JP2003311958A - インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、および、インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 印字不良や製造歩留まり悪化の原因となる部
材の反りを緩和する。 【解決手段】 インクジェットヘッドは、圧力室１０を
含むインク流路３２が形成された流路ユニット４と、圧
力室１０内のインクに圧力を与えるアクチュエータユニ
ット２１とが貼り合わされたヘッド本体１ａを有する。
流路ユニット４は、インク吐出口８がノズルプレート３
０を含むノズルプレートユニット、及び、ノズルプレー
ト３０以外のプレート２２〜２９を含むメインユニット
との２つのユニットからなる。流路ユニット４における
ノズルプレートユニットおよびアクチュエータユニット
２１は共に圧電セラミック、流路ユニット４におけるメ
インユニットは圧電セラミックよりも線膨張係数の大き
いステンレスからなる。アクチュエータユニット２１、
流路ユニット４のメインユニット、およびノズルプレー
トユニットはそれぞれ加熱状態で貼り合わされて互いに
固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体にインク
を吐出して印刷を行うインクジェットヘッド、インクジ
ェットヘッドの製造方法、および、インクジェットヘッ
ドを有するインクジェットプリンタに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタにおいて、イン
クジェットヘッドは、インクタンクから供給されたイン
クを複数の圧力室に分配する。そしてシート状の圧電セ
ラミックからなるアクチュエータユニットなどによって
圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与して圧力波を発
生させることにより、各圧力室に接続するノズルからイ
ンクを吐出する。このようなヘッドを用紙の幅方向に高
速で往復移動させながら、印字作業が行われる。

【０００３】従来のインクジェットヘッドにおいて、圧
力室やインク流路は、圧電セラミックにダイヤモンドカ
ッターなどで切削加工を施すことにより形成されてい
る。各圧力室に対応するアクチュエータユニットの上に
は金属薄膜からなる駆動電極が設けられている。一方、
圧力室の下側にあるインク流路の表面には合成樹脂フィ
ルムからなり多数のインク吐出口が形成されたノズルプ
レートが設けられている。

【０００４】しかし、上記のような従来のインクジェッ
トヘッドでは、ヘッド本体が圧電セラミックで構成され
るため材料コストが高くなる。またさらに、ダイヤモン
ドカッターなどで切削加工を行うため製造コストも高く
なる。

【０００５】上記コスト問題を解決するものとして、比
較的安価で加工が容易な金属プレートを用いて１次元的
に配列した圧力室やインク流路を形成した流路ユニット
と、複数の圧力室に跨った圧電セラミックの連続平板状
層を用いたアクチュエータユニットとを互いに固定させ
て構成されたインクジェットヘッドが知られている（特
許文献１参照）。このように流路ユニットを構成する材
料として安価な金属プレートを用いる場合、材料コスト
を抑えることができる。また、金属プレートは圧電セラ
ミックに比べて加工が容易で、エッチングなどで微細な
肉抜きを多数施すことができるにもかかわらず、製造コ
ストを抑えることができる。

【０００６】

【特許文献１】特開２００２−１９１０２号公報 （第
４頁、図１）

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ここで金属と圧電セラ
ミックという異種材料を固定するには、貼り合わせ作業
がしやすい常温硬化型接着剤を用いるのが好ましいが、
接着強度および耐インク性を十分確保するには、加熱硬
化型接着剤を用い、加熱状態で両者を貼り合わせる必要
がある。このように加熱状態で貼り合わせる場合、金属
と圧電セラミックとでは線膨張係数の差が大きいため、
常温に戻ったときに線膨張係数の大きな流路ユニットが
アクチュエータユニットよりも面方向において大きく収
縮しようとする。そのため、インクジェットヘッド全体
としては、アクチュエータユニットに向かって凸となる
反りが発生する。そしてこの反りが印字不良や製造歩留
まり悪化の原因となる。

【０００８】そこで、本発明の目的は、印字不良や製造
歩留まり悪化の原因となる反りを緩和できるインクジェ
ットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、およ
び、インクジェットヘッドを有するインクジェットプリ
ンタを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の観点によると、ノズルが形成された
ノズルプレートを含むノズルプレートユニット、およ
び、ノズルプレートユニットに積層方向に固定され、一
端をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且
つ平面に沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有
するメインユニットからなる流路ユニットと、流路ユニ
ットにおけるメインユニットのノズルプレートユニット
とは反対側に固定された、圧力室の容積を変化させるた
めのアクチュエータユニットとを備えており、アクチュ
エータユニットを構成する材料の線膨張係数がメインユ
ニットを構成する材料の線膨張係数よりも小さく、且
つ、ノズルプレートユニットを構成する材料の線膨張係
数がメインユニットを構成する材料の線膨張係数よりも
小さいことを特徴とするインクジェットヘッドが提供さ
れる（請求項１）。

【００１０】また、本発明の第２の観点によると、ノズ
ルが形成されたノズルプレートを含むノズルプレートユ
ニット、および、一端をノズルに他端をインク供給源に
それぞれ接続され且つ平面に沿って相互に隣接配置され
た複数の圧力室を有するメインユニットからなる流路ユ
ニットと、圧力室の容積を変化させるためのアクチュエ
ータユニットとを含んだインクジェットヘッドの製造方
法において、ノズルプレートユニットと、ノズルプレー
トユニットを構成する材料よりも線膨張係数が大きい材
料から構成されたメインユニットとを加熱状態で積層方
向に固定する工程と、メインユニットを構成する材料よ
りも線膨張係数が小さい材料から構成されたアクチュエ
ータユニットを、加熱状態で流路ユニットにおけるメイ
ンユニットのノズルプレートユニットとは反対側に固定
する工程とを備えていることを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法が提供される（請求項１３）。

【００１１】上記構成によると、流路ユニットにおける
メインユニットの両面に、それよりも共に線膨張係数の
小さい材料から構成されたノズルプレートユニットとア
クチュエータユニットとを固定することで、加熱状態で
固定する場合でも部材全体としての反りが緩和される。
また、反りが緩和されることで、印字不良や製造歩留ま
り悪化の問題を軽減できる。

【００１２】なお、ノズルプレートユニットとは、流路
ユニットにおいてアクチュエータユニットが貼り合わさ
れる反対側の、最下層にあるノズルプレート１枚、又
は、ノズルプレートに加えてこれに隣接した１又は複数
のプレートを含んだものをいう。

【００１３】また、ノズルプレートユニットを構成する
材料の線膨張係数が、アクチュエータユニットを構成す
る材料の線膨張係数と実質的に同一であることが好まし
い（請求項２）。

【００１４】上記構成によると、流路ユニットにおける
メインユニットが、実質的に同一の線膨張係数を有する
ノズルプレートユニットとアクチュエータユニットとで
挟まれることになり、線膨張係数の差を発生の要因とす
る反りをより効果的に緩和することができる。したがっ
て、印字不良や製造歩留まり悪化の問題をより確実に軽
減することができる。

【００１５】またさらに、ノズルプレートユニットを構
成する材料とアクチュエータユニットを構成する材料と
が同一であること好ましい（請求項３）。

【００１６】上記構成のようにノズルプレートユニット
とアクチュエータユニットとを同一材料から構成するこ
とで、２部材間の線膨張係数の差をほとんどなくして反
りをより効果的に緩和することができる。したがって、
印字不良や製造歩留まり悪化の問題をより確実に軽減す
ることができる。

【００１７】また、ノズルプレートユニットが、窒化珪
素、炭化珪素および４２合金からなる群より選択された
少なくとも１つの材料から構成されていることが好まし
い（請求項４）。

【００１８】上記はより実際に即した構成であり、ノズ
ルプレートユニットに含まれるプレートに要する耐久性
・耐熱性を考慮したものとなる。

【００１９】また、本発明の第３の観点によると、一端
をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ
平面に沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有す
る流路ユニットと、流路ユニットの表面に固定された、
圧力室の容積を変化させるためのアクチュエータユニッ
トと、アクチュエータユニットに対して流路ユニットと
は反対側に配置された支持部材とを備えており、流路ユ
ニットを構成する材料の線膨張係数が、アクチュエータ
ユニットを構成する材料の線膨張係数よりも大きく、且
つ、支持部材を構成する材料の線膨張係数が、アクチュ
エータユニットを構成する材料の線膨張係数よりも大き
いことを特徴とするインクジェットヘッドが提供される
（請求項５）。

【００２０】また、本発明の第４の観点によると、一端
をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ
平面に沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有す
る流路ユニットと、圧力室の容積を変化させるためのア
クチュエータユニットとを含んだインクジェットヘッド
の製造方法において、流路ユニットの表面に、流路ユニ
ットを構成する材料よりも線膨張係数が小さい材料から
構成されたアクチュエータユニットを加熱状態で固定す
る工程と、アクチュエータユニットを構成する材料より
も線膨張係数が大きい材料から構成された支持部材を、
アクチュエータユニットに対して流路ユニットとは反対
側に配置する工程とを備えていることを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法が提供される（請求項１
４）。

【００２１】上記構成によると、アクチュエータユニッ
トの一面にそれよりも線膨張係数の大きい材料から構成
された流路ユニットを加熱状態で固定する共に、アクチ
ュエータユニットの他面にそれよりも線膨張係数の大き
い材料から構成された支持部材を配置することで、部材
全体としての反りが緩和される。また、反りが緩和され
ることで、印字不良や製造歩留まり悪化の問題を軽減で
きる。

【００２２】なお、アクチュエータユニットと支持部材
とは貼り合わされていてもよいし、貼り合わされていな
くてもよい。また、支持部材とアクチュエータユニット
とは接触していてもよいし、隔離されていてもよい。

【００２３】また、支持部材がアクチュエータユニット
に固定されておらず、支持部材と流路ユニットとが流路
ユニットのアクチュエータユニットが固定されていない
領域において固定されてよい（請求項６）。

【００２４】上記構成によると、支持部材と流路ユニッ
トとを固定させてアクチュエータユニットを挟むこと
で、支持部材と流路ユニットとが互いをダイレクトに支
え合うようになって、流路ユニットおよびアクチュエー
タユニットの反りが緩和される。したがって、印字不良
や製造歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【００２５】また、支持部材がアクチュエータユニット
に固定されてよい（請求項７）。

【００２６】上記構成によると、支持部材とアクチュエ
ータユニットとが固定されることで、支持部材とアクチ
ュエータユニットとの結合がより強くなって、流路ユニ
ットおよびアクチュエータユニットの反りがより効果的
に緩和される。したがって、印字不良や製造歩留まり悪
化の問題をより確実に軽減できる。

【００２７】また、本発明の第５の観点によると、一端
をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ
平面に沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有す
る流路ユニットと、流路ユニットの表面に千鳥状に固定
された、圧力室の容積を変化させるためのアクチュエー
タユニットと、アクチュエータユニットに対して流路ユ
ニットとは反対側に配置され且つ流路ユニットのアクチ
ュエータユニットが固定されていない領域において流路
ユニットの表面に固定される千鳥状に配置された複数の
固定部を有する支持部材とを備え、流路ユニットの表面
において、支持部材の固定部とアクチュエータユニット
とが互いに隣接配置されており、流路ユニットを構成す
る材料の線膨張係数がアクチュエータユニットを構成す
る材料の線膨張係数よりも大きく、且つ、支持部材を構
成する材料の線膨張係数がアクチュエータユニットを構
成する材料の線膨張係数よりも大きいことを特徴とする
インクジェットヘッドが提供される（請求項８）。

【００２８】また、本発明の第６の観点によると、一端
をノズルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ
平面に沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有す
る流路ユニットと、圧力室の容積を変化させるためのア
クチュエータユニットと、アクチュエータユニットに対
して流路ユニットと反対側に配置された支持部材とを含
んだインクジェットヘッドの製造方法において、流路ユ
ニットを構成する材料よりも線膨張係数が小さい材料か
ら構成された複数のアクチュエータユニットを、流路ユ
ニットの表面に千鳥状に配置されるように、加熱状態で
固定する工程と、アクチュエータユニットを構成する材
料よりも線膨張係数が大きい材料から構成された支持部
材を、流路ユニットのアクチュエータユニットが固定さ
れていない領域において流路ユニットの表面に対する複
数の固定部が千鳥状に配置されるように固定する工程と
を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法が提供される（請求項１５）。

