JP2002280659A - レーザダイオードモジュールからなる光源 - Google Patents

レーザダイオードモジュールからなる光源

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JP2002280659A
JP2002280659A JP2001075390A JP2001075390A JP2002280659A JP 2002280659 A JP2002280659 A JP 2002280659A JP 2001075390 A JP2001075390 A JP 2001075390A JP 2001075390 A JP2001075390 A JP 2001075390A JP 2002280659 A JP2002280659 A JP 2002280659A
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Masashi Ikeda
匡▲視▼ 池田
Shinya Nagamatsu
信也 長松
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高い密度で配置された、高光出力の複数個のレ
ーザダイオードモジュールからなる光源を提供する。 【解決手段】各々がレーザダイオードチップおよび光学
機器を搭載する金属基板、および、金属基板と熱的に接
続されたペルチェ素子を備えている複数個のレーザダイ
オードモジュールと、複数個のレーザダイオードモジュ
ールが搭載される、1つの板型ヒートパイプからなって
いる搭載部とを備えている、レーザダイオードモジュー
ルからなる光源。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高出力光源、特
に、高い密度で配置された、高光出力の複数個のレーザ
ダイオードモジュールからなる光源に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、レーザダイオードモジュールは、
光ファイバ通信、特に幹線系・CATVの信号光源やフ
ァイバアンプの励起光源として用いられている。このよ
うなレーザダイオードモジュールは、高出力および安定
動作を実現するために、ペルチェ素子を内蔵し、そのペ
ルチェ素子上部に搭載された金属基板上にレーザダイオ
ードチップ、フォトダイオードチップ、レンズ等の光学
部品、サーミスタ素子、インダクタ、抵抗等の電気部品
を配置している。なお、上述したペルチェ素子は、熱電
半導体であり、直流の電流を流すと、p型の半導体の場
合には、電流の流れる方向に熱が運ばれ、n型半導体の
場合には電流と反対方向に熱が運ばれ、熱電半導体の両
側で温度差が生じる。ペルチェ素子を使用した冷却シス
テムは、上述した温度差を利用して、低温側を冷却に、
高温側を放熱に使用している。
【0003】レーザダイオードモジュールは、上述した
レーザダイオードチップの近傍に接着されたサーミスタ
素子によってチップの温度を検出している。このように
検出された温度値をフィードバックしてペルチェ素子を
駆動させることにより、レーザダイオードチップが配置
された金属基板全体を冷却して、レーザダイオードチッ
プの温度を一定に保つ構造を備えている。
【0004】図5に従来のレーザダイオードモジュール
を示す。図5は、レーザダイオードモジュールの概略断
面図を示す。レーザダイオードモジュールは、図5に示
すように、レーザダイオードチップ111およびヒート
シンク112を搭載したマウント113と、モニター用
フォトダイオードチップ114を搭載したチップキャリ
ア115と、レンズホルダ116と、図示しない抵抗
体、インダクタおよび回路基板等を接着した金属基板1
10aと、ペルチェ素子7とを備えている。ペルチェ素
子は、パッケージ放熱板118上に金属ソルダで固定さ
れている。なお、ペルチェ素子117の上下には、セラ
ミックス板119A、119Bが配置される。
【0005】図6は、図5におけるレーザダイオードモ
ジュールのA−A'断面図である。図6に示すように、
レーザダイオードモジュールの主要部は、ヒートシンク
112上にレーザダイオードチップ111の他にサーミ
スタ121を搭載し、ペルチェ素子117と金属基板1
10aとを接着する金属ソルダとして、両者の熱膨張差
を緩和するために、ソフトソルダ122を用いている。
