JPS6161619A - 排ガスの処理方法 - Google Patents
排ガスの処理方法Info
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- JPS6161619A JPS6161619A JP59183637A JP18363784A JPS6161619A JP S6161619 A JPS6161619 A JP S6161619A JP 59183637 A JP59183637 A JP 59183637A JP 18363784 A JP18363784 A JP 18363784A JP S6161619 A JPS6161619 A JP S6161619A
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- gas
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- waste gas
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/86—Catalytic processes
- B01D53/8659—Removing halogens or halogen compounds
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は排ガスの処理方法、特にアルミニウムやシリコ
ン等の１楓を弗素或は塩素を含むガスｖｃよってドライ
エツチングした際、排出されたガス中の弗素分や塩素分
を有効に捕促せしめる処理手段に係るものである。
ン等の１楓を弗素或は塩素を含むガスｖｃよってドライ
エツチングした際、排出されたガス中の弗素分や塩素分
を有効に捕促せしめる処理手段に係るものである。
近年各種エレクトロニクスの発展に伴ない、それらに用
いられる７４子基板として７替コン、電極材としてアル
ミニウム等の家餌が多数用いられ、これらは必要に応じ
てエツチング処理される。かかるエツチング剤としては
例えばＢ（：１３、Ｃ１ｇ、ＣＦ、、ＣＨＦ３、ＣＣＩ
、等の塩素分や弗素分が多く用いられ、エツチング処理
後はこれらを含んた排ガスが排出される。
いられる７４子基板として７替コン、電極材としてアル
ミニウム等の家餌が多数用いられ、これらは必要に応じ
てエツチング処理される。かかるエツチング剤としては
例えばＢ（：１３、Ｃ１ｇ、ＣＦ、、ＣＨＦ３、ＣＣＩ
、等の塩素分や弗素分が多く用いられ、エツチング処理
後はこれらを含んた排ガスが排出される。
これら排ガスは個々にはそれ程大量では、な−が、含ま
れる塩素分や弗素分の濃度が比較的高い為、これらガス
をその１１大気中に放出することは公害防止の見地から
許されない。
れる塩素分や弗素分の濃度が比較的高い為、これらガス
をその１１大気中に放出することは公害防止の見地から
許されない。
従来、かかる排ガスの処理手段としては、例えば活性炭
等によるガス吸着が排液等を生じないとして有力な手段
とされて来九。
等によるガス吸着が排液等を生じないとして有力な手段
とされて来九。
処で、かかるエツチング手段としては所謂ドライエツチ
ングが一般に用いられており、処理ガスは真空ポンプに
より強制的にエツチングの場から排出される手段が採ら
れている。この為、活性炭等の吸着剤による排ガス処理
全採用すると、真空ポンプｚり前では雰囲気が脱着雰囲
気となる為興施し得す、真空ボンダより後の部分で行な
わざるを得ない。
ングが一般に用いられており、処理ガスは真空ポンプに
より強制的にエツチングの場から排出される手段が採ら
れている。この為、活性炭等の吸着剤による排ガス処理
全採用すると、真空ポンプｚり前では雰囲気が脱着雰囲
気となる為興施し得す、真空ボンダより後の部分で行な
わざるを得ない。
しかしながら、とのｔｌｔｌｃ塩素分や弗素分を含んだ
ガスを真空ポンプに通すと、ポンプ内の油が分解し、°
ポンプの運転に著しい支障を来たす。
ガスを真空ポンプに通すと、ポンプ内の油が分解し、°
ポンプの運転に著しい支障を来たす。
この為従来においては度々真空ボ／プｔ−調整したり取
り換えを行ないつつ処理せざるを得す、その操作が煩雑
である等の欠点を有していた。
り換えを行ないつつ処理せざるを得す、その操作が煩雑
である等の欠点を有していた。
本発明者はかかる点に鑑み、エツチング排ガスｔ−容易
且確実に無害化出来、しかも非真空雰凹気、即ち真空ポ
ンプに吸入される前にエツチングガスｔ［効に処理し得
る手段を見出すことを目的として徨々研究、検討した結
果、吸着法によらず、有害ガス成は腐食性ガスと反応し
てこれｔ−無害化し得るような特定の固体物質を用いる
ことにより前記目的ｔ−達成し得ることを見出した。
且確実に無害化出来、しかも非真空雰凹気、即ち真空ポ
