JP3992937B2

JP3992937B2 - ガラス基板のクリーニング装置

Info

Publication number: JP3992937B2
Application number: JP2001089486A
Authority: JP
Inventors: 明亀田
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-03-27
Filing date: 2001-03-27
Publication date: 2007-10-17
Anticipated expiration: 2021-03-27
Also published as: JP2002287652A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示パネルなどのガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリーニング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
表示パネルなどのガラス基板の製造工程では、ガラス基板の縁部に形成された端子にサブ基板が接続される。この接続の方法として異方性導電材によってガラス基板にサブ基板を接合する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表面に付着した異物の除去や、ガラス基板表面に電子部品を実装するために貼付される異方性導電材の貼着性を向上させることを目的としたクリーニングが行われる。
【０００３】
このクリーニングは、縁部に押圧子によってワイパテープを押し付けた状態で、ガラス基板を押圧子に対して相対的にスライドさせ、ワイパテープによってガラス板に付着した付着物を拭き取ることにより行われる。使用されるワイパテープは供給リールに卷回した状態で供給され、押圧子を周回して巻き取りリールに巻き取られて回収される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来のガラス基板のクリーニング装置では、ワイパテープを供給リールから引き出して送給するテープ送り機構やワイパテープに対してクリーニング用の洗浄剤を塗布する洗浄剤塗布機構の構成に起因して、テープ送り駆動系が複雑になり、また洗浄剤を必要部分に安定して塗布することができないという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく行え、洗浄剤を必要部分に確実に塗布することができるガラス基板のクリーニング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記テープ状清掃材を卷回状態で供給する供給リールと、前記テープ状清掃材を供給リールから引き出して送給するテープ送り手段と、このテープ送り手段によるテープ送り量を検出する送り量検出手段と、前記供給リールから引き出されたテープ状清掃材に送り出し方向と反対方向の張力を付与する張力付与手段と、前記張力の上限値を規定する張力規定手段と、前記引き出されたテープ状清掃材を前記縁部に押しつける押圧子と、使用後のテープ状清掃材を巻き取る巻き取りリールと、この巻き取りリールを回転駆動する巻き取り駆動手段と、巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力の上限値を規定する巻き取り力規定手段と、前記ガラス基板を保持する保持手段と、この保持手段を前記押圧子に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、この移動手段によって前記保持手段を前記テープ状清掃材の送り方向に対して垂直方向に相対的に水平移動させることにより前記表面付着物を除去するようにし、また前記押圧子を上下に一対備え、この一対の押圧子を開閉駆動するチャック機構を設け、且つ前記チャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するチャック支持手段を備え、前記チャック機構がガイドレールとスライダにより上下方向に移動可能に保持され、また前記チャック支持手段が、一端を固定ブロックに片持ち固定された板バネ部材と、この板バネ部材の自由端を水平方向の相対的変位を拘束することなく上下から挟持する上下一対のローラから成る。