【００２９】上記構成によると、アクチュエータユニッ
トと支持部材の流路ユニットの表面に対する固定部と
を、流路ユニットの表面において互い違いになるよう千
鳥状に固定することによって、流路ユニットとアクチュ
エータユニットとの線膨張係数の違いに起因する反りが
より効果的に緩和される。流路ユニットよりもアクチュ
エータユニットの方が線膨張係数が小さいことから、流
路ユニットの表面内でアクチュエータユニットが固定さ
れた部分には、アクチュエータユニットに向かって凸と
なる反りが発生する。例えば流路ユニットの表面にその
長手方向に一列にアクチュエータユニットが固定されて
いる場合、アクチュエータユニットが固定された長手方
向に沿った部分に集中的に、偏った状態で反りが発生し
てしまうことになる。そのため、支持部材を流路ユニッ
トのアクチュエータユニットが固定されていない領域に
固定しても、このような反りの偏りは十分に緩和されな
い。これに対し、アクチュエータユニットを流路ユニッ
トの表面に千鳥状に固定し、且つ、流路ユニットのアク
チュエータユニットが固定されていない領域に、アクチ
ュエータユニットより線膨張係数が大きい支持部材を、
流路ユニットの表面に対する複数の固定部が千鳥状に配
置されるように固定する場合は、流路ユニット表面全体
において反りの偏りがないので、反りを効果的に緩和す
ることができる。また、反りが緩和されることで、印字
不良や製造歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【００３０】また、流路ユニットを構成する材料の線膨
張係数が、支持部材を構成する材料の線膨張係数と実質
的に同一であることが好ましい（請求項９）。

【００３１】上記構成によると、アクチュエータユニッ
トを挟む流路ユニットと支持部材とが実質的に同一の線
膨張係数を有することで、線膨張係数の差を発生の要因
とする反りがより効果的に緩和される。したがって、印
字不良や製造歩留まり悪化の問題をより確実に軽減する
ことができる。

【００３２】また、流路ユニットを構成する材料と支持
部材を構成する材料とが同一であることが好ましい（請
求項１０）。

【００３３】上記構成のようにアクチュエータユニット
を挟む流路ユニットと支持部材とを同一材料から構成す
ることにより、２部材間の線膨張係数の差をほとんどな
くして反りをより効果的に緩和することができる。した
がって、印字不良や製造歩留まり悪化の問題をより確実
に軽減することができる。

【００３４】また、アクチュエータユニットが圧電セラ
ミックから構成されており、流路ユニットおよび支持部
材がステンレス、チタン、ジルコニアセラミックおよび
アルミナセラミックからなる群より選択された少なくと
も１つの材料から構成されていることことが好ましい
（請求項１１）。

【００３５】上記はより実際に即した構成であり、それ
ぞれを構成する材料が耐久性・耐熱性を考慮したものと
なる。

【００３６】また、流路ユニットにインクを供給するた
めのインク流路が支持部材内に形成されていることが好
ましい（請求項１２）。

【００３７】インクジェットヘッドが長尺になるとイン
クの流路抵抗が大きくなるが、上記構成のように支持部
材内にインク流路を形成することで流路抵抗を小さく
し、インク供給を円滑に行うことができる。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図面を参照しつつ説明する。

【００３９】図１は、本発明の第１の実施の形態による
インクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの
概略図である。図１に示すインクジェットプリンタ１０
１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーイ
ンクジェットプリンタである。このプリンタ１０１に
は、図中左方に給紙部１１１が、図中右方に排紙部１１
２が、それぞれ構成されている。

【００４０】プリンタ１内部には、給紙部１１１から排
紙部１１２に向かって用紙が搬送される用紙搬送経路が
形成されている。給紙部１１１のすぐ下流側には、画像
記録媒体たる用紙を挟持搬送する一対の送りローラ１０
５ａ、１０５ｂが配置されている。一対の送りローラ１
０５ａ、１０５ｂによって用紙は図中左方から右方へ送
られる。用紙搬送経路の中間部には、二つのベルトロー
ラ１０６、１０７と、両ローラ１０６、１０７間に架け
渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト１０
８とが配置されている。搬送ベルト１０８の外周面すな
わち搬送面にはシリコーン処理が施されており、一対の
送りローラ１０５ａ、１０５ｂによって搬送されてくる
用紙を、搬送ベルト１０８の搬送面にその粘着力により
保持させながら、一方のベルトローラ１０６の図中時計
回り（矢印１０４の方向）への回転駆動によって下流側
（右方）に向けて搬送できるようになっている。

【００４１】用紙のベルトローラ１０６に対する挿入及
び排出位置には、押さえ部材１０９ａ、１０９ｂがそれ
ぞれ配置されている。押さえ部材１０９ａ，１０９ｂ
は、搬送ベルト１０８上の用紙が搬送面から浮かないよ
うに、搬送ベルト１０８の搬送面に用紙を押し付けて搬
送面上に確実に粘着させるためのものである。

【００４２】用紙搬送経路に沿って搬送ベルト１０８の
すぐ下流側には、剥離機構１１０が設けられている。剥
離機構１１０は、搬送ベルト１０８の搬送面に粘着され
ている用紙を搬送面から剥離して、右方の排紙部１１２
へ向けて送るように構成されている。

【００４３】４つのインクジェットヘッド１は、その下
端にヘッド本体１ａ（後述するように、圧力室を含むイ
ンク流路が形成された流路ユニットと、圧力室内のイン
クに圧力を与えるアクチュエータユニットとが貼り合わ
されたものである）を有している。ヘッド本体１ａは、
それぞれが矩形断面を有しており、その長手方向が用紙
搬送方向に垂直な方向（図１の紙面垂直方向）となるよ
うに互いに近接配置されている。つまり、このプリンタ
１０１は、ライン式プリンタである。４つのヘッド本体
１ａの各底面は用紙搬送経路に対向しており、これら底
面には微小径を有する多数のインク吐出口が形成された
ノズルが設けられている。４つのヘッド本体１ａのそれ
ぞれからは、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックの
インクが吐出される。

【００４４】ヘッド本体１ａは、その下面と搬送ベルト
１０８の搬送面との間に少量の隙間が形成されるように
配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成さ
れている。この構成で、搬送ベルト１０８上を搬送され
る用紙が４つのヘッド本体１ａのすぐ下方側を順に通過
する際、この用紙の上面すなわち印刷面に向けてノズル
から各色のインクが噴射されることで、用紙上に所望の
カラー画像を形成できるようになっている。

【００４５】インクジェットプリンタ１０１は、インク
ジェットヘッド１に対するメンテナンスを自動的に行う
ためのメンテナンスユニット１１７を有している。この
メンテナンスユニット１１７には、４つのヘッド本体１
ａの下面を覆うための４つのキャップ１１６や、図示せ
ぬパージ機構などが設けられている。

【００４６】メンテナンスユニット１１７は、インクジ
ェットプリンタ１０１で印刷が行われているときには、
給紙部１１１の直下方の位置（退避位置）に位置してい
る。そして、印刷終了後に所定の条件が満たされたとき
（例えば、印刷動作が行われない状態が所定の時間だけ
継続したときや、プリンタ１０１の電源ＯＦＦ操作がさ
れたとき）は、４つのヘッド本体１ａの直ぐ下方の位置
に移動して、この位置（キャップ位置）にて、キャップ
１１６によってヘッド本体１ａの下面をそれぞれ覆い、
ヘッド本体１ａのノズル部分のインクの乾燥を防止する
ようになっている。

【００４７】ベルトローラ１０６、１０７や搬送ベルト
１０８は、シャーシ１１３によって支持されている。シ
ャーシ１１３は、その下方に配置された円筒部材１１５
上に載置されている。円筒部材１１５は、その中心から
外れた位置に取り付けられた軸１１４を中心として回転
可能となっている。そのため、軸１１４の回転に伴って
円筒部材１１５の上端高さが変化すると、それに合わせ
てシャーシ１１３が昇降する。メンテナンスユニット１
１７を退避位置からキャップ位置に移動させる際には、
予め円筒部材１１５を適宜の角度回転させてシャーシ１
１３、搬送ベルト１０８及びベルトローラ１０６、１０
７を図１に示す位置から適宜の距離だけ下降させ、メン
テナンスユニット１１７の移動のためのスペースを確保
しておく必要がある。

【００４８】搬送ベルト１０８によって囲まれた領域内
には、インクジェットヘッド１と対向する位置、つまり
上側にある搬送ベルト１０８の下面と接触することによ
って内周側からこれを支持するほぼ直方体形状（搬送ベ
ルト１０８と同程度の幅を有している）のガイド１２１
が配置されている。

【００４９】次に、本実施の形態によるインクジェット
ヘッド１の構造について、より詳細に説明する。図２
は、インクジェットヘッド１の斜視図である。図３は、
図２のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。図２及び図
３に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘ
ッド１は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形
状を有するヘッド本体１ａと、ヘッド本体１ａを支持す
るための基部７１とを有している。基部７１は、ヘッド
本体１ａのほかに、個別電極３５ａ、３５ｂ（図１１
（ａ）参照）などに駆動信号を供給するドライバＩＣ８
０および基板８１を支持している。

【００５０】基部７１は、図２に示すように、ヘッド本
体１ａの上面と部分的に接着されることでヘッド本体１
ａを支持するベースブロック７５と、ベースブロック７
５の上面と接着されることでベースブロック７５を保持
するホルダ７２とから構成されている。ベースブロック
７５は、ヘッド本体１ａの長尺方向長さとほぼ同じ長さ
を有する略直方体形状の部材である。ステンレスなどの
金属材料からなるベースブロック７５は、ホルダ７２を
補強する軽量の構造体としての機能を有している。ホル
ダ７２は、ヘッド本体１ａ側に配置されるホルダ本体７
３と、ホルダ本体７３からヘッド本体１ａとは反対側に
延在した一対のホルダ支持部７４とから構成されてい
る。一対のホルダ支持部７４は、いずれも平板状の部材
であって、ホルダ本体７３の長尺方向に沿って所定の間
隔を隔てて互いに平行に設けられている。

【００５１】ホルダ本体７３の副走査方向（主走査方向
と直交する方向）両端部には、下方に突出した一対のス
カート部７３ａが設けられている。ここで、一対のスカ
ート部７３ａは、いずれもホルダ本体７３の長尺方向全
幅にわたって形成されているため、ホルダ本体７３の下
面には、一対のスカート部７３ａによって略直方体形状
の溝部７３ｂが形成されている。この溝部７３ｂ内に、
ベースブロック７５が収納されている。ベースブロック
７５の上面と、ホルダ本体７３の溝部７３ｂの底面と
は、接着剤などによって接着されている。ベースブロッ
ク７５の厚さは、ホルダ本体７３の溝部７３ｂの深さよ
りも若干大きいため、ベースブロック７５の下端部は、
スカート部７３ａよりも下方に飛び出している。

【００５２】ベースブロック７５の内部には、ヘッド本
体１ａに供給されるインクの流路として、その長尺方向
に延在する２つの略直方体形状の空隙（中空領域）であ
るインク溜まり３が形成されている。これら２つのイン
ク溜まり３は、ベースブロック７５の長手方向に沿って
配置された隔壁７５ａを介することにより、ベースブロ
ック７５の長手方向に所定の間隔を隔てて互いに平行に
設けられている。図３においてベースブロック７５の下
面７５ｂの左側でインク溜まり３に対応する位置には、
インク溜まり３に連通した開口３ｂ（図５参照）が形成
されている。なお、インク溜まり３は、プリンタ本体内
の図示しないメインインクタンク（インク供給源）に、
図示しない供給チューブにより接続されている。そのた
め、インク溜まり３には、メインインクタンクから適宜
インクが補充されるようになっている。

【００５３】ベースブロック７５の下面７５ｂは、開口
３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。
ベースブロック７５下側に支持されているヘッド本体１
ａは、アクチュエータユニット２１と、その下面に接着
された流路ユニット４とを備えている。そして、ベース
ブロック７５は、下面７５ｂの開口３ｂ近傍部分７５ｃ
においてのみヘッド本体１ａの流路ユニット４（図３参
照）と接触している。そのため、ベースブロック７５の
下面７５ｂの開口３ｂ近傍部分７５ｃ以外の領域は、ヘ
ッド本体１ａから離隔しており、この離隔部分にアクチ
ュエータユニット２１が配されている。

【００５４】ホルダ７２のホルダ支持部７４の外側面に
は、スポンジなどの弾性部材８３を介してドライバＩＣ
８０が固定されている。ドライバＩＣ８０の外側面に
は、ヒートシンク８２が密着配置されている。ヒートシ
ンク８２は、略直方体形状の部材であって、ドライバＩ
Ｃ８０で発生する熱を効率的に散逸させる。ドライバＩ
Ｃ８０には、給電部材であるフレキシブルプリント配線
板（ＦＰＣ）５０が接続されている。ドライバＩＣ８０
に接続されたＦＰＣ５０は、基板８１及びヘッド本体１
ａとハンダ付けによって電気的に接合されている。ドラ
イバＩＣ８０およびヒートシンク８２の上方であって、
ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒ
ートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒー
トシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシ
ール部材８４で接着されている。

