JP2002374012A - 圧電アクチュエータ及びその圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッド並びにそれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで、電気的性能に優れ、部品として
精度よく組み立てることのできる圧電アクチュエータ及
びその圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッ
ド並びにそれらの製造方法を提供すること。 【解決手段】 切断工程５５は、積層工程５４で作製さ
れた積層体１１１を、個々の圧電アクチュエータ２０ご
とに切断する。この切断により、各圧電アクチュエータ
２０の積層方向の切断面に電極延出部３３ｃなどが垂
れ、各圧電アクチュエータ２０の側面にそれぞれ電極垂
部３１Ｘａを形成する。また、電極延出部は、積層方向
に並んで形成されているので、形成された電極垂部３１
Ｘａは、ほぼ帯状に連なって見える。切断された積層体
１１１ａは、焼成工程５６、電極形成工程５７、分極処
理工程５８を経て圧電アクチュエータ２０となり、電極
垂部３１Ｘａを位置決めマークとし、組立工程５９でキ
ャビティプレート１０が積層される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タ及びその圧電アクチュエータを用いたインクジェット
ヘッド並びにそれらの製造方法に関し、特に、低コスト
で、電気的性能に優れ、部品として精度よく組み立てる
ことのできる圧電アクチュエータ及びその圧電アクチュ
エータを用いたインクジェットヘッド並びにそれらの製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】圧電アクチュエータは、物質の圧電性を
利用した装置である。圧電性は、物質に応力を加えたと
きに電気分極を生じ、且つその物質に電界を印可したと
きに歪みを生じる性質である。圧電アクチュエータは、
この圧電性を利用して、電気エネルギーを力（変位）に
変換し、変換された力（変位）によって機械に運動を発
生させる装置である。

【０００３】かかる圧電アクチュエータは、一般的には
小型のセラミックス製品である。その製造においては、
圧電アクチュエータは、複数連ねた形状（マザー品）で
生産され、最終工程で該マザー品から各１の圧電アクチ
ュエータに切断されて製造される。かかる手法により、
生産効率の向上が図られているのである。

【０００４】具体的には、まず、強誘電性のセラミック
ス粉末を樹脂に分散させ、かかる混合物（スラリー溶
液）をシート状に加工してグリーンシートを成型する。
このグリーンシートは複数個の圧電アクチュエータを形
成できる大きさに成型する。次に、このグリーンシート
上面に金属材料を使用した導電性ペーストを所望のパタ
ーンで印刷して内部電極を形成する（内部電極形成工
程）。この内部電極形成工程では、１の圧電アクチュエ
ータに対応する内部電極パターンが、作製される圧電ア
クチュエータの個数分、連ねて印刷される。電極の形成
されたグリーンシートは積層され、加熱プレスなどの工
程を経た後、焼成工程により脱脂と焼結とを行う。積層
された各グリーンシートは、焼成により焼結して一体化
された積層体（マザー品）となる。この積層体において
各層は、（分極処理を施すことによって）圧電性を有す
る圧電シートとなる。この積層体は、ダイヤモンドブレ
ードなどを用いて切断（ダイシング）され、各１の圧電
アクチュエータに切断、分離される（切断工程）。これ
により、最終製品となる圧電アクチュエータが得られ
る。

【０００５】製造された圧電アクチュエータは、各種部
品と組み合わされて様々な製品に組み込まれる。インク
ジェットプリンタのインクジェットヘッドは圧電アクチ
ュエータが部品として組み込まれている製品の一例であ
る。

【０００６】インクジェットヘッドに用いられる圧電ア
クチュエータには、積層された各圧電シートの所望の内
部電極どうしを積層方向に導通させるために、或いは、
内部電極を外部に電気的に導通させるために、必要な内
部電極は圧電シートの端縁部まで印刷されている。この
ため、切断工程により個々に分離された圧電アクチュエ
ータの側面（切断面）には、内部電極の端部が露出する
ことになる。この内部電極の端部が露出した部分に重ね
て、電気的に導通する側面電極を、金属の真空蒸着又
は、スパッタリング、或いは導電性ペーストの塗布等に
て形成する（端面電極形成工程）。これにより、各内部
電極は必要な導通をとることができるのである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た切断工程は、焼結体を切断する工程である。焼結体は
高硬度、高強度である上に、脆弱であるので、その切断
には高度な技術が要求される。また、焼結体の切断に
は、高強度の切断刃を使用した高出力の切断装置が必要
となる。このため、切断に用いられる機械が大型化する
上、切断コストが上昇してしまうという問題点があっ
た。

【０００８】また、圧電アクチュエータは、他の部品と
組み合わせて使用される部品であるので、組み立てに際
しては、圧電アクチュエータと他の部品との位置決めが
必要となる。かかる位置決めを行うために、圧電シート
に位置決め用のマークを施す必要がある。このため、圧
電アクチュエータの製造工程の中で、マークを施すため
の工程を設けなくてはならず、工程数を増やしてしまう
という問題点があった。

【０００９】このため、圧電アクチュエータの側面（切
断面）に露出する内部電極の端部を位置決めのマークと
して利用することが行われている。これによれば、位置
決めのマークを施す工程をわざわざ別に設ける必要はな
い。しかし、側面に露出する内部電極の厚さは僅かであ
るので、マークとしての明確さに欠ける。このため、側
面に露出する内部電極をマークとして、組み立てを行う
には、困難が伴うと言う問題点があった。

【００１０】また、圧電アクチュエータでは、露出する
内部電極の上面に端面電極を形成し、この端面電極を介
して外部電源から内部電極への電源供給が行われる。し
かし、内部電極の厚さが僅かであることから、端面電極
との接触面積は小さくなり、内部電極と外部電源との間
で導通不良が生じ易いという問題点があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、低コストで、電気的性能に優
れ、部品として精度よく組み立てることのできる圧電ア
クチュエータ及びその圧電アクチュエータを用いたイン
クジェットヘッド並びにそれらの製造方法を提供するこ
とを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法は、１
の圧電アクチュエータの平面形状よりも大きい平面形状
を有するグリーンシート上に、１の圧電アクチュエータ
に対応する内部電極パターンと、該内部電極パターンの
少なくとも１の内部電極の一端を前記圧電アクチュエー
タの端縁部に相当する位置まで延出した電極延出部とを
形成する内部電極形成工程と、その内部電極形成工程に
より前記内部電極パターン及び電極延出部が形成された
グリーンシートを複数枚積層して積層体を得る積層工程
と、その積層工程で得られた前記積層体を、前記１の圧
電アクチュエータに対応する大きさに、前記電極延出部
に接する位置で前記グリーンシートの積層方向に切断
し、その切断面に沿って前記電極延出部を垂れさせる切
断工程と、その切断工程で切断された前記積層体を焼成
する焼成工程とを備えている。

【００１３】この請求項１記載の圧電アクチュエータの
製造方法によれば、内部電極形成工程により、１の圧電
アクチュエータの平面形状よりも大きい平面形状を有す
るグリーンシート上に、１の圧電アクチュエータに対応
する内部電極パターンと、該内部電極パターンの少なく
とも１の内部電極の一端を前記圧電アクチュエータの端
縁部に相当する位置まで延出した電極延出部とが形成さ
れる。次に、積層工程により、内部電極パターン及び電
極延出部が形成されたグリーンシートが複数枚積層され
る。この積層工程により得られた積層体は、切断工程に
よりグリーンシートの積層方向に切断される。この切断
工程では、該積層体は電極延出部に接する位置で、１の
圧電アクチュエータに対応する大きさに切断され、切断
面に沿って電極延出部を垂れさせる。その後、切断され
た積層体は焼成工程により焼成される。