【００１０】
本発明によれば、移動手段により保持手段をテープ状清掃材の送り方向に対して垂直方向に相対的に水平移動させながら、ガラス基板の表面付着物をきれいにクリーニングすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のチャック機構の側面図、図３は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のテープ送り駆動系の配置図、図４は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のテープ送り駆動系の部分断面図、図５は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の押圧子の説明図、図６は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
【００１２】
まず図１を参照してガラス基板のクリーニング装置の構成について説明する。図１において、基台１上には位置決め部２および端子クリーニング部３が配設されている。位置決め部２は、移動テーブル４上に基板保持部５を装着して構成されている。基板保持部５はガラス基板である表示パネル６を吸着して保持する。すなわち基板保持部５は、ガラス基板を保持する保持手段となっている。
【００１３】
移動テーブル４は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向への直線移動およびＺ軸廻りのθ方向の回転移動が可能となっており、基板保持部５に表示パネル６を保持させた状態で移動テーブル４を駆動することにより、表示パネル６の縁部６ａを以下に説明するクリーニング手段である端子クリーニング部３に対して位置決めするとともに、クリーニング動作において表示パネル６を端子クリーニング部３に対して相対移動させる。従って移動テーブル４は、基板保持部５を端子クリーニング部３に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【００１４】
端子クリーニング部３は、一対の押圧子８Ａ，８Ｂを備えている。押圧子８Ａ，８Ｂは、表示パネル６の縁部６ａの上下両面にテープ状清掃材であるワイパテープ１０を押し付ける。ワイパテープ１０は供給リール１１Ａ，１１Ｂに卷回状態で供給され、供給リール１１Ａ，１１Ｂからテープ送り機構１２Ａ，１２Ｂ（テープ送り手段）によって引き出されて送給され、押圧子８Ａ，８Ｂの押圧面に導かれる。
【００１５】
そして押圧子８Ａ，８Ｂを開閉駆動するチャック機構９を駆動することにより、ワイパテープ１０は表示パネル６の縁部６ａに押し付けられ、この状態で基板保持部５に保持された表示パネル６をＸ方向に水平移動させることにより、縁部６ａの表面付着物が除去される。これにより、表示パネル６の縁部６ａに形成された接続用の端子のクリーニングが行われる。
【００１６】
クリーニングにおいてはワイパテープ１０は所定のピッチでテープ送りされ、使用後のワイパテープ１０はガイドローラ２９Ａ，２９Ｂを介して巻き取りリール１４Ａ，１４Ｂに導かれ、順次巻き取られて回収される。チャック機構９は、後述するように板バネ部材１３によって弾性的に支持され、チャック機構９と表示パネル６との高さ方向の位置ずれを吸収できるようになっている。
【００１７】
次に図２を参照して、押圧子８Ａ，８Ｂを開閉駆動するチャック機構９について説明する。図２において、ベースプレート７に垂直方向に配設されたガイドレール２１には、スライダ２２が上下動自在に嵌合しており、スライダ２２には移動プレート２０が固着されている。従って移動プレート２０はベースプレート７に対して上下方向に移動可能に保持されており、移動プレート２０に設けられたチャック機構９は、ベースプレート７に対して上下動自在となっている。
【００１８】
チャック機構９の構成について説明する。移動プレート２０の左端部に突出して設けられた１対の押圧子８Ａ，８Ｂはそれぞれアーム２３Ａ，２３Ｂによって保持されており、一方側のアーム２３Ｂの端部はシリンダ２６のロッド２６ａと結合されている。ロッド２６ａが突没することにより、アーム２３Ｂを介して押圧子８Ｂは上下動する。
