JP2002316018A - ハロゲン系ガスの除去方法 - Google Patents
ハロゲン系ガスの除去方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。 【解決手段】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩を造粒し、温度４０℃以上かつ８０℃未満に
おいて、前記ハロゲン系ガスに接触させて除去する。
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減した、ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。 【解決手段】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩を造粒し、温度４０℃以上かつ８０℃未満に
おいて、前記ハロゲン系ガスに接触させて除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン単体又は
ハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスの除去方法に関
し、例えば、ハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガス等からハロゲン系ガスを除去する方法に関す
る。
ハロゲン化合物からなるハロゲン系ガスの除去方法に関
し、例えば、ハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガス等からハロゲン系ガスを除去する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ハロゲン単体又はハロゲン化
合物からなるハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガスやＣＶＤ（化学気相蒸着法）チャンバーの排ガ
ス等の処理方法として、設備の小型化及び操作の簡便化
のため、活性炭等の吸着剤を使用した乾式による処理方
法等が採用されている。しかし、活性炭の吸着容量が小
さいため処理時間が短いこと、ガス吸着時の吸着熱によ
る発火、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発生等
が問題であった。
合物からなるハロゲン系ガスを含有するドライエッチン
グ排ガスやＣＶＤ（化学気相蒸着法）チャンバーの排ガ
ス等の処理方法として、設備の小型化及び操作の簡便化
のため、活性炭等の吸着剤を使用した乾式による処理方
法等が採用されている。しかし、活性炭の吸着容量が小
さいため処理時間が短いこと、ガス吸着時の吸着熱によ
る発火、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発生等
が問題であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
に鑑み、吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減し、吸着剤入れ替え作業頻度の低い、ハロゲン
系ガスの除去方法を提供する。
に鑑み、吸着剤の発火を抑制し、ハロゲン系ガスの処理
能力が高く、使用済み吸着剤の臭気及び固形廃棄物の発
生を低減し、吸着剤入れ替え作業頻度の低い、ハロゲン
系ガスの除去方法を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、一次粒子の平
均粒子径１０〜５００μｍの炭酸水素塩の粉末を造粒
し、得られた造粒物を、温度４０℃以上かつ８０℃未満
において、ハロゲン単体又はハロゲン化合物からなるハ
ロゲン系ガスに接触させてハロゲン系ガスを除去する、
ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
均粒子径１０〜５００μｍの炭酸水素塩の粉末を造粒
し、得られた造粒物を、温度４０℃以上かつ８０℃未満
において、ハロゲン単体又はハロゲン化合物からなるハ
ロゲン系ガスに接触させてハロゲン系ガスを除去する、
ハロゲン系ガスの除去方法を提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明において、炭酸水素塩とし
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性がなく、造粒物の製造や
保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナトリ
ウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナト
リウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好ま
しい。
ては、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等が使用
できる。特に、大量かつ安価に入手できることから工業
的に適していることや、吸湿性がなく、造粒物の製造や
保存にあたって使用しやすいことから、炭酸水素ナトリ
ウムが好ましい。一方、除去処理後の排ガス等へのナト
リウムの混入を防ぎたい場合は炭酸水素カリウムが好ま
しい。
【０００６】本発明において、炭酸水素塩の粉末は造粒
物にする。造粒物は、炭酸水素塩を７０質量％以上含有
することが好ましい。造粒物中において、炭酸水素塩が
７０質量％未満であると、ハロゲン系ガス除去剤として
のガス処理容量が低下し、除去剤充填層の入れ替え頻度
が高くなるので好ましくない。炭酸水素塩の含有量は、
特に８０質量％以上であることが好ましい。なお、造粒
物中において、他に含まれる材料としては、炭酸水素塩
以外の吸着剤、バインダー等が挙げられる。
物にする。造粒物は、炭酸水素塩を７０質量％以上含有
することが好ましい。造粒物中において、炭酸水素塩が
７０質量％未満であると、ハロゲン系ガス除去剤として
のガス処理容量が低下し、除去剤充填層の入れ替え頻度
が高くなるので好ましくない。炭酸水素塩の含有量は、
特に８０質量％以上であることが好ましい。なお、造粒
物中において、他に含まれる材料としては、炭酸水素塩
以外の吸着剤、バインダー等が挙げられる。
【０００７】本発明において、炭酸水素塩の粉末は、一
次粒子の平均粒子径が１０〜５００μｍであるものを使
