JP2002280256A - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

積層セラミック電子部品の製造方法

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JP2002280256A JP2001082543A JP2001082543A JP2002280256A JP 2002280256 A JP2002280256 A JP 2002280256A JP 2001082543 A JP2001082543 A JP 2001082543A JP 2001082543 A JP2001082543 A JP 2001082543A JP 2002280256 A JP2002280256 A JP 2002280256A
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英樹 横山
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昌幸 岡部
Yoshinori Fujikawa
佳則 藤川
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 Cuの第1層目電極をセラミック素体の両端
部に被着すると共に、Ag,Cuを主成分として貴金属
を含有する合金の第2層目電極を被着することにより外
部電極を形成し、鉛を含まない導電性樹脂ペーストを固
着手段として用いても、その導電性樹脂ペーストを加熱
乾燥することによる引張り応力に対抗可能な外部電極を
備える。 【解決手段】 セラミック素体の両端部に被着するCu
の導電性ペーストによる第1層目電極と、第1層目電極
の上に被着するAg,Cuを主成分として貴金属を含有
し、且つ、ガラスフリットを加えた導電性ペーストによ
る第2層目電極とを形成後、300〜600℃の加熱温
度でアニーリング処理を施す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサ,積層セラミックインダクタ等の積層セラミッ
ク電子部品に関し、詳しくは外部電極の引張り強度を高
めるための改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、積層セラミック電子部品は、P
d,Pt,Ag/Pd等の貴金属またはNi等の卑金属
を用いた導電性ペーストにより内部電極を誘電体のセラ
ミックグリーンシートに印刷し、そのセラミックグリー
ンシートを内部電極と交互に複数積層させて形成したセ
ラミック素体を備えると共に、外部電極をセラミック素
体の両端部に設けることにより構成されている。
【0003】従来、その外部電極は内部電極とのなじみ
を良くし、接続不良が内部電極との接続部分に生じない
ようAg/PdまたはCu等の金属粉末を主成分とし、
ガラスフリットを加えた導電性ペーストを積層セラミッ
ク素体の両端部に塗布し、この導電性ペーストを焼付け
処理することにより内部電極の貴金属または卑金属と融
合させて良好な結合状態を保つ下地電極層をベースに形
成されている。
【0004】その下地電極層をベースとし、搭載される
回路基板の導電パターンと半田付け固定するのに濡れ性
及び耐はんだ性を向上し、特に、はんだ耐熱性を保持す
るためにNiの被膜でなる中間のメッキ層を下地電極層
に被着し、更に、はんだ付け性を良好なものにするSn
またはSn/Pb等の被膜でなる最外層のメッキ層をN
iメッキ層に被着することにより外部電極として形成さ
れている。
【0005】その積層セラミック電子部品は、鉛を含む
クリームはんだにより外部電極を回路パターンのランド
部にはんだ付け固定することにより回路基板の板面に搭
載されている。但し、鉛を含むクリームはんだの環境等
に与える影響から、鉛を含むクリームはんだに代えて、
鉛を含まない導電性樹脂ペーストが固着手段として用い
られる傾向にある。
【0006】その導電性樹脂ペーストにより、最外層が
SnまたはSn/Pb等のメッキ層でなる外部電極を固
着するときには回路パターンのランド部と電気的に確実
に導通固定する必要から、導電性樹脂ペーストを200
〜350℃で乾燥硬化処理しなければならず、この加熱
処理に伴って、最外層のメッキ層が表面酸化してしまう
不具合を生ずる。
【0007】その外部電極の表面酸化を防ぐため、A
g,Cuを主成分とし、貴金属を含有する合金層により
外部電極を形成することが提案されている(特開200
0―286144)。この合金層による外部電極では、
導電性樹脂ペーストを200〜350℃で乾燥硬化処理
しても、表面が酸化するのを確実に防げる。
【0008】唯、内部電極とのなじみを良くし、接続不
良が内部電極との接続部分に生じないよう形成するため
には、セラミック素体の両端部に被着するCuの導電性
ペーストにより第1層目電極を塗布形成し、その上に、
Ag,Cuを主成分として貴金属を含有し、且つ、ガラ
スフリットを加えた導電性ペーストを第2層目電極とし
て塗布形成することにより外部電極を形成するとよい。