【００５５】図３に描かれたヘッド本体の右側端部近傍
の拡大断面図である図４に示すように、ホルダ本体７３
のスカート部７３ａの下面と流路ユニット４の上面との
間には、ＦＰＣ５０を挟むようにシール部材８５が配置
されている。つまりＦＰＣ５０は、流路ユニット４およ
びホルダ本体７３に対してシール部材８５によって固定
されている。これにより、ヘッド本体１ａが長尺化した
場合の撓みの防止、アクチュエータユニット２１とＦＰ
Ｃ５０との接続部への応力印可の防止およびＦＰＣ５０
の確実な保持が可能となる。これにより、外部からＦＰ
Ｃ５０に力が加えられた場合でもＦＰＣ５０がアクチュ
エータユニット２１から剥がれにくく、アクチュエータ
ユニット２１とドライバＩＣ８０との電気的接続の信頼
性を向上させることができる。また、ヘッド本体１ａ全
体が撓むことによってアクチュエータユニット２１とＦ
ＰＣ５０との接着部に両者を剥離させようとする力が生
じる場合があるが、このような力を抑制することもでき
る。さらに、導電性インクが外部からアクチュエータユ
ニット２１とＦＰＣ５０との接着部に侵入するのも防止
されるため、両者の接続部の電気的な短絡を未然に防ぐ
ことができる。

【００５６】また、アクチュエータユニット２１の上面
側にはＦＰＣ５０が配置されており、ベースブロック７
５の開口３ｂ近傍における下面７５ｂからの突出高さ
は、アクチュエータユニット２１の下面からＦＰＣ５０
の上面までの厚さよりも大きくなっている。つまり、Ｆ
ＰＣ５０の上面とベースブロック７５の下面７５ｂとの
間に所定の間隙が形成されており、アクチュエータユニ
ット２１とＦＰＣ５０との接着部に外部から力が直接的
に加わるのが抑制されるようになっている。

【００５７】図２に示すように、インクジェットヘッド
１の主走査方向に沿った下方角部近傍には、インクジェ
ットヘッド１の側壁に沿って６つの凸設部３０ａが均等
に離隔配置されている。これらシート状部材は、ヘッド
本体１ａの最下層にあるノズルプレート３０（図８参
照）の副走査方向両端部に設けられた部分である。つま
り、ノズルプレート３０は、凸設部３０ａとそれ以外の
部分との境界線に沿って約９０度折り曲げられている。
凸設部３０ａは、プリンタ１０１において印刷に用いら
れる各種サイズの用紙の両端部付近に対応する位置に設
けられている。ノズルプレート３０の折り曲げ部分は直
角ではなく丸みを帯びた形状となっているため、ヘッド
１と近接する方向に搬送されてきた用紙の先端部がヘッ
ド１の側面と接触することで生じる用紙の詰まりすなわ
ちジャミングが起こりにくくなっている。

【００５８】図５は、ヘッド本体１ａの模式的な平面図
である。図５において、ベースブロック７５内に形成さ
れたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。図
５に示すように、ヘッド本体１ａは、一方向（主走査方
向）に延在した矩形平面形状をしている。ヘッド本体１
ａは、後述する多数の圧力室１０やノズル先端のインク
吐出口８（共に図６、図７、図８参照）が形成された流
路ユニット４を有しており、その上面には、千鳥状にな
って２列に配列された複数の台形のアクチュエータユニ
ット２１が接着されている。各アクチュエータユニット
２１は、その平行対向辺（上辺および下辺）が流路ユニ
ット４の長手方向に沿うように配置されている。そし
て、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士
が、流路ユニット４の幅方向にオーバーラップしてい
る。

【００５９】アクチュエータユニット２１の接着領域と
対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域とな
っている。インク吐出領域の表面には、後述するよう
に、多数のインク吐出口８がマトリクス状に配列されて
いる。また、流路ユニット４の上方に配置されたベース
ブロック７５内には、その長手方向に沿ってインク溜ま
り３が形成されている。インク溜まり３は、その一端に
設けられた開口３ａを介してインクタンク（図示せず）
に連通しており、常にインクで満たされている。インク
溜まり３には、その延在方向に沿って開口３ｂが２つず
つ対になって、アクチュエータユニット２１が設けられ
ていない領域に対応して千鳥状に設けられている。この
ように、インク溜まり３が流路ユニット４の長手方向に
沿って延在し且つ複数の開口３ｂが流路ユニット４の長
手方向に間隔を隔てて配置されることにより、ヘッド１
が長尺化した場合でも、インク溜まり３内のインクは、
流路抵抗を抑えながら流路ユニット４に対して安定して
供給される。

【００６０】図６は、図５内に描かれた一点鎖線で囲ま
れた領域の拡大図である。図５及び図６に示すように、
インク溜まり３は、開口３ｂを介してその下層にある流
路ユニット４内のマニホールド５と連通している。開口
３ｂには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するた
めのフィルタ（図示せず）が設けられている。マニホー
ルド５は、その先端部が２つに分岐して副マニホールド
５ａとなっている。１つのアクチュエータユニット２１
の下部には、当該アクチュエータユニット２１に対して
インクジェットヘッド１の長手方向両隣にある２つの開
口３ｂからそれぞれ２つの副マニホールド５ａが進入し
てきている。つまり、１つのアクチュエータユニット２
１の下部には、合計で４つの副マニホールド５ａがイン
クジェットヘッド１の長手方向に沿って延在している。
各副マニホールド５ａは、インク溜まり３から供給され
たインクで満たされている。

【００６１】図７は、図６内に描かれた一点鎖線で囲ま
れた領域の拡大図である。図６及び図７に示すように、
アクチュエータユニット２１の上面には、平面形状がほ
ぼひし形の個別電極３５ａがマトリクス状に規則的に配
列されていると共に、アクチュエータユニット２１の内
部であって、各個別電極３５ａと上下に重なる位置に
は、個別電極３５ａと同形状の個別電極３５ｂが配置さ
れている。また、流路ユニット４のアクチュエータユニ
ット２１に対応したインク吐出領域の表面には、多数の
インク吐出口８がマトリクス状に規則的に配列されてい
る。流路ユニット４内には、共に各インク吐出口８と連
通した、平面形状が個別電極３５ａ、３５ｂよりも一回
り大きいほぼひし形の圧力室１０と、アパーチャ１２と
がそれぞれマトリクス状に規則的に配列されている。圧
力室１０は、個別電極３５ａ、３５ｂと対応する位置に
形成されており、平面視において個別電極３５ａ、３５
ｂは圧力室１０に含まれている。なお、図６及び図７に
おいて、図面を分かりやすくするために、アクチュエー
タユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で
描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描い
ている。また、図７には、便宜上、アクチュエータユニ
ット２１の上面に配置されたＦＰＣ５０側に設けられた
給電パッド５５、６０（図１１（ａ），（ｂ）参照）が
描かれている。

【００６２】図６及び図７に示すように、アクチュエー
タユニット２１の上面外縁部付近には、それぞれが円形
を有する、周囲電極として多数の接地用電極３８が形成
されている。多数の接地用電極３８は、隣接するもの同
士の間隔がほぼ等間隔となるように離隔している。その
ため、アクチュエータユニット２１上面の個別電極３５
ａが形成された領域は、その全周にわたって多数の接地
用電極３８によって包囲されていることになる。

【００６３】図８は、図７に描かれたＩＩＩ−ＩＩＩ線
に沿った、図５に描かれたヘッド本体１ａ及びこの上面
に配置されたＦＰＣ５０の部分断面図である。各インク
吐出口８は、図８からも分かるように、先細形状のノズ
ルの先端に形成されている。また、圧力室１０と副マニ
ホールド５ａとの間には、アパーチャ１２が、圧力室１
０と同様に流路ユニット４の表面と実質的に平行に延在
している。このアパーチャ１２は、インクの流れを制限
することで適当な流路抵抗を付与してインク吐出の安定
化を図るためのものである。各インク吐出口８は、圧力
室１０（長さ９００μｍ、幅３５０μｍ）およびアパー
チャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。
このようにして、インクジェットヘッド１には、インク
タンクからインク溜まり３、マニホールド５、副マニホ
ールド５ａ、アパーチャ１２および圧力室１０を経てイ
ンク吐出口８に至るインク流路３２が形成されている。

【００６４】また、図８から明らかなように、圧力室１
０とアパーチャ１２とは異なる高さに設けられている。
これにより、図７に示すように、アクチュエータユニッ
ト２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニ
ット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパー
チャ１２及び副マニホールド５ａを、当該圧力室に隣接
する圧力室１０と平面視で互いに重なりを持つように配
置することが可能となっている。この結果、圧力室１０
同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな
占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画
像印刷が実現される。

【００６５】圧力室１０は、図６及び図７に描かれた平
面内において、インクジェットヘッド１の長手方向（第
１配列方向）と、インクジェットヘッド１の幅方向から
やや傾いた方向（第２配列方向）との２方向にインク吐
出領域内で配列されている。第１配列方向と第２配列方
向は、直角よりもやや小さい角度θをなしている。イン
ク吐出口８は、第１配列方向には５０ｄｐｉで配列され
ている。一方で、圧力室１０は、第２配列方向には１つ
のアクチュエータユニット２１に対応するインク吐出領
域内に１２個が含まれるように配列されている。これに
より、インクジェットヘッド１の全幅内で、第１配列方
向に隣接する２つのインク吐出口８間の距離だけ離隔し
た範囲には、１２個のインク吐出口８が存在するように
なっている。なお、各インク吐出領域の第１配列方向に
ついての両端部（アクチュエータユニット２１の斜辺に
相当する）では、インクジェットヘッド１の幅方向に対
向する別のアクチュエータユニット２１に対応するイン
ク吐出領域と相補関係となることで上記条件を満たして
いる。そのため、本実施の形態によるインクジェットヘ
ッド１では、第１および第２配列方向に配列された多数
のインク吐出口８から、インクジェットヘッド１の幅方
向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴
を吐出させることで、主走査方向に６００ｄｐｉで印刷
を行うことが可能になっている。

【００６６】次に、図９を参照して、流路ユニット４の
構造をより詳細に説明する。図９に示すように、圧力室
１０は、第１配列方向に所定の間隔である５０ｄｐｉで
列状に配列されている。このような圧力室１０の列は、
第２配列方向には１２列配列されて、全体として圧力室
１０は１つのアクチュエータユニット２１に対応したイ
ンク吐出領域内において２次元配列をしている。

【００６７】圧力室１０には、ノズルが図９中上側の鋭
角部に接続されている圧力室１０ａと、下側の鋭角部に
接続されている圧力室１０ｂとの２種類がある。複数の
圧力室１０ａ及び複数の圧力室１０ｂは、共に第１配列
方向に配列されて圧力室列１１ａ、１１ｂをそれぞれ形
成している。図９に示すように、１つのアクチュエータ
ユニット２１に対応したインク吐出領域内においては、
図９中下側から順に２列の圧力室列１１ａが配列され、
その上側に隣接して２列の圧力室列１１ｂが配列されて
いる。このような２列の圧力室列１１ａと２列の圧力室
列１１ｂとの合わせて４列の圧力室列を１組とした圧力
室列の組が、１つのアクチュエータユニット２１に対応
したインク吐出領域内において、下側から３回繰り返し
て配列されている。各圧力室列１１ａ、１１ｂ中の各圧
力室の上側鋭角部を結ぶ直線は、この圧力室列に上側か
ら隣接する圧力室列中の各圧力室の下側斜辺と交差して
いる。

【００６８】上述のように、図９の紙面に対して垂直な
方向から見て、圧力室１０に接続されたノズルの配置位
置が異なる第１の圧力室列１１ａと第２の圧力室列１１
ｂとを２列ずつ隣接して配列することにより、全体とし
て圧力室１０は規則正しく整列している。一方、ノズル
は、これら４列の圧力室列を１組とした圧力室列の組の
中において中央領域に集まって配列されることになる。
これにより、上述のように、４列の圧力室列を１組とし
て、下側から３回繰り返して圧力室列の組を配置した場
合、圧力室列の組と組との境界近傍領域、すなわち、こ
のような４列の圧力室列からなる組の両側には、ノズル
が存在しない領域が形成される。そして、そこに各圧力
室１０にインクを供給するための幅の広い副マニホール
ド５ａが延設されている。本案施の形態では、１つのア
クチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内
において、図中下側に１本、一番下側の圧力室列の組と
二番目の圧力室列の組との間に１本、一番上側の圧力室
列の組の両側に２本、合わせて４本の幅の広い副マニホ
ールド５ａが第１配列方向に延設されている。