用する。一次粒子の平均粒子径が１０μｍ未満である
と、流動性がよくなくハンドリング等の取扱いが難しく
なるため好ましくなく、５００μｍ超であると、技術的
に造粒物の製造が困難であり、コスト的に高くなるため
好ましくない。なお、一次粒子とは炭酸水素塩の単結晶
であり、平均粒子径とは重量基準による平均粒子径であ
る。
次粒子の平均粒子径が１０〜５００μｍであるものを使
用する。一次粒子の平均粒子径が１０μｍ未満である
と、流動性がよくなくハンドリング等の取扱いが難しく
なるため好ましくなく、５００μｍ超であると、技術的
に造粒物の製造が困難であり、コスト的に高くなるため
好ましくない。なお、一次粒子とは炭酸水素塩の単結晶
であり、平均粒子径とは重量基準による平均粒子径であ
る。
【０００８】本発明において、炭酸水素塩の粉末の造粒
物の平均粒子径は０．５〜２０ｍｍである。造粒物の平
均粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲ
ン系ガスの処理の際、従来から使用されている充填塔等
を使用できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満で
あると、ハロゲン系ガス又はそれを含有する被処理ガス
が充填層等を通過する際の圧力損失が高くなり、平均粒
子径が２０ｍｍを超えると、被処理ガスと造粒物との接
触面積が低下し、排ガスの除去性能を低下させる。造粒
物の平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好ま
しい。
物の平均粒子径は０．５〜２０ｍｍである。造粒物の平
均粒子径が０．５〜２０ｍｍであることにより、ハロゲ
ン系ガスの処理の際、従来から使用されている充填塔等
を使用できる。造粒物の平均粒子径が０．５ｍｍ未満で
あると、ハロゲン系ガス又はそれを含有する被処理ガス
が充填層等を通過する際の圧力損失が高くなり、平均粒
子径が２０ｍｍを超えると、被処理ガスと造粒物との接
触面積が低下し、排ガスの除去性能を低下させる。造粒
物の平均粒子径としては、特に０．５〜１０ｍｍが好ま
しい。
【０００９】本発明では造粒物の平均粒子径は、以下の
方法により測定する。造粒物の粒子径に対応した範囲の
目開きの篩を重ねあわせ、最下部に底皿を設置し、上か
ら造粒物を注ぎ、振とう機で振とうさせた後、それぞれ
の標準篩上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する篩
上残渣質量の累計を折れ線グラフに表し、篩上残渣質量
の累計が５０％の時の粒子径を平均粒子径とする。上下
篩の目開きの差は、造粒物の粒子径にもよるが、０．５
ｍｍのピッチを使用することが好ましい。
方法により測定する。造粒物の粒子径に対応した範囲の
目開きの篩を重ねあわせ、最下部に底皿を設置し、上か
ら造粒物を注ぎ、振とう機で振とうさせた後、それぞれ
の標準篩上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する篩
上残渣質量の累計を折れ線グラフに表し、篩上残渣質量
の累計が５０％の時の粒子径を平均粒子径とする。上下
篩の目開きの差は、造粒物の粒子径にもよるが、０．５
ｍｍのピッチを使用することが好ましい。
【００１０】本発明において、造粒物は、圧縮成形法、
押出成形法、転動式造粒法、撹拌式造粒法等の様々な方
法によって得ることができる。ここで、圧縮成形法は、
工程が簡略なため工業的に簡便であり、バインダーを使
用しなくても造粒物を得ることができること、また、硬
度が高く壊れにくい、ガス処理容量の大きな造粒物を得
ることができることから、特に好ましい。
押出成形法、転動式造粒法、撹拌式造粒法等の様々な方
法によって得ることができる。ここで、圧縮成形法は、
工程が簡略なため工業的に簡便であり、バインダーを使
用しなくても造粒物を得ることができること、また、硬
度が高く壊れにくい、ガス処理容量の大きな造粒物を得
ることができることから、特に好ましい。
【００１１】造粒物を得る方法として、例えば、圧縮成
形機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕し、篩分ける
方法が挙げられる。また、水溶性のバインダーを使用し
て湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥させる方法も
挙げられる。
形機を使用し、乾式で成形した後、粗粉砕し、篩分ける
方法が挙げられる。また、水溶性のバインダーを使用し
て湿式の圧縮成形機で成形し、その後乾燥させる方法も
挙げられる。
【００１２】本発明において、炭酸水素塩の粉末の造粒
物は、ハロゲン系ガスを処理するために、充填層に充填
されて使用される場合、強度が低いと、粉化して充填層
を通過する際の圧力損失が上昇することがある。このた
め造粒物の強度は高くする。
物は、ハロゲン系ガスを処理するために、充填層に充填
されて使用される場合、強度が低いと、粉化して充填層
を通過する際の圧力損失が上昇することがある。このた
め造粒物の強度は高くする。
【００１３】本発明における造粒物の強度評価方法とし
て、硬度が挙げられる。ここで、硬度とは、造粒物粒子
の１個を上方より垂直に荷重をかけて圧縮して破壊する
に必要な力のことである。
て、硬度が挙げられる。ここで、硬度とは、造粒物粒子
の１個を上方より垂直に荷重をかけて圧縮して破壊する
に必要な力のことである。
【００１４】本発明での硬度の評価法は、平均粒子径に
応じて造粒物粒子を分級し、粒子径を揃えた粒子群につ
いて行う。例えば、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍ
ｍ未満の造粒物については、平均目開き１．５ｍｍの篩
と目開き２．０ｍｍの篩を使用して篩分け、１．５ｍｍ
篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２０個採取し、各粒子
の硬度を測定してその平均値を粒子強度の評価基準とし
て採用する。
応じて造粒物粒子を分級し、粒子径を揃えた粒子群につ
いて行う。例えば、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍ
ｍ未満の造粒物については、平均目開き１．５ｍｍの篩
と目開き２．０ｍｍの篩を使用して篩分け、１．５ｍｍ
篩上かつ２．０ｍｍ篩下の粒子を２０個採取し、各粒子