上述した金属基板は、通常、銅タングステン(CuW:
銅の重量配分比10〜30%のものが存在)等の単一材
質で形成されている。金属基板とペルチェ素子との接着
は、両者の熱膨張差を緩和するために、インジウム錫
(InSn)などの低温ソフトソルダが用いられてき
た。
【0006】しかし、近年、レーザダイオードモジュー
ルの高出力化に伴い、レーザダイオードモジュールの冷
却能力と温度環境信頼度(即ち、温度が変化した場合に
おいても正常に機能を継続する能力)に対する要求が厳
しくなっている。まず、冷却能力向上のためには、ペル
チェ素子を大型化したり、上部に搭載する金属基板の高
熱伝導材質化を図る必要があるが、ペルチェ素子の冷却
能力向上に伴う温調タイム(目的の温度に達するまでの
時間)の短縮により、ペルチェ素子上部に搭載した金属
基板への温度ストレスも大きくなる。そのため、ペルチ
ェ素子と金属基板の熱膨張率差の影響が大きくなり、両
者を接着するソフトソルダの摺動により亀裂剥離を生じ
させるという問題が生じる。しかも、ソフトソルダ特有
のハンダクリープ現象も顕著になるため、ペルチェ素子
と金属基板とを接着させるソルダには、ビスマス錫(B
iSn)等の低温ハードソルダを用いる必要がある。
【0007】上述した問題点を解決するために、特開平
10−200208に、2種類の金属材からなる金属基
板を備えた半導体レーザモジュールが開示されている。
図7にその概要を示す。図7(a)に示すように、半導
体レーザモジュールは、LDチップ201やLDチップ
を一定の温度に保つためのサーミスタ211をヒートシ
ンク202およびサブマウント203を介して、光学系
のレンズとともに搭載する金属基板210と、上下の面
にセラミックス基板209A、209Bを備えたペルチ
ェ素子207とをハードソルダ212によって接着して
形成される。
【0008】この金属基板210は、LDチップ201
からの熱流がペルチェ素子207へ向かう方向とは垂直
になる方向に、ペルチェ素子207の上面に接着され
る。特に、金属基板210は、LDチップ201の直下
を含む基板中央部に第1の金属部材213を配置し、そ
の側面周囲に第2の金属部材214を配置するように形
成している。更に、図7(b)に示すように、金属基板
210は、第1の金属部材213を熱伝導率の大きい金
属材で形成し、第2の金属部材214を第1の金属部材
213よりも熱膨張率の小さい金属材で形成する。
【0009】即ち、上述した金属基板210を使用する
ことにより、金属基板全体の熱膨張を小さくするととも
に、熱伝導を良くし、冷却性能を向上させると同時に、
ペルチェ素子の信頼度を高めることを期待している。な
お、光励起用光源または光信号光源には、通常、光出力
源であるレーザダイオードモジュールが複数個搭載され
ている。レーザダイオードモジュールは、他の光部品と
組み合わされて、光増幅器に使用されている。
【0010】
【発明が解決しょうとする課題】上述した先行技術によ
ると、個々のレーザダイオードモジュールにおける、ペ
ルチェ素子の冷却性能の向上、および、ペルチェ素子の
信頼度を高めることが期待されている。しかしながら、
個々のレーザダイオードモジュールが更に高出力化し、
このように更に高出力化した多数のレーザダイオードモ
ジュールを高い密度で配置して使用すると、チップとペ
ルチェ素子との間に配置される金属基板の熱伝導性を高
めたり、熱膨張率の差を小さくするだけでは、レーザダ
イオードモジュールの高出力化、それらの高い密度の配
置にともなって発生する熱を処理することができず、レ
ーザダイオードモジュールの機能を損傷してしまうとい
う問題点がある。
【0011】即ち、各レーザダイオードモジュール自体
がサイズが小さい上に高発熱密度体であり、それらを複
数個実装することが求められる光励起用光源または光信
号光源として使用する場合には、レーザダイオードモジ
ュールの熱を放熱することが困難であった。一方、光励
起用光源または光信号光源は、更なる光出力の向上が求
められており、従来の方法では、レーザダイオードモジ
ュールのペルチェ素子による冷却が限界に達して、半導
体素子の性能を100%生かしきれない状態でしか、使
用することができなくなっている。
【0012】更に、市場のニーズとして、光出力を向上
させても、ペルチェ素子および半導体素子励起による消
費電力を従来以下のままに維持したいという要望があ
