JP4497127B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッド、特に、インクを吐出する吐出アクチュエータ及び吐出アクチュエータに電気的に接続された配線部材を有するインクジェットヘッドに関する。

インクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、インク流路内のインクに圧力を印加するなどの方法によりノズルからインクを吐出させる吐出アクチュエータが内部に設置されている場合がある。このような吐出アクチュエータに電気的な信号を供給するなどのために、配線部材が用いられることがある。特許文献１にはこのようなインクジェットヘッドの一例が示されている。

このようなインクジェットヘッドの内部にインクが浸入して吐出アクチュエータが汚染されると、インクの吐出が期待通りになされなくなることがある。そこで、インクジェットヘッドの内部にインクが浸入しないように、インクジェットヘッドを構成する部材同士の隙間にシール部材を充填するなどの対策がなされる。特に、吐出アクチュエータに配線部材が接続される場合には、配線部材を伝ってインクが吐出アクチュエータまで浸入するおそれもある。そこで、特許文献１においては、インクジェットヘッドの内部にインクが浸入しないように、ヘッドカバーと配線部材との隙間を塞ぐシール部材が塗付されている。

特開２００３−８０７９３号公報（図６）

しかし、シール部材を塗付する際に、シール部材自体が吐出アクチュエータまで浸入することもあり得る。例えば、特許文献１のように配線部材とヘッドカバーとの隙間にシール部材が配置される場合には、配線部材を伝ってシール部材が浸入するおそれもある。

本発明の目的は、シール部材が吐出アクチュエータまで浸入しにくいインクジェットヘッドを提供することにある。

本発明のインクジェットヘッドは、ノズル及びノズルに連通するインク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットにおいて前記ノズルが開口した表面とは反対側の一表面に貼り合わされ、前記ノズルから液滴を吐出させる吐出アクチュエータと、前記吐出アクチュエータから離隔した位置で前記流路ユニットと当接すると共に、前記一表面に沿った方向に交差するように、前記一表面に立設された板部材と、前記吐出アクチュエータと電気的に接続され、前記板部材に沿うように前記吐出アクチュエータから延在する配線部材とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記流路ユニット及び前記板部材の両方に跨るように、前記流路ユニットの前記板部材との当接部に沿って塗付されたシール部材と、前記一表面から離隔した位置において前記配線部材及び前記板部材のいずれか一方に支持され、且つ、前記一表面に当接する当接シートとを備えており、前記当接シートが、前記シール部材が塗付されている位置と前記吐出アクチュエータが貼り合わされている位置との間で前記一表面に当接している。

吐出アクチュエータを保護する目的で設置されるカバー等の板部材と流路ユニットとの間からインクが浸入しないようにする等のために、シール部材が塗布されることがある。しかし、製造工程等において、このようなシール部材自体が板部材と流路ユニットとの間から浸入することもある。このような場合、浸入したシール部材が吐出アクチュエータまで達すると、吐出アクチュエータが誤動作するおそれがある。本発明のインクジェットヘッドによると、板部材と吐出アクチュエータとの間に、流路ユニットに当接する当接シートが配置されているため、板部材と流路ユニットとの間から浸入したシール部材は、当接シートによってそれ以上の浸入を妨げられる。これによって、シール部材が吐出アクチュエータまで浸入するのが抑えられる。

また、本発明においては、前記当接シートの前記流路ユニットとの当接部が、前記板部材の前記流路ユニットとの当接部に沿って延在していることが好ましい。この構成によると、当接シートの流路ユニットとの当接部が板部材の流路ユニットとの当接部に沿って延在しているので、当接シートの当接部が延在している範囲でシール部材が吐出アクチュエータまで浸入しにくくなる。

また、本発明においては、前記当接シートが、可撓性を有した弾性部材であり、前記板部材に向かって凸形状に撓むように配設されていることが好ましい。この構成によると、当接シートが板部材に向かって撓んでいることにより、撓んだ状態から戻ろうとする弾性力で当接シートが流路ユニットの表面に押し付けられる。これによって、撓んでいない場合と比べて、当接シートと流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が確実に保持される。

また、本発明においては、前記当接シートが、前記配線部材に接着されていることが好ましい。この構成によると、当接シートが配線部材に接着されているため当接シートが確実に支持される。

また、本発明においては、前記配線部材が、前記板部材に向かって凸形状に撓むように前記吐出アクチュエータから延在しており、前記当接シートの前記配線部材との接着領域が、前記配線部材と共に撓んでいることが好ましい。この構成によると、配線部材がインクジェットヘッド内に畳み込まれる等によって配線部材に生じた撓みが、板部材を圧迫する。これによって板部材と流路ユニットとが互いに当接しなくなり、板部材と流路ユニットとの隙間からシール部材が浸入する場合がある。つまり、上記の構成によると本発明に係る問題が生じやすくなる場合がある。したがって、このような場合においてシール部材の浸入を防ぐ本発明が適用されることに特に意義がある。また、上記の構成によると当接シートが配線部材に接着されているため、配線部材の撓みに沿って当接シートが撓んだ状態が確実に保持される。当接シートが撓むと、上記の通り、当接シートと流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が確実に保持される。

また、本発明においては、前記当接シートが、粘着性の一方の面を有し、前記配線部材が、前記当接シートとの接着領域において、前記当接シートに粘着されていることが好ましい。この構成によると、当接シートが粘着性を有していることにより確実に配線部材に接着されている。また、例えば熱硬化性の接着剤を用いる場合のように接着剤を硬化させる工程を要さず、製造工程が簡易になる。さらに、配線部材が撓んでいる場合には、配線部材の撓んだ部分に粘着されることにより配線部材と共に当接シートも撓むので、当接シートと流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が確実に保持される。

また、本発明においては、前記配線部材の前記当接シートとの接着領域において、前記配線部材が前記板部材と共に前記当接シートを挟持していることが好ましい。この構成によると、板部材と配線部材とが当接シートを挟持しているので、当接シートと流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が確実に保持される。