の硬度を測定してその平均値を粒子強度の評価基準とし
て採用する。
【００１５】本発明の炭酸水素塩の粉末の造粒物の硬度
としては、平均粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の
造粒物の場合は粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の
造粒物の平均硬度が１Ｎ以上であり、平均粒子径１．０
ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径１．０
ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が４Ｎ以上
であり、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造
粒物の場合は粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造
粒物の平均硬度が１０Ｎ以上であり、平均粒子径２．０
ｍｍ以上２０ｍｍの造粒物の場合は粒子径２．０ｍｍ以
上の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上、であることが好ま
しい。
としては、平均粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の
造粒物の場合は粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の
造粒物の平均硬度が１Ｎ以上であり、平均粒子径１．０
ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の場合は粒子径１．０
ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の平均硬度が４Ｎ以上
であり、平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造
粒物の場合は粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造
粒物の平均硬度が１０Ｎ以上であり、平均粒子径２．０
ｍｍ以上２０ｍｍの造粒物の場合は粒子径２．０ｍｍ以
上の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上、であることが好ま
しい。
【００１６】本発明では、ハロゲン単体又はハロゲン化
合物からなるハロゲン系ガスを除去する。例えば、ハロ
ゲン系ガスを含有するドライエッチング排ガス等を処理
して、該排ガス中のハロゲン系ガスを除去する。ハロゲ
ンとしては、フッ素、塩素、臭素等が挙げられる。具体
的なハロゲン単体又はハロゲン化合物としてはＢＣ
ｌ 3、ＣＣｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣ
ｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、Ｃ
ｌＦ3及びＨＢｒから選ばれる一種又は二種以上が挙げ
られる。この他に、Ｉ2が挙げられる。
合物からなるハロゲン系ガスを除去する。例えば、ハロ
ゲン系ガスを含有するドライエッチング排ガス等を処理
して、該排ガス中のハロゲン系ガスを除去する。ハロゲ
ンとしては、フッ素、塩素、臭素等が挙げられる。具体
的なハロゲン単体又はハロゲン化合物としてはＢＣ
ｌ 3、ＣＣｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣ
ｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、Ｃ
ｌＦ3及びＨＢｒから選ばれる一種又は二種以上が挙げ
られる。この他に、Ｉ2が挙げられる。
【００１７】本発明において、ハロゲン単体又はハロゲ
ン化合物からなるハロゲン系ガスの温度を４０℃以上か
つ８０℃未満とすることにより造粒物の反応性を高め、
効率的に除去処理でき、造粒物の効果も長く持続する。
ハロゲン系ガスは直接、温度４０℃以上かつ８０℃未満
にしてもよく、また、造粒物を充填する充填塔等を４０
℃以上かつ８０℃未満に設定してもよい。ハロゲン系ガ
スの温度が４０℃未満であると、反応速度が低下するの
で好ましくない。また、８０℃超であると、充填塔等の
設備を高価な耐熱材料又は構造とする必要があり、ま
た、取扱い作業が困難になる等のため好ましくない。ハ
ロゲン系ガスの温度は５０℃以上かつ７０℃未満が特に
好ましい。
ン化合物からなるハロゲン系ガスの温度を４０℃以上か
つ８０℃未満とすることにより造粒物の反応性を高め、
効率的に除去処理でき、造粒物の効果も長く持続する。
ハロゲン系ガスは直接、温度４０℃以上かつ８０℃未満
にしてもよく、また、造粒物を充填する充填塔等を４０
℃以上かつ８０℃未満に設定してもよい。ハロゲン系ガ
スの温度が４０℃未満であると、反応速度が低下するの
で好ましくない。また、８０℃超であると、充填塔等の
設備を高価な耐熱材料又は構造とする必要があり、ま
た、取扱い作業が困難になる等のため好ましくない。ハ
ロゲン系ガスの温度は５０℃以上かつ７０℃未満が特に
好ましい。
【００１８】本発明において、炭酸水素塩は、ハロゲン
単体又はハロゲン化合物と反応し、水溶性の塩を生成す
る。炭酸水素塩自身も水溶性であるために、排ガス中の
ハロゲン系ガスの除去に使用した後の造粒物を水に溶解
できる。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活
性炭を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
単体又はハロゲン化合物と反応し、水溶性の塩を生成す
る。炭酸水素塩自身も水溶性であるために、排ガス中の
ハロゲン系ガスの除去に使用した後の造粒物を水に溶解
できる。また、後述のように、例えば、炭酸水素塩と活
性炭を併用した場合、固形廃棄物を減少できる。
【００１９】炭酸水素塩は、ハロゲン単体又はハロゲン
化合物と反応して水溶性の塩を生成するため、活性炭吸
着の場合のようにハロゲン単体又はハロゲン化合物が脱
離して、臭気を発生することがないため、充填層等の入
れ替え作業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消
火性があるため発火の危険性がない。
