JP2002287652A - ガラス基板のクリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく
行え、洗浄剤を必要部分に確実に塗布することができる
ガラス基板のクリーニング装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパ
テープ１０によって除去するガラス基板のクリーニング
装置において、供給リール１１Ａからワイパテープ１０
を回転駆動される送りローラ１５と従動ローラ１６を備
えたテープ送り機構１２Ａによって引き出して楔形状の
押圧子８Ａを周回させ、ここでワイパテープ１０をガラ
ス基板の縁部に押しつけてクリーニングを行う。押圧子
８Ａの先端のエッジ部の上流側には洗浄剤の吐出孔が設
けられており、ここでワイパテープ１０に洗浄剤が塗布
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示パネルなどの
ガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリ
ーニング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】表示パネルなどのガラス基板の製造工程
では、ガラス基板の縁部に形成された端子にサブ基板が
接続される。この接続の方法として異方性導電材によっ
てガラス基板にサブ基板を接合する方法が用いられる。
この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表面に付着し
た異物の除去や、ガラス基板表面に電子部品を実装する
ために貼付される異方性導電材の貼着性を向上させるこ
とを目的としたクリーニングが行われる。

【０００３】このクリーニングは、縁部に押圧子によっ
てワイパテープを押し付けた状態で、ガラス基板を押圧
子に対して相対的にスライドさせ、ワイパテープによっ
てガラス板に付着した付着物を拭き取ることにより行わ
れる。使用されるワイパテープは供給リールに卷回した
状態で供給され、押圧子を周回して巻き取りリールに巻
き取られて回収される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のガ
ラス基板のクリーニング装置では、ワイパテープを供給
リールから引き出して送給するテープ送り機構やワイパ
テープに対してクリーニング用の洗浄剤を塗布する洗浄
剤塗布機構の構成に起因して、テープ送り駆動系が複雑
になり、また洗浄剤を必要部分に安定して塗布すること
ができないという問題点があった。

【０００５】そこで本発明は、簡便な構成でテープ状清
掃材の送りを正しく行え、洗浄剤を必要部分に確実に塗
布することができるガラス基板のクリーニング装置を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のガラス基
板のクリーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着
物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリ
ーニング装置であって、前記テープ状清掃材を卷回状態
で供給する供給リールと、前記テープ状清掃材を供給リ
ールから引き出して送給するテープ送り手段と、このテ
ープ送り手段によるテープ送り量を検出する送り量検出
手段と、前記供給リールから引き出されたテープ状清掃
材に送り出し方向と反対方向の張力を付与する張力付与
手段と、前記張力の上限値を規定する張力規定手段と、
前記引き出されたテープ状清掃材を前記縁部に押しつけ
る押圧子と、使用後のテープ状清掃材を巻き取る巻き取
りリールと、この巻き取りリールを回転駆動する巻き取
り駆動手段と、巻き取りリールによるテープ状清掃材の
巻き取り力の上限値を規定する巻き取り力規定手段とを
備えた。

【０００７】請求項２記載のガラス基板のクリーニング
装置は、請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置
であって、前記張力付与手段と前記巻き取り駆動手段
は、同一の駆動源によって駆動される。

【０００８】請求項３記載のガラス基板のクリーニング
装置は、請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置
であって、前記テープ送り手段は、送り駆動源によって
回転駆動され前記テープ状清掃材に当接することにより
このテープ状清掃材を摩擦力によって送給する送りロー
ラと、この送りローラに対してテープ状清掃材を押圧し
テープ状清掃材と共に回転する従動ローラとを備え、前
記送り量検出手段は、この従動ローラの回転量を検出す
ることによりテープ状清掃材の送り量を検出する。

【０００９】請求項４記載のガラス基板のクリーニング
装置は、請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置
であって、前記押圧子はテープ状清掃材が外面に沿って
周回する鋭角のエッジ部を有した楔形状となっており、
前記エッジ部のテープ送り方向の上流側の楔面にクリー
ニング用の洗浄剤を吐出する吐出孔が設けられている。