また、本発明においては、前記吐出アクチュエータが、前記流路ユニットに貼り合わされた第１表面、前記第１表面に平行で前記配線部材が接続された第２表面及び前記第１表面と前記第２表面とをつなぐ側面を有しており、前記当接シートが、前記吐出アクチュエータの側面と対向し前記配線部材から離隔した非接着領域と、前記吐出アクチュエータから延在した前記配線部材に接着された前記接着領域とを有し、前記非接着領域の端部で前記一表面と当接していることが好ましい。この構成によると、吐出アクチュエータの近傍において配線部材と当接シートとが離隔している。したがって、当接シートが撓むことによって当接シートが配線部材に印加する弾性力が配線部材における吐出アクチュエータとの接合部まで影響を与えにくい。これによって、配線部材と吐出アクチュエータとの電気的な接合が破損するのが抑制される。

また、本発明においては、前記当接シートが、前記吐出アクチュエータの側面に当接していることが好ましい。当接シートの配置がずれると当接シートと流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が保持されなくなるおそれがある。上記の構成によると、吐出アクチュエータの側面に当接シートが当接していることにより、当接シートが板部材から離隔する方向に移動するのが抑えられる。これによって、当接シートの配置がずれて当接シートと流路ユニットの表面とが当接しなくなる事態が防止される。また、当接シートが撓んでいる場合には、当接シートの配置がずれて当接シートの撓みが緩むのが防止される。

また、本発明においては、前記流路ユニットは、表面に形成された凹部を有し、前記板部材は、前記一表面に当接する一端に形成された突起部を有し、前記流路ユニットの凹部に前記突起部が嵌合することによって前記流路ユニットに固定されていることが好ましい。この構成によると、流路ユニットの凹部に板部材の突起が嵌まっていることにより、板部材が吐出アクチュエータから離隔する方向に沿って移動することが防止される。これによって、板部材と流路ユニットの表面とが互いに当接した状態が保持される。このため、板部材と流路ユニットとの間に隙間が空いたりせず、したがってこのような隙間からシール部材が浸入することが抑えられる。

また、本発明においては、前記吐出アクチュエータが、前記第２表面に形成された複数の表面電極を有し、前記配線部材が、前記吐出アクチュエータを駆動するための駆動信号を前記複数の表面電極のそれぞれに供給する複数の信号線を有し、前記複数の信号線が、それぞれの一端が対応する前記表面電極に電気的に接続されていると共に、前記第２表面から引き出されており、前記凹部が、平面視において、前記第２表面から前記信号線が引き出されている方向の前方に配置されていることが好ましい。このような位置関係に凹部が形成されていると、板部材が流路ユニットにしっかりと固定されることになるので、当接シートを確実に支えることができ、撓んだ当接シートの平坦な状態に戻ろうとする力を流路ユニットとの当接部に伝えることができる。また、吐出アクチュエータの駆動のために電気信号を送出する複数の信号線からなる配線部材が吐出アクチュエータに接続される場合がある。このような場合には１本の信号線からなる場合と比べて配線部材の幅が広くなることが多く、配線部材が撓むことによって板部材が圧迫されるケースが多くなる。したがって、上記のような構成においてシール部材の浸入を防ぐ本発明が適用されることに特に意義がある。

また、本発明においては、前記当接シートに使用されている材料の熱伝導率が、前記配線部材に使用されている材料の熱伝導率より大きいことが好ましい。この構成によると、当接シートの熱伝導率が配線部材の熱伝導率よりも大きいため、当接シートを介して配線部材が放熱されやすくなる。

また、本発明においては、前記流路ユニットは、前記一表面に前記インク流路に液体を供給する液体供給口を有し、前記吐出アクチュエータと対向する対向部と前記液体を一時的に貯留する液体貯留部とを有し、前記液体供給口に連通するように前記流路ユニットに積層された液体供給ユニットをさらに備え、前記液体供給ユニットは、前記対向部と前記吐出アクチュエータとが間隙を介して対向するように、前記流路ユニットに積層され、前記配線部材が、前記間隙の開口を構成する前記対向部の端縁部に当接しつつ前記板部材に向かって凸形状に撓んで前記間隙から引き出され、且つ、前記対向部の端縁部より前記一表面から離隔した位置で前記当接シートを前記板部材と共に挟持していることが好ましい。この構成によると、インク供給ユニットの対向部を迂回するように配線部材が配置されているため、配線部材が板部材に向かって撓んでいる。このような場合、配線部材が板部材を圧迫するケースが多くなる。したがって、上記のような構成においてシール部材の浸入を防止する本発明が適用されることに特に意義がある。また、本発明においては、前記板部材が、前記吐出アクチュエータを含む前記一表面上の構造物を覆うカバー部材の一部であってもよいし、前記板部材が、前記一表面に沿った方向に関して前記吐出アクチュエータを互いの間に挟む板状の２枚のヒートシンクであってもよい。

＜ヘッド外観＞
図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の概略構成図である。インクジェットヘッド１００は平面視において一方向に長尺な形状を有している。なお、本実施形態において主走査方向とはインクジェットヘッド１００の平面視において長尺な方向であり、副走査方向とは平面視において主走査方向に垂直な方向である。そして、下方向とはインクジェットヘッド１００から吐出されるインクの吐出方向であり、上方向とは下方向と逆の方向である。

インクジェットヘッド１００は、下面にノズル８が形成されたヘッド本体１３とヘッド本体１３にインクを供給するインクリザーバ１３０とを有している。インクリザーバ１３０は、上リザーバ１３１、リザーバベース１３２及び下リザーバ１３３（液体供給ユニット）を有している。上リザーバ１３１、リザーバベース１３２、下リザーバ１３３及びヘッド本体１３のいずれも平面視において概略的に長方形の形状を有しており、その長辺が主走査方向に沿っている。これらの部材は、上方から下方へと、上リザーバ１３１、リザーバベース１３２、下リザーバ１３３及びヘッド本体１３の順に積層されている。