化合物と反応して水溶性の塩を生成するため、活性炭吸
着の場合のようにハロゲン単体又はハロゲン化合物が脱
離して、臭気を発生することがないため、充填層等の入
れ替え作業が容易にできる。また、炭酸水素塩自身に消
火性があるため発火の危険性がない。
【００２０】本発明において、前記造粒物を活性炭とと
もに充填塔等の容器に充填してハロゲン系ガスと接触さ
せて、ハロゲン系ガスを除去するのも好ましい。この方
法により、活性炭を単独使用した場合と比較して、ハロ
ゲン単体又はハロゲン化合物の除去量を増加できるのみ
でなく、活性炭からの臭気の発生も低減できる。具体的
には、炭酸水素塩と活性炭を層状に充填塔等の容器に配
置する等して使用する。
もに充填塔等の容器に充填してハロゲン系ガスと接触さ
せて、ハロゲン系ガスを除去するのも好ましい。この方
法により、活性炭を単独使用した場合と比較して、ハロ
ゲン単体又はハロゲン化合物の除去量を増加できるのみ
でなく、活性炭からの臭気の発生も低減できる。具体的
には、炭酸水素塩と活性炭を層状に充填塔等の容器に配
置する等して使用する。
【００２１】
【実施例】以下の各例において、硬度及び平均粒子径の
測定は下記の方法により行った。
測定は下記の方法により行った。
【００２２】硬度は、藤原製作所製の木屋式デジタル硬
度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定した。また、硬度は
粒子の大きさにより異なるため篩分けして粒子径を揃え
た。
度計ＫＨＴ−２０型を使用して測定した。また、硬度は
粒子の大きさにより異なるため篩分けして粒子径を揃え
た。
【００２３】平均粒子径は、以下の方法により測定し
た。粉末試料１００ｇを、標準篩（内径：２００ｍｍ、
金網ステンレス製）でそれぞれ目開き５．６０ｍｍ、
４．７５ｍｍ、４．００ｍｍ、２．８０ｍｍ、２．００
ｍｍ、１．００ｍｍのものを重ねあわせ、最下部に底皿
を設置した上に注ぎ、飯田製作所社製ロータップシェー
カー式振とう機（周波数６０Ｈｚ、２９０回転／分、打
数１６５回／分）で１０分間振とうさせた後、それぞれ
の標準篩上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する通
過質量の累計をグラフに表し、通過質量の累計が５０％
の時の粒子径を平均粒子径とした。
た。粉末試料１００ｇを、標準篩（内径：２００ｍｍ、
金網ステンレス製）でそれぞれ目開き５．６０ｍｍ、
４．７５ｍｍ、４．００ｍｍ、２．８０ｍｍ、２．００
ｍｍ、１．００ｍｍのものを重ねあわせ、最下部に底皿
を設置した上に注ぎ、飯田製作所社製ロータップシェー
カー式振とう機（周波数６０Ｈｚ、２９０回転／分、打
数１６５回／分）で１０分間振とうさせた後、それぞれ
の標準篩上残渣の質量を測定し、各目開き値に対する通
過質量の累計をグラフに表し、通過質量の累計が５０％
の時の粒子径を平均粒子径とした。
【００２４】[例１]一次粒子の平均粒子径が９１μｍの
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社製）
３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ工業社
製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロール外径
２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧３６．
８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水素ナト
リウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク状の成
形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー式整粒
機のメッシュを４．７５ｍｍに設定して全通させた後、
回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボスクリーナ
ーＴＳ型）を使用して、粒子径４．０ｍｍ以上の粒子と
粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均粒子径が
２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒物を得
た。
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社製）
３００ｋｇをロールプレス式圧縮成形機（ターボ工業社
製、商品名：ローラーコンパクターＷＰ型、ロール外径
２３０ｍｍ、ロール長８０ｍｍ）を使用して線圧３６．
８ｋＮ／ｃｍで圧縮成形し、フレーク状の炭酸水素ナト
リウムの粉末の成形体を得た。得られたフレーク状の成
形体をフレークブレーカーで粗砕し、ロータリー式整粒
機のメッシュを４．７５ｍｍに設定して全通させた後、
回転篩機（ターボ工業社製、商品名：ターボスクリーナ
ーＴＳ型）を使用して、粒子径４．０ｍｍ以上の粒子と
粒子径１．０ｍｍ以下の粒子を除去し、平均粒子径が
２．３ｍｍの炭酸水素ナトリウムの粉末の造粒物を得
た。
【００２５】また、前述の硬度測定法によって、造粒物
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５
ｍｍ、２．０ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、
各粒度の硬度を２０個測定し平均値を求めたところ、
０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の粒子の平均硬度が４
Ｎ、１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ未満が１２Ｎ、１．５ｍ
ｍ以上２．０ｍｍ未満が２３Ｎ、２．０ｍｍ以上が６３
Ｎであった。
の粒子強度を測定した。すなわち得られた平均粒子径
２．３ｍｍの造粒物を０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５
ｍｍ、２．０ｍｍ、２．５ｍｍの目開きの篩で篩分け、
各粒度の硬度を２０個測定し平均値を求めたところ、
０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の粒子の平均硬度が４
