KR20090064958A - 씨오에프 세정기의 와이퍼 세정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 필름형태의 회로기판이라 할 수 있는 씨오에프(COF; Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 제조하는 과정에서 필름(COF 제품)의 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정장치에 관한 것이다.
구성의 요지로는 이송하는 필름(100)의 상부와 하부에 세정테이프(200)를 거치할 거치봉(11)과 세정테이프(200)를 당기면서 감는 작용을 하는 권취릴(12)을 나란히 설치하고, 일측 권취릴(12)에 스텝핑모터(13)를 연결하고 2개의 권취릴(12) 간에는 동력전달수단(14)을 연결하며, 필름(100)의 상부와 하부 각 거치봉(11)과 권취릴(12) 사이에는 필름(100)에 근접한 위치에 각각 가이드봉(16)을 설치하되, 가이드봉(16)은 마이크로미터(20)를 연결하여 이동이 가능토록 함을 특징으로 한다.
씨오에프(COF), 반도체 필름, 이물질 제거, 세정테이프, 간헐작동
Description
도 1은 본 발명이 적용된 세정기의 전체구성으로 도시한 정면도
도 2는 도 1의 세정부 확대도
도 3은 도 2의 측면도
***도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명***
1: 세정기
10: 세정장치 11: 거치봉
12: 권취릴 13: 스텝핑모터
14: 동력전달수단 16: 가이드봉
17: 이동블럭 18: 가이드수단
20: 마이크로미터 21: 스핀들
100: 필름(COF 제품) 100': 보호테이프
200: 세정테이프
본 발명은 필름형태의 회로기판이라 할 수 있는 씨오에프(COF; Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 제조하는 과정에서 필름(COF 제품)의 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 세정기에 설치되어 필름이나 필름 사이에 감기는 보호테이프를 통과시키면서 표면에 묻은 이물질을 효과적으로 제거하기 위한 와이퍼 방식의 세정장치에 관한 것이다.
주지된 바와 같이 COF는 칩온플렉시블보드(Chip On Flexible Board) 혹은 칩온필름(Chip On Film)으로 불리는 필름 형태의 회로기판으로서, 필름에 반도체 칩이 부착되고 회로패턴이 형성되어 그 자체가 유연성을 가진 회로기판의 역할을 하게 되므로 핸드폰 등 소형의 가전/전자제품 분야에서의 경박단소화를 위한 급격한 추세에 부응하고 LCD 드라이버 IC에서도 이용하기 위해 등장한 것이다.
상기와 같은 COF는 필름 형태의 길이가 긴 소재로 완성된 후 전자제품(완제품)의 회로로 사용될 때 절단하여 조립되는 것인데, 제조를 하는 과정에서 필름의 표면에 이물질이 부착되면 정상작동이 이루어지지 않는 불량제품이 되므로 제조를 완료하기 전에 필름의 표면에 부착되는 이물질을 제거하는 과정이 매우 중요한 것이다.
종래에는 필름의 표면에 세정액을 분사하거나 세정액에 필름을 침지시키는 방식을 사용하였으나 이러한 방식의 경우에는 건조에 필요한 장치와 시간이 소요되는 단점이 있었던바, 근래에는 점착성을 가진 세정테이프를 이용하여 필름을 세정하는 방식이 강구되고 있다.
세정테이프를 이용한 기존의 세정장치는 단순히 점착성을 가진 세정테이프를 필름에 마찰시켜 이물질을 제거하는 방식의 것으로서, 마찰의 정도를 조절하는 것이 어려워 세정과정에서 필름에 무리가 가고 그에 따라 불량이 발생하는 경우가 있었으며, 일정 시간 세정에 의한 마찰이 이루어진 후 세정테이프의 사용된 부분을 제거하고 사용되지 않은 부분에 다시 필름이 마찰되도록 하여주어야 하는데, 이러한 동작이 매우 불편하고 시간이 많이 소요되어 생산성이 매우 낮은 등의 단점도 있었다.
상기한 문제점을 감안하여 안출한 본 발명은 세정기에 부착되는 세정테이프 방식의 세정장치를 구성함에 있어서, 이송하는 필름 또는 보호테이프의 상하부에 롤형으로 권취된 세정테이프가 간헐적으로 작동하면서 그 옆의 권취릴에 감기도록 하는 과정에서 세정테이프와 필름이 마찰되면서 세정토록 하여 세정의 효율성을 제고하며, 아울러 세정테이프가 필름에 마찰되는 정도를 미세하게 조절할 수 있도록 하여 필름의 세정이 더욱 효과적으로 이루어질 수 있도록 개선함을 목적으로 한다.