インクジェットヘッド１００はヘッドカバー１１０を有している。ヘッドカバー１１０は、一方の面が下方向に開口した箱形の概略形状を有している。ヘッドカバー１１０は、リザーバベース１３２の上面に設置された上リザーバ１３１等の部品を覆うようにリザーバベース１３２上に設置されている。ヘッドカバー１１０の上面にはインク供給弁１１１が設けられている。インクリザーバ１３０の内部にはインク流路が形成されており、インク供給弁１１１を通じてインクリザーバ１３０の内部のインク流路にインクが供給される。

ヘッドカバー１１０の側面には切り込み１１０ａが形成されている。切り込み１１０ａは、ヘッドカバー１１０の上下方向に沿って側面の下端から側面の中央近傍に亘って、ヘッドカバー１１０の側面が欠けている部分である。切り込み１１０ａは長方形の形状を有しており、その長辺は主走査方向に沿っている。また、短辺はヘッドカバー１１０の側面の下端から上方向に沿っている。ヘッドカバー１１０が被された状態で、インクジェットヘッド１００の側面から切り込み１１０ａを通じてヘッドカバー１１０の内部がヘッドカバー１１０の外部へと現れている。インクジェットヘッド１００の側面においてヘッドカバー１１０の内側にはヒートシンク１５０（後述）が設けられている。

インクジェットヘッド１００はインクジェットプリンタ等のインクジェット方式を用いるあらゆる文字・画像記録装置に適用される。例えばインクジェットヘッド１００がインクジェットプリンタに適用される場合には、インクジェットヘッド１００の平面視において長手方向が主走査方向に、短手方向が副走査方向にそれぞれ沿うように配置される。そして、ヘッド本体１３の下面に形成されたノズル８に対向する位置に印刷用紙が搬送されると、ノズル８からインクが吐出され、印刷用紙に文字、画像等が形成される。インクジェットヘッド１００に使用されるインクは、例えばインクジェットプリンタに設けられたインクカートリッジから、インク供給弁１１１に接続されたインクチューブを介して供給される。

＜ヘッド内観＞
図２は、ヘッドカバー１１０及びヒートシンク１５０が取り外された状態におけるインクジェットヘッド１００の斜視図である。

インクリザーバ１３０の上方には制御基板１７０が固定されている。制御基板１７０は、概略的に主走査方向について長尺な長方形の形状を有している。副走査方向について制御基板１７０の長さと上リザーバ１３１の長さとはほぼ同じである。制御基板１７０の上面には各種のＩＣ（Integrated Circuit）チップやコンデンサ等の電子部品が固定されており、多数の配線が施されている。制御基板１７０には、これらの電子部品や配線によって各種のプロセッサや記憶装置が構築されている。制御基板１７０上に構築された記憶装置にはインクジェットヘッド１００を制御するためのプログラムを示すデータや一時的な作業用のデータが記憶されている。制御基板１７０上に構築されたプロセッサは、これらのデータに基づいてインクジェットヘッド１００の動作を制御する。

制御基板１７０の上面には４つのコネクタ１７０ａが固定されている。コネクタ１７０ａは制御基板１７０上に構築された各種のプロセッサや記憶装置と電気的に接続されている。コネクタ１７０ａのうちの２つは、制御基板１７０上で副走査方向について一方の端部に、残りの２つは他方の端部に沿って、それぞれ主走査方向について等間隔に固定されている。また４つのコネクタ１７０ａは、副走査方向について互いに対向しないように、制御基板１７０上で主走査方向について等間隔に配列されている。つまり４つのコネクタ１７０ａは、平面視において制御基板１７０上に千鳥状に配列されている。

インクリザーバ１３０（上リザーバ１３１、リザーバベース１３２及び下リザーバ１３３）の副走査方向に関する側面には４つのドライバＩＣ１６０が固定されている。ドライバＩＣ１６０は、各側面に２つずつ、且つ、各コネクタ１７０ａの下方の近傍にそれぞれ固定されている。

各コネクタ１７０ａの上リザーバ１３１に最も近い面にはＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）１６２の一端が接続されている。ＦＰＣ１６２は可撓性のシート状の部材であり、その内部には配線が施されている。ＦＰＣ１６２は、コネクタ１７０ａからインクリザーバ１３０の側面に沿って下方へと向かい、下リザーバ１３３まで達している。ＦＰＣ１６２の他端は下リザーバ１３３の側面に形成された開口から下リザーバ１３３とヘッド本体１３との間へと挿入されており、ヘッド本体１３の上面に配置されたアクチュエータユニット２１（後述）に接続されている。

４枚のＦＰＣ１６２のそれぞれにはドライバＩＣ１６０が１つずつ接続されている。ドライバＩＣ１６０は、各ＦＰＣ１６２の表面において、コネクタ１７０ａから下リザーバ１３３までの領域内に接続されている。本実施形態では、上リザーバ１３１の側面に対向して配置されている。ドライバＩＣ１６０は、インクジェットヘッド１００からのインク吐出を制御するＩＣチップである。ドライバＩＣ１６０は主走査方向について長尺で副走査方向について扁平な形状を有している。

４枚のＦＰＣ１６２のそれぞれには、当接シート１８０（後述）が貼り合わされている。当接シート１８０の上端はドライバＩＣ１６０よりも下方に位置している。当接シート１８０の下端は、下リザーバ１３３の側面に形成された開口から下リザーバ１３３とヘッド本体１３との間隙（後述）内へとＦＰＣ１６２と共に挿入されている。逆に、ＦＰＣ１６２は、この間隙から副走査方向に引き出され、インクリザーバ１３０の側面に沿って上方へと引き上げられ、さらに、制御基板１７０上のコネクタ１７０ａに接続されている。

