JPH09162450A - 積層圧電体素子 - Google Patents
積層圧電体素子Info
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- JPH09162450A JPH09162450A JP7315045A JP31504595A JPH09162450A JP H09162450 A JPH09162450 A JP H09162450A JP 7315045 A JP7315045 A JP 7315045A JP 31504595 A JP31504595 A JP 31504595A JP H09162450 A JPH09162450 A JP H09162450A
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 側面の外部電極を用いずに、内部電極を積層
圧電体素子の上、下外部電極に接続することを目的とす
る。 【解決手段】 圧電体層６の、外周まで電極８が塗布さ
れた貫通孔で構成された導通部７ａ及び外周に絶縁部６
ａが設けられた７ｂが配設されており、この導通部７
ａ，７ｂは左右交互に積層されている。積層されると導
通スペース９が構成され、この導通スペース９に導電材
料１０を充填すると、積層された圧電体層６の電極８は
交互に導電材料１０を介して、上、下面の外部電極１１
にそれぞれ独立されて接続されることとなり、側面の外
部電極を介することなく安定且つ確実に電極８が積層圧
電体素子の上、下面の外部電極１１に接続されることと
なる。
圧電体素子の上、下外部電極に接続することを目的とす
る。 【解決手段】 圧電体層６の、外周まで電極８が塗布さ
れた貫通孔で構成された導通部７ａ及び外周に絶縁部６
ａが設けられた７ｂが配設されており、この導通部７
ａ，７ｂは左右交互に積層されている。積層されると導
通スペース９が構成され、この導通スペース９に導電材
料１０を充填すると、積層された圧電体層６の電極８は
交互に導電材料１０を介して、上、下面の外部電極１１
にそれぞれ独立されて接続されることとなり、側面の外
部電極を介することなく安定且つ確実に電極８が積層圧
電体素子の上、下面の外部電極１１に接続されることと
なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は積層圧電体素子に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、インクジェットプリンターの駆動
ヘッドや、光学装置及び精密機器の微調整用等に、積層
体圧電素子が盛んに採用され、例えば特開平７−１３１
０８４号公報『積層型圧電体素子の内部電極と外部電極
の接続構造』等が開示されている。
ヘッドや、光学装置及び精密機器の微調整用等に、積層
体圧電素子が盛んに採用され、例えば特開平７−１３１
０８４号公報『積層型圧電体素子の内部電極と外部電極
の接続構造』等が開示されている。
【０００３】以下に従来の積層圧電体素子について説明
する。図５は前記特開平７−１３１０８４号公報に開示
された積層圧電体素子である。図５において１は圧電体
層で複数枚積層され、間に内部電極２が配設されてお
り、側面に形成された側面外部電極３とそれぞれ接続さ
れている。また、前記圧電体層１の最上面又は最下面の
１乃至２層の内部電極２ａは側面外部電極３とは接続さ
れない状態で配設されており、中央部にはポア４が形成
されていて、その内部には導電材料が配設されており、
上、下面に形成された上下外部電極５と接続されてい
る。
する。図５は前記特開平７−１３１０８４号公報に開示
された積層圧電体素子である。図５において１は圧電体
層で複数枚積層され、間に内部電極２が配設されてお
り、側面に形成された側面外部電極３とそれぞれ接続さ
れている。また、前記圧電体層１の最上面又は最下面の
１乃至２層の内部電極２ａは側面外部電極３とは接続さ
れない状態で配設されており、中央部にはポア４が形成
されていて、その内部には導電材料が配設されており、
上、下面に形成された上下外部電極５と接続されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の積層圧電体素子では、最上面又は最下面の圧電体層
に圧電体層を貫通するポア４を安定して形成することは
困難であり、さらにはそのポア４に導電材料を安定して
浸透させることも困難である。また、中間圧電体層の内
部電極２を上下外部電極５に導くためには、一旦側面外
部電極３を介する必要があり、結果的には側面外部電極
３を省略することは不可能である。
来の積層圧電体素子では、最上面又は最下面の圧電体層
に圧電体層を貫通するポア４を安定して形成することは
困難であり、さらにはそのポア４に導電材料を安定して
浸透させることも困難である。また、中間圧電体層の内
部電極２を上下外部電極５に導くためには、一旦側面外
部電極３を介する必要があり、結果的には側面外部電極
３を省略することは不可能である。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するものであ
り、側面の外部電極を要さず確実に各圧電体層の内部電
極を直接上、下面の外部電極に導くことを可能にした積
層圧電体素子を提供することを目的とする。
り、側面の外部電極を要さず確実に各圧電体層の内部電
極を直接上、下面の外部電極に導くことを可能にした積
層圧電体素子を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の積層圧電体素子
