えばpまたはn−Siの単結晶半導体物質から成る円筒形バ ーの表面を連続的に処理して、円筒軸を中心に一回転させて該バーの被覆表面を HFバスに浸し、該バーからの対応する電流によってHFバスに配置された電極 に電 圧下降を生じさせるようにし、一方生成された該多孔性表面層を例えば該表面に 連続して圧着されたキャリアによって該バーから連続的に剥離させ、またその後 に該層状構造体を該表面層、特に該キャリア層に対向する該剥離した表面層の自 由表面上で成長させることを特徴とする方法。 21.該剥離層は管状に形成され、その後エピタキシャル法によって単結晶管に 変化することを特徴とする請求項20に記載の方法。 22.該多孔性層内で作用し、該基板から該層状構造体またはその一部を分離さ せる機械的歪みの生成は、 a)該基板からの該層状基板の剥離 b)超音波処理 c)例えば該多孔性層を流れる電流または一方の側からの照射による強熱勾 配の生成 d)該多孔性層の孔に充填された流体(気体または液体)または溶剤の膨張 または状態変化(例えば水を送り込むことによる、液層から気相、液相から固相 への変化) の何れかの方法によって行われることを特徴とする上記請求項の何れかに記載 の方法。 23.中空キャビティを有する物質層、好適には多孔性物質層が、例えば単結晶 pタイプまたはnタイプSiから成る基板上にまたは基板から生成される層状構 造体の製造方法であって、 キャビティ露出または多孔性層の最上層が少なくとも所々に、例えばレーザー 光線、電子光線、集束光線によって溶融し、その後単結晶非多孔性層を生成する ために凝固され、また該キャビティ露出または多孔性層内または該キャビティ露 出または多孔性層の境界面で機械的応力を発生させることにより、該キャビティ 露出または多孔性層を目的の破砕位置として使用する層状構造体をその上で任意 に成長させた後、該凝固層を該基板から分離させるこ とを特徴とする方法。 24.任意で1つの層から成る(半導体物質の)層状基板を、エピタキシャル法 、他の沈着法、または該多孔性基板の表面の溶融によってpタイプまたはnタイ プSiの多孔性層上に形成し、該多孔性基板は全て多孔性物質から構成されるか あるいは同一物質または異なる物質のキャリア上の多孔性層として形成され、構 造体全体をHFを含むエッチング溶液に浸して該多孔性層または該多孔性基板か ら該層状構造体を分離させ、該エッチング溶液は該多孔性物質に浸透し、また例 えば照射あるいは例えば該エッチング溶液と該層状構造体の間への電圧の印可に よって穴を使用可能にし、これによって該層状構造体と該多孔性層との間の境界 面領域で、該基板から該層状構造体を分離させるための多孔性が高まることを特 徴とする特に上記請求項の何れかに記載の層状構造体製造方法。 25.最初の多孔性は5〜50%、好ましくは10〜20%であり、分離を行う ために好ましくは100%に高められることを特徴とする請求項24に記載の方 法。 26.特に単結晶半導体物質から成り、基板の表面上に多孔性物質層を有する基 板であって、 該多孔性物質層の自由表面が構造化されることを特徴とする基板。 27.エピタキシャル法(同質エピタキシャル法または異質エピタキシャル法) によって該多孔性層の表面上で成長する層状構造体と結合する請求項26に記載 の基板。 28.該多孔性層の構造化表面に付着した第2基板と結合する請求項26に記載 の方法。 29.該第2基板と該多孔性層との結合は、接着剤、結合処理、拡散蝋着処理、 またはエピタキシャル処理によって実現されることを特徴とする請求項28に記 載の基板。 30.基板の少なくとも一表面に結合した多孔性単結晶半導体物質を有する所望 の固形物から成り、各断面の結晶の配向性が少なくとも実質的に同一である基板 。 31.非晶質シリコンの層を圧着し、多孔性単結晶半導体物質から成る切断部分 を覆う位置で単結晶物質に任意で変換され、該基板はフラットスクリーンで好適 に使用されることを特徴とする請求項30に記載の方法。 32.