インクリザーバ１３０の上面にはインク供給口１３１ａが形成されている。インク供給口１３１ａはヘッドカバー１１０の上面に設けられたインク供給弁１１１に連通している。

流路ユニット４の上面には凹部１３ａが形成されている。凹部１３ａは、流路ユニット４の表面から流路ユニット４の内部へと流路ユニット４の厚さ方向に掘り込まれた溝状の形状を有している。凹部１３ａは流路ユニット４の上面に８つ形成されており、図２にはそのうちの４つが示されている。図２に示されている４つの凹部１３ａのうちの２つは、副走査方向についてＦＰＣ１６２の引き出し方向の前方に形成されている。残りの２つは、主走査方向に沿って上記の２つと交互に並ぶように形成されている。いずれの凹部１３ａも、流路ユニット４の副走査方向の端縁部に沿って形成されている。

＜ヘッド断面＞
図３（ａ）は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド１００の縦断面図である。ヘッド本体１３は、流路ユニット４と流路ユニット４の上面に貼り合わされたアクチュエータユニット２１とを有している。下リザーバ１３３は、アクチュエータユニット２１と対向していない非対向部１３３ｃとアクチュエータユニット２１と対向している対向部１３３ｄとを有している。非対向部１３３ｃの下面は流路ユニット４の上面と当接しているが、対向部１３３ｄの下面は流路ユニット４の上面から離隔している。これによって、対向部１３３ｄ、非対向部１３３ｃ及び流路ユニット４の間には間隙が形成されており、その間隙内にアクチュエータユニット２１が配置されている。

下リザーバ１３３の内部にはインク貯留部１３３ａ（液体貯留部）が形成されており、下リザーバ１３３の下面にはインク貯留部１３３ａの開口１３３ｅが形成されている。開口１３３ｅは、非対向部１３３ｃの下面において、流路ユニット４の上面に形成された後述の開口５ｂに連通する位置に形成されている。また、下リザーバ１３３の上面には、別の開口が形成されており、この開口とインク貯留部１３３ａとは、上面部に形成された流路１３３ｂによって互いに接続している。上リザーバ１３１及びリザーバベース１３２の内部には、図示されていないインク流路が形成されている。このインク流路の一方の開口がリザーバベース１３２の下面に形成されている。このインク流路の他方の開口はインク供給口１３１ａであり、インク供給口１３１ａに供給されたインクは、上リザーバ１３１及びリザーバベース１３２の内部に形成されたインク流路を通じて、下リザーバ１３３のインク貯留部１３３ａに供給される。

インクジェットヘッド１００は、２枚の対向配置されたヒートシンク１５０（板部材）を有している。ヒートシンク１５０はアルミニウム等の金属からなる平板状の部材である。２枚のヒートシンク１５０のそれぞれは副走査方向について流路ユニット４の両端の近傍に立設されている。ヒートシンク１５０は、上下方向及び主走査方向の両方向に沿って延在しており、図３においてインクリザーバ１３０の右側面及び左側面に対向している。

ヒートシンク１５０の下端には、図３（ｂ）に示されているように突起部１５０ａが形成されている。ヒートシンク１５０が流路ユニット４上に立設される際に、流路ユニット４の上面に形成されている凹部１３ａに突起部１５０ａが嵌合される。これによって、図３（ａ）に示されているように、ヒートシンク１５０が流路ユニット４に固定されており、ヒートシンク１５０の下端が流路ユニット４の上面に当接している。

ヒートシンク１５０の上端は、図３（ａ）に示されているようにヘッドカバー１１０によって覆われている。ヒートシンク１５０におけるインクリザーバ１３０と対向していない表面（外表面）の上端の近傍が、ヘッドカバー１１０における内表面の下端の近傍と当接している。

ヒートシンク１５０におけるインクリザーバ１３０と対向していない表面、すなわち、インクジェットヘッド１００の外部へと面した表面には、シール部材１８４及び１８５が塗付されている。シール部材１８４は、ヒートシンク１５０の表面におけるヘッドカバー１１０の当接部に、ヒートシンク１５０とヘッドカバー１１０との隙間を埋めるように塗布されている。シール部材１８５は、ヒートシンク１５０の表面における流路ユニット４との当接部に、ヒートシンク１５０と流路ユニット４との隙間を埋めるように塗布されている。各当接部は、主走査方向に沿って延在している。そのため、シール部材１８４、１８５は、対応する当接部において、それぞれ主走査方向に沿って塗付されている。

ところで、後述のように流路ユニット４の下面に形成されたノズル８からインクが吐出されると、インクの小滴からなる霧状のインクミストがインクジェットヘッド１００の内部に入り込もうとする。ヒートシンク１５０の表面にシール部材１８４及び１８５が塗付されていることにより、ヒートシンク１５０とヘッドカバー１１０との隙間やヒートシンク１５０と流路ユニット４との隙間がある場合にも、その隙間がシール部材１８４及び１８５によって塞がれる。したがって、インクジェットヘッド１００の内部にインクが浸入するのが抑制される。

アクチュエータユニット２１の上面にはＦＰＣ１６２が貼り合わされている。ＦＰＣ１６２は、アクチュエータユニット２１の副走査方向に関する幅のほぼ全体に亘って、アクチュエータユニット２１に貼り合わされている。ＦＰＣ１６２は、図３（ａ）において、下リザーバ１３３の右端と流路ユニット４の上面との間に形成された開口を通ってアクチュエータユニット２１から右方へと引き出されている。そして、ヒートシンク１５０と下リザーバ１３３の右端との間で上方へと湾曲している。さらにそこから、ヒートシンク１５０とインクリザーバ１３０の右側面との間を通って上方のコネクタ１７０ａまで延在している。

ＦＰＣ１６２におけるヒートシンク１５０に対向する表面には、ドライバＩＣ１６０が設置されている。ドライバＩＣ１６０は、インクリザーバ１３０の側面に対向する位置に配置されており、副走査方向についてＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に挟持されている。ドライバＩＣ１６０の一方の表面はヒートシンク１５０に密着されており、ドライバＩＣ１６０から発生する熱がヒートシンク１５０を通じて開放される。