본 발명은 세정기의 세정장치를 구성함에 있어서, 필름(또는 보호테이프)이 이송하는 위치의 필름 상하 측에 세정테이프가 권취된 릴과 세정테이프를 권취할 릴을 각각 구성하고, 그 사이 필름에 밀착하는 위치에 가이드릴을 구성하여 세정테이프가 가이드릴을 통과하여 다른 릴에 감기는 과정에서 필름이 세정테이프에 밀착된 상태로 이동을 하면서 세정이 이루어지며, 세정테이프는 일정한 시간 간격으로 권취된 릴에서 권취할 릴로 간헐적으로 이송하도록 구성하며, 아울러 필름이 세 정테이프에 밀착되는 정도를 미세하게 조절하는 구성을 구비함을 특징으로 하는바, 이하 첨부된 도면에 본 발명의 바람직한 구성 실시 예를 상세히 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명이 적용된 세정기의 전체구성으로 도시한 정면도, 도 2는 도 1의 세정부 확대도, 도 3은 도 2의 측면도이다.
본 발명의 세정장치(10)는 도 1에서 볼 수 있듯이 세정기(1)에서 필름(100)이나 보호테이프(100')가 이동하는 위치에 설치되는데, 이송하는 필름(100)(또는 보호테이프;100')의 상부와 하부에 각각 롤 형태의 세정테이프(200)를 거치할 거치봉(11)과 상기 거치봉(11)으로부터 세정테이프(200)를 당기면서 감는 작용을 하는 권취릴(12)이 나란히 설치되며, 이러한 일측 권취릴(12)에 스텝핑모터(13)를 연결하고 2개의 권취릴(12) 간에는 벨트나 체인 등 이와 유사한 형태의 동력전달수단(14)을 연결하여 권취릴(12)이 일정한 시간 간격마다 조금씩 세정테이프(200)를 당겨 감도록 구성한 것이다.
거치봉(11)에는 장력유지장치를 연결하여 권취릴(12)이 세정테이프(200)를 당겨 감을 때 과도하게 풀려나오는 것을 방지토록 한다.
필름(100)의 상부와 하부 각 거치봉(11)과 권취릴(12) 사이에는 필름(100)에 근접한 위치에 각각 가이드봉(16)이 설치되는데, 상기 가이드봉(16)은 이동블럭(17)에 설치하되 서로 마주보지 않고 조금 어긋난 위치에 설치하며, 이동블럭(17)은 직선이동을 가이드하는 가이드수단(18)에 설치하여 직선이동이 가능토록 하고 또한 이동블럭(17)의 옆에는 프레임(측정할 물체의 두께를 감사면서 반대쪽을 지지하는 부분)을 제거한 마이크로미터(20)를 고정한 후 그 스핀들(21)을 연결하여 마이크로미터(20)의 작용으로 이동블럭(17)이 전후진 하면서 필름(100)과 세정테이프(200) 간의 마찰 정도를 미세하게 조절가능토록 구성한 것이다.
도면 중 미 설명된 부호 30은 필름언로딩릴, 31은 필름로딩릴, 40은 에어세정장치, 50은 정정기 제거용 제전건이다.
이러한 구성으로 된 본 발명 세정장치(1)의 작용을 살펴본다.
검사할 필름(100)을 필름언로딩릴(30)에 거치한 후 필름(100)을 풀어 가이드롤러(32)(32')와 장력롤러(33) 등을 거치면서 본 발명의 세정장치(10)를 거친 다음 반대편의 필름로딩릴(31)에 연결하며, 동시에 보호테이프(100') 또한 상부의 세정장치(10)를 통과하도록 한 다음 반대편의 필름로딩릴(31)에서 필름(100)과 함께 다시 권취되도록 하고 세정작동을 시작하게 된다.
필름(100)(또는 보호테이프)이 필름언로딩릴(30)로부터 다른 쪽 필름로딩릴(31)로 이송을 하고 이러한 과정에서 세정이 이루어진다.
즉 필름(100)이 세정장치(10)의 가이드봉(16) 사이를 통과하면서 가이드봉(16)에 밀착된 세정테이프(200)에 약간의 마찰이 이루어지면서 통과하게 되고 따라서 필름(100)에 부착된 이물질이 점착성분을 갖는 세정테이프(200)에 의해 제거되는 것이다.