Ｎ、１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ未満が１２Ｎ、１．５ｍ
ｍ以上２．０ｍｍ未満が２３Ｎ、２．０ｍｍ以上が６３
Ｎであった。
【００２６】次に、底面が通気性焼結板で内径３００ｍ
ｍ、長さ１３００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として前記造粒物を３
０ｋｇ充填した。被処理ガスとして、標準状態での組成
比がＢＣｌ3：２０体積％、Ｃｌ2：６０体積％、アルゴ
ン：２０体積％のガスを流量２００ｃｍ3／分、温度６
０℃に加熱し、常圧下で、上記充填容器の底部から注入
した。充填容器の上部から流出したガスを分析したとこ
ろ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐ
ｍ以下であった。
ｍ、長さ１３００ｍｍのフッ素樹脂ライニング付きステ
ンレス鋼製の充填容器に、充填物として前記造粒物を３
０ｋｇ充填した。被処理ガスとして、標準状態での組成
比がＢＣｌ3：２０体積％、Ｃｌ2：６０体積％、アルゴ
ン：２０体積％のガスを流量２００ｃｍ3／分、温度６
０℃に加熱し、常圧下で、上記充填容器の底部から注入
した。充填容器の上部から流出したガスを分析したとこ
ろ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐ
ｍ以下であった。
【００２７】処理開始から３６１時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物を水に溶解した
ところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はなかった。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物を水に溶解した
ところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はなかった。
【００２８】[例２（比較例）]被処理ガスの温度を２５
℃に変えた以外は、例１と同様にして試験を行った。例
１と同様にして、流出ガスを分析したところ、ＢＣｌ3
は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐｍ以下であ
った。
℃に変えた以外は、例１と同様にして試験を行った。例
１と同様にして、流出ガスを分析したところ、ＢＣｌ3
は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐｍ以下であ
った。
【００２９】処理開始から３０９時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。例１と比べ、炭酸
水素ナトリウムの反応効率の悪くなったことから炭酸水
素ナトリウムの有効時間が短かった。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。例１と比べ、炭酸
水素ナトリウムの反応効率の悪くなったことから炭酸水
素ナトリウムの有効時間が短かった。
【００３０】[例３（比較例）]充填する炭酸水素ナトリ
ウム３０ｋｇを活性炭３０ｋｇに変えた以外は、例１と
同様にして試験を行った。例１と同様にして、流出ガス
を分析したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は
０．１体積ｐｐｍ以下であった。
ウム３０ｋｇを活性炭３０ｋｇに変えた以外は、例１と
同様にして試験を行った。例１と同様にして、流出ガス
を分析したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は
０．１体積ｐｐｍ以下であった。
【００３１】処理開始から１８７時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、活性炭粒子の粉化はな
かったが、塩素臭気の発生が認められた。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、活性炭粒子の粉化はな
かったが、塩素臭気の発生が認められた。
【００３２】[例４]ガスを直接６０℃に加熱せずに、充
填容器そのものを電熱ヒータにより温度７０℃とした以
外は、例１と同様にして試験を行った。例１と同様にし
て、流出ガスを分析したところ、ＢＣｌ3は検出され
ず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐｍ以下であった。
填容器そのものを電熱ヒータにより温度７０℃とした以
外は、例１と同様にして試験を行った。例１と同様にし
て、流出ガスを分析したところ、ＢＣｌ3は検出され
ず、Ｃｌ2濃度は０．１体積ｐｐｍ以下であった。
【００３３】処理開始から３６２時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。
【００３４】[例５]炭酸水素ナトリウムの充填される充
填容器内を２．７ｋＰａに減圧した以外は、例１と同様
にして試験を行った。例１と同様にして、流出ガスを分
析したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．
１体積ｐｐｍ以下であった。
填容器内を２．７ｋＰａに減圧した以外は、例１と同様
にして試験を行った。例１と同様にして、流出ガスを分
析したところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．
１体積ｐｐｍ以下であった。
【００３５】処理開始から３５５時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところすべて溶解した。
【００３６】[例６]例１と同様にして得た炭酸水素ナト
リウムの粉末の造粒物２０ｋｇと活性炭１０ｋｇとを、
同じ充填容器に充填した。被処理ガスとして、標準状態
での組成比がＢＣｌ3：２０体積％、ＣＣｌ4：０．６体
積％、Ｃｌ2：４１．１体積％、ＳｉＣｌ4：０．６体積
％、ＨＣｌ：４．８体積％、ＣＯＣｌ2：０．６体積
％、Ｆ 2：２．７体積％、ＳｉＦ4：０．６体積％、Ｈ
Ｆ：４．８体積％、ＣＯＦ2：０．６体積％、ＮＦ3：
０．８体積％、ＷＦ6：０．６体積％、ＣｌＦ3：０．６
体積％、ＨＢｒ：４．８体積％、アルゴン：２０．０体
積％のガスを使用した以外は、例１と同様にして被処理