【００１９】
またアーム２３Ａ，２３Ｂはそれぞれラックギア２４Ａ，２４Ｂと結合されており、ラックギア２４Ａ，２４Ｂは１つのピニオンギア２５と噛合している。従って、前述のシリンダ２６による押圧子８Ｂの上下動作と連動して、押圧子８Ａも上下動作を行う。すなわち１対の押圧子８Ａ，８Ｂは、単一の駆動手段であるシリンダ２６によって同期して開閉する。このときの押圧子８Ａ，８Ｂの開閉動作は、ピニオンギア２５の高さ位置に一致した中心線ＣＬに関して上下対称の動作となる。従ってチャック機構９による押圧子８Ａ，８Ｂの閉動作時には、常に一定の高さ位置（中心線ＣＬ）を中心とした閉動作を行う。なお単一の駆動手段を用いて押圧子８Ａ，８Ｂを常に一定の高さ位置を中心とした閉動作を行わせる機構としては、ベルトやカムを用いたチャック機構でもよい。
【００２０】
移動プレート２０の右端部には、上下１対の回転自在のローラ２７が配設されている。ローラ２７は、固定ブロック１３ａによって一端をベースプレート７に片持ち固定された板バネ部材１３の自由端を、水平方向の相対変位を拘束することなく上下から挟持している。従ってベースプレート７に対して上下動自在に保持されたチャック機構９は、板バネ部材１３によって上下方向に弾性的に保持されている。
【００２１】
このとき、チャック機構９の中心線ＣＬの高さ位置が、位置決め部２との関連で決定される所定の高さ位置（高さ原位置）と一致するよう、すなわちチャック機構９の自重による板バネ部材１３の撓み分を予め補正して、固定ブロック１３ａの位置等が設定されている。
【００２２】
このような保持方法を採用することにより、チャック機構９に上下方向の外力が作用した場合には、チャック機構９は外力に相当する板バネ部材１３の撓み代だけ外力作用方向へ変位し、外力が取り去られた場合にはチャック機構９は板バネ部材１３の弾発力により高さ原位置に復帰する。すなわち、板バネ部材１３は、チャック機構９を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともに、チャック機構９が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構９に変位を復元する復元力を与える第１の支持手段（チャック支持手段）となっている。なお第１の支持手段では板バネ部材１３で復元力を発生させているが、板バネ以外にコイルバネ等の弾性部材を使用してもよい。
【００２３】
またチャック機構９の右側には、板バネ部材１３を上下から挟む位置に１対のクランプ部材２８が配設されている。クランプ部材２８は図示しない駆動手段によって開閉し、閉状態において板バネ部材１３をクランプして上下方向に固定する。このときの固定位置は、チャック機構９の中心線ＣＬが前述の高さ原位置に一致するよう設定される。
【００２４】
すなわちクランプ部材２８を閉じることにより、チャック機構９は高さ原位置で固定的に支持され、不必要なときにチャック機構９が上下方向に変位するのを防止する。従ってクランプ部材２８は、チャック機構９を所定の高さ位置で固定的に支持する第２の支持手段となっている。なお、クランプ部材２８による固定位置は、高さ原位置から幾分ずれていても差し支えない。
【００２５】
次に図３、図４を参照して、ワイパテープ１０のテープ送り機構について説明する。なお図３では、上下対称に配置された２組のテープ送り機構のうち、上側のみを示しているが、下側のテープ送り機構も同様の構成となっている。図３において、ベースプレート７の側面には、供給リール１１Ａと巻き取りリール１４Ａが近接して配置され、それぞれベースプレート７に軸止されている。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、供給リール１１Ａ、巻き取りリール１４Ａの回転軸３０，３１には、それぞれトルクリミッタ３２，３３を介してプーリ３４，３５が結合されている。一方側のプーリ３５にはモータ３７の出力軸が結合されており、プーリ３４とプーリ３５にはベルト３６が調帯されている。したがってモータ３７を駆動することにより、プーリ３４，３５が共に回転する。
【００２７】
