JP2005044927A - 圧電アクチュエータ及びその製造方法並びに液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きいこと、また、圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における壁面の一部が除去され、該除去部における前記ビア電極の直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ及び液体吐出装置に関し、より詳しくは、例えば加速度センサ、ノッキングセンサ、AEセンサ等の圧電センサ、燃料噴射用インクジェクター、インクジェットプリンタ用印刷ヘッド、圧電共振子、発振器、超音波モーター、超音波振動子、フィルタ等に適し、さらに広がり振動、伸び振動、厚み縦振動を利用した印刷ヘッド等の液体吐出装置として好適に用いられる圧電アクチュエータ及び液体吐出装置に関する。
【0002】
【従来技術】
近年、マルチメディアの浸透に伴い、インパクト方式の記録装置に代わって、インクジェット方式や熱転写方式を利用したノンインパクト方式の記録装置が開発され、その利用範囲が各種産業分野および一般家庭分野において広がりつつある。
【0003】
かかるノンインパクト方式の記録装置のなかでも、インクジェット方式を利用した記録装置は、多階調化やカラー化が容易で、ランニングコストが低いことから将来性が注目されている。
【0004】
このインクジェット方式を利用した記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドは、圧電アクチュエータを流路部材に接着剤を用いて接合され、圧電アクチュエータは内部に内部電極やビア電極を含み、表面には表面電極及び端子電極が形成され、表面電極と内部電極とに電圧が印加されると、両電極で挟持されている圧電体層が変位する。
【0005】
このような圧電アクチュエータでは、表面に形成された端子電極がビア電極を介して内部電極に電気的に連結しており、ビア電極を作製するため、グリーンシートに貫通孔(ビアホール)を開け、この貫通孔(ビアホール)に導体ペーストを充填し、次いで、貫通孔(ビアホール)が同じ位置に配置されるようにグリーンシートを積層し、しかる後にこれを焼成することによって、表面から内部電極へ通じるビア電極を形成していた(例えば、特許文献1参照)。
【0006】
例えば、図6に示したように、圧電体層72と内部電極75とが交互に積層され、複数の圧電体層72を、複数の内部電極75と他の内部電極76とで挟持してなる圧電変位素子77が複数設けられている。このような構成にすることで、圧電セラミック層72の厚みを小さくし、変位量を大きくすることが可能となる。
【0007】
この圧電アクチュエータ71は、流路部材73に接合されて液体吐出装置を形成する。液体吐出装置は複数の液体加圧室73aが並設され、液体加圧室73aを仕切る壁として隔壁73bが形成されている。液体加圧室73aの開口部の直上に個別電極76が配置するように、圧電アクチュエータ71と流路部材53とが接着されているため、内部電極75と個別電極76との間に駆動電圧を印加すると、内部電極75と個別電極76とで挟持された圧電体層74が変形し、圧電変位素子77が変位し、変位領域77aが変位することとなり、その結果、液体加圧室73aの容積を変化させるため、その時に発生する圧力で液体加圧室73aの液体が液体吐出口78から吐出する。
【0008】
そして、内部電極75と圧電アクチュエータ71の表面に設けられた端子電極81とを連結するためにビアホールの内部に導電性材料で充填されて形成されたビア電極82が設けられている。
【0009】
ビア電極82を形成するためには、図6(b)に示したように、各圧電体72にビアホールを形成し、各ビアホールが同じ位置に配置されるように積層し、しかる後に複数のグリーンシートを貫通してなるビアホールに導体ペーストを充填する。
【0010】
なお、一層の厚みが50μm以下、更には30μm以下の薄いグリーンシートを用いる場合、それぞれのグリーンシート毎に導体ペーストを充填しても保持されにくいため、積層後に導体ペーストを充填する必要がある。
【0011】
【特許文献1】
特開2001−237512号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載のビアホールは、焼結体の表面から内部電極までの断面形状が同一であるビアホールが形成されているため、グリーンシートの積層体に設けられた深いビアホールに導電ペーストを充填しようとすると、充填不良により空隙が生じるため、電気的な導通不良が発生するという問題があった。
【0013】
従って、本発明の目的は、ビア電極の充填率の高い圧電アクチュエータを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ビアホールの表面における断面積が内部の断面積よりも大きくすることによって導体ペーストの充填率を高めることができるという新規な知見に基づき、その結果、ビア電極の空隙を低減し、導電率を高めることができる。