り、光源内の放熱特性が非常に重要になってきている。
更に、レーザダイオードモジュールの他に、レーザダイ
オードモジュールを制御するための他の発熱素子(例え
ば、CPU)を備えたレーザダイオードモジュール制御
基板からの発熱の処理も要求されている。上述したよう
に、優れた放熱性能を有するヒートシンクに実装され
た、光励起用光源または光信号光源の出現が待望されて
いる。
【0013】従って、この発明の目的は、従来の問題点
を解決して、高い密度で配置された、高光出力の複数個
のレーザダイオードモジュールからなる光源を提供する
ことにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述した従
来の問題点を解決すべく鋭意研究を重ねた。その結果、
従来、作動液という液体を内蔵するために、作動液の漏
れ、湿気による悪影響が連想され、レーザダイオードモ
ジュール等の高度に精密な機器において使用することが
嫌われ、否定されてきた、単結晶ダイヤの約20倍以上
の熱伝導率を有するヒートパイプをペルチェ素子に接続
させることによって、ペルチェ素子の破壊の危険性を著
しく低減して、レーザダイオードモジュールの高出力
化、それらの高密度の配置にも十分対応することができ
ることを知見した。
【0015】即ち、レーザダイオードチップおよび光学
機器を搭載する金属基板、および、金属基板と熱的に接
続されたペルチェ素子を備えているレーザダイオードモ
ジュールのそれぞれのペルチェ素子に、更に、ヒートパ
イプ、特に板型ヒートパイプの吸熱部を熱的に接続する
と、例え個々の光出力が高い、多数のレーザダイオード
モジュールを高い密度で配置しても、個々のレーザダイ
オードモジュールを従来とは比較にならない度合いで冷
却することができるので、信頼性の高い、高光出力の複
数個のレーザダイオードモジュールからなる光源を提供
することができることを知見した。
【0016】更に、前記複数個のレーザダイオードモジ
ュールが搭載される搭載部を1つの板型ヒートパイプに
よって形成し、更に、板型ヒートパイプの矩形の本体部
から丸型ヒートパイプ部を2つの方向に延伸し、放熱フ
ィンを取りつけることによって、熱を所定の方向に移動
させることができるので、光源の厚さを薄くすると共
に、板型ヒートパイプの広い接触面を利用することがで
きるので、複数個のレーザダイオードモジュールを搭載
する際の搭載方向、位置を自由に選択でき、設計の自由
度を高めることができることを知見した。
【0017】この発明は、上記知見に基づいてなされた
ものであって、この発明のレーザダイオードモジュール
からなる光源の第1の態様は、高い密度で配置された、
光出力が300mW以上である複数個のレーザダイオー
ドモジュールからなる光源である。
【0018】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第2の態様は、各々がレーザダイオードチ
ップおよび光学機器を搭載する金属基板、および、前記
金属基板と熱的に接続されたペルチェ素子を備えている
複数個のレーザダイオードモジュールと、前記複数個の
レーザダイオードモジュールが搭載される、1つの板型
ヒートパイプからなっている搭載部とを備えていること
を特徴とするレーザダイオードモジュールからなる光源
である。
【0019】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第3の態様は、前記ペルチェ素子に前記板
型ヒートパイプの吸熱部が熱的に接続されていることを
特徴とする、レーザダイオードモジュールからなる光源
である。
【0020】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第4の態様は、前記板型ヒートパイプが矩
形の本体部と、本体部から延伸して一体的に形成された
少なくとも1つの丸型ヒートパイプ部とからなっている
ことを特徴とする、レーザダイオードモジュールからな
る光源である。
【0021】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第5の態様は、前記丸型ヒートパイプ部
が、前記矩形の本体部から複数の方向に延伸しているこ
とを特徴とする、レーザダイオードモジュールからなる
光源である。