【００１０】本発明によれば、テープ状清掃材を供給リ
ールから引き出して送るテープ送り手段によるテープ送
り量を検出する送り量検出手段と、テープ状清掃材の送
り出し方向と反対方向に付与される張力の上限値を規定
する張力規定手段と、使用後のテープ状清掃材を巻き取
る巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力の
上限値を規定する巻き取り力規定手段とを備えることに
より、簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく行
え、またテープ状清掃材が周回する鋭角のエッジ部を有
した楔形状の押圧子を備え、このエッジ部のテープ送り
方向の上流側の楔面にクリーニング用の洗浄剤を吐出す
ることにより、洗浄剤を必要部分に確実に塗布すること
ができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラ
ス基板のクリーニング装置の側面図、図２は本発明の一
実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のチャック
機構の側面図、図３は本発明の一実施の形態のガラス基
板のクリーニング装置のテープ送り駆動系の配置図、図
４は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング
装置のテープ送り駆動系の部分断面図、図５は本発明の
一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の押圧子
の説明図、図６は本発明の一実施の形態のガラス基板の
クリーニング方法の工程説明図である。

【００１２】まず図１を参照してガラス基板のクリーニ
ング装置の構成について説明する。図１において、基台
１上には位置決め部２および端子クリーニング部３が配
設されている。位置決め部２は、移動テーブル４上に基
板保持部５を装着して構成されている。基板保持部５は
ガラス基板である表示パネル６を吸着して保持する。す
なわち基板保持部５は、ガラス基板を保持する保持手段
となっている。

【００１３】移動テーブル４は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向へ
の直線移動およびＺ軸廻りのθ方向の回転移動が可能と
なっており、基板保持部５に表示パネル６を保持させた
状態で移動テーブル４を駆動することにより、表示パネ
ル６の縁部６ａを以下に説明するクリーニング手段であ
る端子クリーニング部３に対して位置決めするととも
に、クリーニング動作において表示パネル６を端子クリ
ーニング部３に対して相対移動させる。従って移動テー
ブル４は、基板保持部５を端子クリーニング部３に対し
て相対的に移動させる移動手段となっている。

【００１４】端子クリーニング部３は、一対の押圧子８
Ａ，８Ｂを備えている。押圧子８Ａ，８Ｂは、表示パネ
ル６の縁部６ａの上下両面にテープ状清掃材であるワイ
パテープ１０を押し付ける。ワイパテープ１０は供給リ
ール１１Ａ，１１Ｂに卷回状態で供給され、供給リール
１１Ａ，１１Ｂからテープ送り機構１２Ａ，１２Ｂ（テ
ープ送り手段）によって引き出されて送給され、押圧子
８Ａ，８Ｂの押圧面に導かれる。

【００１５】そして押圧子８Ａ，８Ｂを開閉駆動するチ
ャック機構９を駆動することにより、ワイパテープ１０
は表示パネル６の縁部６ａに押し付けられ、この状態で
基板保持部５に保持された表示パネル６をＸ方向に水平
移動させることにより、縁部６ａの表面付着物が除去さ
れる。これにより、表示パネル６の縁部６ａに形成され
た接続用の端子のクリーニングが行われる。

【００１６】クリーニングにおいてはワイパテープ１０
は所定のピッチでテープ送りされ、使用後のワイパテー
プ１０はガイドローラ２９Ａ，２９Ｂを介して巻き取り
リール１４Ａ，１４Ｂに導かれ、順次巻き取られて回収
される。チャック機構９は、後述するように板バネ部材
１３によって弾性的に支持され、チャック機構９と表示
パネル６との高さ方向の位置ずれを吸収できるようにな
っている。

