JP2002299542A - 複合リードフレーム及びこれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
を接続する金ワイヤを省略し、またTAB基板とインナ
ーリードを接着剤無しで接合し、信頼性を向上させるこ
と、さらには、接合時および接合後におけるリード変形
及びショート不良を防止する。 【解決手段】リードフレーム1のインナーリード先端2
aに銀めっき部3を施し、またTAB基板6の絶縁性フ
ィルム10上に形成した銅箔11の配線パターンに金め
っき部12を施し、この銀めっき部3と金めっき部12
を接合してリードフレーム1とTAB基板6を金属接合
する。
Description
及びこれを用いたパッケージ構造の半導体装置に関する
ものである。
ーリードに、半導体装置用TAB基板(テープキャリ
ア)のアウターリード部を接合し、TAB基板と半導体
チップをTAB接合により一括接合する複合リードフレ
ームがある。この複合リードフレームでは、フレキシブ
ル配線TAB基板のリードの外側部(アウターリード)
と外枠側のリードフレームの内側部(インナーリード)
とを何らかの方法で電気的に接続する必要がある。
パッケージの構造例を図4に示す。複合リードフレーム
は、絶縁性フィルムの片面に導体の微細配線パターンを
設けたTAB基板6と、リードフレーム1のインナーリ
ード2の先端2aとを接合した構成を有する。
aには銀めっきから成る被覆(銀めっき部3)を施す。
またリードフレーム1はダイパット4を有し、そのダイ
パット4上に接着剤5を介してTAB基板6を貼付け
る。接着剤5には熱可塑性または熱硬化性のものを用
い、ダイパット4またはTAB基板6にその接着剤5を
塗布または貼付ける。
に搭載され、半導体チップ7の素子電極とTAB基板6
の配線パターンを金ワイヤ8aでボンディングする。ま
たTAB基板6の配線パターンとリードフレーム1のイ
ンナーリード先端2aを金ワイヤ8bでボンディングす
る。その後、リードフレーム1のアウターリードを残し
て全体をレジン9で封止し、半導体パッケージを完成す
る。
図5に示すように、絶縁性フィルム61の片面に銅箔6
2の配線パターンを形成したTABテープ60(TAB
基板6)を、そのリード63の外側部、すなわち絶縁性
フィルム61の領域外へ延在したTABアウターリード
63aの部分にて、金属リードフレーム1のインナーリ
ード2の先端2aと接合した構造であって、その接合部
を構成するTABテープ60のTABアウターリード6
3a側には金又は銀の被覆64を施し、また相手側のリ
ードフレーム1のインナーリード先端2aには金又は銀
の被覆65を施す構成が開示されている。
示した従来構造の複合リードフレームを用いた場合、T
AB基板6とリードフレーム1のインナーリード2を金
ワイヤ8bでボンディングしたり、リードフレーム1の
ダイパット4またはTAB基板6に接着剤5を塗布また
は貼付ける必要があるため、工程数が多い。また接着剤
5を用いているためにキュアが必要になり、その時に発
生するアウトガス等により信頼性が劣る。
号公報の複合リードフレームによれば、図4のTAB基
板6とリードフレーム1のインナーリード2を接続する
金ワイヤ8bの代わりにTABアウターリード63aを
直接に用いて接続した構造となるため、金ワイヤ8bを
省略することができる。
に記載の複合リードフレームでは、図5から判るよう
に、TABテープ60のアウターリード接合部が銅箔等
の薄い単層構造であり、アウターリード63aの裏面に
絶縁性フィルム61が存在しないため、アウターリード
63aのリード幅が細くなると、リードの剛性が弱くな
り、接合時に変形しやすく、隣接リードに接触し、ショ
ート不良になりやすい。また、接合後においてもリード
フレーム1の反り等により、インナーリード2がシフト
し、接合部のTABテープ60のアウターリード63a
も同時にシフトし、隣接リードに接触してショート不良
を起こしやすい。
基板とリードフレームのインナーリードを接続する金ワ
イヤを省略し、またTAB基板とインナーリードを接着
剤無しで接合し、信頼性を向上させること、さらには、
接合時および接合後におけるリード変形及びショート不
良を防止することにある。
め、本発明は、次のように構成したものである。
は、リードフレームのインナーリード先端に銀めっきを
施し、またTAB基板の絶縁性フィルム上に形成した銅
箔の配線パターンに金めっきを施し、この銀めっき部と
金めっき部を接合してリードフレームとTAB基板を金
属接合したことを特徴とする。
は、リードフレームのインナーリード先端に金めっきを