【0022】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第6の態様は、前記丸型ヒートパイプ部
に、更に、放熱フィン部が備えられていることを特徴と
する、レーザダイオードモジュールからなる光源であ
る。
【0023】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源の第7の態様は、前記搭載部としての板型ヒ
ートパイプの、前記複数個のレーザダイオードモジュー
ルが搭載されている面と反対側の面に、前記レーザダイ
オードモジュール制御基板が熱的に接続されていること
を特徴とする、レーザダイオードモジュールからなる光
源である。
【0024】
【発明の実施の形態】この発明のレーザダイオードモジ
ュールからなる光源の態様について図面を参照しながら
詳細に説明する。この発明のレーザダイオードモジュー
ルからなる光源は、各々がレーザダイオードチップおよ
び光学機器を搭載する金属基板、および、金属基板と熱
的に接続されたペルチェ素子を備えている複数個のレー
ザダイオードモジュールと、複数個のレーザダイオード
モジュールが搭載される、1つの板型ヒートパイプから
なっている搭載部とを備えている。上述した板型ヒート
パイプが矩形の本体部と、本体部から延伸して一体的に
形成された少なくとも1つの丸型ヒートパイプ部とから
なっていてもよい。更に、具体的には、丸型ヒートパイ
プ部が、矩形の本体部からそれぞれ逆の2つの方向に延
伸していてもよい。更に、丸型ヒートパイプ部に、更
に、放熱フィン部が備えられていることが好ましい。
【0025】図1は、この発明の光源を構成する個々の
レーザダイオードモジュールの一例の概要を示す図であ
る。図1に示すように、レーザダイオードモジュール1
0は、半導体レーザ11、第1レンズ12、第2レンズ
13、コア拡大ファイバ14および気密ケース20を備
えている。半導体レーザ11は、第1レンズ12との間
に所定の間隔をおいて、ベース21上にチップキャリア
22を介して設けられている。ベース21は、気密ケー
ス20内に設けた温度制御用のペルチェ素子23の上方
に配置されている。ベース21は、主要部分が銅製で、
第1レンズ12を設置する部分がステンレス製の複合材
である。ベース部材21は、チップキャリア22を挟ん
で第1レンズ12と対向する側にキャリア24が固定さ
れ、キャリア22の半導体レーザ11と対向する位置に
モニタ用のフォトダイオード24aが設けられている。
【0026】第1レンズ12は、レンズホルダ12aに
コリメータレンズ12bが保持されている。レンズホル
ダ12aは、ベース21に溶接固定されている。コリメ
ータレンズ12bは、高結合効率を得るために非球面レ
ンズが使用されている。第2レンズ13は、レンズホル
ダ13aに上下部分を削り出した球レンズ13bが保持
されている。レンズホルダ13aは、光軸に垂直な面内
で位置調整して気密ケース20の後述する挿着円筒20
aに固定されている。
【0027】コア拡大ファイバ14は、コアを拡大させ
た先端側が光軸に対して6°傾斜させて斜めに研磨され
るとともに研磨面に反射防止コーティングが施され、先
端側が金属筒15内に接着されて保護されている。金属
筒15は、調整部材16の最適位置に溶接固定されてい
る。金属筒15は、調整部材16内でコア拡大ファイバ
14の光軸方向に沿って前後方向にスライドさせたり、
光軸廻りに回転させることにって調整部材16の最適位
置に調整される。
【0028】図2は、この発明の、レーザダイオードモ
ジュールからなる光源の1つの態様を示す図である。図
2(a)は、レーザダイオードモジュールからなる光源
の1つの態様の断面図である。図2(b)は、レーザダ
イオードモジュールからなる光源の1つの態様の上面図
である。図2(a)に示すように、この態様において
は、複数個のレーザダイオードモジュールが搭載される
搭載部30は、1つの板型ヒートパイプからなってい
る。搭載部30としての板型ヒートパイプは、銅または
アルミニウム等の熱伝導性に優れた金属によって形成さ
れ、密閉された空洞部40を有する中空構造からなって
いる。空洞部内にはヒートパイプの材質に適合した作動
液が封入されている。板型ヒートパイプの一方の面(即
ち、吸熱部)上には、レーザダイオードモジュール10
が直接配置されている。板型ヒートパイプの広い矩形の
面を利用することができるので、レーザダイオードモジ