＜当接シート＞
上記の通り、インクジェットヘッド１００へインクが浸入するのを抑制するため、流路ユニット４におけるヒートシンク１５０との当接部にはシール部材１８５が塗付されている。しかし、シール部材１８５を塗付する際にシール部材１８５自体がヒートシンク１５０と流路ユニット４との隙間から浸入することがある。あるいは、シール部材１８５が塗付されていてもなお、インクが浸入する場合もある。インクジェットヘッド１００の内部にシール部材１８５やインクが浸入しアクチュエータユニット２１に到達してアクチュエータユニット２１が汚染されると、アクチュエータユニット２１の動作に不具合が生じるおそれがある。

このような事態を防ぐため、インクジェットヘッド１００には当接シート１８０が設置されている。当接シート１８０は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなる基層の両面にアクリル系の粘着材からなる粘着層が形成された、３層構造を有するシート状の部材である。当接シート１８０は可撓性を有する弾性部材である。図３（ａ）に示されているように、当接シート１８０は、インクリザーバ１３０とヒートシンク１５０との間において流路ユニット４の近傍に設置されている。

図４は図３（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図４に示されているように、当接シート１８０は、流路ユニット４の上面からヒートシンク１５０に向かって凸形状に撓みつつ上方へと延在している。当接シート１８０の上端の近傍は、ＦＰＣ１６２とヒートシンク１５０とに挟持されている。

当接シート１８０においてＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に挟持されている部分を含むシート上部１８０ａ（接着領域）の一方の表面は、ヘッドカバー１１０の内表面に対向するＦＰＣ１６２の一方の表面に粘着されている。これによって、ＦＰＣ１６２は、シート上部１８０ａに沿ってヒートシンク１５０に向かって撓んでいる。シート上部１８０ａの他方の表面は、シート上部１８０ａの上端からシート上部１８０ａの半ばに亘ってヒートシンク１５０の表面に粘着されている。

シート下部１８０ｂ（非接着領域）は、ＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０のいずれとも当接していない。シート下部１８０ｂの下端はアクチュエータユニット２１の側面２１ｃ及び流路ユニット４の上面に当接している。なお、アクチュエータユニット２１の側面２１ｃは、アクチュエータユニット２１における流路ユニット４に貼り合わされた表面２１ａと表面２１ａに平行でＦＰＣ１６２が接続された表面２１ｂとの間に形成されており、表面２１ａと表面２１ｂとを繋いでいる。シート下部１８０ｂの下端と流路ユニット４との当接部は、ヒートシンク１５０との当接部に平行に延在している（図１及び図２参照）。そして、シート下部１８０ｂと流路ユニット４との当接部は、主走査方向に沿ってアクチュエータユニット２１と同じ長さに延在している。

ＦＰＣ１６２において下リザーバ１３３に対向している表面は、下リザーバ１３３の端縁１３３ｆに当接している。端縁１３３ｆは、下リザーバ１３３の下面と右側面との間に形成されており、ＦＰＣ１６２に図４において右下方への抗力を印加している。そのため、ＦＰＣ１６２は、端縁１３３ｆでヒートシンク１５０に向かって湾曲している。

以上のとおりに当接シート１８０が設置されていることにより、シール部材１８５やインクがヒートシンク１５０と流路ユニット４との隙間を通じてインクジェットヘッド１００の内部に浸入した場合にも、当接シート１８０と流路ユニット４との当接部によってアクチュエータユニット２１までシール部材１８５やインクが到達するのが抑制される。下リザーバ１３３の端縁１３３ｆとＦＰＣ１６２との当接も、アクチュエータユニット２１側へのインクの侵入抑制に寄与している。また、当接シート１８０とヒートシンク１５０との粘着は、制御基板１７０側へのインクの侵入抑制に寄与している。したがって、アクチュエータユニット２１の正常な動作が確保されやすくなる。

また、当接シート１８０は主走査方向に沿ってアクチュエータユニット２１と同じ長さに延在しており、流路ユニット４の上面の当接シート１８０との当接部もアクチュエータユニット２１と同じ長さに延在している。このため、主走査方向に沿って幅広くシール部材１８５等が浸入した場合にも、アクチュエータユニット２１への到達が、副走査方向について幅広く抑制される。

また、当接シート１８０は可撓性を有しており、図４に示されているように撓んだ状態で設置されている。そして、ＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に当接シート１８０の一端が挟持されている。また、アクチュエータユニット２１の側面２１ｃ及び流路ユニット４の上面に他端が支持されている。これらによって、当接シート１８０の上端が上下方向にずれたり、当接シート１８０の下端が副走査方向にずれたりするのが抑制されると共に、当接シート１８０の撓みが緩むのが防止される。そして、当接シート１８０の撓みに対する弾性力によってシート下部１８０ｂの下端が流路ユニット４に押し付けられており、当接シート１８０と流路ユニット４とが確実に密着している。これによって、シール部材１８５の浸入が確実に抑制されている。

また、ＦＰＣ１６２は下リザーバ１３３の端縁１３３ｆに当接しており、右下方向への抗力を受けている。これによって、ヒートシンク１５０に向かって凸形状を有するようにＦＰＣ１６２が撓んだ状態が保持されている。したがって、ＦＰＣ１６２とヒートシンク１５０とがシート上部１８０ａの上端の近傍を確実に挟持すると共に、当接シート１８０がヒートシンク１５０に向かって撓んだ状態が確実に保持される。

また、当接シート１８０の両面が粘着性を有していることにより、ＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に確実に接着される。このため、当接シート１８０がＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に挟持されている位置が確実に固定されるため、当接シート１８０の下端と流路ユニット４の上面とが当接した状態が保持される。

また、ヒートシンク１５０は、当接シート１８０及びＦＰＣ１６２の撓みによって、副走査方向にインクジェットヘッド１００の外側へと向かう方向の力を当接シート１８０から受ける。これによって、ヒートシンク１５０が固定されている位置がずれるおそれがある。これに対して、凹部１３ａが、流路ユニット４の上面において副走査方向についてＦＰＣ１６２の引き出し方向の前方に形成されている。このため、当接シート１８０及びＦＰＣ１６２の撓みによる力を凹部１３ａに嵌合された突起部１５０ａが確実に支えることとなる。これによって、ヒートシンク１５０が固定されている位置がずれにくくなる。