そしてこの回転は回転軸３０，３１を介して供給リール１１Ａと巻き取りリール１４Ａに伝達される。このとき、回転伝達はトルクリミッタ３２，３３を介して行われ規定トルク以上の回転力は伝達されないため、プーリ３４、プーリ３５のそれぞれの回転運動は、被駆動側の供給リール１１Ａ、巻き取りリール１４Ａの拘束状態に応じた形で行われる。
【００２８】
すなわちモータ３７を駆動することにより、図３に示すように供給リール１１Ａ、巻き取りリール１４Ａにはそれぞれ矢印ａ、矢印ｂ方向のトルクが伝達される。これにより、供給リール１１Ａから矢印ｃ方向に引き出されるワイパテープ１０には、送り出し方向と反対方向（矢印ｄ方向）の張力が付与される。このとき、トルクリミッタ３２によって供給リール１１Ａに伝達されるトルクの上限値が規定されているため、ワイパテープ１０に付与される張力の上限値がこのトルクにより規定される。
【００２９】
また巻き取りリール１４Ａにはワイパテープ１０を巻き取る方向（矢印ｅ方向）の張力、すなわち巻き取り力が作用する。このとき、トルクリミッタ３３によって供給リール１１Ａに伝達されるトルクの上限値が規定されているため、ワイパテープ１０に付与される巻き取り力の上限値がこのトルクにより規定される。
【００３０】
上記構成において、モータ３７，プーリ３４，３５、ベルト３６、トルクリミッタ３２、回転軸３０は、供給リール１１Ａにトルクを与えることにより引き出されたワイパテープ１０に送り出し方向と反対方向の張力を付与する張力付与手段となっており、トルクリミッタ３２は張力の上限値を規定する張力規定手段となっている。
【００３１】
また同様に、モータ３７、プーリ３５、トルクリミッタ３３、回転軸３１は、巻き取りリール１４Ａを回転駆動する巻き取り駆動手段となっており、またトルクリミッタ３３は巻き取りリール１４Ａによるワイパテープ１０の巻き取り力の上限値を規定する巻き取り力規定手段となっている。そして、張力付与手段と前記巻き取り駆動手段は、同一の駆動源としてのモータ３７によって駆動される。
【００３２】
供給リール１１Ａの下方には、テープ送り機構１２Ａが配設されている。テープ送り機構１２Ａは、回転駆動される送りローラ１５と、従動ローラ１６を備えている。従動ローラ１６は保持部材１７に軸支されており、保持部材１７は従動ローラ１６を送りローラ１５に対して押しつける方向にスプリング１８によって付勢されている。
【００３３】
図４（ｂ）に示すように、送りローラ１５の回転軸４０に結合されたプーリ４１は、ベルト４４、プーリ４３を介して送り駆動源であるモータ４２によって回転駆動されており、モータ４２を駆動することにより、送りローラ１５には回転が伝達される。そして送りローラ１５に当接して周回したワイパテープ１０を従動ローラ１６によって送りローラ１５に対して押圧した状態で、送りローラ１５が回転することにより、ワイパテープ１０は摩擦力によって送給される。
【００３４】
図４（ｂ）に示すように、従動ローラ１６には一体的に回転する回転ドグ１６ａが設けられている。回転ドグ１６ａは円板部材の外周部に定ピッチでスリットを設けたものであり、この外周部にはスリットを検出位置とするフォトセンサ１９が配置されている。このフォトセンサ１９がスリットの周回によってＯＮ−ＯＦＦする回数を制御部１６ｂによって検出することにより、従動ローラ１６の回転量を検出できるようになっている。
【００３５】
ワイパテープ１０のテープ送り時には、従動ローラ１６はテープ送りと共に回転することから、従動ローラ１６の回転量を検出することにより、ワイパテープ１０の送り量を検出することができる。制御部１６ｂは、検出した従動ローラ１６の回転量よりワイパテープ１０の送り量を判断し、これに基づいてモータ４２の駆動を制御する。したがって、回転ドグ１６ａ、フォトセンサ１９および制御部１６ｂは、従動ローラ１６の回転量を検出することによりテープ送り量を検出する送り量検出手段となっている。このように、従動ローラ１６の回転量からテープ送り量を検出することにより、ワイパテープ１０に付与される逆方向の張力によって送りローラ１５とワイパテープ１０との間で生じる滑りに関係なく、テープ送り量を正しく検出できる。
【００３６】