【0015】
即ち、本発明の圧電アクチュエータは、圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きいことを特徴とする。
【0016】
特に、前記ビア電極が円形形状を有し、その表面端部における直径が内部電極との接続端部における直径より大きいことが好ましい。
【0017】
また、本発明の他の圧電アクチュエータは、圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における壁面の一部が除去され、該除去部における前記ビア電極の直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなることを特徴とする。
【0018】
特に、前記除去部が、その断面において曲面を形成していることが好ましい。
【0019】
さらに、前記除去部の断面形状が、直線を含み、特に複数の直線を含むことが好ましい。
【0020】
また、本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、圧電体層と内部電極とを交互に積層して、表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きいビアホールを形成し、しかる後に、該ビアホールの内部に導体ペーストを充填し、さらにその上に端子電極を形成することを特徴とするものであり、特に前記ビアホールが円形形状を有し、その表面端部における直径が内部電極との接続端部における直径より大きいことが好ましい。また、圧電体層と内部電極とを交互に積層して、表面部における直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなるビアホールを形成し、しかる後に、該ビアホールの内部に導体ペーストを充填し、さらにその上に端子電極を形成することを特徴とするものである。これにより、本発明の圧電アクチュエータを得ることができる。
【0021】
また、本発明の液体吐出装置は、上記の圧電アクチュエータを、液体導入口と、液体加圧室と、液体吐出口とを具備する流路部材に接合してなることを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態にかかる圧電アクチュエータを、図面を参照して詳細に説明する。
【0023】
図1(a)は本実施形態の圧電アクチュエータに形成されたビアホールの拡大断面図、図1(b)はその平面図である。なお、図1には、表面に設けられた端子電極及びビア電極は図示していない。
【0024】
圧電アクチュエータ1は、例えば、図1(a)に示したように、圧電体層2と内部電極5とが交互に積層されている。即ち、圧電体層2aの上に内部電極5aが設けられ、内部電極5aの上に圧電体層2b、2cがこの順に設けられ、さらにその上に、内部電極5bが設けられている。さらに、内部電極5bの上に圧電体層2d、2eがこの順に設けられている。
【0025】
本発明の積層体は、圧電体層2と内部電極層5とが交互に積層されていれば良く、例えば、圧電体層2が内部電極間2に1層だけあっても、また2層以上あっても良く、さらに、内部電極2に関しても1層であっても、また2層以上であっても良い。
【0026】
本発明の圧電アクチュエータは、ビア電極の表面端部Xにおける断面積が、内部電極との接続端部Yにおける断面積よりも大きいことが重要である。即ち、表面におけるビアホールの断面積を、内部の断面積よりも大きくすることにより、導体ペーストを積層体のビアホールに充填する際に、導体ペーストの充填率を高めることができる。
【0027】
このように、ビアホールの表面端部における断面積が、内部電極との接合端部における断面積よりも大きいため、導体ペーストがビアホールに挿入するさいに抵抗が少なく、より多くの導体ペーストを挿入でき、その結果、ビア電極の充填率を高めることができる。
【0028】
例えば、図1(a)に示したように、内部電極5aの上に設けられた圧電体層2bに形成されたビアホールとなる直径Bの貫通孔4bの上に、圧電体層2cに形成されたビアホールとなる直径Cの貫通孔4bが形成され、さらにその上に、直径Dの貫通孔4d、直径Eの貫通孔4eが順次形成されている。
【0029】
そして、ビア電極の表面端部Xにおける断面積が、ビアホールの内部電極との接続端部Yにおける断面積よりも大きい。なお、図1においては、直径B、C、D及びEがこの順に大きくなっている。即ち、内部の圧電体層ほど、そこに形成されたビアホールの直径が小さく、逆に表面に近い圧電体層ほど、ビアホールの直径が大きくなっている。
【0030】