【００６９】図９に示すように、インクを吐出するイン
ク吐出口８に連通するノズルは、第１配列方向には、こ
の方向に規則正しく並ぶ圧力室１０に対応して、５０ｄ
ｐｉの等間隔で配列されている。また、第１配列方向と
角度θで交差している第２配列方向にも１２個の圧力室
１０が規則正しく配列されているのとは異なり、これら
１２個の圧力室１０に対応した１２個のノズルは、上述
したように圧力室１０の上側の鋭角部に連通したものと
下側の鋭角部に連通したものとがあって、第２配列方向
に規則的に一定の間隔で配列されていない。

【００７０】他方、ノズルが圧力室１０の同じ側の鋭角
部に常に連通している場合には、ノズルも第２配列方向
の方向に規則的に一定の間隔で配列されることになる。
すなわち、この場合、ノズルは、図中下側から上側に１
圧力室列上がるごとに第１配列方向に印字時の解像度で
ある６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ変位するように配
列される。これに対して、本実施の形態では、２列の圧
力室列１１ａと２列の圧力室列１１ｂとの合わせて４列
の圧力室列を１組として、これが下側から３回繰り返し
て配列されているので、図中下側から上側に１圧力室列
上がるごとのノズル位置の第１配列方向への変位は常に
同じではない。

【００７１】本実施の形態によるインクジェットヘッド
１において、第１配列方向に５０ｄｐｉに相当する幅
（約５０８．０μｍ）を有し、この第１配列方向と直交
する方向に延在する帯状領域Ｒについて考える。この帯
状領域Ｒの中には、１２列の圧力室列の内の何れの列に
ついても、ノズルが１つしか存在していない。すなわ
ち、１つのアクチュエータユニット２１に対応したイン
ク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Ｒを
区画した場合、この帯状領域Ｒ内には、常に１２個のノ
ズルが分布している。そして、これら１２個の各ノズル
を第１配列方向に延びる直線上に射影した点の位置は、
印字時の解像度である６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ
離隔している。

【００７２】１つの帯状領域Ｒに属する１２個のノズル
を第１配列方向に延びる直線上に射影した位置が左にあ
るものから順に、これら１２個のノズルを（１）〜（１
２）と記することにしたとき、これら１２個のノズル
は、下から、（１）、（７）、（２）、（８）、
（５）、（１１）、（６）、（１２）、（９）、
（３）、（１０）、（４）の順番に並んでいる。

【００７３】このように構成された本実施の形態による
インクジェットヘッド１において、アクチュエータユニ
ット２１内の活性層を適宜駆動させると、６００ｄｐｉ
の解像度を有する文字や図形等を描画することができ
る。つまり、１２列の圧力室列に対応した活性層を印字
媒体の搬送に合わせて順次選択的に駆動することで、特
定の文字や図形を印字媒体に印刷することができる。

【００７４】例えば、６００ｄｐｉの解像度で第１配列
方向に延びる直線を印字する場合について説明する。ま
ず、ノズルが圧力室１０の同じ側の鋭角部に連通してい
る場合について簡単に説明する。この場合には、印字蝶
体が搬送されるのに対応して、図９中一番下に位置する
圧力室列中のノズルからインクの吐出を始め、順次上側
に隣接する圧力室列に属するノズルを選択してインクを
吐出する。これにより、インクのドットが第１配列方向
に向かって６００ｄｐｉの間隔で隣接しながら形成され
ていく。最終的には、全体で６００ｄｐｉの解像度で第
１配列方向に延びる直線が描かれることになる。

【００７５】一方、本案施の形態では、図９中一番下に
位置する圧力室列１１ａ中のノズルからインクの吐出を
始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接
する圧力室に連通するノズルを選択してインクを吐出し
ていく。このとき、下側から上側に１圧力室列上がるご
とのノズル位置の第１配列方向への変位が常に同じでな
いので、印字媒体が搬送されるのに伴って第１配列方向
に沿って順次形成されるインクのドットは、６００ｄｐ
ｉの間隔で等間隔にはならない。

【００７６】すなわち、図９に示したように、印字媒体
が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列
１１ａに連通するノズル（１）からインクが吐出され、
印字媒体上に５０ｄｐｉに相当する間隔（約５０８．０
μｍ）でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬
送に伴って、直線の形成位置が下から２番目の圧力室列
１１ａに連通するノズル（７）の位置に達すると、この
ノズル（７）からインクが吐出される。これにより、始
めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する
間隔分（約４２．３μｍ）の６倍だけ第１配列方向に変
位した位置（約４２．３μｍ×６＝約２５４．０μｍ）
に２番目のインクドットが形成される。

【００７７】次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形
成位置が下から３番目の圧力室列１１ｂに連通するノズ
ル（２）の位置に達すると、ノズル（２）からインクが
吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置
から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．３μｍ）
だけ第１配列方向に変位した位置に３番目のインクドッ
トが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直
線の形成位置が下から４番目の圧力室列１１ｂに連通す
るノズル（８）の位置に達すると、ノズル（８）からイ
ンクが吐出される。これにより、始めに形成されたドッ
トの位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．
３μｍ）の７倍だけ第１配列方向に変位した位置（約４
２．３μｍ×７＝約２９６．３μｍ）に４番目のインク
ドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴っ
て、直線の形成位置が下から５番目の圧力室列１１ａに
連通するノズル（５）の位置に達すると、ノズル（５）
からインクが吐出される。これにより、始めに形成され
たドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４
２．３μｍ）の４倍だけ第１配列方向に変位した位置
（約４２．３μｍ×４＝約１６９．３μｍ）に５番目の
インクドットが形成される。

【００７８】以下同様にして、順次図中下側から上側に
位置する圧力室１０に連通するノズルを選択しながらイ
ンクドットが形成されていく。このとき、図９中に示し
たノズルの番号をＮとすると、（倍率ｎ＝Ｎ−１）×
（６００ｄｐｉに相当する間隔）に相当する分だけ、始
めに形成されたドット位置から第１配列方向に変位した
位置にインクドットが形成される。最終的に１２個のノ
ズルを選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列
１１ａ中のノズル（１）により５０ｄｐｉに相当する間
隔（約５０８．０μｍ）で形成されたインクドットの間
が６００ｄｐｉに相当する間隔（約４２．３μｍ）毎に
離れて形成された１２個のドットで繋げられ、全体で６
００ｄｐｉの解像度で第１配列方向に延びる直線を描く
ことが可能になっている。

【００７９】図１０は、図５に描かれたヘッド本体１ａ
及びこの上面に配置されたＦＰＣ５０の部分分解斜視図
である。図８及び図１０に示すように、インクジェット
ヘッド１の底部側の要部は、上から、ＦＰＣ５０、アク
チュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベ
ースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライ
プレート２５、マニホールドプレート２６，２７，２
８、カバープレート２９およびノズルプレート３０の合
計１１枚のシート材が積層された積層構造を有してい
る。これらのうち、ＦＰＣ５０およびアクチュエータユ
ニット２１を除いた９枚のプレート２２〜３０から、流
路ユニット４が構成されている。流路ユニット４は、こ
れを構成するプレート２２〜３０の材料の違いから、ノ
ズルプレート３０を含むノズルプレートユニット、及
び、ノズルプレート３０を含まないメインユニットとの
２つのユニットからなる。

【００８０】アクチュエータユニット２１は、後で詳述
するように、５枚の圧電シートが積層され且つ電極が配
されることによってそのうちの３層が電界印加時に活性
層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を含む
層」と称する）とされ残り２層が非活性層とされたもの
である。流路ユニット４のメインユニットを構成する８
枚のプレート２２〜２９のうち、キャビティプレート２
２は、圧力室１０に対応するほぼ菱形の開口が多数設け
られた金属プレートである。ベースプレート２３は、キ
ャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧
力室１０とアパーチャ１２との連絡孔および圧力室１０
からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金
属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビ
ティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパー
チャ１２のほかに圧力室１０からインク吐出口８への連
絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプラ
イプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧
力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５
ａとの連絡孔および圧力室１０からインク吐出口８への
連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニ
ホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド
５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室
１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡
孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープ
レート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室
１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡
孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

【００８１】本実施の形態において、流路ユニット４の
メインユニットを構成するアクチュエータユニット２１
側の８枚のプレート２２〜２９は、共に線膨張係数が略
１６．０×１０^-6（／℃）であるステンレスからなって
いる。ここで線膨張係数が略１６．０×１０^-6（／℃）
であるステンレスとしては、具体的にＳＵＳ３１６が挙
げられる。また他にもＳＵＳ４３０（線膨張係数：略１
０．４×１０^-6（／℃））やＳＵＳ３０４（線膨張係
数：略１７．３×１０^-6（／℃））なども使用可能であ
る。

【００８２】一方、最下層にあって、流路ユニット４の
ノズルプレートユニットを構成するノズルプレート３０
は、線膨張係数が略３．０×１０^-6（／℃）のチタン酸
ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系の圧電セラミックからなって
いる。つまり、流路ユニット４は、線膨張係数の異なる
２種類のプレート（ノズルプレート３０およびその他の
金属プレート２２〜２９）から構成されている。ノズル
プレート３０には、キャビティプレート２２の１つの圧
力室１０について、ノズルの先端を構成する先細形状の
孔がそれぞれ形成されており、各孔の下側の開口がイン
ク吐出口８となっている（図８参照）。

【００８３】これら１０枚のプレート２１〜３０は、図
８に示すようなインク流路３２が形成されるように、互
いに位置合わせして積層される。このインク流路３２
は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパー
チャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に
向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それか
らしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に
向かってから垂直下方にインク吐出口８へと向かう。な
お、ＦＰＣ５０は、アクチュエータユニット２１に配さ
れた電極に対して位置合わせして積層されている。

【００８４】次に、アクチュエータユニット２１の構造
及びこれとＦＰＣ５０との接続について説明する。図１
１（ａ）は、図７に描かれたＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿っ
た、ＦＰＣ５０が上面側に配置されたアクチュエータユ
ニット２１の断面図であって、図８内に描かれた一点鎖
線で囲まれた領域の拡大断面図である。図１１（ｂ）
は、図７に描かれたＩＶ−ＩＶ線に沿った、ＦＰＣ５０
が上面側に配置されたアクチュエータユニット２１の断
面図である。図１１（ｃ）は、図１１（ａ）の一点鎖線
で描かれた丸枠内拡大図である。図１１（ｄ）は、図１
１（ｂ）の一点鎖線で描かれた丸枠内拡大図である。

【００８５】図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すよう
に、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１
５μｍ程度で同じになるように形成された５枚の圧電シ
ート４１，４２，４３，４４，４５を含んでいる。これ
ら圧電シート４１〜４５は、インクジェットヘッド１内
の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１
０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続
平板層）となっている。これにより、圧電シートの機械
的剛性を高く保つことができ、さらにインクジェットヘ
ッド１におけるインク吐出性能の応答性を高めることが
できるようになっている。また、圧電シート４１〜４５
が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置され
ることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることによ
り、個別電極３５ａ、３５ｂを高密度に配置することが
可能となっている。そのため、個別電極３５ａ、３５ｂ
に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配
置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができ
るようになる。

【００８６】本実施の形態において、圧電シート４１〜
４５は、共に強誘電性を有し、線膨張係数が略３．０×
１０^-6（／℃）のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系の
圧電セラミックからなっている。つまりアクチュエータ
ユニット２１は、上述した流路ユニット４の最下層にあ
るノズルプレート３０と同一材料からなるものである。

【００８７】アクチュエータユニット２１の最上層にあ
る圧電シート４１とその下方に隣接した圧電シート４２
との間には、厚み２μｍ程度の共通電極３４ａが介在し
ている。共通電極３４ａは、１つのアクチュエータユニ
ット２１内のほぼ全域にわたって延在した１枚の導電シ
ートである。同様に、圧電シート４２の下方に隣接した
圧電シート４３とその下方に隣接した圧電シート４４と
の間にも、共通電極３４ａと同様の形状を有する厚み２
μｍ程度の共通電極３４ｂが介在している。