【００１４】請求項２記載の圧電アクチュエータの製造
方法は、請求項１に記載の圧電アクチュエータの製造方
法において、前記グリーンシートは、圧電アクチュエー
タの複数個分の大きさを有するものであり、前記内部電
極形成工程は、前記グリーンシート上の各圧電アクチュ
エータに対応する位置に前記内部電極パターン及び電極
延出部を形成するものである。

【００１５】請求項３記載の圧電アクチュエータの製造
方法は、請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ
の製造方法において、前記焼成工程の後に、前記積層体
の切断面上に、その切断面に沿って垂れた前記電極延出
部に重ねて、前記内部電極と導通する端面電極を形成す
る端面電極形成工程を備える。

【００１６】請求項４記載の圧電アクチュエータの製造
方法は、請求項１から３のいずれかに記載の圧電アクチ
ュエータの製造方法において、前記圧電アクチュエータ
は、前記積層方向に対向する前記内部電極間に挟まれ該
電極間への電圧の印可により変形する活性部と、変形し
ない不活性部とを有するものであり、前記内部電極が前
記活性部から不活性部をとおって外部電源に接続され、
前記不活性部上の内部電極の部分と前記積層方向に対応
する他のシートの不活性部にダミー電極を備え、前記内
部電極形成工程は、前記シート上に前記内部電極、ダミ
ー電極を形成するとともに、前記電極延出部の設けられ
た内部電極に対応して、それに隣接する他のシートに形
成されるダミー電極について、その一端を前記圧電アク
チュエータの端縁部に相当する位置まで延出したダミー
電極延出部を形成する。

【００１７】請求項５記載の圧電アクチュエータの製造
方法は、請求項１から４のいずれかに記載の圧電アクチ
ュエータの製造方法において、前記内部電極形成工程
は、複数の内部個別電極からなる内部個別電極パターン
を第１のグリーンシート上に形成する工程と、内部共通
電極パターンを第２のグリーンシート上に形成する工程
とからなり、かつ前記電極延出部を、前記内部個別電極
または前記内部共通電極パターンの一端を延出して前記
各第１のグリーンシートまたは各第２のグリーンシート
においてほぼ同じ位置に形成するものであり、前記積層
工程は、前記第１のグリーンシートと第２のグリーンシ
ートとを交互に積層するものである。

【００１８】請求項６記載のインクジェットヘッドの製
造方法は、請求項１から５のいずれかに記載の製造方法
で製造された圧電アクチュエータを、インク吐出ノズル
に連通する圧力室を有するキャビティプレートに重ねて
固定する組み立て工程を備え、その組み立て工程は、前
記切断面に沿って垂れた前記電極延出部を位置決めマー
クとして前記内部電極と圧力室とを位置決めする。

【００１９】この請求項６記載のインクジェットヘッド
の製造方法によれば、圧電アクチュエータは、請求項１
から５のいずれかに記載の製造方法で製造される。この
圧電アクチュエータは、組み立て工程により、インク吐
出ノズルに連通する圧力室を有するキャビティプレート
に重ねて固定される。ここで、切断面に沿って垂れた電
極延出部は位置決めマークとなり、内部電極と圧力室と
は位置決めされる。

【００２０】請求項７記載の圧電アクチュエータは、内
部電極を挟んで複数の圧電シートを積層しており、前記
内部電極の少なくとも１の一端を前記圧電シートの端縁
部まで延出した電極延出部を備え、その電極延出部は、
前記圧電シートの積層体の側面に沿って垂れた状態に形
成されている。

【００２１】この請求項７記載の圧電アクチュエータに
よれば、内部電極を挟んで複数の圧電シートが積層され
ている。かかる圧電シートに設けられた内部電極の少な
くとも１の一端は、電極延出部として圧電シートの端縁
部まで延出されている。この電極延出部は、圧電シート
の積層体の側面に沿って垂れた状態に形成される。

【００２２】請求項８記載の圧電アクチュエータは、請
求項７記載の圧電アクチュエータにおいて、前記圧電シ
ートの積層体の側面に、その側面に沿って垂れた前記電
極延出部に重ねられ、前記内部電極と導通する端面電極
を備える。

【００２３】請求項９記載の圧電アクチュエータは、請
求項７または８に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記電極延出部は、積層方向にほぼ並ぶように前記各圧
電シートにおいてほぼ同位置に設けられている。

【００２４】請求項１０記載の圧電アクチュエータは、
請求項７から９のいずれかに記載の圧電アクチュエータ
において、前記圧電アクチュエータは、前記積層方向に
対向する前記内部電極間に挟まれ該電極間への電圧の印
可により変形する活性部と、変形しない不活性部とを有
するものであり、前記内部電極が前記活性部から不活性
部をとおって外部電源に接続され、前記不活性部上の内
部電極の部分と前記積層方向に対応する他の圧電シート
の不活性部にダミー電極を備えるとともに、前記電極延
出部の設けられた内部電極に対応して、それに隣接する
他の圧電シートに形成されるダミー電極について、その
一端を前記圧電アクチュエータの端縁部に相当する位置
まで延出したダミー電極延出部を備え、該ダミー電極延
出部は前記圧電シートの積層体の側面に沿って垂れた状
態に形成されている。

【００２５】請求項１１記載の圧電アクチュエータは、
請求項７から１０のいずれかに記載の圧電アクチュエー
タにおいて、前記圧電アクチュエータは、複数の内部個
別電極を備えた第１の圧電シートと、内部共通電極を備
えた第２の圧電シートとを交互に積層して備えており、
かつ前記電極延出部は、前記内部個別電極または前記内
部共通電極の一端を延出して前記各第１の圧電シートま
たは各第２の圧電シートにおいて積層方向に並ぶように
ほぼ同じ位置にある。

【００２６】請求項１２記載のインクジェットヘッド
は、請求項７から１１のいずれかに記載の圧電アクチュ
エータと、インク吐出ノズルに連通する圧力室を有する
キャビティプレートとを備え、前記側面に沿って垂れた
前記電極延出部と対応するキャビティプレート上の位置
に、前記内部電極と圧力室とを位置決めするための位置
決めマークを設けている。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例に
ついて、添付図面を参照して説明する。まず、図１〜図
４を使用して、第１実施例について説明する。

【００２８】図１は、第１実施例の圧電アクチュエータ
を用いて作製したインクジェットヘッドを搭載したイン
クジェットプリンタを示す斜視図である。図１におい
て、このインクジェットプリンタ１００は、シアン、マ
ゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがそ
れぞれ充填されるインクカートリッジ６１と、用紙６２
に印字するためのインクジェットヘッド６（以下ヘッド
６という）を備えるヘッドユニット６３と、インクカー
トリッジ６１およびヘッドユニット６３が搭載されるキ
ャリッジ６４と、このキャリッジ６４を直線方向に往復
移動させる駆動ユニット６５と、キャリッジ６４の往復
移動方向に延び、ヘッド６と対向配置されるプラテンロ
ーラ６６と、パージ装置６７とを備えている。

【００２９】駆動ユニット６５は、キャリッジ６４の下
端部に配置されプラテンローラ６６と平行に延びるキャ
リッジ軸７１と、キャリッジ６４の上端部に配置されキ
ャリッジ軸７１に平行に延びるガイド板７２と、そのキ
ャリッジ軸７１とガイド板７２との間であって、キャリ
ッジ軸７１の両端部に配置される２つのプーリー７３お
よび７４と、これらのプーリー７３および７４の間に掛
け渡されるエンドレスベルト７５とからなる。

【００３０】そして、一方のプーリ７３が、モータの駆
動により正逆回転されると、そのプーリ７３の正逆回転
に伴って、エンドレスベルト７５に接合されているキャ
リッジ６４が、キャリッジ軸７１およびガイド板７２に
沿って、直線方向に往復移動される。