また、ヒートシンク１５０が金属材料からなる場合には、加工の際にバリなどが生じて表面が荒れていることがある。このような場合には、ヒートシンク１５０の表面によってＦＰＣ１６２が傷つけられないように、当接シート１８０がＦＰＣ１６２をヒートシンク１５０から保護する役割を果たすこととなる。

また、当接シート１８０のシート下部１８０ｂは、ＦＰＣ１６２から離隔している。したがって、当接シート１８０が撓むことによって当接シート１８０がＦＰＣ１６２に印加する弾性力が、ＦＰＣ１６２とアクチュエータユニット２１とが接続されている位置まで影響を与えにくい。これによって、ＦＰＣ１６２とアクチュエータユニット２１との電気的な接合が破損するのが抑制される。

なお、当接シート１８０の熱伝導率がＦＰＣ１６２の熱伝導率よりも大きいことが好ましい。当接シート１８０の熱伝導率がＦＰＣ１６２の熱伝導率よりも大きいと、ＦＰＣ１６２から当接シート１８０を通じて放熱が起こりやすくなり、ＦＰＣ１６２を伝わる熱が開放されやすくなる。

＜ヘッド本体＞
ヘッド本体１３について説明する。図５は、図２に示されているヘッド本体１３の上面図である。

ヘッド本体１３は、流路ユニット４と、流路ユニット４上に接着されたアクチュエータユニット２１とを有している。アクチュエータユニット２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路ユニット４の長手方向に平行になるように流路ユニット４の上面に配置されている。また、流路ユニット４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つのアクチュエータユニット２１が、全体として千鳥状に流路ユニット４上に配列されている。流路ユニット４上で隣接し合うアクチュエータユニット２１の斜辺同士は、流路ユニット４の幅方向について部分的にオーバーラップしている。

流路ユニット４の内部にはインク流路の一部であるマニホールド流路５が形成されている。流路ユニット４の上面にはマニホールド流路５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路ユニット４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つのアクチュエータユニット２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。

開口５ｂは、下リザーバ１３３に形成されている開口１３３ｅと連通しており（図３参照）、インクリザーバ１３０のインク流路を通じてインク供給弁１１１からのインクがマニホールド流路５に供給される。

図６は、図５の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図である。なお、説明の都合上、図６にはアクチュエータユニット２１の外形が二点鎖線で示されている。また、本来破線で示されるべき流路ユニット４の内部や下面に形成されているアパーチャ１２やノズル８などが実線で示されている。

流路ユニット４内に形成されたマニホールド流路５からは、複数本の副マニホールド流路５ａが分岐している。マニホールド流路５は、アクチュエータユニット２１の斜辺に沿うように延在しており、流路ユニット４の長手方向と交差して配置されている。二つのアクチュエータユニット２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド流路５が、隣接するアクチュエータユニット２１に共有されており、副マニホールド流路５ａがマニホールド流路５の両側から分岐している。これらの副マニホールド流路５ａは、流路ユニット４の内部であって各アクチュエータユニット２１に対向する領域に互いに隣接して延在している。

流路ユニット４は、複数の圧力室１０がマトリクス状に形成されている圧力室群９を有している。圧力室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。圧力室１０は流路ユニット４の上面に開口するように形成されている。これらの圧力室１０は、流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１に対向する領域のほぼ全面に亘って配列されている。従って、これらの圧力室１０によって形成された各圧力室群９はアクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさ及び形状の領域を占有している。また、各圧力室１０の開口は、流路ユニット４の上面にアクチュエータユニット２１が接着されることで閉塞されている。本実施形態では、図６に示されているように、等間隔に流路ユニット４の長手方向に並ぶ圧力室１０の列が、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室１０の数は、圧電アクチュエータ５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。

アクチュエータユニット２１の上面における各圧力室１０に対向する位置には後述のような個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は圧力室１０より一回り小さく、圧力室１０とほぼ相似な形状を有しており、アクチュエータユニット２１の上面における圧力室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。

圧力室１０及び個別電極３５のいずれも、図６の上下方向（副走査方向）に沿って長尺な形状を有している。そして、図６の上下方向に関する中心から上方向及び下方向のいずれに向かう方向にも先細りの形状を有している。これによって多数の圧力室１０及び個別電極３５が、互いに平行な平面上にそれぞれ密に配列されている。

流路ユニット４には多数のノズル８が形成されている。これらのノズル８は、流路ユニット４の下面における副マニホールド流路５ａと対向する領域を避ける位置に配置されている。また、これらのノズル８は、流路ユニット４の下面におけるアクチュエータユニット２１と対向する領域内に配置されている。そして、それぞれの領域内のノズル８は、流路ユニット４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。

なお、これらのノズル８は、流路ユニット４の長手方向に平行な仮想直線上にこの仮想直線と垂直な方向から各ノズル８の形成位置を射影した射影点が、印字の解像度に対応した間隔で等間隔に途切れずに並ぶような位置に形成されている。これによって、インクジェットヘッド１００は、流路ユニット４におけるノズルが形成された領域の長手方向についてのほぼ全領域に亘って、印字の解像度に対応した間隔で途切れずに印字できるようになっている。

流路ユニット４の内部には、多数のアパーチャ（しぼり）１２が形成されている。これらのアパーチャ１２は、圧力室群９と対向する領域内に配置されている。本実施形態のアパーチャ１２は、水平面に平行な１方向に沿って延在している。

流路ユニット４の内部には、各アパーチャ１２、圧力室１０及びノズル８を互いに連通させるような連通孔が形成されている。これらの連通孔は、互いに連通し、個別インク流路３２を構成している（図７参照）。各個別インク流路３２は副マニホールド流路５ａと連通している。マニホールド流路５に供給されたインクは副マニホールド流路５ａを通じて各個別インク流路３２へと供給され、ノズル８から吐出される。