ュールの配置位置、方向は自由に選択することができ
る。板型ヒートパイプの他方の面には、ヒートシンク3
3、例えば、放熱フィンが熱的に接続されている。板型
ヒートパイプを直接搭載部として使用することができる
ので、ヒートパイプの優れた熱移動によって、レーザダ
イオードモジュールの配置密度は、物理的に配置可能な
限り密度を高めることができる。
【0029】ヒートパイプは、一般に、密封された空洞
部を有するコンテナを備えており、空洞部に収容された
作動液の相変態および移動によって熱の輸送が行われ
る。熱の一部は、ヒートパイプを構成するコンテナの材
質中を直接伝わって運ばれるが、大部分の熱は、作動液
による相変態と移動によって移動される。冷却部品が取
り付けられるヒートパイプの吸熱側において、ヒートパ
イプを構成するコンテナの材質中を伝わってきた熱によ
り、作動液が蒸発し、その蒸気がヒートパイプの放熱側
に移動する。放熱側では、作動液の蒸気は冷却され再び
液相状態に戻る。液相に戻った作動液は再び吸熱側に移
動する。このような作動液の相変態や移動によって、多
量の熱の速やかな移動がなされる。
【0030】図3は、この発明の、レーザダイオードモ
ジュールからなる光源の他の1つの態様を示す図であ
る。図3(a)は、レーザダイオードモジュールからな
る光源の断面図である。図3(b)は、レーザダイオー
ドモジュールからなる光源の上面図である。この態様の
レーザダイオードモジュールからなる光源においては、
搭載部が、矩形の板型ヒートパイプの本体部31と、本
体部31から延伸して一体的に形成された丸型ヒートパ
イプ部32とからなっている。
【0031】搭載部としての板型ヒートパイプの本体部
31および丸型ヒートパイプ部32は、銅またはアルミ
ニウム等の熱伝導性に優れた金属によって一体的に形成
され、本体部は空洞部40を有する中空構造からなって
おり、本体部の空洞部40と丸型ヒートパイプの内部4
1は連通している。板型ヒートパイプの一方の面(即
ち、吸熱部)上には、レーザダイオードモジュール10
が直接配置されている。この態様においても、板型ヒー
トパイプの広い矩形の面を利用することができるので、
レーザダイオードモジュールの配置位置、方向は自由に
選択することができる。丸型ヒートパイプ部32の各ヒ
ートパイプには、放熱フィン34が取りつけられてい
る。この態様においては、板型ヒートパイプの本体部に
直接搭載された複数個のレーザダイオードモジュールの
熱は、先ず板型ヒートパイプの本体部に移動され、更
に、本体部の空洞部とその内部が連通した丸型ヒートパ
イプに移動される。丸型ヒートパイプに取りつけられた
放熱フィンによって所定の位置に放熱される。
【0032】更に、この態様においては、上述したよう
に、板型ヒートパイプの本体部の複数個のレーザダイオ
ードモジュール10を搭載する面31と反対側の面42
も、ヒートパイプの熱吸収部として利用することができ
る。即ち、レーザダイオードモジュールを制御する、他
の発熱素子(例えば、CPU)を搭載したレーザダイオ
ードモジュール制御基板等を熱的に接続することができ
る。この際には、使用するヒートパイプの最大熱輸送量
と、レーザダイオードモジュールの発熱量、レーザダイ
オードモジュール制御基板等の発熱量とを考慮して、ヒ
ートパイプを選定することによって、効率的な放熱を行
い、高い密度で配置された高光出力のレーザダイオード
モジュールの機能を十分に発揮することができる。
【0033】図4は、この発明の、レーザダイオードモ
ジュールからなる光源の他の1つの態様を示す上面図で
ある。この態様のレーザダイオードモジュールからなる
光源においては、搭載部が、矩形の板型ヒートパイプの
本体部31と、本体部31から延伸して一体的に形成さ
れた逆方向の2つの丸型ヒートパイプ部32、33とか
らなっている。
【0034】搭載部としての板型ヒートパイプの本体部
31および丸型ヒートパイプ部32、33は、銅または
アルミニウム等の熱伝導性に優れた金属によって一体的
に形成され、本体部は空洞部を有する中空構造からなっ
ており、本体部31の空洞部と丸型ヒートパイプ32、
33の内部は連通している。板型ヒートパイプの一方の
面(即ち、吸熱部)上には、レーザダイオードモジュー
ル10が直接配置されている。図においては、レーザダ
イオードモジュール10は、丸型ヒートパイプ32、3