該基板から離れた該層状構造体の表面は、該基板の該多孔性層の前の自由 表面と同じ構造を有する単結晶半導体物質から成り、またこの構造を削除するこ とが可能、すなわち平面にすることが可能であり、更に該表面を同様にこの構造 化層上に配置した別の層状構造体を有する多孔性層として実現し、該別の層状構 造体は好適には該第1層状構造体と同一であり、またこの構造は所望なだけ複数 回繰り返されることを特徴とする請求項27記載の方法。 33.帯状構造体の表面上に多孔性単結晶半導体物質の細片を有する柔軟固形物 の細片から構成される基板。 34.該多孔性層が緊張させられていることを特徴とする請求項33記載の基板 。 35.一つの該多孔性層または複数の該多孔性層及び該層状構造体の一部が、n −Siまたはp−Siまたは所望の半導体物質、または例えばInPなどの所望 の組成半導体から成ることを特徴とする請求項26〜34の何れかに記載の基板 。 36.好適にはガラスの透明板と、その下に設けられ好適にはSiから成りライ トトラップを有する少なくともの一つの構造化表面を備える層状構造体と、p− n結合と、pタイプ及びnタイプSiと反射体に対する接点とから構成される光 電セルであって、 シリコンは単結晶シリコンであり、該透明板と、一つの導電タイプ(pタイプ またはnタイプ)のシリコンとの間に電極、好適に は格子電極、特に透明電極が設けられ、また他の各導電タイプのSiは、該透明 板から離れている最初に挙げた導電タイプSi側及び該反射体上に配列されるこ とを特徴とする光電セル。 37.該層状構造体はpSiの層及びnSiの層から構成され、該nSi層は該 透明板の下かつ該pSi層の上に配置されることを特徴とする請求項36に記載 の光電七ル。 38.該層状構造体はn−Si層から成り、また該反射体はアルミニウムから成 り、n−Si層への拡散でp−Siに変換されることを特徴とする請求項36に 記載の光電セル。 39.複数の窪みがその上に配列された基板と、該基板及び線の上に配置され、 該窪みを覆う半導体物質の層と、該窪み上を覆う透明板と、入射光によって生じ る該半導体物質の層で形成される膜の湾曲を検出する圧電センサーとから構成さ れ、該各窪みは例えば該透明板に一体化またはその上に取り付けられたフィルタ ーによって各放射線波長を指示できることを特徴とする放射線検出器。 40.特に請求項1〜35によって製造された何れかの基板を使用する複数の太 陽電池素子を直列接続し、及び/または請求項36〜38の何れかによって光電 セルを実現する半導体回路の製造方法であって、 シャドーマスクは層を製造する間に基板の前に配置され、沈着されて層の成長 の制御に使用される原子の移動方向を横切ることを特徴とする方法。 41.層の成長中または各層の成長の合間に、該シャドーマスクと該基板との間 で、特に該基板に平行に相対移動を行い、例えば第1の段階において該シャドー マスクの第1位置で第1導電タイプの層領域間でトレンチを生成し、また次の段 階において該シャドーマスクの別の位置で別の導電タイプの他の層の端部領域と 該トレンチに隣接する第1導電タイプの層の露出端部領域との間に重 なり部分を生成し、これによって2つの端部領域間、すなわち該トレンチの両側 の層によって形成される2つの半導体素子間が直列接続されることを特徴とする 請求項40に記載の方法。 42.所望の断面形状のワイヤーから形成され、例えば基板ホルダーの側から他 方側へ周期的に任意で移動させられるシャドーマスクを使用して、何れの場合も 該基板の前方の該シャドーマスクを形成する新しいワイヤー長さの位置合わせを 行うことを特徴とする請求項40〜41の何れかに記載の方法。 43.特に請求項40〜42の何れかによって製造される半導体構造体であって 、 トレンチによって互いに分離される第1導体タイプ層の第1及び第2領域、任 意で他の導体タイプであり、該第1層の真上に沈着されるかあるいは少なくとも 1つの別の層によって該他の導体タイプの層から分離される該他の導体タイプの 層の第1及び第2領域、及び該トレンチを越えて、最初に挙げた層の該第2領域 の端部領域に直接重なる該他の層の第1領域の端部領域を特徴とする半導体構造 体。
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