は、少なくとも２つの貫通孔を有する圧電体層と内部電
極とを少なくとも１つの前記貫通孔の外周に絶縁部を有
するように交互に積層した積層体と、前記貫通孔に充填
した導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電
極とを備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記
外部電極に接続されたものである。
は、少なくとも２つの貫通孔を有する圧電体層と内部電
極とを少なくとも１つの前記貫通孔の外周に絶縁部を有
するように交互に積層した積層体と、前記貫通孔に充填
した導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電
極とを備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記
外部電極に接続されたものである。
【０００７】この発明によると、貫通孔に充填した導電
材料により、側面に外部電極を設けなくとも各内部電極
を直接上、下面に設けた外部電極と導通させることがで
きる。
材料により、側面に外部電極を設けなくとも各内部電極
を直接上、下面に設けた外部電極と導通させることがで
きる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、少なくとも２つの貫通孔を有する圧電体層と内部電
極とを少なくとも１つの前記貫通孔の外周に絶縁部を有
するように交互に積層した積層体と、前記貫通孔に充填
した導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電
極とを備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記
外部電極に接続された積層圧電体素子である。この構成
によると貫通孔に充填された導電材料により、側面に外
部電極を形成しなくても内部電極と上、下面に設けた外
部電極とを導通させることができる。
は、少なくとも２つの貫通孔を有する圧電体層と内部電
極とを少なくとも１つの前記貫通孔の外周に絶縁部を有
するように交互に積層した積層体と、前記貫通孔に充填
した導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電
極とを備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記
外部電極に接続された積層圧電体素子である。この構成
によると貫通孔に充填された導電材料により、側面に外
部電極を形成しなくても内部電極と上、下面に設けた外
部電極とを導通させることができる。
【０００９】請求項２に記載の発明は、外周に絶縁部を
有する貫通孔は他の貫通孔よりも大きい請求項１に記載
の積層圧電体素子である。この構成によると内部電極と
導電材料の導通を確実なものとすることができる。
有する貫通孔は他の貫通孔よりも大きい請求項１に記載
の積層圧電体素子である。この構成によると内部電極と
導電材料の導通を確実なものとすることができる。
【００１０】請求項３に記載の発明は、端部に少なくと
も２つの切り欠けを有する圧電体層と内部電極とを少な
くとも１つの前記切り欠けの外周に絶縁部を有するよう
に交互に積層した積層体と、前記切り欠け部に充填した
導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電極と
を備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記外部
電極に接続された積層圧電体素子である。この構成によ
ると貫通孔に充填された導電材料により、内部電極と
上、下面に設けた外部電極とを導通させることができ
る。
も２つの切り欠けを有する圧電体層と内部電極とを少な
くとも１つの前記切り欠けの外周に絶縁部を有するよう
に交互に積層した積層体と、前記切り欠け部に充填した
導電材料と、前記積層体の上、下面に設けた外部電極と
を備え、前記内部電極は前記導電材料を介して前記外部
電極に接続された積層圧電体素子である。この構成によ
ると貫通孔に充填された導電材料により、内部電極と
上、下面に設けた外部電極とを導通させることができ
る。
【００１１】請求項４に記載の発明は、外周に絶縁部を
有する切り欠けは他の切り欠けよりも大きい請求項３に
記載の積層圧電体素子である。この構成により内部電極
と導電材料の導通を確実なものとすることができる。
有する切り欠けは他の切り欠けよりも大きい請求項３に
記載の積層圧電体素子である。この構成により内部電極
と導電材料の導通を確実なものとすることができる。
【００１２】以下本発明の実施の形態について、図面を
参照しながら説明する。 （実施の形態１）図１及び図２は本実施の形態における
積層圧電体素子の内部電極の構造を示す断面図と各圧電
体層の電極形状を示す積層体の分解斜視図である。
参照しながら説明する。 （実施の形態１）図１及び図２は本実施の形態における
積層圧電体素子の内部電極の構造を示す断面図と各圧電
体層の電極形状を示す積層体の分解斜視図である。
【００１３】図１及び図２において、６は圧電体層で端
部に至らないように貫通孔の外周まで電極８が塗布され
た導通部７ａ及び貫通孔の外周に絶縁部６ａが設けられ
た導通部７ｂが配設されている。この導通部７ａ，７ｂ
は左右交互に積層されており、積層されると導通スペー
ス９が構成される。この導通スペース９に導電材料１０
を充填すると、積層された圧電体層６の電極８は交互に