【００８８】なお、共通電極３４ａ、３４ｂは、積層方
向への射影領域が圧力室領域を含むように圧力室１０よ
りも大きいものが圧力室１０ごとに多数形成されてもよ
いし、或いは、射影領域が圧力室領域に含まれるように
圧力室１０よりもやや小さいものが圧力室１０ごとに多
数形成されてもよく、必ずしもシート全面に形成された
１枚の導電シートである必要はない。ただし、このと
き、圧力室１０に対応する部分がすべて同一電位となる
ように共通電極どうしが電気的に接続されていることが
必要である。

【００８９】図１１（ａ）に示すように、圧電シート４
１の上面であって圧力室１０に対応する位置には、厚み
１μｍ程度の個別電極３５ａが形成されている。図７の
模式的な部分拡大平面図である図１２に示すように、個
別電極３５ａは、平面形状が略ひし形であって圧力室１
０とほぼ相似形状（長さ８５０μｍ、幅２５０μｍ）を
有する主電極部９０と、主電極部９０よりも小さくその
一方の鋭角部から連続して形成されたほぼひし形形状の
補助電極部９１とを有している。主電極部９０は、その
積層方向への射影領域が圧力室領域（図１２において破
線で囲まれる領域）に含まれている。一方、補助電極部
９１の大部分は、その積層方向への射影領域が圧力室領
域には含まれていない。

【００９０】圧電シート４２と圧電シート４３との間で
あって個別電極３５ａと対応する位置には、個別電極３
５ａと同様の形状を有する厚み２μｍ程度の個別電極３
５ｂが介在している。なお、圧電シート４４とその下方
に隣接した圧電シート４５との間、及び、圧電シート４
５の下方には、電極が配置されていない。

【００９１】図１１（ａ）に示すように、個別電極３５
ａと個別電極３５ｂとの補助電極部９１に対応する位置
の間にある圧電シート４１、４２には、スルーホール４
１ａ、４２ａが形成されている。スルーホール４１ａ、
４２ａには、図１１（ｃ）に示すように導電材料（銀パ
ラジウムなど）４８が充填されており、この導電材料４
８を介して、個別電極３５ａと個別電極３５ｂとが各圧
力室１０に対応するものごとに互いに接続されている。

【００９２】図１１（ｂ）に示すように、接地用電極３
８の下方には、圧電シート４１、４２、４３を貫通する
スルーホール４１ｂ、４２ｂ、４３ｂが形成されてい
る。スルーホール４１ｂ、４２ｂ、４３ｂには、図１１
（ｄ）に示すように導電材料（銀パラジウムなど）４９
が充填されており、この導電材料４９を介して、接地用
電極３８が共通電極３４ａ及び共通電極３４ｂに接続さ
れている。本実施の形態において、各電極３４ａ，３４
ｂ，３５ａ，３５ｂ、３８は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材
料からなるものである。

【００９３】ＦＰＣ５０は、アクチュエータユニット２
１の個別電極３５ａ、３５ｂ及び共通電極３４ａ、３４
ｂと、ドライバＩＣ８０と、を接続するための部材であ
って、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、ア
クチュエータユニット２１の上面に配置された個別電極
３５ａ及び接地用電極３８とハンダ付けにより電気的に
接合される多数の給電パッド５５、６０を下面に有して
いる。

【００９４】図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すよう
に、ＦＰＣ５０は、ベースフィルム５１と、ベースフィ
ルム５１に貼り合わせされたカバーフィルム５２と、両
フィルム５１、５２の間にパターン形成されたプリント
配線５３、５４とを有している。ベースフィルム５１及
びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシー
ト状の部材である。プリント配線５３は圧力室１０ごと
に別々にドライバＩＣ８０と接続され、プリント配線５
４は図示しない領域において接地されている。ＦＰＣ５
０は、アクチュエータユニット２１の最上層にある圧電
シート４１の上面にカバーフィルム５２が対向するよう
に配置されている。

【００９５】カバーフィルム５２には選択的に貫通孔５
２ａ、５２ｂが形成されており、貫通孔５２ａ、５２ｂ
内には、カバーフィルム５２とほぼ同じ厚みを有する導
電性材料からなる給電パッド５５、６０がそれぞれ配置
されている。給電パッド５５、６０は、貫通孔５２ａ、
５２ｂによって形成された凹部の底部において、それぞ
れプリント配線５３、５４と接触している。

【００９６】給電パッド５５は、図１１（ａ）に示すよ
うに、圧力室１０の長手方向やや外側、すなわち、補助
電極部９１に対応する位置に設けられている。そして、
給電パッド５５は、補助電極部９１とハンダ付けにより
電気的に接合されている。つまり、本実施の形態では、
１つの個別電極３５ａが２つの電気接点（それぞれが各
給電パッド５５に対応した位置にある）においてＦＰＣ
５０と電気的に接合されている。このように、給電パッ
ド５５と個別電極３５ａの補助電極部９１とが電気的に
接合されることにより、プリント配線５３及びスルーホ
ール４１ａ，４２ａ内の導電材料４８を介して個別電極
３５ａ、３５ｂの電位を圧力室１０ごとに独立して制御
できるようになっている。

【００９７】一方、給電パッド６０は、図１１（ｂ）に
示すように、アクチュエータユニット２１の外縁近傍に
形成された接地用電極３８に対応する位置に設けられて
いる。そして、給電パッド６０は、接地用電極３８とハ
ンダ付けにより電気的に接合されている。これにより、
プリント配線５４及びスルーホール４１ｂ、４２ｂ、４
３ｂ内の導電材料４９を介して共通電極３４ａ、３４ｂ
の電位をグランド電位に維持できるようになっている。

【００９８】本実施の形態において、多数の接地用電極
３８のすべてが給電パッド６０とハンダ付けにより電気
的に接合され且つ導電材料４９を介して共通電極３４
ａ、３４ｂに接続されている。ただし、接地用電極３８
の一部が給電パッド６０と電気的に接合されていなくて
もよいし、接地用電極３８の一部が共通電極３４ａ、３
４ｂに接続されていなくてもよい。なぜなら、共通電極
３４ａ、３４ｂが全ての圧力室１０に跨るような１枚の
連続平板として形成されているために、少なくとも１つ
の接地用電極３８が給電パッド６０と電気的に接合され
且つ共通電極３４ａ、３４ｂに接続されていれば、全て
の圧力室１０に対応する領域において共通電極３４ａ、
３４ｂの電位をグランド電位に維持できるからである。

【００９９】プリント配線５３、５４がベースフィルム
５１とカバーフィルム５２とで挟まれているため、プリ
ント配線５３、５４とアクチュエータユニット２１とが
引き剥がされるような力が外部から加えられた場合で
も、力が分散されるためにプリント配線５３、５４がア
クチュエータユニット２１から剥がれにくい。このよう
にＦＰＣ５０がプリント配線５３、５４を含む構成であ
ることにより、アクチュエータユニット２１とドライバ
ＩＣ８０との電気的な接続の信頼性が向上する。また、
図７に示すように、圧電シート４１上の個別電極３５ａ
が形成された領域が多数の接地用電極３８によって包囲
されているため、ＦＰＣ５０を引き剥がすような力がど
の方向からの力であっても両者の電気的接合が解除され
にくく、個別電極３５ａと給電パッド５５との電気的な
接続の信頼性が向上する。

【０１００】なお、図１１（ａ），（ｂ）ではアクチュ
エータユニット２１の最上層にある圧電シート４１の上
面とＦＰＣ５０のカバーフィルム５２の下面とが当接す
るように描かれているが、実際には、アクチュエータユ
ニット２１の動作を阻害しないよう、圧電シート４１の
上面とカバーフィルム５２の下面との間には間隙が形成
されている。そしてＦＰＣ５０のカバーフィルム５２下
側に配置された給電パッド５５，６０のみが、圧電シー
ト４１の上面にある個別電極３５ａや接地用電極３８と
接触している。

【０１０１】本実施の形態によるインクジェットヘッド
１において、圧電シート４１〜４３はその厚み方向に分
極されている。従って、個別電極３５ａ，３５ｂを共通
電極３４ａ，３４ｂと異なる電位にして圧電シート４１
〜４３に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電
シート４１〜４３における電界が印加された部分が活性
層として働き、その厚み方向すなわち積層方向には伸長
又は収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向す
なわち面方向には収縮又は伸長しようとする。一方、残
り２枚の圧電シート４４、４５は、個別電極３５ａ，３
５ｂと共通電極３４ａ，３４ｂとに挟まれた領域をもた
ない非活性層であるので、自発的に変形することができ
ない。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側
（つまり、圧力室１０とは離れた）３枚の圧電シート４
１〜４３を活性層を含む層とし且つ下側（つまり、圧力
室１０に近い）２枚の圧電シート４４，４５を非活性層
とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となってい
る。

【０１０２】そのため、電界と分極とが同方向となるよ
うにドライバＩＣ８０を制御して個別電極３５ａ，３５
ｂを共通電極３４ａ，３４ｂに対して正又は負の所定電
位とすると、圧電シート４１〜４３の個別電極３５ａ，
３５ｂと共通電極３４ａ，３４ｂとで挟まれた活性層が
面方向に収縮し、その一方で圧電シート４４，４５は自
発的には収縮しない。このとき、図１１（ａ）で示した
ように、圧電シート４１〜４５の下面はキャビティプレ
ート２２に形成された圧力室１０を区画する隔壁の上面
に固着されているので、圧電横効果に基づく面方向の収
縮により、圧電シート４１〜４５は圧力室１０側へ凸に
なるように変形（ユニモルフ変形）する。すると、圧力
室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、イン
ク吐出口８からインクが吐出される。その後、個別電極
３５ａ，３５ｂの電位が元に戻れば、圧電シート４１〜
４５は元の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容
積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込
む。

【０１０３】なお、他の駆動方法として、圧電シート４
１〜４５が圧力室１０側へ凸に変形するように、予め個
別電極３５ａ，３５ｂを共通電極３４ａ，３４ｂと異な
る電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５
ａ，３５ｂを共通電極３４ａ，３４ｂと一旦同じ電位と
し、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５ａ，
３５ｂを共通電極３４ａ，３４ｂと異なる電位にするこ
ともできる。この場合は、個別電極３５ａ，３５ｂと共
通電極３４ａ，３４ｂとが同じ電位になるタイミング
で、圧電シート４１〜４５が元の形状に戻り、圧力室１
０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比
較して増加し、インクがマニホールド５側から圧力室１
０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５ａ，３５
ｂを共通電極３４ａ，３４ｂと異なる電位にしたタイミ
ングで、圧電シート４１〜４５が圧力室１０側へ凸とな
るように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへ
の圧力が上昇し、インクが吐出される。

【０１０４】圧電シート４１〜４３に印加される電界方
向とその分極方向とが逆であれば、個別電極３５ａ，３
５ｂと共通電極３４ａ，３４ｂとで挟まれた圧電シート
４１〜４３中の活性層が分極方向と直角方向に伸長しよ
うとする。従って、圧電シート４１〜４５は、圧電横効
果に基づき、圧力室１０側に凹となるように変形する。
このため、圧力室１０の容積が増加して、インクをマニ
ホールド５側から吸い込む。その後、個別電極３５ａ，
３５ｂの電位が元に戻れば、圧電シート４１〜４５は元
の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容積に戻る
ので、インク吐出口８からインクを吐出する。

【０１０５】次に、インクジェットヘッド１のヘッド本
体１ａの製造方法について説明する。アクチュエータユ
ニット２１を作製するには、まず、圧電シート４５〜４
１となる圧電セラミックのグリーンシートを５枚積層
し、そして焼成する。積層時において、各シート上に
は、個別電極３５ｂ、共通電極３４ａ，３４ｂとなる金
属材料がパターン印刷される。焼成後、圧電シート４１
上に個別電極３５ａとなる金属材料を全面めっきし、レ
ーザーパターニングにより不要部分を除去するか、或い
は、個別電極３５ａに対応する部分に開口を有するマス
クを用いて圧電シート４１上に個別電極３５ａとなる金
属材料を蒸着させる。

【０１０６】このように、個別電極３５ａのみ、他の電
極とは異なり圧電シート４１〜４５となるセラミック材
料と一緒に焼成しないのは、個別電極３５ａが露出して
いるために、焼成時の高温加熱により蒸発しやすく、セ
ラミック材料に被覆された他の電極３４ａ，３４ｂ，３
５ｂに比べて厚みの制御が困難だからである。しかしな
がら、他の電極３４ａ，３４ｂ，３５ｂも焼成時に多少
なりとも厚みが減少するので、焼成後の連続性を維持す
ることを考慮するとその厚みを薄くすることが難しい。
一方、個別電極３５ａは、焼成後に上述したような手法
で形成するために、他の電極３４ａ，３４ｂ，３５ｂよ
りも薄く形成することが可能である。このように、本実
施の形態のインクジェットヘッド１では、最も上層にあ
る個別電極３５ａを他の電極３４ａ，３４ｂ，３５ｂよ
りも薄くすることで、活性層を含む圧電シート４１〜４
３の変位が個別電極３５ａによって規制されづらくなっ
て、アクチュエータユニット２１の効率（電気効率およ
び面積効率）を向上させている。