なお本実施の形態では、ワイパテープ１０の送給経路上におけるテープ送り機構１２Ａの位置を、押圧子８Ａの上流側に設定しているが、押圧子８Ａの下流側にテープ送り機構を配置するようにしてもよい。但しこの場合には、使用後のワイパテープ１０を送りローラと従動ローラ１６で挟んで送ることとなることから、ワイパテープ１０に付着した汚染物やクリーニング位置において塗布された洗浄剤によって、テープ送り機構が汚染されるおそれがある。このため、テープ送り機構は押圧子８Ａの上流側に配置することが望ましい。
【００３７】
次に図５を参照して、ワイパテープ１０を基板の縁部のクリーニング部位に押圧する押圧子８Ａ（８Ｂ）について説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。図５（ａ）、（ｂ）に示すように押圧子８Ａはテープ送り機構から送給されたワイパテープ１０が外面に沿って周回する鋭角のエッジ部５２を有した楔形状となっている。送られたワイパテープ１０は、両側に設けられたガイド部５０に導かれて楔面５１に沿って送られる。
【００３８】
エッジ部５２のテープ送り方向の上流側の楔面５１には、クリーニング用の洗浄剤を吐出する吐出孔５３が開口している。吐出孔５３は、内孔５４を介して洗浄剤注入孔５５と連通しており、洗浄剤注入孔５５は管路を介して洗浄剤吐出部５６と接続されている。洗浄剤吐出部５６は、クリーニング用の洗浄剤を所定圧力、所定吐出パターンで吐出する。
【００３９】
ワイパテープ１０が押圧子８Ａを周回して装着された状態で、洗浄剤吐出部５６を駆動することにより、楔面５１の吐出孔５３から洗浄剤が吐出され、楔面５１に接触した状態のワイパテープ１０に洗浄剤が塗布される。そしてこの状態で、テープ送り機構１２Ａによってテープ送りすることにより、エッジ部５２の外周には、確実に洗浄剤が塗布された状態のワイパテープ１０が位置する。これにより、表示パネル６のクリーニングにおいて最もクリーニングが困難な２枚重ね基板の段差部（図６参照）にも、充分に洗浄剤が塗布されたワイパテープ１０を押しつけて、良好なクリーニングを行うことができる。
【００４０】
このガラス基板のクリーニング装置は上記の様に構成され、以下クリーニング動作について各図を参照して説明する。まず図１において基板保持部５上に表示パネル６が載置され、次いで移動テーブル４を駆動することにより、表示パネル６の縁部６ａを端部クリーニング部３に対して位置合わせする。すなわち、図６（ａ）に示すように、クランプ部材２８を閉状態にしてチャック機構９の高さ位置を高さ原位置に固定した状態で、かつシリンダ２６のロッド２６ａを突出させて押圧子８Ａ，８Ｂを開いた状態で、表示パネル６をＹ方向に移動させ、縁部６ａを押圧子８Ａ，８Ｂの間のクリーニング位置まで進出させる。
【００４１】
このとき、押圧子８Ａ，８Ｂに送給された状態のワイパテープ１０に対して、洗浄剤が塗布される。すなわち、エッジ部５２（図５参照）の上流側の楔面５１に接触した範囲のワイパテープ１０に対して、吐出孔５３から洗浄剤が吐出される。そして更にワイパテープ１０をテープ送りすることにより、エッジ部５２の外周には、洗浄剤塗布済みのワイパテープ１０が周回した状態となる。
【００４２】
この後図６（ｂ）に示すように、クランプ部材２８による板バネ部材１３のクランプを解除する。これにより、チャック機構９は板バネ部材１３によって弾性支持されたフローティング状態となる。次いでシリンダ２６のロッド２６ａを没入させて押圧子８Ａ，８Ｂを閉じる。これにより、ワイパテープ１０が表示パネル６の縁部６ａの上下両面に押しつけられ、クリーニングが可能な状態となる。
【００４３】
次いで、移動テーブル４を駆動して表示パネル６をワイパーテープ１０に対してＸ方向（ワイパーテープ１０の送り方向に対して垂直方向）に水平移動させる。これにより、表示パネル６の縁部６ａの表面付着物はワイパーテープ１０によって除去され、縁部に形成された端子のクリーニングが行われる。このとき、押圧子８Ａのエッジ部５２によって、段差部の直近まで十分にクリーニングを行うことができる。
【００４４】
このクリーニング動作において、縁部６ａの変形などによって、押圧子８Ａ，８Ｂが縁部６ａを押圧するクリーニング部位に、高さ方向の位置ずれが存在する場合がある。このような場合においても、チャック機構９は板バネ部材１３によって弾性的に支持されていることから、図６（ｃ）に示すように、チャック機構９は位置ずれに追従して上下方向に変位することが許容される。
【００４５】