【００３１】用紙６２は、インクジェットプリンタ１０
０の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給
紙され、ヘッド６と、プラテンローラ６６との間に導入
されて、ヘッド（インクジェットヘッド）６から吐出さ
れるインクにより所定の印字がなされ、その後、排紙さ
れる。なお、図１においては、用紙６２の給紙機構およ
び排紙機構の図示を省略している。

【００３２】パージ装置６７は、プラテンローラ６６の
側方に設けられ、ヘッドユニット６３がリセット位置に
ある時に、ヘッド６に対向するように配置されている。
このパージ装置６７は、ヘッド６の後述する複数のノズ
ルを覆うように当該ノズルの開口面に対し当接するパー
ジキャップ８１と、ポンプ８２およびカム８３と、イン
ク貯留部８４とを備えており、ヘッドユニット６３が、
リセット位置にある時に、ヘッド６のノズルをパージキ
ャップ８１で覆い、ヘッド６の内部に溜まる気泡などを
含んだ不良インクを、カム８３の駆動によりポンプ８２
によって吸引しり、ヘッド６の回復を図るようにしてい
る。なお、吸引された不良インクは、インク貯留部８４
に貯められる。

【００３３】キャップ８５は、インクの乾燥を防止する
ため、印字が終了するとリセット位置に戻されるキャリ
ッジ６４に搭載されたヘッド６の複数のノズル１５（図
２参照）を覆うものである。

【００３４】図２は、ヘッド６の斜視図を示すものであ
る。ヘッド６は、図２に示すように、積層型のキャビテ
ィプレート１０と、該キャビティプレート１０に対して
接着剤または接着シートを介して接着、積層されるプレ
ート型の圧電アクチュエータ２０と、その上面に本体内
の制御基板との電気的接続のために重ね接合されたフレ
キシブルフラットケーブル４０とにより構成されてお
り、キャビティプレート１０の下面側に開口されたノズ
ルから下向きにインクが吐出する。

【００３５】キャビティプレート１０には、キャビティ
プレート１０の長手方向に対して直交する方向に延びる
細幅の複数の圧力室１６が千鳥状配列で２列に配設され
ている。この圧力室１６には、その一端をキャビティプ
レート１０の下面側に開口しインクを吐出するためのノ
ズル（図示せず）が、各圧力室１６に連通してそれぞれ
設けられている。インク供給孔１９ａは、インクカート
リッジ６１からのインクを各インク室１６に供給するた
めのものである。圧電アクチュエータ２０が動作するこ
とにより圧力室１６内に貯留されるインクに圧力が負荷
され、上記したノズルからインクが吐出される（印字の
実行）。

【００３６】このキャビティプレート１０は、金属製で
ある。このため、圧電アクチュエータ２０の電極垂部３
１Ｘａが接触すると短絡を起こしてしまう。このため、
キャビティプレート１０には、該電極垂部３１Ｘａに対
応する位置に切り欠き部４１が設けられている。また、
該切り欠き部４１は、圧電アクチュエータ２０とキャビ
ティプレート１０とを積層する際に、両者を位置決めす
るマークとなっている。

【００３７】圧電アクチュエータ２０は、上記した圧力
室１６に個々に圧力を負荷するためのものである。最上
段の圧電シート２１の上面には、圧電シートの個別電極
３１とコモン電極３２（図４参照）とに対応する表面電
極３３，３４が設けられている。該表面電極３３，３４
上には、この電極３３，３４に接続するスルーホール３
６，３７が圧電シートの積層方向に穿設されている。こ
の表面電極３３，３４は、圧電アクチュエータ２０の上
面に重ねて接合されるフレキシブルフラットケーブル４
０と接続される電極である。これにより、本体の制御基
板と圧電アクチュエータ２０とは電気的に接続される。

【００３８】表面電極３３の内、圧電アクチュエータ２
０の略中心に位置する１の表面電極３３には、その一端
が圧電アクチュエータ２０の端縁部まで延出された電極
延出部３３ｃが形成されている。また、この圧電アクチ
ュエータ側面２０ａ（各圧電シート２１〜３０の側面２
０ａ、図４参照）には、この電極延出部３３ｃに連接す
る電極垂部３１Ｘａが形成されている。該電極垂部３１
Ｘａは、キャビティプレート１０の積層位置を位置決め
するための位置決めマークである。この電極垂部３１Ｘ
ａを上記した切り欠き部４１にあわせることにより、圧
電アクチュエータ２０とキャビティプレート１０とを正
確に位置決めして積層することができる。なお、圧電ア
クチュエータ２０については、図４において詳細に説明
する。

【００３９】次に圧電アクチュエータ２０の製造方法に
ついて説明する。

【００４０】図３は、プレート型圧電アクチュエータ２
０の製造方法を示した図である。圧電アクチュエータ２
０は、グリーンシート成型工程５１、スルーホール形成
工程５２、電極印刷工程５３、積層工程５４、切断工程
５５、焼成工程５６、電極形成工程５７、分極処理工程
５８を順に経て圧電アクチュエータ２０として完成す
る。完成した圧電アクチュエータ２０は、組立工程５９
によりキャビティプレート１０に積層される。

【００４１】グリーンシート成型工程は、１の圧電アク
チュエータ２０を形成する圧電シート２１〜３０（図４
参照）を複数個マトリックス状に並べた大きさのセラミ
ックグリーンシート（グリーンシート）１１０を成型す
る工程である。具体的には、まず、強誘電性を有するチ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ_３・ＰｂＺｒ
Ｏ_３））系のセラミック粉末をバインダ樹脂に混合分散
させたスラリー溶液を調整する。このスラリー溶液を、
離型処理の施されたＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）フィルム等に、ドクターブレード法などにより塗工
（塗布、コーティング）して、所定厚さのグリーンシー
ト１１０が成型される。１の圧電アクチュエータ２０を
形成する各圧電シート２１〜３０の大きさは同じである
ので、同じ大きさのグリーンシート１１０が、各圧電シ
ート２１〜３０を作製するべく成型される。

【００４２】同一のグリーンシート１１０には同一の圧
電シート２１〜３０が複数個（本実施例では１０個）、
マトリックス状に並べられて形成されるべく、各グリー
ンシート１１０は形成される。

【００４３】スルーホール形成工程５２は、レーザ光な
どを使用して、グリーンシート成型工程で成形されたグ
リーンシート１１０に、後述する積層工程で最下層とな
るシートを除いて、厚み方向に貫通する貫通口（スルー
ホール３６，３７）を穿設する工程である。上記したス
ルーホール３６，３７は、グリーンシート上に形成され
る各圧電シート２１〜２９となる箇所の周縁に沿って多
数穿設される。

【００４４】電極印刷工程５３は、グリーンシート１１
０に各圧電シート２１〜３０の電極パターンＸ１〜Ｘ３
（図４参照）を印刷する工程である。電極パターンＸ１
〜Ｘ３は、１の圧電アクチュエータ２０の１の圧電シー
トに備えられた電極を一体として表すもの（１の圧電シ
ートの電極の集合体）である。電極パターンＸ１〜Ｘ３
は、グリーンシート上に導電性のペーストをスクリーン
印刷することにより形成される。