ンプに吸入される前にエツチングガスｔ［効に処理し得
る手段を見出すことを目的として徨々研究、検討した結
果、吸着法によらず、有害ガス成は腐食性ガスと反応し
てこれｔ−無害化し得るような特定の固体物質を用いる
ことにより前記目的ｔ−達成し得ることを見出した。
かくして本発明は、弗素外及び／又は塩素分を含有する
排ガスを、酸化マグネシウム、炭酸″ｑグネシウム、塩
基性炭酸マグネシウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、酸化カルシウム、珪酸カルシウムから選ばれた少
なくとも一棟と接触せしめることを特徴とする排ガスの
処理方法を提供するＫある。
排ガスを、酸化マグネシウム、炭酸″ｑグネシウム、塩
基性炭酸マグネシウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、酸化カルシウム、珪酸カルシウムから選ばれた少
なくとも一棟と接触せしめることを特徴とする排ガスの
処理方法を提供するＫある。
本発明にかいて排ガス中に含まれる有害或は腐食性の弗
素外としてはその形態として例えばＨＩＦが、又有害或
は腐食性の塩素分としてはその形態として例えばＢＣｌ
３、Ｃ１２、ＨＣＩ等が挙げられ、これらは一種或は二
種以上適宜な割合で混合していて差し支えない。
素外としてはその形態として例えばＨＩＦが、又有害或
は腐食性の塩素分としてはその形態として例えばＢＣｌ
３、Ｃ１２、ＨＣＩ等が挙げられ、これらは一種或は二
種以上適宜な割合で混合していて差し支えない。
この様な排ガスに対し、本発明においては、酸化マグネ
シウム、水ば化マグネシウム、炭酸マグネシウム、塩基
性炭酸マグネジタム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウ
ム、１４１化カルシウム、珪酸カルシウムｓ４を適宜−
纏或は二種以上と乾式で接触せしめられる。こｉらは一
般的にＶ′ｉ排ガスに対し１．Ａ′ｉｆＬ槌ｒＡｔ選び
、単独若しくは仮数ｔｎ類を適宜な割合に混合し、若し
くは複数直列に接続する等して用いろことが出来る。
シウム、水ば化マグネシウム、炭酸マグネシウム、塩基
性炭酸マグネジタム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウ
ム、１４１化カルシウム、珪酸カルシウムｓ４を適宜−
纏或は二種以上と乾式で接触せしめられる。こｉらは一
般的にＶ′ｉ排ガスに対し１．Ａ′ｉｆＬ槌ｒＡｔ選び
、単独若しくは仮数ｔｎ類を適宜な割合に混合し、若し
くは複数直列に接続する等して用いろことが出来る。
これら排ガスと接触される物質は例えば多孔質粉末状、
多孔質粉状絆の性状で用い得るが、多孔質粒状の性状を
採用すると排ガスとの接触表面積が大きく且排ガスが通
過する際の圧力損失が小さいとの理由から特に好ましい
。実際、これら物質と排ガスとをＩ４触せしめる手段と
しては例えば粉状又は粒状品の固定層、移動〜、流動層
等の手段を適宜採用し得る。
多孔質粉状絆の性状で用い得るが、多孔質粒状の性状を
採用すると排ガスとの接触表面積が大きく且排ガスが通
過する際の圧力損失が小さいとの理由から特に好ましい
。実際、これら物質と排ガスとをＩ４触せしめる手段と
しては例えば粉状又は粒状品の固定層、移動〜、流動層
等の手段を適宜採用し得る。
次に本発明ｆ：夾励例により説明する。
実施例エ
アルミニウムのドライエツチング装置から排出された廃
ガス（ｏ ′ｏ ｓ ｓ気圧換算の濃度で、ＢＣｌ３
６９．２′４量チ、ＨＣｌ２ｇ、６容ｆｆｉチ、Ｃ１２
１，２容量チなる組成からなり、真空ポンプの上流のガ
ス）を、直径１２■、長さ３００ｊ１１＋のステンレス
製管に充填材として顆粒状酸化マグネシウム（平均粒子
径１ｓａ＋、見掛比重０．４５、Ｂ１１Ｔ比表面積１８
０ｍ”／ｇ）ｔｌｏＯｇ充填した反応管に、標準状ｇ
（ｏ ’ｏ、冬気圧）換算流量０．２１１／分、温［８
０°０、絶対圧力ｇ、１ｔｏｒｒなる条件で通過させた
。反応管を出たガス１に真空ポンプによって吸引し２Ｍ
１Ｚ分のＭ２ガスを混合させた後、真空ポンプ出口のガ
スを採取し化学分析を行なり九。
ガス（ｏ ′ｏ ｓ ｓ気圧換算の濃度で、ＢＣｌ３
６９．２′４量チ、ＨＣｌ２ｇ、６容ｆｆｉチ、Ｃ１２
１，２容量チなる組成からなり、真空ポンプの上流のガ
ス）を、直径１２■、長さ３００ｊ１１＋のステンレス
製管に充填材として顆粒状酸化マグネシウム（平均粒子
径１ｓａ＋、見掛比重０．４５、Ｂ１１Ｔ比表面積１８
０ｍ”／ｇ）ｔｌｏＯｇ充填した反応管に、標準状ｇ
（ｏ ’ｏ、冬気圧）換算流量０．２１１／分、温［８
０°０、絶対圧力ｇ、１ｔｏｒｒなる条件で通過させた
。反応管を出たガス１に真空ポンプによって吸引し２Ｍ