なお、上記ビアホールの断面積について説明したが、このビアホールの中に導体ペーストを充填して形成したビア電極の形状はビアホールの形状と略同一であり、ビア電極に関しても、同様に表面端部の断面積が内部電極の接続端部の断面積よりも大きくなることは言うまでもない。
【0031】
本発明によれば、ビア電極の形状、即ちビアホールの形状は、図1(b)に示したように、円形であることが好ましい。ビアホールが円形であると、導体ペーストの充填不良ができやすい角部がなく、導体ペーストの充填の際に発生する空隙をさらに抑制することができ、また、ビアホール同士の位置合せに際しても、角度ズレは無視することができる。
【0032】
ビアホールが円形である場合、ビアホールの表面端部Xの直径が、内部電極との接合端部Yの直径よりも大きくすることにより、表面端部Xの断面積を内部電極との接合端部Yの断面積よりも大きくすることができ、上記の作用効果を得ることができる。
【0033】
また、ビアホールは、図1(a)に示したように、積層する圧電体層2b〜2eの貫通孔4b〜4eの断面積を、内部電極側から、次第に大きくなるようにすることが好ましい。即ち、圧電体層2cに設けた貫通孔4cの直径Cは、圧電体層2bに設けた貫通孔4bの直径Bよりも大きく、圧電体層2dに設けた貫通孔4dの直径Dは直径Cよりも大きく、圧電体層2eに設けた貫通孔4eの直径Eは直径Dよりも大きくなるように構成されている(B<C<D<E)。
【0034】
このように、ビアホールが深くなればなるほど、導体ペーストを挿入する際に空隙ができやすくなるため、少しでも大きな断面積を有するビアホールを形成しておくことが好ましい。
【0035】
ビア電極は、ビアホールに導電性材料(以下、ビア導体と言う)、具体的にはAg、Au、Cu,Ag合金、Au合金、Cu合金等を充填してなり、その形状はビアホールの形状と略同一となる。このビア電極が、上述したように、表面の断面積を内部電極との接続端部における断面積よりも大きくなるように設定することにより、ビア導体を含む導体ペーストをビアホールに充填する際に、導体ペーストが充填されやすく、空隙の発生を低減することができる。
【0036】
なお、図1(a)に示したように、ビア電極は複数の内部電極5a、5bと電気的に接続されていても良く、その場合には、「内部電極との接続端部」とは、該当するビア電極が電気的に導通する内部電極の中で、表面から最も離れた位置に設けられた内部電極との接合端部を意味するものである。
【0037】
また、本発明によれば、ビアホールの断面形状は、円錐台形状で、且つ表面の断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きくなるようにビアホールが形成されていることが好ましい。例えば、図2(a)に示したように、圧電体層12a、12b、12cと、内部電極15a、15bとが交互に積層され、ビアホール14が円錐台形状で、表面の直径が内部電極との接続端部の直径よりも大きくなるように設けられている。このように、ビアホールの形状を円錐台形状とすることで、導体ペースト充填時の空隙発生が、より一層低減することが期待できる。
【0038】
このような圧電アクチュエータは、次のように製造することができる。まず、圧電体層と内部電極とを交互に積層して、積層成形体を作製する。この積層成形体には、圧電アクチュエータの表面から内部に形成されたビアホールがあり、成形時には、各グリーンシートに設けられたビアホールの中心が一致するように成形することが肝要である。また、このビアホールは、内部電極に当接するものであり、表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きくなるように形成する。
【0039】
ここで、ビアホールの形状は、導体ペーストの充填を促進するために、円形形状であることが好ましい。また、表面端部における直径が、内部電極との接続端部における直径よりも大きくなるように形成することが好ましい。
【0040】
その後、印刷法や塗布法等の周知の方法により、上記ビアホールの内部に、導体ペーストを充填して、ビア電極を形成する。さらに、その上に、印刷法や塗布法等の周知の方法により、端子電極を形成する。このようにして、上記圧電アクチュエータを作製することができる。
【0041】
本発明の他の圧電アクチュエータは、例えば図3(a)において、圧電体層22と内部電極25とが交互に積層された圧電アクチュエータ21において、内部電極25aが、表面電極(図示せず)と電気的に連結するためのビア電極24が設けられるビアホールが形成されており、ビアホールの壁面の一部27が除去され、エッジ部24mが形成されていることが重要である。
【0042】
なお、図3(a)には、圧電体層22cのおけるビアホールが形成された部位を拡大した図、即ちエッジ部24m付近の拡大断面図が四角及び丸の中に示されている。左側の四角の中は、除去される壁面の一部27を示したもので、また、右側の丸の中には、壁面の一部27が除去されて形成されたエッジ部24mと、ビア導体が充填されてできたビア電極24とが示されている。