3と並行に配置されているけれでも、この態様において
も、板型ヒートパイプの広い矩形の面を利用することが
できるので、レーザダイオードモジュールの配置位置、
方向は自由に選択することができる。
【0035】丸型ヒートパイプ部32、33の各ヒート
パイプには、放熱フィン34、35が取りつけられてい
る。この態様においては、板型ヒートパイプの本体部に
直接搭載された複数個のレーザダイオードモジュールの
熱は、先ず板型ヒートパイプの本体部31に移動され、
更に、本体部の空洞部とその内部が連通した丸型ヒート
パイプ32、33に移動される。丸型ヒートパイプ3
2、33に取りつけられた放熱フィン34、35によっ
て所定の位置に放熱される。
【0036】更に、この態様においても、上述したよう
に、板型ヒートパイプの本体部の複数個のレーザダイオ
ードモジュール10を搭載する面31と反対側の面(図
示しない)も、ヒートパイプの熱吸収部として利用する
ことができる。即ち、レーザダイオードモジュールを制
御する、他の発熱素子(例えば、CPU)を搭載したレ
ーザダイオードモジュール制御基板等を熱的に接続する
ことができる。この態様においては、板型ヒートパイプ
の本体部に、逆方向の2つの丸型ヒートパイプが一体的
に形成されているので、より多量の熱を効果的に移動す
ることができる。この際においても、使用するヒートパ
イプの最大熱輸送量と、レーザダイオードモジュールの
発熱量、レーザダイオードモジュール制御基板等の発熱
量とを考慮して、ヒートパイプを選定することによっ
て、効率的な放熱を行い、高い密度で配置された高光出
力のレーザダイオードモジュールの機能を十分に発揮す
ることができる。上述したこの発明のレーザダイオード
モジュールからなる光源において、レーザダイオードモ
ジュールを正常に機能させるためには、レーザダイオー
ドモジュールのフォトダイオード近傍の温度を約25℃
以下に維持するためには、ペルチェ素子の搭載部側での
温度が約70℃以下であることがあり、ヒートパイプに
よる熱輸送量も、上述した温度を維持することができる
ように、選定することが好ましい。レーザダイオードモ
ジュールと、板型ヒートパイプからなる搭載部との接続
は、熱抵抗が小さくなるように、レーザダイオードモジ
ュール10の底部が、搭載部30の表面に直接接触する
ような状態で、接合、機械的取り付け等によって密接に
接続される。熱抵抗を小さくするために、熱伝導シー
ト、熱伝導グリスを介して直接密接させてもよい。
【0037】従って、個々のレーザダイオードモジュー
ルの光出力が更に高くなって、しかも、高光出力のレー
ザダイオードモジュールが高い密度で配置されていて
も、レーザダイオードモジュールの熱を効率的に放熱
し、レーザダイオードモジュール内に配置されたペルチ
ェ素子が破壊されることなく、レーザダイオードチップ
11の性能を劣化させることなく、所定の温度範囲内に
維持することができ、光源の性能を維持することができ
る。
【0038】搭載部内部は、減圧状態となり、搭載部材
質との適合性を考慮して、水、代替フロン、フロリナー
トなどの作動液が封入される。本体部、丸型ヒートパイ
プ部は、銅製のヒートパイプが好ましく、作動液とし
て、水を使用することができる。ヒートパイプ内には、
作動液の還流を容易にするために、ウイックを配置して
もよい。板型ヒートパイプの形状は、矩形に限定され
ず、レーザダイオードモジュールとの接触面が広くとれ
る形状であればよい。丸型ヒートパイプの形状は、円
形、楕円形、偏平形等であってもよい。
【0039】この発明のレーザダイオードモジュールか
らなる光源は、光伝送システムにおける光励起用光源と
して使用される。更に、この発明のレーザダイオードモ
ジュールからなる光源は、光伝送システムにおける光信
号用光源として使用される。更に、この発明のラマン増
幅器は、この発明のレーザダイオードモジュールからな
る光源を用いるラマン増幅器である。
【0040】
【実施例】この発明のレーザダイオードモジュールから
なる光源を実施例によって、説明する。 実施例1 図2に示すように、銅製の縦100mm×横200mm
×高さ7mmの、空洞部を有する板型ヒートパイプから
なる搭載部を調製した。搭載部の一方の表面の、レーザ
ダイオードモジュールが配置される部分には、レーザダ
イオードモジュールの底部が、伝熱グリスを介して、直
接的に密着された。
【0041】このように6個のレーザダイオードモジュ