１Ｚ分のＭ２ガスを混合させた後、真空ポンプ出口のガ
スを採取し化学分析を行なり九。
廃ガスを反応管に導入後１時間後の真空ポンプ出ロガＸ
の分析値は、ＢＣ１３３ｐｐｍ、ＨＣ１５ｐｐｍ１Ｃ１
２１０ｐｐｍであった。
の分析値は、ＢＣ１３３ｐｐｍ、ＨＣ１５ｐｐｍ１Ｃ１
２１０ｐｐｍであった。
実施例２
二酸化珪素膜のドライエツチング装置から排出された廃
ガス（０′０．１気圧換算の濃度で、ＣＦ４７０．５
容ｉ％、Ｈ２２１，３容量チ、ＨＰｏ、５８容量チな
る組成からなり、真空ポンプの上流のガス）を実施例１
と同様にして処理し、真空ポンプ出口のガスを採取し化
学分析を行なった。
ガス（０′０．１気圧換算の濃度で、ＣＦ４７０．５
容ｉ％、Ｈ２２１，３容量チ、ＨＰｏ、５８容量チな
る組成からなり、真空ポンプの上流のガス）を実施例１
と同様にして処理し、真空ポンプ出口のガスを採取し化
学分析を行なった。
廃ガスを反応管に導入後１時間後の真空ポンプ出口ガス
の分析値は、Ｈ″７２Ｐｐｍであった。
の分析値は、Ｈ″７２Ｐｐｍであった。
実施例３〜９
前記実施例に示されたと同じ反応管を用いて、充填剤を
かえて、実施例１に示されたと同じ組成の廃ガスを、実
施例１と同じ条件で処理し、真空ポンプ出口ガス（Ｍ２
ガスが混合されたガス）を採取し化学分析し次結果
ｆ：表１に示す。
かえて、実施例１に示されたと同じ組成の廃ガスを、実
施例１と同じ条件で処理し、真空ポンプ出口ガス（Ｍ２
ガスが混合されたガス）を採取し化学分析し次結果
ｆ：表１に示す。
実施例１０−１６
前記＊施例に示されたと同じ反応管を用いて、充填剤を
かえて、実施例ＩＫ示されたと同じ組成の廃ガスを、前
記実施例と同じ条件で処理し、真空ボング出ロガス（Ｎ
、 ガスが混合されたガス）を採取し化学分析した結
果を懺２に示す。
かえて、実施例ＩＫ示されたと同じ組成の廃ガスを、前
記実施例と同じ条件で処理し、真空ボング出ロガス（Ｎ
、 ガスが混合されたガス）を採取し化学分析した結
果を懺２に示す。
手続補正書
昭和６０年１月２２日
Claims (1)
- １、弗素分及び／又は塩素分を含有する排ガスを、酸化
マグネシウム、炭酸マグネシウム、塩基性炭酸マグネシ
ウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、酸化カルシ
ウム、珪酸カルシウムから選ばれた少なくとも一種と接
触せしめることを特徴とする排ガスの処理方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59183637A JPS6161619A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | 排ガスの処理方法 |
| US06/772,431 US4673558A (en) | 1984-09-04 | 1985-09-04 | Method for treating a waste gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59183637A JPS6161619A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | 排ガスの処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161619A true JPS6161619A (ja) | 1986-03-29 |
| JPH0521007B2 JPH0521007B2 (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16139263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59183637A Granted JPS6161619A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | 排ガスの処理方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4673558A (ja) |
| JP (1) | JPS6161619A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4861578A (en) * | 1987-07-28 | 1989-08-29 | Ebara Corporation | Method of treating waste gas |
| JPH0340549U (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-18 | ||