【００４５】３種類の電極パターンが形成されるグリー
ンシートのうち第１のグリーンシート上には、個別電極
３１と後述するダミー電極３５からなる電極パターンＸ
１が形成される。かかる個別電極パターンＸ１は、作製
し得る圧電アクチュエータ２０の個数分、連設された状
態で印刷される。また、第２のグリーンシート上には、
コモン電極３２とダミー電極３９からなる電極パターン
Ｘ２が同様に形成され、第３のグリーンシート上には、
表面電極３３，３４からなる表面電極パターンＸ３が同
様に形成される。かかる電極パターンＸ１〜Ｘ３は、グ
リーンシート１１０が積層された場合に、各シートの各
個別電極３１とダミー電極３５と表面電極３３とが積層
方向にそれぞれ対応し、コモン電極３２の端部３２ａと
ダミー電極３９と表面電極３４とが積層方向に対応する
ように構成されている（図４参照）。また、各電極パタ
ーンＸ１〜Ｘ３のそれぞれにおいては、各パターンの長
手方向の両側の略中心に位置する両側各１の電極（両側
各１の個別電極３１、ダミー電極３５、表面電極３３）
の外側の端部には、電極延出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃ
が形成されている（図４参照）。これら電極延出部３１
ｃ，３３ｃ，３５ｃは、例えば、図３中（ａ）に示した
（表面電極３３の）電極延出部３３ｃのように、圧電シ
ートの端縁部となる位置（切断位置）を越えて後述する
切断しろまで電極が延出された形状に設けられる。この
電極延出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃの設けられた各電極
は３１，３３，３５は、積層方向に対応する（同じ位
置）に位置するように、各グリーンシート１１０に設け
られている。

【００４６】スルーホール３６、３７は、上記したよう
に各グリーンシート１１０の上下方向に貫通しているの
で、グリーンシート上に電極パターンＸ１〜Ｘ３が形成
されると、各スルーホール３６、３７内にも導電性のペ
ーストが侵入し、各スルーホール３６、３７を介して圧
電シートの上下面で導通可能となる。

【００４７】積層工程５４は、電極パターンＸ１〜Ｘ３
が印刷されたグリーンシート１１０を所定の順に積層す
る工程である。該工程５４では、グリーンシート１１０
を、圧電シートの順番が上から順に圧電シート２１〜３
０となるように積層する。最上段には、表面電極パター
ンＸ３が印刷された第３のグリーンシートが露出するよ
うに積層される。この第３グリーンシートの下方には、
コモン電極パターンＸ２が印刷された４枚の第２のグリ
ーンシートが配設される。そして更にその下方には、個
別電極パターンＸ１の印刷された第１のグリーンシート
とコモン電極パターンＸ２の印刷された第２のグリーン
シートとが交互に５枚積層され、そのうちスルーホール
を有しない第１のグリーンシートが最下層に配置され
る。つまり、個別電極３１とコモン電極３２とは、交互
に積層される。

【００４８】また、積層工程５４では、各グリーンシー
ト１１０に形成された複数個の各電極パターンＸ１〜Ｘ
３が積層方向にそれぞれ個々に対応するように各グリー
ンシート１１０は積層される。これにより、複数の圧電
アクチュエータ２０を形成し得る積層体１１１が形成さ
れる。

【００４９】切断工程５５は、上記した積層工程５４で
作製された積層体１１１を、個々の圧電アクチュエータ
２０ごとに切断する工程である。これにより、１の圧電
アクチュエータ２０に対応する積層体１１１ａが得られ
る。かかる切断には、図７（ａ）に示すように一般的な
剪断方法、例えば押し切り、打ち抜き、ロータリーカッ
トなど刃物２０１とダイ２０２の間ではさみ切る手法が
適宜用いられる。切断に際しては、最上段のグリーンシ
ート１１０の電極延出部３３ｃに接して、各圧電アクチ
ュエータ２０ごとの切断は実行される。この切断によ
り、図７（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ側か
ら見て各グリーンシートの電極からそのグリーンシート
へ向かう方向に剪断されることで、まだ柔軟性が残って
いる各電極のペーストおよび各グリーンシートは、上側
の角が円弧状に垂れ、各電極のペーストがその円弧部分
において直線状に剪断される。このため、各圧電アクチ
ュエータ２０の積層方向の側面２０ａに、各電極延出部
３１ｃ，３３ｃ，３５ｃが大きく露出し、それぞれ電極
垂部３１Ｘａを形成する。また、電極延出部３１ｃ，３
３ｃ，３５ｃは、積層方向に並んで形成されているの
で、電極垂部３１Ｘａは、圧電アクチュエータ２０の側
面２０ａにおいては、ほぼ帯状に連なって見える。な
お、好ましくは、電極のペーストは、グリーンシートよ
りも、例えば粘度が大きい等、横方向（剪断方向と直交
する方向）の結合力が大きいものを使用することで、剪
断する際、電極のペーストが剪断方向に少し引張られる
ことになり、電極延出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃの露出
面積をより大きくすることができる。

【００５０】この切断工程５５は、グリーンシート１１
０が未焼成の状態で行われる工程である。焼成工程の後
に、各圧電アクチュエータ２０ごとの切断を実行する切
断工程を設けた場合には、ダイヤモンドブレードを高速
回転させて切断を行う（ダイシング）など、高価で高度
な切断システムが必要となる。しかし、本発明の切断工
程５５のようにグリーンシートの状態で各圧電アクチュ
エータ２０ごとの切断を行えば、小さな負荷で各圧電ア
クチュエータ２０ごとの切断を実行することができる。
つまり、安価で容易な手法により、個々の圧電アクチュ
エータ２０に分離することができるのである。また、柔
らかい状態で圧電シート（グリーンシート）と電極延出
部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃとは切断されるので、電極延
出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃをその切断面に容易に垂れ
させることができる。

【００５１】尚、図３においては、図示を省略している
が、各グリーンシート１１０の両端（電極パターンの長
手方向に沿う両端）には、切断しろが設けられている。
つまり、グリーンシート１１０の両端は、かかる切断し
ろにおいて切断される。グリーンシート１１０の両端部
に設けられる圧電アクチュエータ２０電極延出部３１
ｃ，３３ｃ，３５ｃは、この切断しろまで延出されてい
る。よって、グリーンシート１１０の両端部に設けられ
る圧電アクチュエータ２０にも、その側面に各電極延出
部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃを垂れさせ、電極垂部３１Ｘ
ａを形成することができる。

【００５２】次いで、切断された積層体１１１ａは、焼
成工程５６により、脱脂と焼結とが行われる。そして、
焼結体として一体化された積層体１１１ａを得る。かか
る積層体１１１ａには、電極形成工程５７により、再
度、表面電極３３，３４の上に電極材料が載せられる。
これは焼成により酸化された表面電極３３，３４の上に
酸化されていない電極材料を再度印刷することにより、
かかる表面電極３３，３４に接続されるフレキシブルフ
ラットケーブル４０のはんだ付けを良好に行わせるため
である。

【００５３】その後、分極処理工程５８により、通常の
インク噴射動作時よりも高い電圧を表面電極３３，３４
から個別電極３１とコモン電極３２間に印加し、個別電
極３１、コモン電極３２間にはさまれているシートを分
極させることにより、圧電動作を行う圧電アクチュエー
タ２０が完成する。完成した圧電アクチュエータ２０
は、組立工程５９によりキャビティプレート１０に積層
される。この組み立てにおいては、圧電アクチュエータ
２０の電極垂部３１Ｘａと、キャビティプレートの切り
欠き部４１とを合わせることにより、位置決めが実行さ
れる。