ガスの温度を６０℃として試験を行った。例１と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、Ｃ
Ｃｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓｉ
Ｆ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ
等は検出されなかった。
リウムの粉末の造粒物２０ｋｇと活性炭１０ｋｇとを、
同じ充填容器に充填した。被処理ガスとして、標準状態
での組成比がＢＣｌ3：２０体積％、ＣＣｌ4：０．６体
積％、Ｃｌ2：４１．１体積％、ＳｉＣｌ4：０．６体積
％、ＨＣｌ：４．８体積％、ＣＯＣｌ2：０．６体積
％、Ｆ 2：２．７体積％、ＳｉＦ4：０．６体積％、Ｈ
Ｆ：４．８体積％、ＣＯＦ2：０．６体積％、ＮＦ3：
０．８体積％、ＷＦ6：０．６体積％、ＣｌＦ3：０．６
体積％、ＨＢｒ：４．８体積％、アルゴン：２０．０体
積％のガスを使用した以外は、例１と同様にして被処理
ガスの温度を６０℃として試験を行った。例１と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、Ｃ
Ｃｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓｉ
Ｆ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ
等は検出されなかった。
【００３７】処理開始から３０１時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところ９０質量％以上溶解した。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところ９０質量％以上溶解した。
【００３８】[例７（比較例）]被処理ガスの温度を２５
℃に変えた以外は、例６同様に試験した。例６と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は．１体
積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、
ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ等は検
出されなかった。
℃に変えた以外は、例６同様に試験した。例６と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は．１体
積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、ＳｉＦ4、
ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ等は検
出されなかった。
【００３９】処理開始から２６８時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところ９０質量％以上溶解した。例６と比
べ、炭酸水素ナトリウムの反応効率の悪くなったことか
ら炭酸水素ナトリウムの有効時間が短かった。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物の内、造粒物を
水に溶解したところ９０質量％以上溶解した。例６と比
べ、炭酸水素ナトリウムの反応効率の悪くなったことか
ら炭酸水素ナトリウムの有効時間が短かった。
【００４０】[例８（比較例）]炭酸水素ナトリウムを活
性炭とした以外は、例６同様に試験した。例６と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、Ｃ
Ｃｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓｉ
Ｆ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ
等は検出されなかった。
性炭とした以外は、例６同様に試験した。例６と同様に
して、流出ガスを分析したところ、Ｃｌ2濃度は０．１
体積ｐｐｍ以下で、その他アルゴン以外のＢＣｌ3、Ｃ
Ｃｌ4、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓｉ
Ｆ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3、ＨＢｒ
等は検出されなかった。
【００４１】処理開始から１８４時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、活性炭粒子の粉化はな
かったが、塩素臭気の発生が認められた。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、活性炭粒子の粉化はな
かったが、塩素臭気の発生が認められた。
【００４２】[例９]一次粒子の平均粒子径が５６μｍの
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社製）
２５ｋｇをニーダー（商品名：バッチニーダーＫＤＨＪ
−１００型、不二パウダル社製）に入れ、ここにバイン
ダーとして食品添加物用カルボキシルメチルセルロース
（商品名：Ｆ−２０、ニチリン化学工業社製）２重量％
水溶液３．７５ｋｇをスプレーで噴霧した。これを堅型
ディスク・ダイロール式ディスク・ペレッタ（商品名：
ディスク・ペレッタＦ−４０型、不二パウダル社製）を
使用して造粒した。得られた造粒物を球形整粒機（商品
名：マルメライザーＱ−４００型、不二パウダル社製）
により球形に整粒し、球状造粒物を得た。次に、この造
粒物を二酸化炭素ガス雰囲気中で温度６０℃で１２時間
静置乾燥した。
食品添加物用炭酸水素ナトリウムの粉末（旭硝子社製）
２５ｋｇをニーダー（商品名：バッチニーダーＫＤＨＪ
−１００型、不二パウダル社製）に入れ、ここにバイン
ダーとして食品添加物用カルボキシルメチルセルロース
（商品名：Ｆ−２０、ニチリン化学工業社製）２重量％
水溶液３．７５ｋｇをスプレーで噴霧した。これを堅型
ディスク・ダイロール式ディスク・ペレッタ（商品名：
ディスク・ペレッタＦ−４０型、不二パウダル社製）を
使用して造粒した。得られた造粒物を球形整粒機（商品
名：マルメライザーＱ−４００型、不二パウダル社製）
により球形に整粒し、球状造粒物を得た。次に、この造
粒物を二酸化炭素ガス雰囲気中で温度６０℃で１２時間
静置乾燥した。