【００１７】次に図２を参照して、押圧子８Ａ，８Ｂを
開閉駆動するチャック機構９について説明する。図２に
おいて、ベースプレート７に垂直方向に配設されたガイ
ドレール２１には、スライダ２２が上下動自在に嵌合し
ており、スライダ２２には移動プレート２０が固着され
ている。従って移動プレート２０はベースプレート７に
対して上下方向に移動可能に保持されており、移動プレ
ート２０に設けられたチャック機構９は、ベースプレー
ト７に対して上下動自在となっている。

【００１８】チャック機構９の構成について説明する。
移動プレート２０の左端部に突出して設けられた１対の
押圧子８Ａ，８Ｂはそれぞれアーム２３Ａ，２３Ｂによ
って保持されており、一方側のアーム２３Ｂの端部はシ
リンダ２６のロッド２６ａと結合されている。ロッド２
６ａが突没することにより、アーム２３Ｂを介して押圧
子８Ｂは上下動する。

【００１９】またアーム２３Ａ，２３Ｂはそれぞれラッ
クギア２４Ａ，２４Ｂと結合されており、ラックギア２
４Ａ，２４Ｂは１つのピニオンギア２５と噛合してい
る。従って、前述のシリンダ２６による押圧子８Ｂの上
下動作と連動して、押圧子８Ａも上下動作を行う。すな
わち１対の押圧子８Ａ，８Ｂは、単一の駆動手段である
シリンダ２６によって同期して開閉する。このときの押
圧子８Ａ，８Ｂの開閉動作は、ピニオンギア２５の高さ
位置に一致した中心線ＣＬに関して上下対称の動作とな
る。従ってチャック機構９による押圧子８Ａ，８Ｂの閉
動作時には、常に一定の高さ位置（中心線ＣＬ）を中心
とした閉動作を行う。なお単一の駆動手段を用いて押圧
子８Ａ，８Ｂを常に一定の高さ位置を中心とした閉動作
を行わせる機構としては、ベルトやカムを用いたチャッ
ク機構でもよい。

【００２０】移動プレート２０の右端部には、上下１対
の回転自在のローラ２７が配設されている。ローラ２７
は、固定ブロック１３ａによって一端をベースプレート
７に片持ち固定された板バネ部材１３の自由端を、水平
方向の相対変位を拘束することなく上下から挟持してい
る。従ってベースプレート７に対して上下動自在に保持
されたチャック機構９は、板バネ部材１３によって上下
方向に弾性的に保持されている。

【００２１】このとき、チャック機構９の中心線ＣＬの
高さ位置が、位置決め部２との関連で決定される所定の
高さ位置（高さ原位置）と一致するよう、すなわちチャ
ック機構９の自重による板バネ部材１３の撓み分を予め
補正して、固定ブロック１３ａの位置等が設定されてい
る。

【００２２】このような保持方法を採用することによ
り、チャック機構９に上下方向の外力が作用した場合に
は、チャック機構９は外力に相当する板バネ部材１３の
撓み代だけ外力作用方向へ変位し、外力が取り去られた
場合にはチャック機構９は板バネ部材１３の弾発力によ
り高さ原位置に復帰する。すなわち、板バネ部材１３
は、チャック機構９を所定の高さ位置に弾性的に支持す
るとともに、チャック機構９が所定の高さ位置から上下
方向に変位した場合にこのチャック機構９に変位を復元
する復元力を与える第１の支持手段（チャック支持手
段）となっている。なお第１の支持手段では板バネ部材
１３で復元力を発生させているが、板バネ以外にコイル
バネ等の弾性部材を使用してもよい。

【００２３】またチャック機構９の右側には、板バネ部
材１３を上下から挟む位置に１対のクランプ部材２８が
配設されている。クランプ部材２８は図示しない駆動手
段によって開閉し、閉状態において板バネ部材１３をク
ランプして上下方向に固定する。このときの固定位置
は、チャック機構９の中心線ＣＬが前述の高さ原位置に
一致するよう設定される。