【００５４】図４は、上記した製造方法で作製されたプ
レート型圧電アクチュエータ２０の分解斜視図である。
図４に示すように、該圧電アクチュエータ２０は、１０
枚の圧電シート２１，２２，２３，２４，２５，２６，
２７，２８，２９，３０を積層した構造に形成されてい
る。各圧電シート２１〜３０の内、圧電シート２６，２
８，３０の細幅の各個別電極３１は、上記電極垂下部３
１Ｘａと切り欠き部４１とが位置あわせされた状態にお
いて、電極垂下部３１Ｘａが個別電極３１の位置を正確
に表しているので、前記キャビティプレート１０に設け
られた圧力室１６（図２参照）と対応して位置する。他
の圧電シート２２，２３，２４，２５，２７，２９に
は、各個別電極３１の端部３１ａに対応してダミー電極
３５が位置しており、積層方向に並んだ各個別電極３１
は、その個別電極３１の端部３１ａに接続したスルーホ
ール３６、それらの間の圧電シート２７，２９のダミー
電極３５、及びそのダミー電極３５に接続したスルーホ
ール３６を介して相互に接続しているとともに、それら
の積層方向に対応した上層のダミー電極３５及びスルー
ホール３６を介して最上層の表面電極３３の１つに接続
している。

【００５５】圧電シート２２，２３，２４，２５，２
７，２９のコモン電極３２は、全部の圧力室１６にわた
って帯状に位置する。他の圧電シート２６，２８，３０
には、コモン電極３２の端部３２ａに対応してダミー電
極３９が位置しており、積層方向の各コモン電極３２
は、そのコモン電極の端部３２ａに接続したスルーホー
ル３７、それらの間の圧電シート２６，２８のダミー電
極３９、及びそのダミー電極３９に接続したスルーホー
ル３７を介して相互に接続しているとともに、それらの
積層方向に対応した上層のダミー電極３９及びスルーホ
ール３７を介して最上層の表面電極３４に接続してい
る。

【００５６】ダミー電極３５，３９は、個別電極３１及
びコモン電極３２と同じ厚さであり、圧電シートが積層
された状態において個別電極３１及びコモン電極３２が
ある部分とない部分とで厚さの差を生じたり、焼成する
際に収縮に差が生じることが少ないようにしている。

【００５７】前記分極処理工程５８は、上記状態で行わ
れるが、個別電極３１の端部３１ａとダミー電極３５、
コモン電極３２の端部３２ａとダミー電極３９、および
コモン電極３２間に挟まれた圧電シートは電位差を生じ
ないので、分極されないし、圧電動作もしない。

【００５８】上記したように、かかる構成の各圧電シー
ト２１〜３０のそれぞれにおいて、圧電シートの長手方
向中央の両側各１の電極（各１の個別電極３１、表面電
極３３、ダミー電極３５）には、電極延出部３１ｃ，３
３ｃ，３５ｃが形成されている。電極延出部３１ｃ，３
３ｃ，３５ｃを有する電極（個別電極３１、ダミー電極
３５、表面電極３３）は、それぞれの圧電シート２１〜
３０において、積層方向に対応する位置（同じ位置）に
形成されている。

【００５９】この電極延出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃ
は、切断工程５５を経たことによって側面２０ａに垂れ
るが、積層方向に同じ位置に形成されていることから、
側面２０ａの同じ位置に垂れた状態となっている。この
ため、側面２０ａには、各電極延出部３１ｃ，３３ｃ，
３５ｃが大きく露出され、電極垂部３１Ｘａを形成して
いる。この電極垂部３１Ｘａは、側面２０ａの他の部分
と視覚的に異なり、またその面積が大きいので、マーク
として明確に識別することができる。よって、電極垂部
３１Ｘａと切り欠き部４１とにより、個別電極３１と圧
力室１６とを正確に対応させて圧電アクチュエータ２０
とキャビティプレート１０とを位置決めすることができ
る。

【００６０】上記した第１実施例の圧電アクチュエータ
２０の表面電極３３の１に選択的に電圧を印加すると、
それに対応する個別電極３１とコモン電極３２とに完全
に挟まれた圧電シート２５〜２９の部分（活性部２０
ｂ）に積層方向に膨張する歪みが生じる。

【００６１】生じた歪みは、圧電シート２５上方の拘束
層となっている圧電シート２２〜２４により規制され
る。このため、生じた歪は、上方向へ向かって伸張する
ことができず、下方向（キャビティプレート１０方向）
へ向かうこととなる。これにより、キャビティプレート
１０の圧力室１６に効率的に圧力を負荷することができ
る。

【００６２】尚、個別電極３１とコモン電極３２とが重
ならない部分は、圧電動作の生じない不活性部２０ｃと
なる。上記したスルーホール３６，３７は、この不活性
部２０ｃに設けられており、個別電極３１、コモン電極
３２は、それぞれこの不活性部２０ｃをとおって、外部
電源に接続されることとなる。

【００６３】以上説明したように、第１実施例の圧電ア
クチュエータ２０によれば、電極延出部３１ｃ，３３
ｃ，３５ｃを積層方向に同じ位置に形成し、切断工程５
５においては、この電極延出部３１ｃなどが切断面に垂
れるように圧電アクチュエータ２０を切断することがで
きる。このため、切断面に内部電極（電極延出部）を大
きく露出させることができ、また、切断面に垂れた電極
延出部３１ｃ，３３ｃ，３５ｃは、積層方向に同位置で
あるので、かかる部分（電極垂部３１Ｘａ）を他の部分
と明確に区別することができる。このため、電極垂部３
１Ｘａを、組立工程５９において位置決めマークとして
使用することができる。これにより、圧電アクチュエー
タ２０に、位置決めマークを施す工程を新たに設ける必
要がない。

【００６４】次に、図５〜図７を使用して、第２実施例
の圧電アクチュエータ１２０及びその圧電アクチュエー
タ１２０を用いたインクジェットヘッド並びにそれらの
製造方法について説明する。第１実施例の圧電アクチュ
エータ２０は、各電極にスルーホール３６，３７を介し
て電源供給をするものであったが、第２実施例の圧電ア
クチュエータ１２０は、各電極に端面電極を介して電源
供給をするものである。また、第１実施例の圧電アクチ
ュエータ２０に設けられた電極延出部３１ｃ，３３ｃ，
３５ｃは、各圧電シート２１〜３０において、その両側
端縁部に各１であったが、第２実施例の圧電アクチュエ
ータ１２０においては、全ての電極について電極延出部
が設けられたものである。尚、上記した第１実施例と同
一の部分には、同一の符号を付して、その説明は省略す
る。

【００６５】圧電アクチュエータ１２０は、第１実施例
と同様に１０枚の圧電シート１２１〜１３０を積層した
構造に形成されている。各圧電シート１２１〜１３０の
内、圧電シート１２６，１２８，１３０は、個別電極
（内部個別電極）３１及びダミー電極３５（個別電極パ
ターンＸ１）を備えた第１の圧電シートである。また、
圧電シート１２２〜１２４，１２５，１２７，１２９
は、コモン電極（内部共通電極）３２及びダミー電極３
９（コモン電極パターンＸ２）を備えた第２の圧電シー
トである。圧電シート１２１は、表面電極３３，３４を
備えた第３の圧電シートである。

【００６６】また、第１実施例と同様に、個別電極３１
の端部３１ａと表面電極３３とダミー電極３５とは、積
層方向に対応する位置に設けられている。更に、コモン
電極３２の端部３２ａと表面電極３４とダミー電極３９
とについても積層方向に対応する位置に設けられてい
る。

【００６７】各圧電シート１２１〜１３０に備えられた
表面電極３３，３４、個別電極３１、ダミー電極３５、
コモン電極３２の端部３２ａ、ダミー電極３９のそれぞ
れには、全て電極延出部３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，３４
ｃ，３５ｃ，３９ｃが設けられている。つまり、グリー
ンシートの状態において外部電源（インクジェットプリ
ンタ本体１００）と導通をとるべく設けられた電極全て
に、その電極の一端を第１実施例と同様に圧電アクチュ
エータ２０の端縁部となる位置を越えて切断しろまで延
出した電極延出部３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，３４ｃ，３
５ｃ，３９ｃが設けられているのである。