【００４３】得られた造粒物を５．６ｍｍの目開きの篩
で篩分け、その篩下を、さらに、２．８ｍｍの目開きの
篩で篩分け、平均粒子径４．４ｍｍの球状造粒物を１２
ｋｇ得た。以上の操作を３回行い、球状造粒物を３０ｋ
ｇ得た。
で篩分け、その篩下を、さらに、２．８ｍｍの目開きの
篩で篩分け、平均粒子径４．４ｍｍの球状造粒物を１２
ｋｇ得た。以上の操作を３回行い、球状造粒物を３０ｋ
ｇ得た。
【００４４】例１と同じ硬度測定法により、造粒物の硬
度を２０個測定し平均値を求めたところ、粒度２．０ｍ
ｍ以上の粒子の平均硬度が５６Ｎであった。
度を２０個測定し平均値を求めたところ、粒度２．０ｍ
ｍ以上の粒子の平均硬度が５６Ｎであった。
【００４５】充填物を粒度２．０ｍｍ以上の球状造粒物
３０ｋｇに変えた以外は、例１と同様にして試験を行っ
た。
３０ｋｇに変えた以外は、例１と同様にして試験を行っ
た。
【００４６】充填容器の上部から流出したガスを分析し
たところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体
積ｐｐｍ以下であった。
たところ、ＢＣｌ3は検出されず、Ｃｌ2濃度は０．１体
積ｐｐｍ以下であった。
【００４７】処理開始から３５９時間経過後に流出ガス
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物を水に溶解した
ところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はなかった。
中のＣｌ2濃度が０．１体積ｐｐｍを超えて上昇し始め
た。充填物を取り出したところ、造粒物粒子の粉化や臭
気の発生はなかった。また、この充填物を水に溶解した
ところすべて溶解し、固形廃棄物の発生はなかった。
【００４８】
【発明の効果】本発明により、ハロゲン単体又はハロゲ
ン化合物を吸着することのできる除去剤として、使用時
に粉化せず、除去能力が高く、臭気の発生が少ない造粒
物が得られる。また、本発明の造粒物は、従来の活性炭
を使用する充填塔等にそのまま適用できる。本発明で
は、ハロゲン系ガスの温度を４０℃以上かつ８０℃未満
とすることにより、造粒物のハロゲン系ガスの除去能力
を高めることができ、また、造粒物の効果も長く維持で
きる。
ン化合物を吸着することのできる除去剤として、使用時
に粉化せず、除去能力が高く、臭気の発生が少ない造粒
物が得られる。また、本発明の造粒物は、従来の活性炭
を使用する充填塔等にそのまま適用できる。本発明で
は、ハロゲン系ガスの温度を４０℃以上かつ８０℃未満
とすることにより、造粒物のハロゲン系ガスの除去能力
を高めることができ、また、造粒物の効果も長く維持で
きる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 八朗 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 森 要一 福岡県北九州市戸畑区牧山５丁目１番１号 旭硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 4D002 AA18 AA19 AA22 AA23 AA24 AA26 BA03 BA04 CA07 DA02 DA03 DA16 DA41 EA06 GA01 GB08 GB12 GB20 HA01 4G066 AA05B AA43B BA09 BA20 BA35 CA32 DA02 FA26 FA37
Claims (6)
- 【請求項１】一次粒子の平均粒子径１０〜５００μｍの
炭酸水素塩の粉末を造粒し、得られた造粒物を、温度４
０℃以上かつ８０℃未満において、ハロゲン単体又はハ
ロゲン化合物からなるハロゲン系ガスに接触させてハロ
ゲン系ガスを除去する、ハロゲン系ガスの除去方法。 - 【請求項２】前記造粒物が平均粒子径０．５〜２０ｍｍ
であって、下記で規定される平均硬度を有する請求項１
に記載のハロゲン系ガスの除去方法。 平均粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の場
合は粒子径０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満の造粒物の平
均硬度が１Ｎ以上であり、 平均粒子径１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の場
合は粒子径１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ未満の造粒物の平
均硬度が４Ｎ以上であり、 平均粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物の場
合は粒子径１．５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満の造粒物の平
均硬度が１０Ｎ以上であり、 平均粒子径２．０ｍｍ以上２０ｍｍの造粒物の場合は粒
子径２．０ｍｍ以上の造粒物の平均硬度が３０Ｎ以上で
ある。 - 【請求項３】前記炭酸水素塩が炭酸水素ナトリウムであ
る請求項１又は２に記載のハロゲン系ガスの除去方法。 - 【請求項４】前記造粒物が炭酸水素ナトリウムを７０質
量％以上含有する請求項３に記載のハロゲン系ガスの除
去方法。 - 【請求項５】前記ハロゲン系ガスが、ＢＣｌ3、ＣＣ
ｌ4、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4、ＨＣｌ、ＣＯＣｌ2、Ｆ2、Ｓ
ｉＦ4、ＨＦ、ＣＯＦ2、ＮＦ3、ＷＦ6、ＣｌＦ3及びＨ
Ｂｒからなる群より選ばれる一種以上であり、前記ハロ
ゲン系ガスの温度が４０℃以上かつ８０℃未満である請
求項１〜４のいずれかに記載のハロゲン系ガスの除去方
法。 - 【請求項６】前記造粒物を活性炭とともに容器に充填し
て前記ハロゲン系ガスと接触させてハロゲン系ガスを除
去する請求項１〜５のいずれかに記載のハロゲン系ガス
の除去方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001124231A JP5008801B2 (ja) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| EP01126470A EP1205230B1 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen-containing gas |