【0043】
このように、ビアホールの壁面の一部27が除去され、ビア電極24のエッジ部24mが形成されたことで、ビア導体の充填率が高まり、空隙の発生を抑制することができる。即ち、導体ペーストを印刷法によってビアホールに充填する場合、導体ペーストは、エッジ部24mを起点に壁面から回りこむように流動するため、その抵抗が大きいと壁面及びその近傍に空隙が発生しやすくなるが、本発明のように壁面の一部27を除去し、表面にエッジ部24mを形成することによって、壁面における導体ペーストの流動性が改善され、空隙の発生を抑制することができると考えられる。
【0044】
本発明によれば、ビア電極24のエッジ部24mが曲面を形成していることが好ましい。この曲面は、特に、図3(a)に示されるような断面図において、特定の曲率半径を有する円又は楕円の一部であることが、導体ペーストの充填率向上のために好ましい。
【0045】
その曲率半径は、円の場合、1μm以上、特に5μm以上、更には10μm以上であることが望ましい。また、グリーンシートの厚みと同程度の曲率半径を有するのが製造上の容易さのために好ましい。例えば、グリーンシートの厚みが15μmであれば、10〜15μmの曲率半径であるのが良い。これにより、導体ペーストの充填の際に発生する空隙をさらに抑制することが可能となる。さらに、さらに大きな曲率半径、例えば、50μm以上の曲率半径を有していても良い。
【0046】
このような圧電アクチュエータは、次のように製造することができる。まず、圧電体層と内部電極とを交互に積層して、積層成形体を作製する。この積層成形体には、圧電アクチュエータの表面から内部に形成されたビアホールがあり、成形時には、各グリーンシートに設けられたビアホールの中心が一致するように成形することが肝要である。また、このビアホールは、内部電極に当接するものであり、表面端部における直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなるビアホールを形成する。
【0047】
その後、印刷法や塗布法等の周知の方法により、上記ビアホールの内部に、導体ペーストを充填して、ビア電極を形成する。さらに、その上に、印刷法や塗布法等の周知の方法により、端子電極を形成する。このようにして、上記圧電アクチュエータを作製することができる。
【0048】
このようなエッジ部の構造は、本発明の第1の発明と組合せても良く、例えば、図3(b)に示したように、圧電体層32と内部電極35とが交互に積層されてなり、圧電体層32eに形成された貫通孔34eを形成する壁面の一部が除去されてエッジ部34mが形成されている。なお、図3(b)には、他の図において省略した端子電極39を表示した。端子電極39は、ビア電極の上に、ビア電極の表面と当接するように設けられている。
【0049】
また、本発明によれば、図4に示したように、圧電体層42と内部電極45とが交互に積層されてなり、圧電体層42bに形成された貫通孔の直径が一定の円筒形状であるが、圧電体層42eに形成された貫通孔には、壁面の一部が除去されて形成されたエッジ部44mがある。
【0050】
図4の四角及び丸の中に示した拡大図によれば、エッジ部44mは、その断面形状が直線を含むが、これは、導体ペーストの充填率向上のために望ましい構造となっている。
【0051】
特に、図4に示したエッジ部24mは2つの直線で形成されており、このように2つ以上の直線でエッジ部を形成することにより、導体ペーストのさらなる充填率向上に有効である。
【0052】
なお、エッジ部の幅b(b=b1+b2)は、10μm以上、特に20μm以上、更には30μm以上であることが好ましい。例えば、幅bが20μm(b1=15μm、b2=5μm)、深さaが30μm(a1=10μm、a2=20μm)とすることができる。この値は一例であり、さらに0.1〜1mm或いはそれ以上の大きな幅を有していても良い。
【0053】
ここで用いられる圧電アクチュエータ基板の厚みは、100μm以下であることが好ましい。このように薄層にすることで、大きな変位を得ることができ、また低駆動電圧で高効率の駆動を実現できる。従って、特に最近のカラープリンタの性能向上に伴う高速化及び高精度化の要求に対して、100μm以下の厚みにすることにより、その要求に対して容易に対応することができ、圧電アクチュエータ及びそれを用いた印刷ヘッドの高性能化に寄与することができる。
【0054】
圧電アクチュエータとしての特性をさらに高めるため、圧電アクチュエータの厚みの上限値は、特に80μm以下、更には65μm以下、より好適には50μm以下が良い。また、圧電アクチュエータの厚みの下限値は、十分な機械的強度を有し、取扱い及び作動中の破壊を防止するため、30μm、より好適には40μmであることが好ましい。
【0055】