ールがランダムに配置された搭載部のレーザダイオード
モジュールとは反対側(即ち、底面側)には、高さ11
mm、ピッチ3mmのコルゲートフィンがブレ−ジング
処理(ロウ付け処理)で金属接合された。
【0042】なお、搭載部の上に、ランダムに配置され
た6個のレーザダイオードモジュールの各レーザダイオ
ードモジュールの光出力は100mW以上であった。ヒ
ートパイプ内には、作動液として水が封入され、ワイヤ
状のウイックが配置されている。
【0043】このようにして作製されたこの発明のレー
ザダイオードモジュールからなる光源を作動させたとこ
ろ、300mWの高い光出力を得ることができ、レーザ
ダイオードモジュールを24.9〜25.1℃の範囲内
の温度に維持することができた。上述したように、レー
ザダイオードモジュールの底部が直接板型ヒートパイプ
に接触するように、配置されているので、高い放熱特性
が得られた。従って、コンパクトで、且つ、高い光出力
が保持された光励起用光源または光信号光源が低消費電
力のままで可能になる。
【0044】実施例2 図3に示すように、銅製の縦100mm×横200mm
×高さ7mmの、空洞部を有する板型ヒートパイプから
なる本体部、並びに、本体部と一体的に形成され、その
内部が相互に連通する、直径5mm長さ100mmの丸
型ヒートパイプ部からなる搭載部を調製した。搭載部の
一方の表面の、レーザダイオードモジュールが配置され
る部分には、レーザダイオードモジュールの底部が、伝
熱グリスを介して、直接的に密着された。
【0045】このように6個のレーザダイオードモジュ
ールがランダムに配置された本体部から延伸する丸型ヒ
ートパイプ部の放熱部には、図3に示すような、横20
0mm×縦40mm×厚さ0.3mmの板型放熱フィン
が取りつけられた。
【0046】なお、搭載部の上に、ランダムに配置され
た6個のレーザダイオードモジュールの各レーザダイオ
ードモジュールの光出力は100mW以上であった。ヒ
ートパイプ内には、作動液として水が封入され、ワイヤ
状のウイックが配置されている。
【0047】このようにして作製されたこの発明のレー
ザダイオードモジュールからなる光源を作動させたとこ
ろ、400mWの高い光出力を得ることができ、レーザ
ダイオードモジュールを24.9〜25.1℃の範囲内
の温度に維持することができた。上述したように、レー
ザダイオードモジュールの底部が直接板型ヒートパイプ
の本体部に接触するように、配置され、更に、本体部か
ら延伸している丸型ヒートパイプ更に放熱フィンによっ
て放熱されるので、高い放熱特性が得られた。従って、
コンパクトで、且つ、高い光出力が保持された光励起用
光源または光信号光源が低消費電力のままで可能にな
る。
【0048】実施例3 図4に示すように、銅製の縦100mm×横200mm
×高さ7mmの、空洞部を有する板型ヒートパイプから
なる本体部、並びに、本体部と一体的に形成され、その
内部が相互に連通する、直径5mm長さ100mmのそ
れぞれ逆方向に延伸した2つの丸型ヒートパイプ部から
なる搭載部を調製した。搭載部の一方の表面の、レーザ
ダイオードモジュールが配置される部分には、レーザダ
イオードモジュールの底部が、伝熱グリスを介して、直
接的に密着された。
【0049】このように6個のレーザダイオードモジュ
ールがランダムに配置された本体部から延伸する2つの
丸型ヒートパイプ部のそれぞれの放熱部には、図4に示
すような、横200mm×縦40mm×厚さ0.3mm
の板型放熱フィンが取りつけられた。
【0050】なお、搭載部の上に、ランダムに配置され
た6個のレーザダイオードモジュールの各レーザダイオ
ードモジュールの光出力は100mW以上であった。ヒ
ートパイプ内には、作動液として水が封入され、ワイヤ
状のウイックが配置されている。
【0051】このようにして作製されたこの発明のレー
ザダイオードモジュールからなる光源を作動させたとこ
ろ、450mWの高い光出力を得ることができ、レーザ
ダイオードモジュールを24.9〜25.1℃の範囲内
の温度に維持することができた。上述したように、レー
ザダイオードモジュールの底部が直接板型ヒートパイプ
の本体部に接触するように、配置され、更に、本体部か
らそれぞれ逆方向に延伸している2つの丸型ヒートパイ
プ更に放熱フィンによって放熱されるので、高い放熱特
性が得られた。従って、コンパクトで、且つ、高い光出