そして高さ原位置から上下方向に変位したチャック機構９には、板バネ部材１３によってこの変位を復元する復元力が作用し、縁部６ａの高さ方向の位置ずれが存在しない部位に相対移動すると、チャック機構９は高さ原位置に復帰する。これによりクリーニング動作においては、チャック機構９は縁部６ａの高さ方向の位置にならって変位し、常に縁部６ａを中心線ＣＬの位置で挟み込む。従って表示パネル６には、押圧子８Ａ，８Ｂのいずれかがより大きな押圧力で押さえ込むことによって生じる曲げ荷重が作用しない。クリーニングが完了したならば、チャック機構９を開き、クランプ部材２８を閉じてフローティング状態でチャック機構９を所定の高さ位置で固定的に支持する。
【００４６】
すなわち、本実施の形態に示す構成を採用することにより、同一の表示パネル６において部分的に縁部６ａの高さが異なっているような場合にあっても、板バネ部材１３によって高さ差が吸収され、常に良好な状態で縁部６ａのクリーニングを行うことができる。これにより、クリーニング動作において表示パネル６に曲げ荷重が作用することがなく、過大な曲げ荷重による表示パネル６の破損や、基板保持部５上での表示パネル６の位置ずれが発生しない。従って、製品歩留まりを向上させるとともに、位置ずれに起因する後工程での不具合を防止することができる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、移動手段により保持手段をテープ状清掃材の送り方向に対して垂直方向に相対的に水平移動させながら、ガラス基板の表面付着物をきれいにクリーニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のチャック機構の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のテープ送り駆動系の配置図
【図４】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のテープ送り駆動系の部分断面図
【図５】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の押圧子の説明図
【図６】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
【符号の説明】
２位置決め部
３端子クリーニング部
６表示パネル
８Ａ，８Ｂ押圧子
９チャック機構
１０ワイパテープ
１１Ａ，１１Ｂ供給リール
１２Ａ，１２Ｂテープ送り機構
１４Ａ，１４Ｂ巻き取りリール
１５送りローラ
１６従動ローラ

Claims

ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記テープ状清掃材を卷回状態で供給する供給リールと、前記テープ状清掃材を供給リールから引き出して送給するテープ送り手段と、このテープ送り手段によるテープ送り量を検出する送り量検出手段と、前記供給リールから引き出されたテープ状清掃材に送り出し方向と反対方向の張力を付与する張力付与手段と、前記張力の上限値を規定する張力規定手段と、前記引き出されたテープ状清掃材を前記縁部に押しつける押圧子と、使用後のテープ状清掃材を巻き取る巻き取りリールと、この巻き取りリールを回転駆動する巻き取り駆動手段と、巻き取りリールによるテープ状清掃材の巻き取り力の上限値を規定する巻き取り力規定手段と、前記ガラス基板を保持する保持手段と、この保持手段を前記押圧子に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、この移動手段によって前記保持手段を前記テープ状清掃材の送り方向に対して垂直方向に相対的に水平移動させることにより前記表面付着物を除去するようにし、また前記押圧子を上下に一対備え、この一対の押圧子を開閉駆動するチャック機構を設け、且つ前記チャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するチャック支持手段を備え、前記チャック機構がガイドレールとスライダにより上下方向に移動可能に保持され、また前記チャック支持手段が、一端を固定ブロックに片持ち固定された板バネ部材と、この板バネ部材の自由端を水平方向の相対的変位を拘束することなく上下から挟持する上下一対のローラから成ることを特徴とするガラス基板のクリーニング装置。