JP2002368080A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002368080A5 JP2002368080A5 JP2001169631A JP2001169631A JP2002368080A5 JP 2002368080 A5 JP2002368080 A5 JP 2002368080A5 JP 2001169631 A JP2001169631 A JP 2001169631A JP 2001169631 A JP2001169631 A JP 2001169631A JP 2002368080 A5 JP2002368080 A5 JP 2002368080A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- misfet
- element isolation
- relatively
- length direction
- circuit device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 132
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims 2
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169631A JP2002368080A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
| PCT/JP2002/003944 WO2002099872A1 (en) | 2001-06-05 | 2002-04-19 | Semiconductor integrated circuit device and its production method |
| TW091108115A TWI223434B (en) | 2001-06-05 | 2002-04-19 | Semiconductor integrated circuit device and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169631A JP2002368080A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006037348A Division JP2006140539A (ja) | 2006-02-15 | 2006-02-15 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| JP2008208587A Division JP2009004800A (ja) | 2008-08-13 | 2008-08-13 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002368080A JP2002368080A (ja) | 2002-12-20 |
| JP2002368080A5 true JP2002368080A5 (enExample) | 2006-03-30 |
Family
ID=19011679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001169631A Pending JP2002368080A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002368080A (enExample) |
| TW (1) | TWI223434B (enExample) |
| WO (1) | WO2002099872A1 (enExample) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075295A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Hitachi, Ltd. | 半導体集積回路装置 |
| JP4504633B2 (ja) | 2003-05-29 | 2010-07-14 | パナソニック株式会社 | 半導体集積回路装置 |
| JP4608901B2 (ja) * | 2004-02-09 | 2011-01-12 | ソニー株式会社 | 半導体装置 |
| CN1684246B (zh) | 2004-03-30 | 2010-05-12 | 三星电子株式会社 | 低噪声和高性能电路以及制造方法 |
| KR100541656B1 (ko) * | 2004-08-03 | 2006-01-11 | 삼성전자주식회사 | 성능이 향상된 cmos 소자 및 그 제조 방법 |
| JP4936418B2 (ja) * | 2005-05-17 | 2012-05-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置とその製造方法、及び半導体装置の設計プログラム |
| JP2007012855A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路、標準セル、標準セルライブラリ、半導体集積回路の設計方法および半導体集積回路の設計装置 |
| US7259393B2 (en) * | 2005-07-26 | 2007-08-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. | Device structures for reducing device mismatch due to shallow trench isolation induced oxides stresses |
| JP5091462B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2012-12-05 | パナソニック株式会社 | セルおよび半導体装置 |
| JP5096719B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2012-12-12 | パナソニック株式会社 | 回路シミュレーション方法及び回路シミュレーション装置 |
| JP2009021482A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Nec Electronics Corp | 半導体集積回路の自動レイアウト装置及びプログラム |
| JP2009026829A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Nec Electronics Corp | 半導体集積回路の設計方法及びマスクデータ作成プログラム |
| JP5292005B2 (ja) * | 2008-07-14 | 2013-09-18 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路 |
| JP5464761B2 (ja) * | 2011-12-19 | 2014-04-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置とその製造方法、及び半導体装置の設計プログラム |
| KR101974439B1 (ko) | 2012-06-11 | 2019-05-02 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0828473B2 (ja) * | 1988-09-29 | 1996-03-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
| JPH02153574A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-06-13 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造法 |
| JPH0463437A (ja) * | 1990-07-02 | 1992-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
| JPH10242420A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
| JP3519579B2 (ja) * | 1997-09-09 | 2004-04-19 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP3615046B2 (ja) * | 1998-03-23 | 2005-01-26 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169631A patent/JP2002368080A/ja active Pending
-
2002
- 2002-04-19 WO PCT/JP2002/003944 patent/WO2002099872A1/ja not_active Ceased
- 2002-04-19 TW TW091108115A patent/TWI223434B/zh not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002368080A5 (enExample) | ||
| JPH07202051A (ja) | ゲート制御横型バイポーラ接合トランジスタ及びその製造方法 | |
| CN101093855A (zh) | 包括在柱子底下延伸的源区/漏区的场效应晶体管 | |
| JP5762687B2 (ja) | 所望のドーパント濃度を実現するためのイオン注入法 | |
| TWI223434B (en) | Semiconductor integrated circuit device and its manufacturing method | |
| KR20090092718A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
| US12261174B2 (en) | Transistor element, ternary inverter apparatus comprising same, and method for producing same | |
| CN101521230B (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
| US6815765B2 (en) | Semiconductor device with function of modulating gain coefficient and semiconductor integrated circuit including the same | |
| KR20040043279A (ko) | 쇼오트 채널 모오스 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
| KR20100072405A (ko) | 반도체 소자, 이의 제조방법 및 플래시 메모리 소자 | |
| JP5158197B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| KR102197036B1 (ko) | 트랜지스터 소자, 이를 포함하는 삼진 인버터 장치, 및 이의 제조 방법 | |
| KR20050055223A (ko) | 반도체 소자의 고전압 트랜지스터 | |
| US6608349B1 (en) | Narrow/short high performance MOSFET device design | |
| JP2006245548A (ja) | 半導体装置 | |
| KR101790237B1 (ko) | 독립 게이트 터널링 전계 효과 트랜지스터 및 그의 제조 방법 | |
| KR100319449B1 (ko) | 극소 채널 소자의 제조방법 | |
| CN104662665A (zh) | 扩展的源漏mos晶体管及形成方法 | |
| US20240162230A1 (en) | Transistor element, ternary inverter apparatus comprising same, and method for producing same | |
| JPH11220124A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2006140539A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
| JPH0222858A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0330370A (ja) | Mis型半導体装置 | |
| JPH06275821A (ja) | Mosトランジスタとその製造方法 |