力が保持された光励起用光源または光信号光源が低消費
電力のままで可能になる。
【0052】
【発明の効果】上述したように、この発明によると、高
い密度で、自由度をもって配置された、薄型、高光出力
の複数個のレーザダイオードモジュールからなる光源を
提供することができ、コンパクトで、且つ、高い光出力
が保持された光励起用光源または光信号光源を低消費電
力のままで提供することができ、産業上利用価値が高
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の光源を構成する個々のレー
ザダイオードモジュールの一例の概要を示す図である。
【図2】図2は、この発明の、レーザダイオードモジュ
ールからなる光源の1つの態様を示す図である。
【図3】図3は、この発明の、レーザダイオードモジュ
ールからなる光源の他の1つの態様を示す図である。
【図4】図4は、この発明の、レーザダイオードモジュ
ールからなる光源の他の1つの態様を示す上面図であ
る。
【図5】図5は、従来のレーザダイオードモジュールを
示す図である。
【図6】図6は、図5におけるレーザダイオードモジュ
ールのA−A'断面図である。
【図7】図7は、2種類の金属材からなる金属基板を備
えた半導体レーザモジュールを示す図である。
【符号の説明】
10.レーザダイオードモジュール 11.半導体レーザ 12.第1レンズ 13.第2レンズ 14.コア拡大ファイバ 15.金属筒 1.調整部材 20.気密ケース 21.ベース 22.チップキャリア 23.ペルチェ素子 24.キャリア 30.搭載部(ヒートパイプ) 31.ヒートパイプの本体部 32.丸型ヒートパイプ部 33.丸型ヒートパイプ部 34.放熱フィン 35.放熱フィン 40.空洞部 41.丸型ヒートパイプ部の空洞部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3L044 AA04 BA06 CA13 DA01 DD03 DD07 EA03 KA04 5F073 AB27 AB28 BA02 EA24 FA02 FA06 FA11 FA25 FA26

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高い密度で配置された、光出力が300m
    W以上である複数個のレーザダイオードモジュールから
    なる光源。
  2. 【請求項2】各々がレーザダイオードチップおよび光学
    機器を搭載する金属基板、および、前記金属基板と熱的
    に接続されたペルチェ素子を備えている複数個のレーザ
    ダイオードモジュールと、前記複数個のレーザダイオー
    ドモジュールが搭載される、1つの板型ヒートパイプか
    らなっている搭載部とを備えていることを特徴とする、
    請求項1に記載のレーザダイオードモジュールからなる
    光源。
  3. 【請求項3】前記ペルチェ素子に前記板型ヒートパイプ
    の吸熱部が熱的に接続されていることを特徴とする、請
    求項2に記載のレーザダイオードモジュールからなる光
    源。
  4. 【請求項4】前記板型ヒートパイプが矩形の本体部と、
    本体部から延伸して一体的に形成された少なくとも1つ
    の丸型ヒートパイプ部とからなっていることを特徴とす
    る、請求項3に記載のレーザダイオードモジュールから
    なる光源。
  5. 【請求項5】前記丸型ヒートパイプ部が、前記矩形の本
    体部から複数の方向に延伸していることを特徴とする、
    請求項4に記載のレーザダイオードモジュールからなる
    光源。
  6. 【請求項6】前記丸型ヒートパイプ部に、更に、放熱フ
    ィン部が備えられていることを特徴とする、請求項4ま
    たは5に記載のレーザダイオードモジュールからなる光
    源。
  7. 【請求項7】前記搭載部としての板型ヒートパイプの、
    前記複数個のレーザダイオードモジュールが搭載されて
    いる面と反対側の面に、前記レーザダイオードモジュー
    ル制御基板が熱的に接続されていることを特徴とする、
    請求項4から6の何れか1項に記載のレーザダイオード
    モジュールからなる光源。
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