【０１０７】一方、流路ユニット４を作製する場合、キ
ャビティプレート２２など８枚の金属プレート２２〜２
９に対しては、それぞれエッチングにより多数の開口を
形成した後、それらを互いに接着させて一体にする。圧
電セラミックからなるノズルプレート３０に対しては、
レーザーパターニングなどにより開口を形成する。そし
て開口が形成されたノズルプレート３０を一体化した８
枚の金属プレート２２〜２９の下側に配置し、加熱硬化
型接着剤を用いて両者を加熱状態で貼り合わせて固定す
ることにより、流路ユニット４が作製される。

【０１０８】このようにして作製されたアクチュエータ
ユニット２１および流路ユニット４は、図８に示すよう
に、下側から順にノズルプレート３０、８枚の金属プレ
ート２２〜２９、アクチュエータユニット２１という配
置になるよう、加熱硬化型接着剤により加熱状態で互い
に貼り合わされ、固定される。なお、この各構成要素を
固定する作業は、流路ユニット４最上層のキャビティプ
レート２２の表面およびアクチュエータユニット２１最
上層の圧電シート４１の表面にそれぞれ形成された目印
に基づいて、位置合わせしつつ行われる。このようにし
て、ヘッド本体１ａが製造される。

【０１０９】なお、圧電セラミックからなるアクチュエ
ータユニット２１と金属からなる流路ユニット４におけ
る上側８枚のプレートとを固定するとき、および、金属
からなる上側８枚のプレートと圧電セラミックからなる
ノズルプレートとを固定するとき、加熱硬化型の接着剤
を用いるのは、異種材料を固定する場合に接合強度およ
び耐インク性を確保するためである。

【０１１０】以上のように、本実施の形態のインクジェ
ットヘッド１では、アクチュエータユニット２１および
ノズルプレート３０を線膨張係数がほぼ同じ圧電セラミ
ックから構成し、アクチュエータユニット２１およびノ
ズルプレート３０の間に位置する８枚の金属プレート２
２〜２９を線膨張係数が圧電セラミックよりも大きなス
テンレスから構成することで、アクチュエータユニット
２１および流路ユニット４全体としての反りが緩和され
る。これは、線膨張係数の異なる部材同士を加熱状態で
貼り合わせて固定すると、加熱後常温に戻ったときに部
材全体として反りが生じてしまうという問題が、膨張の
バランスをとるように貼り合わせることで軽減されるか
らである。具体的には、流路ユニット４のメインユニッ
トを構成する金属プレート２２〜２９の一方の面に線膨
張係数が金属プレート２２〜２９よりも小さなアクチュ
エータユニット２１を固定し、他方の面に線膨張係数が
金属プレート２２〜２９より小さなノズルプレート３０
を固定することで、膨張のバランスをとることができ
る。さらに、このようにして反りが緩和されることで、
印字不良や製造歩留まり悪化の問題が軽減される。

【０１１１】また、アクチュエータユニット２１および
ノズルプレート３０を構成する圧電セラミック、および
流路ユニット４におけるアクチュエータユニット２１側
に位置する８枚のプレート２２〜２９を構成するステン
レスは、共に耐久性・耐熱性に優れ、本実施の形態のよ
うに加熱加工する場合に適した材料である。

【０１１２】また、アクチュエータユニット２１は、活
性層を含む圧電シート４１〜４３と活性層を含まない圧
電シート４４、４５とが同じ材料で形成されているため
に、材料を交換する手間が不要で、比較的簡略な製造工
程により製造可能である。そのため、製造コストを低減
できることが期待される。さらに、活性層を含む圧電シ
ート４１〜４３と活性層を含まない圧電シート４４、４
５とがすべて実質的に同じ厚みを有していることから
も、製造工程の簡略化によるコスト削減を図ることがで
きる。なぜなら、圧電シートとなるセラミック材料を塗
布積層していくときの厚み調整工程を簡単に行うことが
できるようになるからである。

【０１１３】また、インクジェットヘッド１のヘッド本
体１ａでは、インク吐出領域ごとに分割された複数のア
クチュエータユニット２１が、流路ユニット４の表面に
接着された状態でその長手方向に沿って配列されてい
る。これにより、焼結などによって成形されるために寸
法精度にばらつきが生じやすいアクチュエータユニット
２１ごとに流路ユニット４との位置合わせを行うことが
可能となり、ヘッドを長尺化しても各アクチュエータユ
ニット２１と流路ユニット４との位置ずれ量の増加が抑
制され、両者を精度よく位置合わせすることができる。
よって、目印から比較的遠くにある個別電極３５ａ、３
５ｂについてもその圧力室１０に対する位置が所定位置
から大幅にずれることが少なくなって、インクジェット
ヘッド１の製造歩留まりが飛躍的に向上する。他方、こ
れとは異なり、アクチュエータユニット２１を流路ユニ
ット４と同様の長尺体として形成すると、アクチュエー
タユニット２１を流路ユニット４と重ねたときの平面視
における各圧力室１０に対する個別電極３５ａ、３５ｂ
の位置の所定位置からのずれ量が目印から離れるに連れ
て大きくなり、目印から比較的離れた圧力室１０におけ
るインク吐出性能が劣化し、インクジェットヘッド１内
でのインク吐出性能の均一性が失われてしまう。

【０１１４】アクチュエータユニット２１では圧電シー
ト４１〜４３を共通電極３４ａ、３４ｂと個別電極３５
ａ、３５ｂとで挟み込んでいるので、圧電効果によって
容易に圧力室１０の容積を変化させることができる。ま
た、圧電シート４１〜４５が連続した層状の平板（連続
平板層）であるため、アクチュエータユニット２１を容
易に製造することが可能である。

【０１１５】また、インクジェットヘッド１は、圧力室
１０に近い圧電シート４４、４５を非活性層とし、圧力
室１０から離れた圧電シート４１〜４３を活性層を含む
層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット２１
を有している。そのため、圧電横効果により圧力室１０
の容積変化量を大きくすることができて、圧力室１０側
に活性層、その反対側に非活性層が配置されたアクチュ
エータユニットと比較して個別電極３５ａ、３５ｂの駆
動電圧の低電圧化および／又は圧力室１０の高集積化を
図ることが可能となる。駆動電圧の低電圧化を図ること
により、個別電極３５ａ、３５ｂを駆動するドライバを
小型化できてコストを抑えることができ、圧力室１０を
小さくできてその高集積化を図ったときであっても十分
な量のインクを吐出することが可能となって、ヘッド１
の小型化と印刷ドットの高密度配置が実現される。

【０１１６】さらに、上述のように、インクジェットヘ
ッド１のヘッド本体１ａでは、各アクチュエータユニッ
ト２１が実質的に台形形状を有しており、各アクチュエ
ータユニット２１の平行対向辺が流路ユニット４の長手
方向に沿い且つ隣接するアクチュエータユニット２１の
斜辺同士が流路ユニット４の幅方向にオーバーラップす
るように複数のアクチュエータユニット２１が千鳥状に
２列配置されている。このように、隣接するアクチュエ
ータユニット２１の斜辺同士がオーバーラップしている
ことで、インクジェットヘッド１の長手方向において、
流路ユニット４の幅方向に沿って存在する圧力室１０同
士が補完し合うことができ、高解像度印刷を実現しつ
つ、非常に幅の狭い小型のインクジェットヘッド１とす
ることができる。

【０１１７】次に、本発明の第２の実施の形態によるイ
ンクジェットヘッドについて、図１３、図１４、及び図
１５を参照して説明する。図１３は、本実施の形態によ
るインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の図３に
対応した断面図である。図１４は、図１３に描かれたヘ
ッド本体の左側端部近傍の拡大断面図である。図１５
は、図１３に描かれたベースブロックと流路ユニットと
の接着領域を示す部分平面図である。なお、本実施の形
態において、第１の実施の形態と同一部材には同一符号
を付して説明を省略する。

【０１１８】本実施の形態のインクジェットヘッド１１
が、第１の実施の形態によるインクジェットヘッド１と
異なる点は、ベースブロックおよびヘッド本体を構成す
る材料のみである。第１の実施の形態では、ヘッド本体
１ａの流路ユニット４最下層にあるノズルプレート３０
は線膨張係数が略３．０×１０^-6（／℃）のチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）系の圧電セラミックからなるのに
対し、本実施の形態では、ノズルプレート１３０は線膨
張係数が略１６．０×１０^-6（／℃）であるステンレス
からなる。つまり、本実施の形態では、流路ユニット１
４を構成する９枚のプレート全てが、線膨張係数が略１
６．０×１０^-6（／℃）であるステンレスからなってい
る。また、第１の実施の形態ではベースブロックを構成
する材料について特に限定していないが、本実施の形態
におけるベースブロック１７５は線膨張係数が略１６．
０×１０^-6（／℃）であるＳＵＳ３１６からなる。

【０１１９】ベースブロック１７５は、図１４によく示
されているように、第１の実施の形態の場合と同様に、
下面１７５ｂの開口１３ｂ近傍部分１７５ｃにおいての
み、ヘッド本体１１ａの流路ユニット１４に固定されて
いる。そのため、ベースブロック１７５の下面１７５ｂ
の開口１３ｂ近傍部分以外の領域は、ヘッド本体１１ａ
から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニ
ット２１が配されている。

【０１２０】また、図１５においてハッチングで描かれ
ている領域が、ベースブロック１７５と流路ユニット１
４との接着領域である。図１５に示すように、ベースブ
ロック１７５は、流路ユニット１４のアクチュエータユ
ニット２１が固定されていない領域において、インク溜
まり３やインクタンク（図示せず）に連通する開口１３
ａ，１３ｂの領域を回避しつつ、流路ユニット１４の長
手方向に沿って２列に、千鳥状に固定されている。つま
り、ベースブロック１７５は、アクチュエータユニット
２１に固定されておらず、流路ユニット１４のアクチュ
エータユニット２１が固定されていない領域において、
流路ユニット１４と固定されている。なお、流路ユニッ
ト１４の縁でハッチングのない領域は、図１３に示すホ
ルダ本体７３のスカート部７３ａに対向する領域であ
る。

【０１２１】さらに、本実施の形態に係るインクジェッ
トヘッド１１の製造方法において、第１の実施の形態と
異なる点について説明する。本実施の形態では、ノズル
プレート１３０を圧電セラミックでなくステンレスから
構成しているので、他の金属プレート２２〜２９と同様
に、ノズルプレート１３０に対してエッチングにより多
数の開口を形成する。そして開口が形成されたノズルプ
レート１３０を含む９枚の金属のプレート２２〜２９，
１３０を、加熱硬化型接着剤を用いることなく、互いに
貼り合わせて固定する。そしてこのようにして作製され
た流路ユニット１４を、第１の実施の形態と同様に、加
熱硬化型接着剤を用いて、アクチュエータユニット２１
と加熱状態で貼り合わせて固定する。流路ユニット１４
は、上述した第１の実施の形態と同様に、千鳥状に配置
されたアクチュエータユニット２１がない部分でベース
ブロック１７５に支持される構成となっている。

【０１２２】アクチュエータユニット２１と流路ユニッ
ト１４とを互いに固定した後、アクチュエータユニット
２１を介在するように、ベースブロック１７５を流路ユ
ニット１４の表面に固定する。より詳細には、ベースブ
ロック１７５の開口１３ｂ近傍部分１７５ｃを流路ユニ
ット１４上面におけるアクチュエータユニット２１が接
着されていない領域に、加熱硬化型接着剤を用いて加熱
状態で貼り合わせて固定する。