| JPH0340548U (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-18 | ||
| JPH0378244U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-07 | ||
| JPH03202128A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-03 | Ebara Res Co Ltd | Ｎｆ↓３の除害方法 |
| JPH05277341A (ja) * | 1991-03-04 | 1993-10-26 | Iwatani Internatl Corp | フッ化窒素排ガスの除害装置 |
| JP2002316018A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-29 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| JP2003010635A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-14 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン単体とハロゲン化物との除去方法 |
| US7306775B2 (en) | 2001-10-12 | 2007-12-11 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing halogen series gas |
| JP2011062697A (ja) * | 2010-11-26 | 2011-03-31 | Sanwa Chemical Kk | ハロゲン系ガスの除去方法 |
| KR101726299B1 (ko) | 2016-05-25 | 2017-04-12 | (주)중앙플랜트 | 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법 |
| KR20200088091A (ko) | 2019-01-14 | 2020-07-22 | (주)중앙플랜트 | 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 |
Families Citing this family (7)
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| JPH06177B2 (ja) * | 1990-02-05 | 1994-01-05 | 株式会社荏原総合研究所 | Ｃ１ｆ▲下３▼を含有する排ガスの処理方法 |
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| RU2159666C1 (ru) | 1999-11-24 | 2000-11-27 | Дыкман Аркадий Самуилович | Способ очистки промышленных газовых выбросов |
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|---|---|---|---|---|
| BE560740A (ja) * | 1956-09-12 | 1958-03-11 |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP59183637A patent/JPS6161619A/ja active Granted
-
1985
- 1985-09-04 US US06/772,431 patent/US4673558A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
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| KR101726299B1 (ko) | 2016-05-25 | 2017-04-12 | (주)중앙플랜트 | 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법 |
| KR20200088091A (ko) | 2019-01-14 | 2020-07-22 | (주)중앙플랜트 | 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521007B2 (ja) | 1993-03-23 |
| US4673558A (en) | 1987-06-16 |
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