施し、またTAB基板の絶縁性フィルム上に形成した銅
箔の配線パターンに銀めっきを施し、この金めっき部と
銀めっき部を接合してリードフレームとTAB基板を金
属接合したことを特徴とする。
の複合リードフレームにおいて、TAB基板側の接合部
の断面構成が、絶縁性フィルムと、銅箔と、金めっき部
又は銀めっき部とからなることを特徴とする。
請求項1、2又は3のいずれかに記載の複合リードフレ
ームを用い、そのTAB基板上の配線パターン側に半導
体チップを搭載し、その素子電極をTAB基板の配線パ
ターンとボンディングワイヤにより接続し、リードフレ
ームのアウターリードを残して全体をレジンで封止した
ことを特徴とする。
のインナーリード先端に銀めっき又は金めっきを施し、
またTAB基板の絶縁性フィルム上に形成した銅箔の配
線パターンに金めっき又は銀めっきを施し、この銀めっ
き部と金めっき部を接合してリードフレームとTAB基
板を金属接合した複合リードフレームであり、具体的に
は2つの形態がある。
先端に銀めっきを施し、またTAB基板の絶縁性フィル
ム上に形成した銅箔の配線パターンに金めっきを施し、
この銀めっき部と金めっき部を接合してリードフレーム
とTAB基板を金属接合した複合リードフレームである
(請求項1)。第2は、リードフレームのインナーリー
ド先端に金めっきを施し、またTAB基板の絶縁性フィ
ルム上に形成した銅箔の配線パターンに銀めっきを施
し、この金めっき部と銀めっき部を接合してリードフレ
ームとTAB基板を金属接合した複合リードフレームで
ある(請求項2)。
めっきとTAB基板パターンの金めっきを熱圧着し、リ
ードフレームのインナーリードとTAB基板を電気的に
接合させるものである。このTAB基板側の接合部の断
面構成は、絶縁性フィルムと、銅箔と、金めっき部又は
銀めっき部とからなる(請求項3)。
TAB基板側とリードフレーム側のリードが、銀めっき
部と金めっき部を介して直接に金属接合されるため、従
来構造で用いていた金ワイヤ及び金ワイヤボンディング
の工程を省略することができる。また接着剤を用いない
構造であるため、信頼性試験等の加熱によるアウトガス
の発生が無く信頼性に優れる。
フィルム上に形成した銅箔の配線パターンに金めっきを
施して成る金めっき部であり、その接合部には下地とし
て絶縁性フィルムが存在しているため、剛性が高く、従
ってリードの変形がない接合が可能であり、ショート不
良を防止することができる。
複合リードフレームを用い、そのTAB基板上の配線パ
ターン側に半導体チップを搭載し、その素子電極をTA
B基板の配線パターンとボンディングワイヤにより接続
し、リードフレームのアウターリードを残して全体をレ
ジンで封止した構成であり、TAB基板側とリードフレ
ーム側のリードが、銀めっき部と金めっき部を介して直
接に金属接合されるため、従来におけるリードフレーム
とTAB基板のワイヤボンディングを省略した半導体装
置パッケージが得られる。
基づいて説明する。
る接合部の構造を示す断面図、図2はその複合リードフ
レームの構造を加熱圧着工程における状態にて示す断面
図、図3はこの複合リードフレームを用いて構成した半
導体装置のパッケージ構造の断面図である。
縁性フィルム10の片面に銅箔11によりリード15を
含む微細配線パターンを設けたTAB基板6と、金属リ
ードフレーム1のインナーリード2の先端2aとを接合
した構成を有する。
端2aには、銀めっきから成る被覆(銀めっき部3)が
形成されている。またTAB基板6上に銅箔11により
形成した配線パターンのリード15(図1)には、金め
っきから成る被覆(金めっき部12)が形成されてい
る。すなわち、TAB基板6の接合パット部の断面は、
絶縁性フィルム10を下地とした銅箔11上に金めっき
部12を形成した構造となっている。
3とTAB基板6パターン接合パットの金めっき部12
を図1のように位置合わせし、図2に示す如く上ヒータ
ブロック13と下ヒータブロック14により、リードフ
レーム1のインナーリード2とTAB基板6をクランプ
し、熱と圧力をかけて接合させる。すなわち銀めっき部
3と金めっき部12を接合してリードフレーム1とTA
B基板6を金属接合する。
基板6が導通することになり、従来用いていた金ワイヤ
8aによるワイヤボンディングが不要になる。
置パッケージを組み立てる際には、TAB基板6上の銅
箔11の配線パターン側に半導体チップ7を搭載し、そ
の素子電極と配線パターンの内側部(インナーリード)
とを金ワイヤ8bでワイヤボンディングして接続した
後、金属リードフレーム1のアウターリードを残して、
全体をレジン9でモールドし、半導体装置パッケージを