【００６８】各電極延出部３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，３
４ｃ，３５ｃ，３９ｃは、第１実施例と同様に切断工程
５５を経ることによって積層体の切断面、即ち側面１２
０ａに垂れ、電極垂部３１Ｘａが形成される。

【００６９】各電極垂部３１Ｘａは、積層方向に対応す
る各電極から連続し、それぞれ積層方向に垂れて列をな
すとともに、側面１２０ａにおいて各表面電極３３，３
４ごとにその下方に配設されることとなる。

【００７０】そして、焼成工程５６の後、積層方向に列
をなす電極垂部３１Ｘａには、その上面に重ねて端面電
極１３３が形成される。端面電極１３３は、導電ペース
トをスクリーン印刷すること、または蒸着、メッキ等に
よっても形成することができる。また、この工程と連続
して表面電極３３，３４の上に新しい電極材料を同様の
方法でのせることができる。電極垂部３１Ｘａと端面電
極１３３とは、接触面積が大きいので、端面電極１３３
と電極垂部３１Ｘａとは、良好に導通する。この電極垂
部３１Ｘａは、電極（個別電極３１、コモン電極３２、
表面電極３３，３４）に導通するものであるので、結果
として、個別電極３１どうし、コモン電極３２どうしお
よびそれらと表面電極との積層方向の導通を良好にする
ことができる。

【００７１】圧電アクチュエータ１２０はキャビティプ
レート１０上に固定される。キャビティプレート１０に
は、端面電極１３３とキャビティプレート１０との短絡
を防止するための切り欠き部１４１が設けられている。
切り欠き部１４１は、全端面電極１３３に対応する位置
において、キャビティプレート１０の長手方向上面に沿
うように溝状に凹設されている。

【００７２】上記した第２実施例の圧電アクチュエータ
１２０の表面電極３３に選択的に電圧を印加すると、そ
れと対応する個別電極３１とコモン電極３２とに完全に
挟まれた圧電シート１２５〜１２９の部分（活性部１２
０ｂ）のみに積層方向に膨張する歪みを生じる。尚、個
別電極３１とコモン電極３２とが重ならない部分は、圧
電動作の生じない不活性部１２０ｃとなる。電極延出部
３１ｃ，３２ａ１，３３ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３９ｃ
は、この不活性部１２０ｃに設けられており、個別電極
３１、コモン電極３２は、それぞれこの不活性部１２０
ｃをとおって、外部電源に接続されることとなる。

【００７３】以上説明したように、第２実施例の圧電ア
クチュエータ１２０によれば、電極垂部３１Ｘａを形成
することにより、端面電極１３３と内部電極（個別電極
３１，コモン電極３２）とを良好に導通させることがで
きる。これにより、内部電極と外部電源、または、個別
電極３１どうしあるいはコモン電極３２どうしを良好に
導通させることができる。

【００７４】また、上記各実施例の圧電アクチュエータ
及びその圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘ
ッド並びにそれらの製造方法によれば、積層工程５５に
より得られた積層体を、グリーンシートの状態で切断工
程５５により切断する。このため、小さな負荷で容易に
切断を行うことができ、効率的且つ安価に圧電アクチュ
エータ２０，１２０を製造することができる。さらに、
電極を圧電アクチュエータの端縁部まで延出した電極延
出部を形成し、切断工程５５においては、この電極延出
部３１ｃなどが切断面に垂れるように圧電アクチュエー
タ２０，１２０を切断することができる。このため、切
断面に内部電極（電極延出部）を大きく露出させること
ができ、切断面に垂れたかかる電極延出部（電極垂部３
１Ｘａ）を、組立工程５９において位置決めマークとし
て或いは端面電極との良好な接続をとるために使用する
ことができる。

【００７５】以上、上記各実施例に基づき本発明を説明
したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものでな
く、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形
が可能であることは容易に推察できるものである。

【００７６】例えば、上記第１実施例においては、電極
延出部を備えた電極は、各圧電シート２１〜３０の長手
方向の両側端部において各１ずつであり、また上記第２
実施例においては、全ての電極３１，３２，３３，３
４，３５，３９に電極延出部３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ，
３４ｃ，３５ｃ，３９ｃが備えられた。しかし、電極垂
部３１Ｘａをマークとして用いる場合には、これに限ら
れるものではなく、例えば、各圧電シート２１〜３０の
長手方向に形成される電極の１つおきに電極延出部を形
成し、これにより電極垂部３１Ｘａを形成しても良い。
また、任意の場所の電極に電極延出部を形成し、電極垂
部３１Ｘａを設けても良い。これにより、より正確な位
置決めを行うことや、キャビティプレート１０の形状に
適した位置決めを行うことができる。

【００７７】また、上記各実施例においては、圧電アク
チュエータの積層方向において対応するすべての個別電
極３１、ダミー電極３５、表面電極３３を各圧電シート
の端部まで延出して電極垂部３１Ｘａを形成させること
としたが、その露出された端部をキャビティプレート１
０との位置決めマークとして利用する場合には、キャビ
ティプレート１０側の少なくとも１層の圧電シートか
ら、個別電極３１等を露出させれば、他のシートにおい
ては省略してもよい。

【００７８】上記各実施例においては、図４、図６にお
いて、垂れた電極延出部が互いに離れているが、電極の
ペーストの粘度などを適宜調整して、相互に接触し合う
長さになるようにすることで、マークとしても大きくな
るし、相互に電気的導通を取る上で好ましい。

【００７９】さらに、電極を蒸着、スパッタ等で形成す
ることで、グリーンシートよりもより剪断されにくくな
り、端面２０ａにあらわれる電極をより大きくすること
ができる。

【００８０】また、第２実施例において、電極垂部の上
に端面電極を被覆しているので、端面電極の位置が内部
個別電極の位置を正確に表していない。このため、端面
電極の１つを位置決めマークとして使用し難いところが
あるが、高い位置決め精度を要求しない部品と組み付け
る場合には、使用可能である。

【００８１】

【発明の効果】請求項１に記載の圧電アクチュエータの
製造方法によれば、積層工程により得られた積層体を、
切断工程によりグリーンシートの積層方向に切断し、そ
の後焼成工程により焼成する。よって、小さな負荷で容
易に切断を行うことができ、効率的に圧電アクチュエー
タを製造することができるという効果がある。言い換え
れば、切断にかかる負荷が小さいので、切断工程に高価
な高硬度の切断刃を用いた大がかりな装置を導入する必
要がない。このため、低コストで切断を行うことができ
るという効果がある。

【００８２】また、切断工程では、積層体を電極延出部
に接する位置で、１の圧電アクチュエータに対応する大
きさに切断することにより、切断面に沿って電極延出部
を垂れさせ、切断面に露出する（電極延出部の）電極面
積を大きくすることができる。このため、この切断面に
垂れた電極延出部を圧電アクチュエータを他の部品と組
み付けるためのマークとして使用したり、その電極延出
部に他の電極材料をのせて電気的な導通をとることが容
易にできる。

【００８３】請求項２記載の圧電アクチュエータの製造
方法によれば、請求項１に記載の圧電アクチュエータの
製造方法の奏する効果に加え、内部電極形成工程によ
り、圧電アクチュエータの複数個分の大きさを有するグ
リーンシート上において、各圧電アクチュエータに対応
する位置に内部電極パターン及び電極延出部を形成す
る。よって、１のグリーンシートにより複数の圧電アク
チュエータを製作することができ、圧電アクチュエータ
を低コストで大量に製造することができるという効果が
ある。