【００２４】すなわちクランプ部材２８を閉じることに
より、チャック機構９は高さ原位置で固定的に支持さ
れ、不必要なときにチャック機構９が上下方向に変位す
るのを防止する。従ってクランプ部材２８は、チャック
機構９を所定の高さ位置で固定的に支持する第２の支持
手段となっている。なお、クランプ部材２８による固定
位置は、高さ原位置から幾分ずれていても差し支えな
い。

【００２５】次に図３、図４を参照して、ワイパテープ
１０のテープ送り機構について説明する。なお図３で
は、上下対称に配置された２組のテープ送り機構のう
ち、上側のみを示しているが、下側のテープ送り機構も
同様の構成となっている。図３において、ベースプレー
ト７の側面には、供給リール１１Ａと巻き取りリール１
４Ａが近接して配置され、それぞれベースプレート７に
軸止されている。

【００２６】図４（ａ）に示すように、供給リール１１
Ａ、巻き取りリール１４Ａの回転軸３０，３１には、そ
れぞれトルクリミッタ３２，３３を介してプーリ３４，
３５が結合されている。一方側のプーリ３５にはモータ
３７の出力軸が結合されており、プーリ３４とプーリ３
５にはベルト３６が調帯されている。したがってモータ
３７を駆動することにより、プーリ３４，３５が共に回
転する。

【００２７】そしてこの回転は回転軸３０，３１を介し
て供給リール１１Ａと巻き取りリール１４Ａに伝達され
る。このとき、回転伝達はトルクリミッタ３２，３３を
介して行われ規定トルク以上の回転力は伝達されないた
め、プーリ３４、プーリ３５のそれぞれの回転運動は、
被駆動側の供給リール１１Ａ、巻き取りリール１４Ａの
拘束状態に応じた形で行われる。

【００２８】すなわちモータ３７を駆動することによ
り、図３に示すように供給リール１１Ａ、巻き取りリー
ル１４Ａにはそれぞれ矢印ａ、矢印ｂ方向のトルクが伝
達される。これにより、供給リール１１Ａから矢印ｃ方
向に引き出されるワイパテープ１０には、送り出し方向
と反対方向（矢印ｄ方向）の張力が付与される。このと
き、トルクリミッタ３２によって供給リール１１Ａに伝
達されるトルクの上限値が規定されているため、ワイパ
テープ１０に付与される張力の上限値がこのトルクによ
り規定される。

【００２９】また巻き取りリール１４Ａにはワイパテー
プ１０を巻き取る方向（矢印ｅ方向）の張力、すなわち
巻き取り力が作用する。このとき、トルクリミッタ３３
によって供給リール１１Ａに伝達されるトルクの上限値
が規定されているため、ワイパテープ１０に付与される
巻き取り力の上限値がこのトルクにより規定される。

【００３０】上記構成において、モータ３７，プーリ３
４，３５、ベルト３６、トルクリミッタ３２、回転軸３
０は、供給リール１１Ａにトルクを与えることにより引
き出されたワイパテープ１０に送り出し方向と反対方向
の張力を付与する張力付与手段となっており、トルクリ
ミッタ３２は張力の上限値を規定する張力規定手段とな
っている。

【００３１】また同様に、モータ３７、プーリ３５、ト
ルクリミッタ３３、回転軸３１は、巻き取りリール１４
Ａを回転駆動する巻き取り駆動手段となっており、また
トルクリミッタ３３は巻き取りリール１４Ａによるワイ
パテープ１０の巻き取り力の上限値を規定する巻き取り
力規定手段となっている。そして、張力付与手段と前記
巻き取り駆動手段は、同一の駆動源としてのモータ３７
によって駆動される。

【００３２】供給リール１１Ａの下方には、テープ送り
機構１２Ａが配設されている。テープ送り機構１２Ａ
は、回転駆動される送りローラ１５と、従動ローラ１６
を備えている。従動ローラ１６は保持部材１７に軸支さ
れており、保持部材１７は従動ローラ１６を送りローラ
１５に対して押しつける方向にスプリング１８によって
付勢されている。