【０１２３】以上のように、本実施の形態のインクジェ
ットヘッド１１では、アクチュエータユニット２１は線
膨張係数が略３．０×１０^-6（／℃）の圧電セラミック
から構成され、流路ユニット１４およびベースブロック
１７５は共に線膨張係数が略１６．０×１０^-6（／℃）
のステンレスから構成されているので、貼り合わせて固
定した後これらが常温に戻ったとき、流路ユニット１４
とアクチュエータユニット２１との間の線膨張係数の差
に起因して生ずるはずの反りが、ベースブロック１７５
に支持されることにより緩和される。これは、第１の実
施の形態の場合と同様に、膨張のバランスがとれるから
である。また反りが緩和されることで、印字不良や製造
歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【０１２４】また、ベースブロック１７５がアクチュエ
ータユニット２１に固定されず流路ユニット１４に固定
されていることにより、アクチュエータユニット２１の
動作（圧電シート４１〜４５の変位）が阻害されない。
この場合、ベースロック１７５と流路ユニット１４とが
互いにダイレクトに支え合うようになって、流路ユニッ
ト１４およびアクチュエータユニット２１の反りが緩和
される。

【０１２５】また、図１５に示すように、アクチュエー
タユニット２１とベースブロック１７５とを流路ユニッ
ト１４の表面に互い違いになるよう千鳥状に固定するこ
とによって、流路ユニット１４とアクチュエータユニッ
ト２１との線膨張係数の違いに起因する反りが、より効
果的に緩和される。流路ユニット１４よりもアクチュエ
ータユニット２１の方が線膨張係数が小さいことから、
流路ユニット１４の表面内でアクチュエータユニット２
１が固定された部分には、アクチュエータユニット２１
に向かって凸となる反りが発生する。例えば流路ユニッ
ト１４の表面にその長手方向に一列にアクチュエータユ
ニット２１が固定されている場合、アクチュエータユニ
ット２１が固定された長手方向に沿った部分に集中的
に、偏った状態で反りが発生してしまう。そのため、ベ
ースブロック１７５を固定しても、このような反りの偏
りは十分に緩和されない。これに対し、アクチュエータ
ユニット２１を流路ユニット１４の表面に千鳥状に固定
し、且つ、流路ユニット１４のアクチュエータユニット
２１が固定されていない領域に、アクチュエータユニッ
ト２１より線膨張係数が大きいベースブロック１７５を
千鳥状に固定した場合は、流路ユニット１４表面全体に
おいて反りの偏りがないので、反りを効果的に緩和する
ことができる。また、反りが緩和されることで、印字不
良や製造歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【０１２６】以上、本発明の好適な実施の形態について
説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるもので
はなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な
設計変更が可能なものである。

【０１２７】図１６及び図１７には、本発明の第２の実
施の形態における一変形例が示されている。図１６は図
１４に対応した拡大断面図、図１７は図１５に対応した
部分平面図である。この変形例では、図１６に示すよう
に、ベースブロック２７５がアクチュエータユニット２
１の表面に固定されている。つまり、ベースブロック２
７５は、開口２０３ｂ近傍部分２７５ｃにおいて流路ユ
ニット１４に固定されているだけではなく、その下面２
７５ｂにおいてアクチュエータユニット２１の上面とも
固定されている。図１７において、大まかなハッチング
で描かれている領域がベースブロック２７５と流路ユニ
ット１４との接着領域であり、細かいハッチングで描か
れている領域がベースブロック２７５とアクチュエータ
ユニット２１との接着領域である。

【０１２８】この変形例によると、特に複数の活性層が
積層され、活性層の有する圧電縦効果を利用するタイプ
の場合に、圧力室１０に対するアクチュエータユニット
２１の変位効率を高めることができる。これは、アクチ
ュエータユニット２１による厚み方向変位のうち、ベー
スブロック２７５側への変位が抑制され、圧力室１０側
への変位が大きくなるためである。ただし、アクチュエ
ータユニットがユニモルフタイプの場合は、アクチュエ
ータユニットの動作を阻害しないよう、アクチュエータ
ユニットとベースブロックとを接触させたり固定したり
せず、離隔しておくのが好ましい。

【０１２９】また、第１の実施の形態では、流路ユニッ
ト４のノズルプレート３０のみがそれ以外の金属プレー
ト２２〜２９と異なる圧電セラミックからなっている
が、ノズルプレート３０のみではなくカバープレート２
９もまた金属ではなくノズルプレート３０と同じ圧電セ
ラミックからなってよい。さらに、ノズルプレート３０
およびカバープレート２９に加えて、マニホールドプレ
ート２６、２７、２８などもまた圧電セラミックからな
ってよい。

【０１３０】つまり、第１の実施の形態では、流路ユニ
ット４を構成する複数のプレート２２〜３０が、ノズル
プレート３０を少なくとも含んだインク吐出口８側のノ
ズルプレートユニット、および、それ以外のアクチュエ
ータユニット２１側のメインユニットという上下２つの
ユニットに大別される。そしてノズルプレートユニット
のプレートを圧電セラミックから構成すると共にメイン
ユニットのプレートをステンレスから構成すればよい。
なお、ノズルプレート３０以外のプレートをノズルプレ
ートユニットに含める場合、即ち２以上のプレートから
ノズルプレートユニットを構成する場合、ノズルプレー
トユニットの作製方法としては、各プレートを構成する
圧電セラミックのグリーンシートにそれぞれ孔を形成し
た後それらを積層して一体に焼成してもよいし、各プレ
ートそれぞれに孔を形成して個別に焼成した後、互いに
接着してもよい。

【０１３１】また、第１の実施の形態における上記ノズ
ルプレートユニットを構成する材料としては、チタン酸
ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系の圧電セラミックに限定され
ず、窒化珪素、炭化珪素、又は４２合金を選択してよ
く、これらの組み合わせであってもよい。

【０１３２】また、第１の実施の形態において、上記ノ
ズルプレートユニットおよびアクチュエータユニット２
１を構成する材料としては、共にメインユニットを構成
する材料の線膨張係数よりも小さいものであれば、必ず
しも同一材料から構成しなくてよいし、略同一の線膨張
係数を有するものでなくてもよい。ただし、ノズルプレ
ートユニットおよびアクチュエータユニット２１を構成
する材料を同一にしたり、略同一の線膨張係数を有する
ものにしたりすることで、線膨張係数の差を発生要因と
する反りがより効果的に緩和される。そして印字不良や
製造歩留まり悪化の問題をより確実に軽減することがで
きる。

【０１３３】また、第１の実施の形態に係るインクジェ
ットヘッド１の製造方法において、アクチュエータユニ
ット２１と流路ユニット４とを固定する工程は、ノズル
プレートユニットとメインユニットとを固定して流路ユ
ニット４を作製した後、流路ユニット４の表面にアクチ
ュエータユニット２１を固定するという手順に限定され
ず、例えばアクチュエータユニット２１を流路ユニット
４におけるメインユニットの上面に固定した後メインユ
ニットの下面にノズルプレートユニットを固定するとい
う手順であってよいし、流路ユニット４におけるメイン
ユニットの両面にアクチュエータユニット２１とノズル
プレートユニットとを同時に固定してもよい。

【０１３４】さらに第２の実施の形態において、流路ユ
ニット１４およびベースブロック１７５、２７５を構成
する材料としては、ステンレスに限定されず、チタン、
ジルコニアセラミック、およびアルミナセラミックを選
択してよく、これらの組み合わせであってもよい。

【０１３５】また、第２の実施の形態において、流路ユ
ニット１４およびベースブロック１７５、２７５を構成
する材料としては、共にアクチュエータユニット２１を
構成する材料の線膨張係数よりも大きいものであれば、
必ずしも同一材料から構成しなくてよいし、略同一の線
膨張係数を有するものでなくてもよい。ただし、流路ユ
ニット１４およびベースブロック１７５、２７５を構成
する材料を同一材料にしたり、略同一の線膨張係数を有
するものにしたりすることで、線膨張係数の差を発生要
因とする反りがより効果的に緩和される。そして印字不
良や製造歩留まり悪化の問題をより確実に軽減すること
ができる。

【０１３６】また、第２の実施の形態に係るインクジェ
ットヘッド１１の製造方法では、アクチュエータユニッ
ト２１と流路ユニット１４とを固定する工程と、ベース
ブロック１７５、２７５をアクチュエータユニット２１
の流路ユニット１４とは反対側の面に配置して固定する
工程との順番はどちらが先であってもよく、同時でもよ
い。

【０１３７】また、第１および第２の実施の形態では、
図５に示すように、ベースブロック７５，１７５、２７
５内においてインクの流路となるインク溜まり３，１３
が２つ平行に設けられているが、インク溜まり３，１３
を１つのみとして千鳥状に配置されたアクチュエータユ
ニット２１が無い部分に沿ってジグザグ状に設けてよ
い。また、流路ユニット４，１４およびアクチュエータ
ユニット２１の反りを緩和するという目的のみに着目す
れば、ベースブロック７５，１７５、２７５内にインク
の流路となるインク溜まり３，１３を形成しなくてもよ
い。

【０１３８】また、アクチュエータユニット２１におけ
る圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、
その他の公知の材料を用いてもよい。圧力室１０の平面
形状や断面形状、配置形態などは、適宜変更してよい。
例えば、第１及び第２の実施の形態では複数の圧力室１
０を２次元的に配置しているが、一次元的に配置しても
よい。また、活性層を含む圧電シートの数及び活性層を
含まない圧電シートの数は、適宜変更することができ
る。また、活性層を含む圧電シート及び活性層を含まな
い圧電シートのそれぞれの層厚は、同じであってもよい
し、異なっていてもよい。また、非活性層として、圧電
シート以外の絶縁シートを用いてもよい。

【０１３９】また、第１及び第２の実施の形態では共通
電極３４ａ，３４ｂをグランド電位に保つものとしてい
るが、各圧力室１０に共通の電位であればこれに限定さ
れるものではない。

【０１４０】また、第１及び第２の実施の形態では、最
上層の圧電シートの上方に個別電極を設けた構成となっ
ているが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば下方に個別電極、上方に共通電極を設けた圧電シー
トが最上層に配置されてもよい。また、第１及び第２の
実施の形態では活性層の圧力室１０側に非活性層を設け
たユニモルフ構造のアクチュエータユニット２１として
いるが、本発明はこれに限定されず、非活性層の圧力室
１０側に活性層を設けてもよいし、活性層の圧力室１０
側に非活性層を設けなくてもよい。また、アクチュエー
タユニット２１に含まれる圧電シートは、多数の圧力室
１０に跨って配置された連続平板層ではなく、圧力室１
０ごとに形成されてもよい。

【０１４１】また、第１及び第２の実施の形態では、図
５、図１５、及び図１７に示すように、台形とした複数
のアクチュエータユニット２１を流路ユニット４、１４
の表面に長手方向に沿って２列に千鳥状に配置している
が、アクチュエータユニットは必ずしも台形にしなくて
もよく、複数のアクチュエータユニットを流路ユニット
４、１４の長手方向に沿って１列に配列してもよい。或
いは、アクチュエータユニットを３列以上に千鳥状に配
置してもよい。

【０１４２】また、上述の実施の形態では、各構成部材
を貼り合わせて固定する場合に、部位によって加熱硬化
型接着剤を用いたり用いなかったりしているが、全ての
部位に関して加熱硬化型接着剤を用いてよい。

【０１４３】また、上述の実施の形態では、図１１
（ａ），（ｂ）に示すように、ＦＰＣ５０にプリント配
線５３、５４が含まれているが、給電パッド５５とドラ
イバＩＣ８０とを接続するための配線および給電パッド
６０を接地するための配線の少なくとも一方が単独の信
号線として配置されていてもよい。

【０１４４】また、上述の実施の形態では共通電極３４
ａ、３４ｂが接地されているが、必ずしも接地されてい
る必要はない。例えば、アクチュエータユニット２１の
動作が適切に行われるように、個別電極３５ａ、３５ｂ
に供給する駆動信号とは異なる駆動信号を共通電極３４
ａ、３４ｂに対して供給すればよい。

【０１４５】また、上述の実施の形態ではシール部材８
５を用いてＦＰＣ５０を流路ユニット４、１４やホルダ
本体７３に対して固定しているが、シール部材８５など
を用いずに、流路ユニット４、１４上面とホルダ本体７
３のスカート部７３ａの下面との間、又はアクチュエー
タユニット２１上面とスカート部７３ａの下面との間で
挟持することによりＦＰＣ５０を固定してもよい。

【０１４６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１および請
求項１３によると、流路ユニットにおけるメインユニッ
トの両面に、それよりも共に線膨張係数の小さい材料か
ら構成されたノズルプレートユニットとアクチュエータ
ユニットとを固定することで、加熱状態で固定する場合
でも部材全体としての反りが緩和され、印字不良や製造
歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【０１４７】請求項２および請求項９によると、線膨張
係数の差を発生の要因とする反りをより効果的に緩和す
ることができ、印字不良や製造歩留まり悪化の問題をよ
り確実に軽減することができる。