【００８４】請求項３記載の圧電アクチュエータの製造
方法によれば、請求項１または２に記載の圧電アクチュ
エータの製造方法の奏する効果に加え、焼成工程の後
に、端面電極形成工程を備えており、この端面電極形成
工程により、積層体の切断面上に、その切断面に沿って
垂れた電極延出部に重ねて、内部電極と導通する端面電
極を形成する。よって、端面電極と内部電極とを良好に
導通させることができるという効果がある。切断面に電
極延出部が垂れていると、切断面に露出する（電極延出
部の）電極面積が大きいので、かかる電極延出部上に重
ねて端面電極を形成すれば、端面電極と該電極延出部と
の接触面積を大きくすることができる。このため、かか
る接触面（端面電極と電極延出部との接触面）での電導
性を向上させることができる。電極延出部は、内部電極
の一端が延出されたものであるので、結果として端面電
極と内部電極とを電気的に良好に導通させることができ
る。

【００８５】請求項４記載の圧電アクチュエータの製造
方法によれば、請求項１から３のいずれかに記載の圧電
アクチュエータの製造方法の奏する効果に加え、電極延
出部の設けられた内部電極に対応して、それに隣接する
他のシートに形成されるダミー電極について、その一端
を圧電アクチュエータの端縁部に相当する位置まで延出
したダミー電極延出部を形成する。よって、切断工程に
よりダミー電極延出部の形成された積層体を切断すれ
ば、その切断面に沿って電極延出部及びダミー電極延出
部を積層方向に並べて垂れさせることができ、その垂れ
た延出部を前記のようにマークとして使用する場合に
は、識別性をより良くすることができるとともに、ダミ
ー電極をそれが対応する電極と同電位にすることが容易
にできる。

【００８６】請求項５記載の圧電アクチュエータの製造
方法によれば、請求項１から４のいずれかに記載の圧電
アクチュエータの製造方法の奏する効果に加えて、内部
電極形成工程は、複数の内部個別電極からなる内部個別
電極パターンを第１のグリーンシート上に形成する工程
と、内部共通電極パターンを第２のグリーンシート上に
形成する工程とからなり、かつ電極延出部を、内部個別
電極または内部共通電極パターンの一端を延出して各第
１のグリーンシートまたは各第２のグリーンシートにお
いてほぼ同じ位置に形成する。その後、積層工程によ
り、第１のグリーンシートと第２のグリーンシートとを
交互に積層する。よって、積層体の切断面に垂れた状態
に形成される電極延出部を、切断面のほぼ同じ位置に形
成することができる。即ち、積層体の切断面には、電極
延出部が積層方向に連なるように（或範囲内に集中的
に）配設されることとなり、これを前記のようにマーク
として使用する場合、明確に識別でき、また、積層方向
に対応する内部個別電極どうし、内部共通電極どうしの
電気的導通をとる場合には、その導通を確実に行うこと
ができる。

【００８７】請求項６記載のインクジェットヘッドの製
造方法によれば、請求項１から５に記載の製造方法で製
造された圧電アクチュエータをキャビティプレートに重
ねて固定する。かかる場合に、圧電アクチュエータの切
断面に沿って垂れた電極延出部を位置決めマークとし
て、圧電アクチュエータとキャビティプレートとを位置
決めし、両者を重ねる。よって、圧電アクチュエータに
新たにマークを施す工程を設けることなく、圧電アクチ
ュエータの内部電極と圧力室を精度良く対応させること
ができるという効果がある。

【００８８】請求項７記載の圧電アクチュエータによれ
ば、内部電極の少なくとも１の一端が圧電シートの端縁
部まで延出した電極延出部を、圧電シートの積層体の側
面に沿って垂れた状態に形成しているので、積層体の側
面に露出する（電極延出部の）電極面積を大きくするこ
とができるという効果がある。このため、この切断面に
垂れた電極延出部を圧電アクチュエータを他の部品と組
み付けるためのマークとして使用したり、その電極延出
部に他の電極材料をのせて電気的な導通をとることが容
易にできる。

【００８９】請求項８記載の圧電アクチュエータによれ
ば、請求項７記載の圧電アクチュエータの奏する効果に
加え、圧電シートの積層体の側面に、その側面に沿って
垂れた電極延出部に重ねられ内部電極と導通する端面電
極を備えているので、請求項３記載と同様に端面電極と
内部電極とを良好に導通させることができるという効果
がある。

【００９０】請求項９記載の圧電アクチュエータによれ
ば、請求項７または８に記載の圧電アクチュエータの奏
する効果に加え、電極延出部は、積層方向にほぼ並ぶよ
うに各圧電シートにおいてほぼ同位置に設けられている
ので、圧電シートの積層体の側面の或範囲に、集中して
電極延出部を現出させることができる。このため、その
延出部を前記のようにマークとして使用する場合には、
明確に識別でき、また、電極を相互に導通させる等する
場合には延出部を他の電極材料と容易に導通をとること
ができる。

【００９１】請求項１０記載の圧電アクチュエータによ
れば、請求項７から９のいずれかに記載の圧電アクチュ
エータの奏する効果に加え、不活性部上の内部電極の部
分と積層方向に対応する他のシートの不活性部にダミー
電極を備えるとともに、電極延出部の設けられた内部電
極に対応して、それに隣接する他のシートに形成される
ダミー電極について、その一端を圧電アクチュエータの
端縁部に相当する位置まで延出したダミー電極延出部を
備えるので、ダミー電極延出部を内部電極の電極延出部
とほぼ同じ位置に積層方向に並ぶように設けることがで
きる。このため、より多くの電極延出部を露出させるこ
とができ、これを前記のようにマークとして使用する場
合には、識別性をより良くすることができ、またダミー
電極と内部電極とを同電位にする場合、両電極の延出部
を他の電極材料と容易に導通させることができる。

【００９２】請求項１１記載の圧電アクチュエータによ
れば、請求項７から１０のいずれかに記載の圧電アクチ
ュエータの奏する効果に加え、複数の内部個別電極を備
えた第１の圧電シートと、内部共通電極を備えた第２の
圧電シートとが交互に積層されている。各第１または第
２の圧電シートにおいて、内部個別電極または内部共通
電極の一端が延出された電極延出部は、各第１の圧電シ
ートまたは各第２の圧電シートにおいてほぼ同じ位置に
設けられ、積層方向に並ぶようにあるので、電極延出部
が積層方向に連なるように（或範囲内に集中的に）配設
されることとなり、これを前記のようにマークとして使
用する場合、明確に識別でき、また、積層方向に対応す
る内部個別電極どうし、内部共通電極どうしの電気的導
通をとる場合には、その導通を確実に行うことができ
る。

【００９３】請求項１２記載のインクジェットヘッドに
よれば、請求項７から１１のいずれかに記載の圧電アク
チュエータと、インク吐出ノズルに連通する圧力室を有
するキャビティプレートとを備え、側面に沿って垂れた
電極延出部と対応するキャビティプレート上の位置に、
内部電極と圧力室とを位置決めするための位置決めマー
クを設けているので、そのマークと圧電アクチュエータ
の側面に沿って垂れた電極延出部とを組み合わせること
により、正確に圧電アクチュエータとキャビティプレー
トとを組み立てることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】圧電アクチュエータを用いて製造したインクジ
ェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタを示す
斜視図である。