【００３３】図４（ｂ）に示すように、送りローラ１５
の回転軸４０に結合されたプーリ４１は、ベルト４４、
プーリ４３を介して送り駆動源であるモータ４２によっ
て回転駆動されており、モータ４２を駆動することによ
り、送りローラ１５には回転が伝達される。そして送り
ローラ１５に当接して周回したワイパテープ１０を従動
ローラ１６によって送りローラ１５に対して押圧した状
態で、送りローラ１５が回転することにより、ワイパテ
ープ１０は摩擦力によって送給される。

【００３４】図４（ｂ）に示すように、従動ローラ１６
には一体的に回転する回転ドグ１６ａが設けられてい
る。回転ドグ１６ａは円板部材の外周部に定ピッチでス
リットを設けたものであり、この外周部にはスリットを
検出位置とするフォトセンサ１９が配置されている。こ
のフォトセンサ１９がスリットの周回によってＯＮ−Ｏ
ＦＦする回数を制御部１６ｂによって検出することによ
り、従動ローラ１６の回転量を検出できるようになって
いる。

【００３５】ワイパテープ１０のテープ送り時には、従
動ローラ１６はテープ送りと共に回転することから、従
動ローラ１６の回転量を検出することにより、ワイパテ
ープ１０の送り量を検出することができる。制御部１６
ｂは、検出した従動ローラ１６の回転量よりワイパテー
プ１０の送り量を判断し、これに基づいてモータ４２の
駆動を制御する。したがって、回転ドグ１６ａ、フォト
センサ１９および制御部１６ｂは、従動ローラ１６の回
転量を検出することによりテープ送り量を検出する送り
量検出手段となっている。このように、従動ローラ１６
の回転量からテープ送り量を検出することにより、ワイ
パテープ１０に付与される逆方向の張力によって送りロ
ーラ１５とワイパテープ１０との間で生じる滑りに関係
なく、テープ送り量を正しく検出できる。

【００３６】なお本実施の形態では、ワイパテープ１０
の送給経路上におけるテープ送り機構１２Ａの位置を、
押圧子８Ａの上流側に設定しているが、押圧子８Ａの下
流側にテープ送り機構を配置するようにしてもよい。但
しこの場合には、使用後のワイパテープ１０を送りロー
ラと従動ローラ１６で挟んで送ることとなることから、
ワイパテープ１０に付着した汚染物やクリーニング位置
において塗布された洗浄剤によって、テープ送り機構が
汚染されるおそれがある。このため、テープ送り機構は
押圧子８Ａの上流側に配置することが望ましい。

【００３７】次に図５を参照して、ワイパテープ１０を
基板の縁部のクリーニング部位に押圧する押圧子８Ａ
（８Ｂ）について説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）
のＡ−Ａ断面を示している。図５（ａ）、（ｂ）に示す
ように押圧子８Ａはテープ送り機構から送給されたワイ
パテープ１０が外面に沿って周回する鋭角のエッジ部５
２を有した楔形状となっている。送られたワイパテープ
１０は、両側に設けられたガイド部５０に導かれて楔面
５１に沿って送られる。

【００３８】エッジ部５２のテープ送り方向の上流側の
楔面５１には、クリーニング用の洗浄剤を吐出する吐出
孔５３が開口している。吐出孔５３は、内孔５４を介し
て洗浄剤注入孔５５と連通しており、洗浄剤注入孔５５
は管路を介して洗浄剤吐出部５６と接続されている。洗
浄剤吐出部５６は、クリーニング用の洗浄剤を所定圧
力、所定吐出パターンで吐出する。