導電材料１０を介して、上、下面の外部電極１１，１１
ａにそれぞれ独立されて接続されることとなる。
部に至らないように貫通孔の外周まで電極８が塗布され
た導通部７ａ及び貫通孔の外周に絶縁部６ａが設けられ
た導通部７ｂが配設されている。この導通部７ａ，７ｂ
は左右交互に積層されており、積層されると導通スペー
ス９が構成される。この導通スペース９に導電材料１０
を充填すると、積層された圧電体層６の電極８は交互に
導電材料１０を介して、上、下面の外部電極１１，１１
ａにそれぞれ独立されて接続されることとなる。
【００１４】電極８と導電材料１０との導通をより確実
にするために、外周に絶縁部６ａを有した導通部７ｂを
外周部に絶縁部を有しない他方の導通部７ａより大きく
して、必ず導電材料１０が電極８に接触するようにし
て、確実に接続されている。
にするために、外周に絶縁部６ａを有した導通部７ｂを
外周部に絶縁部を有しない他方の導通部７ａより大きく
して、必ず導電材料１０が電極８に接触するようにし
て、確実に接続されている。
【００１５】（実施の形態２）図３及び図４は本発明の
実施の形態２であり、実施の形態１では、導通部７ａ，
７ｂを貫通孔で構成したが、圧電体層１２の外周に切り
欠き形状の導通部１３ａ，１３ｂを配設しても同様の効
果が得られる。
実施の形態２であり、実施の形態１では、導通部７ａ，
７ｂを貫通孔で構成したが、圧電体層１２の外周に切り
欠き形状の導通部１３ａ，１３ｂを配設しても同様の効
果が得られる。
【００１６】なお、上記実施の形態における導電材料
は、金属ペースト、導電性の樹脂やゴムなど電極８と外
部電極１１との導通がとれるようなものであれば電極８
や外部電極１１と同じ材料でなくとも構わない。
は、金属ペースト、導電性の樹脂やゴムなど電極８と外
部電極１１との導通がとれるようなものであれば電極８
や外部電極１１と同じ材料でなくとも構わない。
【００１７】また、貫通孔や切り欠けの形状はそれぞれ
一例のみ示したが、どのような形状でもよく、導通が確
実にとれる範囲で小さい方が圧電特性は向上する。
一例のみ示したが、どのような形状でもよく、導通が確
実にとれる範囲で小さい方が圧電特性は向上する。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の積層圧電
体素子は、積層された圧電体層のそれぞれの電極を外部
へ導くため、個々の圧電体層に一方は電極を、他方は電
極レスの絶縁部を外周に有した切り欠け又は貫通孔等の
導通部を設け、この導通部が交互に積層されて構成され
た導通スペースに導電材料を充填し、内部電極と上下面
に設けられた外部電極との導通をさせる構成としたこと
により、容易に且つ確実に内部電極を積層圧電体素子の
上下外部電極に導くことができる。また側面で内部電極
の接続を図るためには、比較的厚膜の側面外部電極が必
要であり、導通も不確実であるとともに、厚膜による外
観の突起による実装による不安定も生じるが、本発明は
側面外部電極が不要なことからこのような問題は解消さ
れ、信頼性の高い積層圧電体素子が実現できるものであ
る。
体素子は、積層された圧電体層のそれぞれの電極を外部
へ導くため、個々の圧電体層に一方は電極を、他方は電
極レスの絶縁部を外周に有した切り欠け又は貫通孔等の
導通部を設け、この導通部が交互に積層されて構成され
た導通スペースに導電材料を充填し、内部電極と上下面
に設けられた外部電極との導通をさせる構成としたこと
により、容易に且つ確実に内部電極を積層圧電体素子の
上下外部電極に導くことができる。また側面で内部電極
の接続を図るためには、比較的厚膜の側面外部電極が必
要であり、導通も不確実であるとともに、厚膜による外
観の突起による実装による不安定も生じるが、本発明は
側面外部電極が不要なことからこのような問題は解消さ
れ、信頼性の高い積層圧電体素子が実現できるものであ
る。
【図１】本発明の実施の形態１における積層圧電体素子
の内部電極構造を示す断面図
の内部電極構造を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態１における積層圧電体素子
の積層体の分解斜視図
の積層体の分解斜視図
【図３】本発明の実施の形態２における積層圧電体素子
の内部電極構造を示す断面図
の内部電極構造を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態２における積層圧電体素子
の積層体の分解斜視図
の積層体の分解斜視図
【図５】従来の積層圧電体素子の内部電極を示す構造断
面図
面図
６ 圧電体層 ７ 導通部 ８ 電極 ９ 導通スペース １０ 導電材料 １１ 外部電極
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも２つの貫通孔を有する圧電体
層と内部電極とを少なくとも１つの前記貫通孔の外周に
絶縁部を有するように交互に積層した積層体と、前記貫
通孔に充填した導電材料と、前記積層体の上、下面に設
けた外部電極とを備え、前記内部電極は前記導電材料を
介して前記外部電極に接続された積層圧電体素子。 - 【請求項２】 外周に絶縁部を有する貫通孔は他の貫通
孔よりも大きい請求項１に記載の積層圧電体素子。 - 【請求項３】 端部に少なくとも２つの切り欠けを有す
る圧電体層と内部電極とを少なくとも１つの前記切り欠
けの外周に絶縁部を有するように交互に積層した積層体
と、前記切り欠け部に充填した導電材料と、前記積層体
の上、下面に設けた外部電極とを備え、前記内部電極は
前記導電材料を介して前記外部電極に接続された積層圧