＜個別インク流路＞
ヘッド本体１３の断面構造について説明する。図７は、図６のＶＩＩ―ＶＩＩ線に沿った縦断面図である。

ヘッド本体１３に含まれる流路ユニット４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路ユニット４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０である。これらのプレートには多数の連通孔が形成されている。各プレートは、これらの連通孔が互いに連通して個別インク流路３２及び副マニホールド流路５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図７に示されているように、圧力室１０は流路ユニット４の上面に、副マニホールド流路５ａは内側中央部に、ノズル８は下面にと、個別インク流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、圧力室１０を介して副マニホールド流路５ａとノズル８とが連通孔により連通される構成を有している。

各プレートに形成された連通孔について説明する。これらの連通孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０である。第２に、圧力室１０の一端から副マニホールド流路５ａへと連通する流路を構成する連通孔Ａである。連通孔Ａは、ベースプレート２３からサプライプレート２５までの各プレートに形成されている。なお、連通孔Ａには、アパーチャプレート２４に形成されたアパーチャ１２が含まれている。

第３に、圧力室１０の他端からノズル８へと連通する流路を構成する連通孔Ｂである。連通孔Ｂは、ベースプレート２３からカバープレート２９までの各プレートに形成されている。第４に、ノズルプレート３０に形成されたノズル８である。第５に、副マニホールド流路５ａを構成する連通孔Ｃである。連通孔Ｃは、マニホールドプレート２６〜２８に形成されている。

このような連通孔が相互に連通し、副マニホールド流路５ａの出口からノズル８に至る個別インク流路３２を構成している。副マニホールド流路５ａに供給されたインクは、以下の経路でノズル８へと流出する。まず、副マニホールド流路５ａから上方向に向かって、アパーチャ１２の一端部に至る。次に、アパーチャ１２の延在方向に沿って水平に進み、アパーチャ１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、圧力室１０の一端部に至る。さらに、圧力室１０の延在方向に沿って水平に進み、圧力室１０の他端部に至る。そこから３枚のプレートを経由して斜め下方に向かい、さらに直下のノズル８へと進む。

＜アクチュエータユニット＞
アクチュエータユニット２１は、図８に示されるように、４枚の圧電層４１、４２、４３、４４からなる積層構造を有している。これらの圧電層４１〜４４はそれぞれ１５μｍ程度の厚みを有している。アクチュエータユニット２１全体の厚みは６０μｍ程度である。圧電層４１〜４４のいずれの層も複数の圧力室１０を跨ぐように延在している（図６参照）。これらの圧電層４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

アクチュエータユニット２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる個別電極３５及び共通電極３４を有している。個別電極３５は上述のようにアクチュエータユニット２１の上面における圧力室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５の一端は、圧力室１０と対向する領域外に引き出されてランド３６が形成されている。このランド３６は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚みが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、ランド３６は、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられたコンタクトと電気的に接合されている。制御基板１７０は、ＦＰＣ１６２を通じて個別電極３５に電圧パルスを供給することでノズル８からインクを吐出させる。

共通電極３４は圧電層４１と圧電層４２との間の領域に面方向のほぼ全面に亘って介在している。すなわち、共通電極３４は、アクチュエータユニット２１に対向する領域内の全ての圧力室１０に跨るように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電層４１上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電層４１の内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されていると共に、多数の個別電極３５と同様に、ＦＰＣ１６２上の別のコンタクト及び配線と接続されている。

図８に示されるように、上記の２つの電極は、最上層の圧電層４１のみを挟むように配置されている。圧電層における個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称される。本実施形態のアクチュエータユニット２１においては、最上層の圧電層４１のみ活性部を含んでおり、その他の圧電層４２〜４４は活性部を含んでいない。すなわち、このアクチュエータユニット２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。

なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の電圧パルスが供給されることにより、この個別電極３５に対応する圧力室１０内のインクに圧力が加えられる。これによって、個別インク流路３２を通じて、対応するノズル８からインクが吐出される。すなわち、アクチュエータユニット２１における各圧力室１０に対向する部分は、各圧力室１０及びノズル８に対応する個別の圧電アクチュエータ５０（吐出アクチュエータ）に相当する。つまり、４枚の圧電層からなる積層体中には、図８に示されているような構造を単位構造とする島状のアクチュエータが圧力室１０ごとに作り込まれており、これによってアクチュエータユニット２１が構成されている。

＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。

上述の実施形態において、当接シート１８０の上端がＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０の両方によって挟持されていたが、当接シート１８０の上端がこれらの一方にのみ支持されていてもよい。例えば、ヒートシンク１５０と当接シート１８０とが離隔しており、当接シート１８０の一方の表面とＦＰＣ１６２の一方の表面とが粘着されることによって、当接シート１８０の上端が保持されていてもよい。あるいは、当接シート１８０の上端がヒートシンク１５０のみに支持されていてもよい。

また、上述の実施形態において、ヒートシンク１５０とヘッドカバー１１０とは別体であるが、これらが一体に構成されていてもよい。また、ヒートシンク１５０の代わりに単なる板状の部材が設置されていてもよい。つまり、ヒートシンクの機能を有する部材が設置されていなくともよい。そして、少なくとも、流路ユニット４の上面において副走査方向について、アクチュエータユニット２１、当接シート１８０、板状の部材の順にこれらの部材が配置されていればよい。

また、上述の実施形態において、当接シート１８０の下端がアクチュエータユニット２１の側面２１ｃに当接しているが、ヒートシンク１５０に向かって撓んでいれば、アクチュエータユニット２１に当接していなくてもよい。このとき、アクチュエータユニット２１とは別の部材に当接していてもよく、例えば流路ユニット４の上面に形成された突起部に当接されていてもよい。さらに、このとき、当接シート１８０の厚さは、アクチュエータユニット２１の厚さ以上であってもよい。なお、当接シート１８０がアクチュエータユニット２１に当接する場合には、厚さの違いによって、アクチュエータユニット２１からＦＰＣ１６２を引き剥がす力が生じないように、当接シート１８０はアクチュエータユニット２１より薄いことが好適である。当接シート１８０は、ＦＰＣ１６２及びヒートシンク１５０に粘着されることによって固定されているが、接着剤などを用いて貼り合わされていてもよいし、粘着テープなど別の部材を用いて固定されてもよい。