本発明は、多数の圧電体層と内部電極とを積層した場合にも応用することができる。例えば、図5に示したように、内部電極55、56と圧電体層52とが交互に設けられ、複数の圧電体層52を、複数の内部電極55と他の内部電極56とで挟持してなる圧電変位素子57が複数設けられている。このような構成にすることで、圧電セラミック層52の厚みを小さくし、変位量を大きくすることが可能となる。
【0056】
この圧電アクチュエータ51は、流路部材53に接合されて液体吐出装置を形成する。液体吐出装置は複数の液体加圧室53aが並設され、液体加圧室53aを仕切る壁として隔壁53bが形成されている。液体加圧室53aの開口部の直上に個別電極56が配置するように、圧電アクチュエータ51と流路部材53とが接着されている。
【0057】
内部電極55と個別電極56との間に駆動電圧を印加すると、内部電極55と個別電極56とで挟持された圧電体層54が変形し、圧電変位素子57が変位し、変位領域57aが変位することとなり、その結果、液体加圧室53aの容積を変化させるため、その時に発生する圧力で液体加圧室53aの液体が液体吐出口58から吐出する。
【0058】
このような複数の圧電変位素子57が、振動板52の表面に設けられてなる圧電アクチュエータ51は、各圧電変位素子57を独立して制御し、微細な領域に振動を起こすため、例えば微量のインクを特定の微細領域に吐出する印刷ヘッドに好適な構造を有している。
【0059】
このような構造の圧電アクチュエータにおいて、1つおきに設けられた内部電極を電気的に連結し、且つ表面に設けられた端子電極と電気的に連結するために、表面端部の断面積が内部電極との接続端部の断面積よりも大きくなるようなビアホールを形成することが好ましい。このようなビアホールの深さが大きい構造においては、本発明は好適に適応され、空隙の少ないビア電極の作製に有効である。
【0060】
本発明の液体吐出装置は、液体供給口、液体加圧室及び液体吐出口を具備する流路部材に、上記の圧電アクチュエータが設けられてなるものであり、インクジェット方式のプリンタや印画装置、印刷機などに好適に用いることができる。また、半導体製造時の配線回路の形成したり、微量の液体を輸送・搬送する液体ポンプとしても好適に用いることができる。
【0061】
【実施例】
実施例1
先ず、前工程として、圧電セラミックスとしてチタン酸ジルコン酸鉛粉体を準備し、厚みが30μmとなるようにグリーンシートを成形した。得られたグリーンシートに、Ag−Pd合金を含む電極ペーストを用いて、グリーンシート上に厚み5μmの電極を印刷法にて形成した。また、電極を形成するシートとは別のグリーンシートには、NCパンチングにより直径70μmのビアホールを形成した。
【0062】
次いで、エッジ形成工程として、一部のビアホールには、図3(a)に示したような曲率半径が1、5、10、15μmのエッジ部を形成した。尚、この時、NCパンチングのピン径は70μmに一定とし、ダイスの径を75、80、90、100μmとすることで、ビアホールのエッジ部に1、5、10、15μmの曲率を有することができる。
【0063】
次に、積層工程として、ビアホールを形成したグリーンシートと、電極を形成したグリーンシートとを積層し、さらにエッジ部を形成したグリーンシートを最上部に載置して積層し、15MPaの圧力で加圧密着を行って積層成形体を得た。これを比較例として用いた。
【0064】
最後に、後工程として、得られた積層成形体を大気中450℃、5時間の脱脂処理を行い、しかる後に、1100℃、酸素95%の雰囲気において2時間の焼成を行い、積層圧電体を得た。その後、ビアホール部にAg電極ペーストを印刷法にて充填し、大気中700℃、1時間の焼付け処理を行った。
【0065】
次に、得られた積層圧電体のビアホール部の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察し、ビアホール表面のエッジ部の曲率半径と、ビアホール中の電極材の充填性を評価した。その結果、エッジ部の曲率半径は、1〜15μmであり、何れも空隙は1%以下で、ビア導体の充填性が良好であった。
【0066】
実施例2
実施例1と同様にして、前工程を行なった。
【0067】
次に、エッジ形成工程として、ビアホールの一部に機械加工によって図4に示したようなエッジ部を形成した。エッジ部は、a1が10μm、a2が20μm、b1が15μm、b2が5μmとした。
【0068】
次に、積層工程として、ビアホールを形成したグリーンシートと、電極を形成したグリーンシートとを積層し、さらにエッジ部を形成したグリーンシートを最上部に載置して積層し、15MPaの圧力で加圧密着を行って積層成形体を得た。これを比較例として用いた。
【0069】
そして、実施例1と同様にして後工程を行い、次いで評価した。空隙率は、1%以下で、ビア導体の充填性が良好であった。
【0070】
比較例
実施例1と同様にして、前工程を行なった。
【0071】