【００３９】ワイパテープ１０が押圧子８Ａを周回して
装着された状態で、洗浄剤吐出部５６を駆動することに
より、楔面５１の吐出孔５３から洗浄剤が吐出され、楔
面５１に接触した状態のワイパテープ１０に洗浄剤が塗
布される。そしてこの状態で、テープ送り機構１２Ａに
よってテープ送りすることにより、エッジ部５２の外周
には、確実に洗浄剤が塗布された状態のワイパテープ１
０が位置する。これにより、表示パネル６のクリーニン
グにおいて最もクリーニングが困難な２枚重ね基板の段
差部（図６参照）にも、充分に洗浄剤が塗布されたワイ
パテープ１０を押しつけて、良好なクリーニングを行う
ことができる。

【００４０】このガラス基板のクリーニング装置は上記
の様に構成され、以下クリーニング動作について各図を
参照して説明する。まず図１において基板保持部５上に
表示パネル６が載置され、次いで移動テーブル４を駆動
することにより、表示パネル６の縁部６ａを端部クリー
ニング部３に対して位置合わせする。すなわち、図６
（ａ）に示すように、クランプ部材２８を閉状態にして
チャック機構９の高さ位置を高さ原位置に固定した状態
で、かつシリンダ２６のロッド２６ａを突出させて押圧
子８Ａ，８Ｂを開いた状態で、表示パネル６をＹ方向に
移動させ、縁部６ａを押圧子８Ａ，８Ｂの間のクリーニ
ング位置まで進出させる。

【００４１】このとき、押圧子８Ａ，８Ｂに送給された
状態のワイパテープ１０に対して、洗浄剤が塗布され
る。すなわち、エッジ部５２（図５参照）の上流側の楔
面５１に接触した範囲のワイパテープ１０に対して、吐
出孔５３から洗浄剤が吐出される。そして更にワイパテ
ープ１０をテープ送りすることにより、エッジ部５２の
外周には、洗浄剤塗布済みのワイパテープ１０が周回し
た状態となる。

【００４２】この後図６（ｂ）に示すように、クランプ
部材２８による板バネ部材１３のクランプを解除する。
これにより、チャック機構９は板バネ部材１３によって
弾性支持されたフローティング状態となる。次いでシリ
ンダ２６のロッド２６ａを没入させて押圧子８Ａ，８Ｂ
を閉じる。これにより、ワイパテープ１０が表示パネル
６の縁部６ａの上下両面に押しつけられ、クリーニング
が可能な状態となる。

【００４３】次いで、移動テーブル４を駆動して表示パ
ネル６をワイパテープ１０に対してＸ方向に水平移動さ
せる。これにより、表示パネル６の縁部６ａの表面付着
物はワイパテープ１０によって除去され、縁部に形成さ
れた端子のクリーニングが行われる。このとき、押圧子
８Ａのエッジ部５２によって、段差部の直近まで十分に
クリーニングを行うことができる。

【００４４】このクリーニング動作において、縁部６ａ
の変形などによって、押圧子８Ａ，８Ｂが縁部６ａを押
圧するクリーニング部位に、高さ方向の位置ずれが存在
する場合がある。このような場合においても、チャック
機構９は板バネ部材１３によって弾性的に支持されてい
ることから、図６（ｃ）に示すように、チャック機構９
は位置ずれに追従して上下方向に変位することが許容さ
れる。

【００４５】そして高さ原位置から上下方向に変位した
チャック機構９には、板バネ部材１３によってこの変位
を復元する復元力が作用し、縁部６ａの高さ方向の位置
ずれが存在しない部位に相対移動すると、チャック機構
９は高さ原位置に復帰する。これによりクリーニング動
作においては、チャック機構９は縁部６ａの高さ方向の
位置にならって変位し、常に縁部６ａを中心線ＣＬの位
置で挟み込む。従って表示パネル６には、押圧子８Ａ，
８Ｂのいずれかがより大きな押圧力で押さえ込むことに
よって生じる曲げ荷重が作用しない。クリーニングが完
了したならば、チャック機構９を開き、クランプ部材２
８を閉じてフローティング状態でチャック機構９を所定
の高さ位置で固定的に支持する。