【０１４８】請求項３および請求項１０によると、２部
材間の線膨張係数の差をほとんどなくして反りをより効
果的に緩和することができ、印字不良や製造歩留まり悪
化の問題をより確実に軽減することができる。

【０１４９】請求項４および請求項１１によると、より
実際に即した構成で、ノズルプレートユニットに含まれ
るプレートに要する耐久性・耐熱性を考慮したものとな
る。

【０１５０】請求項５および請求項１４によると、アク
チュエータユニットの一面にそれよりも線膨張係数の大
きい材料から構成された流路ユニットを加熱状態で固定
する共に、アクチュエータユニットの他面にそれよりも
線膨張係数の大きい材料から構成された支持部材を配置
することで、部材全体としての反りが緩和され、印字不
良や製造歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【０１５１】請求項６によると、支持部材と流路ユニッ
トとが互いをダイレクトに支え合うようになって、流路
ユニットおよびアクチュエータユニットの反りが緩和さ
れ、印字不良や製造歩留まり悪化の問題を軽減できる。

【０１５２】請求項７によると、支持部材とアクチュエ
ータユニットとの結合がより強くなって、流路ユニット
およびアクチュエータユニットの反りがより効果的に緩
和され、印字不良や製造歩留まり悪化の問題をより確実
に軽減できる。

【０１５３】請求項８および請求項１５によると、アク
チュエータユニットと支持部材の流路ユニットの表面に
対する固定部とを、流路ユニットの表面において互い違
いになるよう千鳥状に固定することによって、流路ユニ
ットとアクチュエータユニットとの線膨張係数の違いに
起因する反りがより効果的に緩和される。

【０１５４】請求項１２によると、インクジェットヘッ
ドが長尺になるとインクの流路抵抗が大きくなるが、支
持部材内にインク流路を形成することで流路抵抗を小さ
くし、インク供給を円滑に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
トヘッドを含むインクジェットプリンタの概略図であ
る。

【図２】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
トヘッドの斜視図である。

【図３】図２のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。

【図４】図３に描かれたヘッド本体の右側端部近傍の拡
大断面図である。

【図５】図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれ
るヘッド本体の平面図である。

【図６】図５に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大
図である。

【図７】図６に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大
図である。

【図８】図７のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った、図５に描か
れたヘッド本体及びこれに貼り付けられたフレキシブル
プリント配線板の部分断面図である。

【図９】図６に描かれた二点鎖線で囲まれた領域の拡大
図である。

【図１０】図５に描かれたヘッド本体及びこれに貼り付
けられたフレキシブルプリント配線板の部分分解斜視図
である。

【図１１】（ａ）は、図７のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿っ
た、フレキシブルプリント配線板が貼り付けられたアク
チュエータユニットの断面図であって、図８内に描かれ
た一点鎖線で囲まれた領域の拡大断面図である。（ｂ）
は、図７のＩＶ−ＩＶ線に沿った、フレキシブルプリン
ト配線板が貼り付けられたアクチュエータユニットの断
面図である。（ｃ）は、図１１（ａ）の一点鎖線で描か
れた丸枠内拡大図である。（ｄ）は、図１１（ｂ）の一
点鎖線で描かれた丸枠内拡大図である。

【図１２】図７の模式的な部分拡大平面図である。

【図１３】本発明の第２の実施の形態によるインクジェ
ットヘッドに含まれるヘッド本体の図３に対応した断面
図である。

【図１４】図１３に描かれたヘッド本体の左側端部近傍
の拡大断面図である。

【図１５】図１３に描かれたベースブロックと流路ユニ
ットとの接着領域を示す部分平面図である。

【図１６】本発明の第２の実施の形態の一変形例におけ
る、図１４に対応した拡大断面図である。

【図１７】本発明の第２の実施の形態の一変形例におけ
る、ベースブロックと流路ユニットとの接着領域及びベ
ースブロックとアクチュエータユニットとの接着領域を
示す図１５に対応した部分平面図である。

【符号の説明】

１ インクジェットヘッド １ａ，１１ａ ヘッド本体 ３、１３ インク溜まり ３ａ、３ｂ 開口 ４，１４ 流路ユニット ５ マニホールド（インク供給源） ５ａ 副マニホールド（インク供給源） ８ インク吐出口（ノズル） １０ 圧力室 １２ アパーチャ ２１ アクチュエータユニット ２２ キャビティプレート ３０ ノズルプレート（ノズルプレートユニット） ３２ インク流路 ３４ａ、３４ｂ 共通電極 ３５ａ、３５ｂ 個別電極 ３８ 接地用電極 ４１〜４３ 圧電シート ４４、４５ 圧電シート ５０ フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ） ７１ 基部 ７２ ホルダ ７５，１７５，２７５ ベースブロック（支持部材） ８５ シール部材 １０１ インクジェットプリンタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG15 AG38 AG40 AG90 AG91 AH05 AN05 AP02 AP13 AP14 AP23 AP25 AP55 AQ02 AQ06 BA04 BA14

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルが形成されたノズルプレートを含
   むノズルプレートユニット、および、前記ノズルプレー
   トユニットに積層方向に固定され、一端を前記ノズルに
   他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ平面に沿っ
   て相互に隣接配置された複数の圧力室を有するメインユ
   ニットからなる流路ユニットと、 前記流路ユニットにおける前記メインユニットの前記ノ
   ズルプレートユニットとは反対側に固定された、前記圧
   力室の容積を変化させるためのアクチュエータユニット
   とを備えており、 前記アクチュエータユニットを構成する材料の線膨張係
   数が前記メインユニットを構成する材料の線膨張係数よ
   りも小さく、且つ、前記ノズルプレートユニットを構成
   する材料の線膨張係数が前記メインユニットを構成する
   材料の線膨張係数よりも小さいことを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記ノズルプレートユニットを構成する
   材料の線膨張係数が、前記アクチュエータユニットを構
   成する材料の線膨張係数と実質的に同一であることを特
   徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 前記ノズルプレートユニットを構成する
   材料と前記アクチュエータユニットを構成する材料とが
   同一であることを特徴とする請求項１又は２に記載のイ
   ンクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記ノズルプレートユニットが、窒化珪
   素、炭化珪素および４２合金からなる群より選択された
   少なくとも１つの材料から構成されていることを特徴と
   する請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェッ
   トヘッド。
5. 【請求項５】 一端をノズルに他端をインク供給源にそ
   れぞれ接続され且つ平面に沿って相互に隣接配置された
   複数の圧力室を有する流路ユニットと、 前記流路ユニットの表面に固定された、前記圧力室の容
   積を変化させるためのアクチュエータユニットと、 前記アクチュエータユニットに対して前記流路ユニット
   とは反対側に配置された支持部材とを備えており、 前記流路ユニットを構成する材料の線膨張係数が、前記
   アクチュエータユニットを構成する材料の線膨張係数よ
   りも大きく、且つ、前記支持部材を構成する材料の線膨
   張係数が、前記アクチュエータユニットを構成する材料
   の線膨張係数よりも大きいことを特徴とするインクジェ
   ットヘッド。
6. 【請求項６】 前記支持部材が前記アクチュエータユニ
   ットに固定されておらず、 前記支持部材と前記流路ユニットとが前記流路ユニット
   の前記アクチュエータユニットが固定されていない領域
   において固定されていることを特徴とする請求項５に記
   載のインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】 前記支持部材が前記アクチュエータユニ
   ットに固定されていることを特徴とする請求項５に記載
   のインクジェットヘッド。
8. 【請求項８】 一端をノズルに他端をインク供給源にそ
   れぞれ接続され且つ平面に沿って相互に隣接配置された
   複数の圧力室を有する流路ユニットと、 前記流路ユニットの表面に千鳥状に固定された、前記圧
   力室の容積を変化させるためのアクチュエータユニット
   と、 前記アクチュエータユニットに対して前記流路ユニット
   とは反対側に配置され且つ前記流路ユニットの前記アク
   チュエータユニットが固定されていない領域において前
   記流路ユニットの前記表面に固定される千鳥状に配置さ
   れた複数の固定部を有する支持部材とを備え、 前記流路ユニットの前記表面において、前記支持部材の
   前記固定部と前記アクチュエータユニットとが互いに隣
   接配置されており、 前記流路ユニットを構成する材料の線膨張係数が前記ア
   クチュエータユニットを構成する材料の線膨張係数より
   も大きく、且つ、前記支持部材を構成する材料の線膨張
   係数が前記アクチュエータユニットを構成する材料の線
   膨張係数よりも大きいことを特徴とするインクジェット
   ヘッド。
9. 【請求項９】 前記流路ユニットを構成する材料の線膨
   張係数が、前記支持部材を構成する材料の線膨張係数と
   実質的に同一であることを特徴とする請求項５〜８のい
   ずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
10. 【請求項１０】 前記流路ユニットを構成する材料と前
    記支持部材を構成する材料とが同一であることを特徴と
    する請求項５〜９のいずれか一項に記載のインクジェッ
    トヘッド。
11. 【請求項１１】 前記アクチュエータユニットが圧電セ
    ラミックから構成されており、前記流路ユニットおよび
    前記支持部材がステンレス、チタン、ジルコニアセラミ
    ックおよびアルミナセラミックからなる群より選択され
    た少なくとも１つの材料から構成されていることを特徴
    とする請求項５〜１０のいずれか一項に記載のインクジ
    ェットヘッド。
12. 【請求項１２】 前記流路ユニットにインクを供給する
    ためのインク流路が前記支持部材内に形成されているこ
    とを特徴とする請求項５〜１１のいずれか一項に記載の
    インクジェットヘッド。
13. 【請求項１３】 ノズルが形成されたノズルプレートを
    含むノズルプレートユニット、および、一端を前記ノズ
    ルに他端をインク供給源にそれぞれ接続され且つ平面に
    沿って相互に隣接配置された複数の圧力室を有するメイ
    ンユニットからなる流路ユニットと、前記圧力室の容積
    を変化させるためのアクチュエータユニットとを含んだ
    インクジェットヘッドの製造方法において、 前記ノズルプレートユニットと、前記ノズルプレートユ
    ニットを構成する材料よりも線膨張係数が大きい材料か
    ら構成された前記メインユニットとを加熱状態で積層方
    向に固定する工程と、 前記メインユニットを構成する材料よりも線膨張係数が
    小さい材料から構成された前記アクチュエータユニット
    を、加熱状態で前記流路ユニットにおける前記メインユ
    ニットの前記ノズルプレートユニットとは反対側に固定
    する工程とを備えていることを特徴とするインクジェッ
    トヘッドの製造方法。
14. 【請求項１４】 一端をノズルに他端をインク供給源に
    それぞれ接続され且つ平面に沿って相互に隣接配置され
    た複数の圧力室を有する流路ユニットと、前記圧力室の
    容積を変化させるためのアクチュエータユニットとを含
    んだインクジェットヘッドの製造方法において、 前記流路ユニットの表面に、前記流路ユニットを構成す
    る材料よりも線膨張係数が小さい材料から構成された前
    記アクチュエータユニットを加熱状態で固定する工程
    と、 前記アクチュエータユニットを構成する材料よりも線膨
    張係数が大きい材料から構成された支持部材を、前記ア
    クチュエータユニットに対して前記流路ユニットとは反
    対側に配置する工程とを備えていることを特徴とするイ
    ンクジェットヘッドの製造方法。
15. 【請求項１５】 一端をノズルに他端をインク供給源に
    それぞれ接続され且つ平面に沿って相互に隣接配置され
    た複数の圧力室を有する流路ユニットと、前記圧力室の
    容積を変化させるためのアクチュエータユニットと、前
    記アクチュエータユニットに対して前記流路ユニットと
    反対側に配置された支持部材とを含んだインクジェット
    ヘッドの製造方法において、 前記流路ユニットを構成する材料よりも線膨張係数が小
    さい材料から構成された複数の前記アクチュエータユニ
    ットを、前記流路ユニットの表面に千鳥状に配置される
    ように、加熱状態で固定する工程と、 前記アクチュエータユニットを構成する材料よりも線膨
    張係数が大きい材料から構成された前記支持部材を、前
    記流路ユニットの前記アクチュエータユニットが固定さ
    れていない領域において前記流路ユニットの前記表面に
    対する複数の固定部が千鳥状に配置されるように固定す
    る工程とを備えていることを特徴とするインクジェット
    ヘッドの製造方法。
16. 【請求項１６】 請求項１〜１２のいずれか一項に係る
    インクジェットヘッドを備えていることを特徴とするイ
    ンクジェットプリンタ。