설정된 길이 또는 시간만큼 필름(100)이 세정테이프(200)에 마찰되면서 세정 이 이루어지고 난 후에는 스텝핑모터(13)가 권취릴(12)을 작동시켜 세정테이프(200)를 조금 감게 됨으로써 세정테이프(200)의 사용되지 않은 부분이 다시 필름(100)에 마찰되면서 세정을 계속하는 것이다.
본 발명에 의하면 이러한 과정에서 세정테이프(200)가 필름(100)에 마찰되는 정도를 조절할 수 있게 되는데, 가이드봉(16)이 이동블럭(17)에 설치되고 이동블럭(17)이 직선이동 가이드수단(18)에 설치되어 있으면서 마이크로미터(20)의 스핀들(21)이 연결되어 있으므로 마이크로미터(20)를 작동시키는 동작에 의해 이동블럭(17)에 설치된 가이드봉(16)이 필름(200)에 근접하거나 이격되는 작용을 하면서 세정테이프(200)가 필름(100)에 마찰되는 정도가 변경되는 것이다.
이러한 조절의 정도는 마이크로미터(20)의 특성에 의해 매우 정밀하게 조절가능하게 되므로 세정과정에서 필름(100)에 무리가 가지 않으면서 정밀하고 효과적인 세정이 가능하게 되는 것이다. 또한 세정테이프에 의한 세정이 필요치 않을 때는 가이드롤러(16)를 필름(100)과 멀리 이격시키고 스텝핑모터(13)를 작용시키지 않으면 된다.
이상 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면 세정테이프를 이용한 필름세정을 이룩함에 있어서, 세정테이프를 조금씩 이동시켜 가면서 세정을 위한 마찰작용을 하도록 함으로써 항상 청결하고 효율적인 세정을 이룩할 수 있게 되는 것이고, 아울러 세정테이프가 필름과 마찰되도록 하는 가이드롤러가 매우 정밀하게 이동가능하도록 구성됨으로 인하여 세정에 의해 필름에 무리가 문제를 해결하게 되어 세정 이 정밀하고 효과적으로 이루어질 수 있게 되는 효과가 있으므로 결국 COF 및 이를 이용하는 전자산업에 산업의 발전에 매우 유용한 발명이라 할 수 있다.
Claims (1)
- 이송하는 필름(100)(또는 보호테이프;100')의 상부와 하부에 각각 롤 형태의 세정테이프(200)를 거치할 거치봉(11)과,상기 거치봉(11)으로부터 세정테이프(200)를 당기면서 감는 작용을 하는 권취릴(12)이 나란히 설치되며,일측 권취릴(12)에 스텝핑모터(13)를 연결하고 2개의 권취릴(12) 간에는 동력전달수단(14)을 연결하며,필름(100)의 상부와 하부 각 거치봉(11)과 권취릴(12) 사이에는 필름(100)에 근접한 위치에 각각 가이드봉(16)을 설치하되, 가이드봉(16)은 이동블럭(17)에 설치하되 서로 마주보지 않고 조금 어긋난 위치에 설치하며,이동블럭(17)은 가이드수단(18)에 설치하여 직선이동이 가능토록 하고,이동블럭(17)의 옆에는 프레임을 제거한 마이크로미터(20)를 고정한 후 스핀들(21)을 연결한 것을 특징으로 하는 씨오에프 세정기의 와이퍼 세정장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070132348A KR100904395B1 (ko) | 2007-12-17 | 2007-12-17 | 씨오에프 세정기의 와이퍼 세정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070132348A KR100904395B1 (ko) | 2007-12-17 | 2007-12-17 | 씨오에프 세정기의 와이퍼 세정장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090064958A true KR20090064958A (ko) | 2009-06-22 |
KR100904395B1 KR100904395B1 (ko) | 2009-06-26 |
Family
ID=40993437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070132348A KR100904395B1 (ko) | 2007-12-17 | 2007-12-17 | 씨오에프 세정기의 와이퍼 세정장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100904395B1 (ko) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102991767A (zh) * | 2012-12-10 | 2013-03-27 | 吴江市博众精工科技有限公司 | 一种清洁模组 |
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CN112517478A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-19 | 深圳市豪华科技有限公司 | 一种全自动模具清洁设备 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1167626A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-09 | Hitachi Ltd | レジスト除去方法および装置 |
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---|---|
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