電体素子。 - 【請求項４】 外周に絶縁部を有する切り欠けは他の切
り欠けよりも大きい請求項３に記載の積層圧電体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7315045A JPH09162450A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 積層圧電体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7315045A JPH09162450A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 積層圧電体素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162450A true JPH09162450A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18060772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7315045A Pending JPH09162450A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 積層圧電体素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162450A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631981B2 (en) * | 2000-07-06 | 2003-10-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator of ink jet printer head |
| EP1393906A1 (en) * | 2002-08-29 | 2004-03-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head having laminated piezoelectric actuator |
| EP0987773A3 (en) * | 1998-09-17 | 2004-07-07 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit, manufacturing method thereof,and ink jet recording head incorporating the same |
| JP2005044927A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータ及びその製造方法並びに液体吐出装置 |
| WO2005069393A1 (de) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung |
| JP2006303466A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-11-02 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、液体移送装置及び圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2008211047A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Canon Inc | 圧電素子およびその製造方法、振動板ならびに振動波駆動装置 |
| JP2009206789A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Terumo Corp | 超音波探触子及びその製造方法 |
| KR20110053821A (ko) * | 2009-11-16 | 2011-05-24 | 삼성전자주식회사 | 전기활성 폴리머 엑츄에이터 및 그 제조방법 |
| KR101408740B1 (ko) * | 2007-05-14 | 2014-06-18 | 삼성전자주식회사 | 전기 활성 엑츄에이터 및 그 제조 방법 |
| JP2015170848A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 圧電素子及びこれを含む圧電振動子 |
-
1995
- 1995-12-04 JP JP7315045A patent/JPH09162450A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1679750A3 (en) * | 1998-09-17 | 2007-11-07 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit and ink jet recording head incorporating the same |
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| JP2015170848A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 圧電素子及びこれを含む圧電振動子 |
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