【図２】圧電アクチュエータを用いたヘッドの斜視図で
ある。

【図３】プレート型圧電アクチュエータの製造方法を示
した図である。

【図４】プレート型圧電アクチュエータの分解斜視図で
ある。

【図５】第２実施例のヘッドの斜視図である。

【図６】第２実施例のプレート型圧電アクチュエータの
分解斜視図である。

【図７】グリーンシートの積層体の切断過程を説明する
断面図である。

【符号の説明】

６ ヘッド
（インクジェットヘッド） １０ キャビテ
ィプレート １６ 圧力室 ２０，１２０ 圧電アク
チュエータ ２０ｂ，１２０ｂ 活性部 ２０ｃ，１２０ｃ 不活性部 ２１〜３０，１２１〜１３０ 圧電シー
ト ２６，２８，３０，１２６，１２８，１３０ 第１の圧
電シート ２２〜２４，２５，２７，２９ 第２の圧
電シート １２２〜１２４，１２５，１２７，１２９ 第２の圧
電シート ３１ 個別電極
（内部電極の一部、内部個別電極） ３１ｃ〜３４ｃ， 電極延出
部（電極延出部） ３１Ｘａ 電極垂
部、位置決めマーク（位置決めマーク） ３２ コモン電
極（内部電極の一部、内部共通電極） ３５，３９ ダミー電
極 ３５ｃ，３９ｃ 電極延出
部（ダミー電極延出部） ４１，１４１ 切り欠き
部（位置決めマーク） ５３ 電極印刷
工程（内部電極形成工程） ５４ 積層工程
（積層工程） ５５ 切断工程
（切断工程） ５６ 焼成工程
（焼成工程） ５７ 電極形成
工程（端面電極形成工程） ５９ 組立工程
（組み立て工程） １００ 外部電
源、インクジェットプリンタ本体（外部電源） １１０ グリーン
シート、第１のグリーンシート、第２のグリーンシート
（グリーンシート、シート、第１のグリーンシート、第
２のグリーンシート） １１１ 積層体
（積層体） １３３ 端面電極 Ｘ１，Ｘ２ 電極パタ
ーン（内部電極パターン）ノズル（インク吐出ノズル）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/09

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １の圧電アクチュエータの平面形状より
   も大きい平面形状を有するグリーンシート上に、１の圧
   電アクチュエータに対応する内部電極パターンと、該内
   部電極パターンの少なくとも１の内部電極の一端を前記
   圧電アクチュエータの端縁部に相当する位置まで延出し
   た電極延出部とを形成する内部電極形成工程と、 その内部電極形成工程により前記内部電極パターン及び
   電極延出部が形成されたグリーンシートを複数枚積層し
   て積層体を得る積層工程と、 その積層工程で得られた前記積層体を、前記１の圧電ア
   クチュエータに対応する大きさに、前記電極延出部に接
   する位置で前記グリーンシートの積層方向に切断し、そ
   の切断面に沿って前記電極延出部を垂れさせる切断工程
   と、 その切断工程で切断された前記積層体を焼成する焼成工
   程とを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ
   の製造方法。
2. 【請求項２】 前記グリーンシートは、圧電アクチュエ
   ータの複数個分の大きさを有するものであり、前記内部
   電極形成工程は、前記グリーンシート上の各圧電アクチ
   ュエータに対応する位置に前記内部電極パターン及び電
   極延出部を形成するものであることを特徴とする請求項
   １に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
3. 【請求項３】 前記焼成工程の後に、前記積層体の切断
   面上に、その切断面に沿って垂れた前記電極延出部に重
   ねて、前記内部電極と導通する端面電極を形成する端面
   電極形成工程を備えることを特徴とする請求項１または
   ２に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
4. 【請求項４】 前記圧電アクチュエータは、前記積層方
   向に対向する前記内部電極間に挟まれ該電極間への電圧
   の印可により変形する活性部と、変形しない不活性部と
   を有するものであり、前記内部電極が前記活性部から不
   活性部をとおって外部電源に接続され、前記不活性部上
   の内部電極の部分と前記積層方向に対応する他のシート
   の不活性部にダミー電極を備え、 前記内部電極形成工程は、前記シート上に前記内部電
   極、ダミー電極を形成するとともに、前記電極延出部の
   設けられた内部電極に対応して、それに隣接する他のシ
   ートに形成されるダミー電極について、その一端を前記
   圧電アクチュエータの端縁部に相当する位置まで延出し
   たダミー電極延出部を形成することを特徴とする請求項
   １から３のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造
   方法。
5. 【請求項５】 前記内部電極形成工程は、複数の内部個
   別電極からなる内部個別電極パターンを第１のグリーン
   シート上に形成する工程と、内部共通電極パターンを第
   ２のグリーンシート上に形成する工程とからなり、かつ
   前記電極延出部を、前記内部個別電極または前記内部共
   通電極パターンの一端を延出して前記各第１のグリーン
   シートまたは各第２のグリーンシートにおいてほぼ同じ
   位置に形成するものであり、 前記積層工程は、前記第１のグリーンシートと第２のグ
   リーンシートとを交互に積層するものであることを特徴
   とする請求項１から４のいずれかに記載の圧電アクチュ
   エータの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の製造
   方法で製造された圧電アクチュエータを、インク吐出ノ
   ズルに連通する圧力室を有するキャビティプレートに重
   ねて固定する組み立て工程を備え、その組み立て工程
   は、前記切断面に沿って垂れた前記電極延出部を位置決
   めマークとして前記内部電極と圧力室とを位置決めする
   ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 内部電極を挟んで複数の圧電シートを積
   層した圧電アクチュエータにおいて、 前記内部電極の少なくとも１の一端を前記圧電シートの
   端縁部まで延出した電極延出部を備え、 その電極延出部は、前記圧電シートの積層体の側面に沿
   って垂れた状態に形成されていることを特徴とする圧電
   アクチュエータ。
8. 【請求項８】 前記圧電シートの積層体の側面に、その
   側面に沿って垂れた前記電極延出部に重ねられ、前記内
   部電極と導通する端面電極を備えることを特徴とする請
   求項７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 【請求項９】 前記電極延出部は、積層方向にほぼ並ぶ
   ように前記各圧電シートにおいてほぼ同位置に設けられ
   ていることを特徴とする請求項７または８に記載の圧電
   アクチュエータ。
10. 【請求項１０】 前記圧電アクチュエータは、前記積層
    方向に対向する前記内部電極間に挟まれ該電極間への電
    圧の印可により変形する活性部と、変形しない不活性部
    とを有するものであり、前記内部電極が前記活性部から
    不活性部をとおって外部電源に接続され、前記不活性部
    上の内部電極の部分と前記積層方向に対応する他の圧電
    シートの不活性部にダミー電極を備えるとともに、前記
    電極延出部の設けられた内部電極に対応して、それに隣
    接する他の圧電シートに形成されるダミー電極につい
    て、その一端を前記圧電アクチュエータの端縁部に相当
    する位置まで延出したダミー電極延出部を備え、該ダミ
    ー電極延出部は前記圧電シートの積層体の側面に沿って
    垂れた状態に形成されていることを特徴とする請求項７
    から９のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
11. 【請求項１１】 前記圧電アクチュエータは、複数の内
    部個別電極を備えた第１の圧電シートと、内部共通電極
    を備えた第２の圧電シートとを交互に積層して備えてお
    り、かつ前記電極延出部は、前記内部個別電極または前
    記内部共通電極の一端を延出して前記各第１の圧電シー
    トまたは各第２の圧電シートにおいて積層方向に並ぶよ
    うにほぼ同じ位置にあることを特徴とする請求項７から
    １０のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
12. 【請求項１２】 請求項７から１１のいずれかに記載の
    圧電アクチュエータと、インク吐出ノズルに連通する圧
    力室を有するキャビティプレートとを備え、前記側面に
    沿って垂れた前記電極延出部と対応するキャビティプレ
    ート上の位置に、前記内部電極と圧力室とを位置決めす
    るための位置決めマークを設けたことを特徴とするイン
    クジェットヘッド。