また、上述の実施形態において、当接シート１８０がヒートシンク１５０に向かって撓んでいるが、撓んでいなくてもよい。ただし、当接シート１８０の下端が確実に流路ユニット４の上面に密着するような措置が取られていることが好ましい。このような措置が取られていれば、当接シート１８０の素材、設置の際の形状、固定の方法等はどのようなものでもよい。

本発明の一実施形態であるインクジェットヘッドの外観を示す斜視図である。 図１に示されたインクジェットヘッドの内部の構成を示す斜視図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの縦断面図である。 図３の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図２に示されたヘッド本体１３の上面図である。 図５の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図である。 図７に示される圧電アクチュエータ周辺の部分拡大図である。

４ 流路ユニット
５ マニホールド流路
５ｂ 開口
８ ノズル
１３ ヘッド本体
１３ａ 凹部
２１ アクチュエータユニット
２１ａ、２１ｂ アクチュエータユニットの表面
２１ｃ アクチュエータユニットの側面
３２ 個別インク流路
３４ 共通電極
３５ 個別電極
５０ 圧電アクチュエータ
１００ インクジェットヘッド
１１０ ヘッドカバー
１３０ インクリザーバ
１３１ 上リザーバ
１３２ リザーバベース
１３３ 下リザーバ
１３３ａ インク貯留部
１３３ｃ 非対向部
１３３ｄ 対向部
１５０ ヒートシンク
１５０ａ 突起部
１８０ 当接シート
１８４、１８５ シール部材
１６２ ＦＰＣ
１６０ ドライバＩＣ

Claims (15)

1. ノズル及びノズルに連通するインク流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットにおいて前記ノズルが開口した表面とは反対側の一表面に貼り合わされ、前記ノズルから液滴を吐出させる吐出アクチュエータと、前記吐出アクチュエータから離隔した位置で前記流路ユニットと当接すると共に、前記一表面に沿った方向に交差するように、前記一表面に立設された板部材と、前記吐出アクチュエータと電気的に接続され、前記板部材に沿うように前記吐出アクチュエータから延在する配線部材とを有するインクジェットヘッドにおいて、
   前記流路ユニット及び前記板部材の両方に跨るように、前記流路ユニットの前記板部材との当接部に沿って塗付されたシール部材と、
   前記一表面から離隔した位置において前記配線部材及び前記板部材のいずれか一方に支持され、且つ、前記一表面に当接する当接シートとを備えており、
   前記当接シートが、前記シール部材が塗付されている位置と前記吐出アクチュエータが貼り合わされている位置との間で前記一表面に当接していることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記当接シートの前記流路ユニットとの当接部が、前記板部材の前記流路ユニットとの当接部に沿って延在していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記当接シートが、可撓性を有した弾性部材であり、前記板部材に向かって凸形状に撓むように配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記当接シートが、前記配線部材に接着されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
5. 前記配線部材が、前記板部材に向かって凸形状に撓むように前記吐出アクチュエータから延在しており、
   前記当接シートの前記配線部材との接着領域が、前記配線部材と共に撓んでいることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記当接シートが、粘着性の一方の面を有し、
   前記配線部材が、前記当接シートとの接着領域において、前記当接シートに粘着されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記配線部材の前記当接シートとの接着領域において、前記配線部材が前記板部材と共に前記当接シートを挟持していることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記吐出アクチュエータが、
   前記流路ユニットに貼り合わされた第１表面、前記第１表面に平行で前記配線部材が接続された第２表面及び前記第１表面と前記第２表面とをつなぐ側面を有しており、
   前記当接シートが、前記吐出アクチュエータの側面と対向し前記配線部材から離隔した非接着領域と、前記吐出アクチュエータから延在した前記配線部材に接着された前記接着領域とを有し、前記非接着領域の端部で前記一表面と当接していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記当接シートが、前記吐出アクチュエータの側面に当接していることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記流路ユニットは、表面に形成された凹部を有し、
    前記板部材は、前記一表面に当接する一端に形成された突起部を有し、前記流路ユニットの凹部に前記突起部が嵌合することによって前記流路ユニットに固定されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記吐出アクチュエータが、前記第２表面に形成された複数の表面電極を有し、
    前記配線部材が、前記吐出アクチュエータを駆動するための駆動信号を前記複数の表面電極のそれぞれに供給する複数の信号線を有し、
    前記複数の信号線が、それぞれの一端が対応する前記表面電極に電気的に接続されていると共に、前記第２表面から引き出されており、
    前記凹部が、前記第２表面から前記信号線が引き出されている方向の前方に配置されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記当接シートに使用されている材料の熱伝導率が、前記配線部材に使用されている材料の熱伝導率より大きいことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記流路ユニットは、前記一表面に前記インク流路に液体を供給する液体供給口を有し、
    前記吐出アクチュエータと対向する対向部と前記液体を一時的に貯留する液体貯留部とを有し、前記液体供給口に連通するように前記流路ユニットに積層された液体供給ユニットをさらに備え、
    前記液体供給ユニットは、前記対向部と前記吐出アクチュエータとが間隙を介して対向するように、前記流路ユニットに積層され、
    前記配線部材が、前記間隙の開口を構成する前記対向部の端縁部に当接しつつ前記板部材に向かって凸形状に撓んで前記間隙から引き出され、且つ、前記対向部の端縁部より前記一表面から離隔した位置で前記当接シートを前記板部材と共に挟持していることを特徴とする請求項４〜１２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記板部材が、前記吐出アクチュエータを含む前記一表面上の構造物を覆うカバー部材の一部であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
15. 前記板部材が、前記一表面に沿った方向に関して前記吐出アクチュエータを互いの間に挟む板状の２枚のヒートシンクであることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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