【００４６】すなわち、本実施の形態に示す構成を採用
することにより、同一の表示パネル６において部分的に
縁部６ａの高さが異なっているような場合にあっても、
板バネ部材１３によって高さ差が吸収され、常に良好な
状態で縁部６ａのクリーニングを行うことができる。こ
れにより、クリーニング動作において表示パネル６に曲
げ荷重が作用することがなく、過大な曲げ荷重による表
示パネル６の破損や、基板保持部５上での表示パネル６
の位置ずれが発生しない。従って、製品歩留まりを向上
させるとともに、位置ずれに起因する後工程での不具合
を防止することができる。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、テープ状清掃材を供給
リールから引き出して送るテープ送り手段によるテープ
送り量を検出する送り量検出手段と、テープ状清掃材の
送り出し方向と反対方向に付与される張力の上限値を規
定する張力規定手段と、使用後のテープ状清掃材を巻き
取る巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力
の上限値を規定する巻き取り力規定手段とを備えたの
で、簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく行え、
またテープ状清掃材が周回する鋭角のエッジ部を有した
楔形状の押圧子を備え、このエッジ部のテープ送り方向
の上流側の楔面にクリーニング用の洗浄剤を吐出するよ
うにしたので、洗浄剤を必要部分に確実に塗布すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の側面図

【図２】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置のチャック機構の側面図

【図３】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置のテープ送り駆動系の配置図

【図４】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置のテープ送り駆動系の部分断面図

【図５】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の押圧子の説明図

【図６】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング方法の工程説明図

【符号の説明】

２ 位置決め部 ３ 端子クリーニング部 ６ 表示パネル ８Ａ，８Ｂ 押圧子 ９ チャック機構 １０ ワイパテープ １１Ａ，１１Ｂ 供給リール １２Ａ，１２Ｂ テープ送り機構 １４Ａ，１４Ｂ 巻き取りリール １５ 送りローラ １６ 従動ローラ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状
   清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置
   であって、前記テープ状清掃材を卷回状態で供給する供
   給リールと、前記テープ状清掃材を供給リールから引き
   出して送給するテープ送り手段と、このテープ送り手段
   によるテープ送り量を検出する送り量検出手段と、前記
   供給リールから引き出されたテープ状清掃材に送り出し
   方向と反対方向の張力を付与する張力付与手段と、前記
   張力の上限値を規定する張力規定手段と、前記引き出さ
   れたテープ状清掃材を前記縁部に押しつける押圧子と、
   使用後のテープ状清掃材を巻き取る巻き取りリールと、
   この巻き取りリールを回転駆動する巻き取り駆動手段
   と、巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力
   の上限値を規定する巻き取り力規定手段とを備えたこと
   を特徴とするガラス基板のクリーニング装置。
2. 【請求項２】前記張力付与手段と前記巻き取り駆動手段
   は、同一の駆動源によって駆動されることを特徴とする
   請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置。
3. 【請求項３】前記テープ送り手段は、送り駆動源によっ
   て回転駆動され前記テープ状清掃材に当接することによ
   りこのテープ状清掃材を摩擦力によって送給する送りロ
   ーラと、この送りローラに対してテープ状清掃材を押圧
   しテープ状清掃材と共に回転する従動ローラとを備え、
   前記送り量検出手段は、この従動ローラの回転量を検出
   することによりテープ状清掃材の送り量を検出すること
   を特徴とする請求項１記載のガラス基板のクリーニング
   装置。
4. 【請求項４】前記押圧子はテープ状清掃材が外面に沿っ
   て周回する鋭角のエッジ部を有した楔形状となってお
   り、前記エッジ部のテープ送り方向の上流側の楔面にク
   リーニング用の洗浄剤を吐出する吐出孔が設けられてい
   ることを特徴とする請求項１記載のガラス基板のクリー
   ニング装置。