完成する。
フレーム構造を用いることにより、リードフレームのイ
ンナーリードとTAB基板の配線パターンが銀めっき部
と金めっき部を介して直接に電気的に接合されるため、
従来構造で用いていた金ワイヤ及び金ワイヤボンディン
グの工程を省略することができる。また接着剤を用いな
い構造であるため、信頼性試験等の加熱によるアウトガ
スの発生が無く信頼性に優れる。
が、絶縁性フィルムを下地とした銅箔上に金めっきを施
した構成となっているため、剛性が高く、リードの変形
がない接合を行うことができ、ショート不良を防止する
ことができる。
造を示した図である。
圧着時の状態で示した図である。
ッケージの断面構造を示した図である。
ケージの断面構造を示す図である。
を示した図である。
Claims (4)
- 【請求項1】リードフレームのインナーリード先端に銀
めっきを施し、またTAB基板の絶縁性フィルム上に形
成した銅箔の配線パターンに金めっきを施し、この銀め
っき部と金めっき部を接合してリードフレームとTAB
基板を金属接合したことを特徴とする複合リードフレー
ム。 - 【請求項2】リードフレームのインナーリード先端に金
めっきを施し、またTAB基板の絶縁性フィルム上に形
成した銅箔の配線パターンに銀めっきを施し、この金め
っき部と銀めっき部を接合してリードフレームとTAB
基板を金属接合したことを特徴とする複合リードフレー
ム。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の複合リードフレー
ムにおいて、TAB基板側の接合部の断面構成が、絶縁
性フィルムと、銅箔と、金めっき部又は銀めっき部とか
らなることを特徴とする複合リードフレーム。 - 【請求項4】請求項1、2又は3のいずれかに記載の複
合リードフレームを用い、そのTAB基板上の配線パタ
ーン側に半導体チップを搭載し、その素子電極をTAB
基板の配線パターンとボンディングワイヤにより接続
し、リードフレームのアウターリードを残して全体をレ
ジンで封止したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001096763A JP2002299542A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | 複合リードフレーム及びこれを用いた半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001096763A JP2002299542A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | 複合リードフレーム及びこれを用いた半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002299542A true JP2002299542A (ja) | 2002-10-11 |
Family
ID=18950645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001096763A Pending JP2002299542A (ja) | 2001-03-29 | 2001-03-29 | 複合リードフレーム及びこれを用いた半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002299542A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242743A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Hitachi Ltd | 鉛フリーはんだを用いたリード付き電子部品 |
-
2001
- 2001-03-29 JP JP2001096763A patent/JP2002299542A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242743A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Hitachi Ltd | 鉛フリーはんだを用いたリード付き電子部品 |
JP4595835B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2010-12-08 | 株式会社日立製作所 | 鉛フリーはんだを用いたリード付き電子部品 |
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