次いで、ビアホールを形成したグリーンシートと、電極を形成したグリーンシートとを積層し、15MPaの圧力で加圧密着を行って積層成形体を得た。
【0072】
そして、実施例1と同様にして後工程を行った。次に、実施例1と同様にして評価したところ、ビア導体の充填性が悪く、3%以上の空隙率が観察された。
【0073】
【発明の効果】
本発明は、圧電アクチュエータに設けられたビアホールの断面積を表面で大きく、内部で小さくすることによって、焼結体表面の開口部が広く、内部が狭くなる構造であるため、積層後にビアホールの内部に導体ペーストを挿入する際でも、導電ペーストの流れ込みが容易になり、充填性が向上して空隙の発生を抑制できる。その結果、ビア電極の充填率を高められ、電気的導通不良を避けることができる。
【0074】
また、表面のエッジ部の一部を除去する構成によっても同様の効果を得ることができ、ビア電極の充填率を高めて、電気的導通不良を避けることができる。
【0075】
本発明の液体吐出装置は、インクジェット方式のプリンタや印画装置、印刷機、半導体製造時の配線回路パターンの形成装置としても好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧電アクチュエータに設けられたビアホールの構造を示すもので、(a)は概略断面図、(b)は平面図である。
【図2】本発明の圧電アクチュエータに設けられた他のビアホールの構造を示す概略断面図である。
【図3】本発明の圧電アクチュエータに設けられたさらに他のビアホールの構造を示す概略断面図で、(a)は曲面を有するエッジ部を形成したもの、(b)はビアホールの直径が変化するとともに曲面を有するエッジ部を形成したものである。
【図4】本発明の圧電アクチュエータに設けられたさらに他のビアホールの構造を示す概略断面図である。
【図5】本発明の他の圧電アクチュエータの構造を示す概略断面図である。
【図6】従来の圧電アクチュエータの構造を示すもので、(a)は印刷ヘッドの概略断面図、(b)は圧電アクチュエータの部分拡大図である。
【符号の説明】
2、2a、2b、2c、2d、2e、12a、22b、22c、22a、22b、22c・・・圧電体層
4、4b、4c、4d、4e・・・圧電体層
5、5a、5b、15、15a、15b、25、25a、25b・・・内部電極11、21・・・圧電アクチュエータ
24・・・ビア電極
24m・・・エッジ部
27・・・壁面の一部
A、B、C、D・・・直径
X・・・表面端部
Y・・・内部電極の接続端部
Claims (10)
- 圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記ビア電極が円形形状を有し、その表面端部における直径が内部電極との接続端部における直径より大きいことを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 圧電体層と内部電極とが交互に積層され、且つ表面に端子電極が形成された圧電アクチュエータにおいて、前記内部電極と前記端子電極とを電気的に連結するためのビア電極が設けられており、該ビア電極の表面端部における壁面の一部が除去され、該除去部における前記ビア電極の直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記除去部が、その断面において曲面を形成していることを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記除去部の断面形状が、直線を含むことを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記断面形状が、複数の直線を含むことを特徴とする請求項5記載の圧電アクチュエータ。
- 圧電体層と内部電極とを交互に積層して、表面端部における断面積が、内部電極との接続端部における断面積よりも大きいビアホールを形成し、しかる後に、該ビアホールの内部に導体ペーストを充填し、さらにその上に端子電極を形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記ビアホールが円形形状を有し、その表面端部における直径が内部電極との接続端部における直径より大きいことを特徴とする請求項7記載の圧電アクチュエータ。
- 圧電体層と内部電極とを交互に積層して、表面端部における直径が内部から表面に向かって連続的に大きくなるビアホールを形成し、しかる後に、該ビアホールの内部に導体ペーストを充填し、さらにその上に端子電極を形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の圧電アクチュエータを、液体導入口と、液体加圧室と、液体吐出口とを具備する流路部材に接合してなることを特徴とする液体吐出装置。
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