| DE60117909T DE60117909T2 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum Entfernen eines Gases der Halogen(verbindungs)gruppe |
| ES01126470T ES2260144T3 (es) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Metodo para eliminar un gas de la serie de los halogenos. |
| AT01126470T ATE320300T1 (de) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Verfahren zum entfernen von einem halogen- enthaltendem gas |
| US09/986,587 US6685901B2 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-09 | Method for removing a halogen series gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001124231A JP5008801B2 (ja) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010264083A Division JP2011062697A (ja) | 2010-11-26 | 2010-11-26 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002316018A true JP2002316018A (ja) | 2002-10-29 |
| JP5008801B2 JP5008801B2 (ja) | 2012-08-22 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2001124231A Expired - Fee Related JP5008801B2 (ja) | 2000-11-10 | 2001-04-23 | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP5008801B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010120807A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Morita Kagaku Kogyo Kk | フロン破壊ガス、または、ドライエッチング排ガス中の塩素およびフッ素の選択的固定化と回収物のリサイクル |
| JP2011062697A (ja) * | 2010-11-26 | 2011-03-31 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161619A (ja) * | 1984-09-04 | 1986-03-29 | Asahi Glass Co Ltd | 排ガスの処理方法 |
| JPH05237324A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-09-17 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化方法 |
| JP2000246059A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-12 | Showa Denko Kk | 難分解性有機塩素化合物の分解用反応剤および分解方法 |
| JP2000254438A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-19 | Showa Denko Kk | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 |
| JP2002143640A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-21 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
-
2001
- 2001-04-23 JP JP2001124231A patent/JP5008801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161619A (ja) * | 1984-09-04 | 1986-03-29 | Asahi Glass Co Ltd | 排ガスの処理方法 |
| JPH05237324A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-09-17 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化方法 |
| JP2000246059A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-12 | Showa Denko Kk | 難分解性有機塩素化合物の分解用反応剤および分解方法 |
| JP2000254438A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-19 | Showa Denko Kk | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 |
| JP2002143640A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-21 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2011062697A (ja) * | 2010-11-26 | 2011-03-31 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
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