【0009】ところが、その外部電極では表面酸化を防
げるが、第2層目電極とセラミック素体との界面強度が
弱く、導電性樹脂ペーストにより積層セラミック電子部
品を固着するために200〜350℃で加熱乾燥するこ
とで、第2層目電極とセラミック素体との界面が引張り
応力により層間剥離する事態を生ずる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、Cuの導電
性ペーストにより第1層目電極をセラミック素体の両端
部に被着し、Ag,Cuを主成分として貴金属を含有
し、且つ、ガラスフリットを加えた導電性ペーストを第
2層目電極として塗布形成することにより外部電極を形
成すると共に、導電性樹脂ペースト(鉛を含まず)を固
着手段として用いても、その導電性樹脂ペーストを20
0〜350℃で加熱乾燥することによる引張り応力に対
抗可能な外部電極を備える積層セラミック電子部品の製
造方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る積層セラミ
ック電子部品の製造方法においては、内部電極とセラミ
ック層とを交互に複数積層させて形成したセラミック素
体を備えると共に、その内部電極と電気的に導通させて
セラミック素体の両端部に被着するCuの導電性ペース
トによる第1層目電極と、第1層目電極の上に被着する
Ag,Cuを主成分として貴金属を含有し、且つ、ガラ
スフリットを加えた導電性ペーストによる第2層目電極
とから外部電極を形成するべく、第1層目電極と第2層
目電極とを形成後、300〜600℃の加熱温度でアニ
ーリング処理を施すようにされている。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサ,積層セラミックインダクタ等の積層セラミック電
子部品の外部電極を形成するのに広く適用できるもので
あり、以下、その代表例として積層セラミックコンデン
サを製造する場合で説明する。
【0013】積層セラミックコンデンサは、Pd,P
t,Ag/Pd等の貴金属またはNi等の卑金属を用い
た導電性ペーストにより内部電極を誘電体グリーンシー
トに印刷し、その誘電体グリーンシートを内部電極と交
互に複数積層後焼成することにより積層コンデンサ素体
を形成し、更に、積層コンデンサ素体の内部電極と電気
的に導通する外部電極を両端部に設けることにより構成
されている。
【0014】その外部電極は、内部電極と接続すること
により積層コンデンサ素体の両端部に被着するCuの導
電性ペーストによる第1層目電極と、第1層目電極の上
に被着するAg,Cuを主成分として貴金属を含有する
ガラスペーストによる第2層目電極とにより積層形成さ
れている。このうち、第2層目電極は、金属材料を10
0gに対してガラスフリットを6g程度配合した導電性
ペーストにより形成できる。
【0015】そのガラスフリットを含む導電性ペースト
としては、82.5wt%〜92.5wt%のAgと
2.5wt%のCuを主成分とし、5.0wt%〜1
5.0wt%のAuを配合したもの、また、72.5w
t%〜92.5wt%のAgと2.5wt%のCuを主
成分とし、5.0wt%〜25.0wt%のAuを配合
したものを用いることができる。
【0016】その外部電極の形成工程は、Cuの導電性
ペーストを積層コンデンサ素体の両端部に塗布して70
〜100℃で乾燥後、その上に、Ag,Cuを主成分と
して貴金属を含有し、且つ、ガラスフリットを加えた導
電性ペーストを第1層目電極の上に塗布後750〜80
0℃の加熱温度で焼付け処理することにより第2層目電
極を形成する。これらの積層形成後、更に、300〜6
00℃の加熱温度でアニーリング処理を施すことにより
外部電極として形成する。
【0017】その第1層目電極,第2層目電極の塗布形
成後に300〜600℃の加熱温度でアニーリング処理
を施すことから、第2層目電極のガラスフリットが第1
層目電極に分散し、第2層目電極と第1層目電極との接
合強度を高められるため、第2層目電極とセラミック素
体との界面固着強度も高められる。
【0018】その有効性を確認するべく、上述した工程
から積層セラミックコンデンサを試料として作製し、表
1で示す加熱条件により、アニーリング処理を施した。
この表中、試料1(従来例)はアニーリング処理を施さ
ない初期状態のもので、試料2〜試料7(試料2,7:
比較例)は保持温度を変えてアニーリング処理を施した
ものを示す。各試料に対しては、熱処理後にメタノール
中で10min間の超音波洗浄処理を施した。
【0019】その各試料30個ずつについて、導電性樹
脂ペーストにより外部電極を回路パターンのランド部に
はんだ付け固定し、導電性樹脂ペーストを200〜35
0℃で加熱乾燥することにより引張り試験を行った。こ
の引張り試験による剥離点数並びに固着強度の結果は、
次の表1で示す通りである。
【0020】
【表1】
【0021】その表1から明らかなように、アニーリン
グ処理を施さない初期状態のものでは剥離点数が多く、
固着強度も低い。また、アニーリング処理を180℃で
施しても、アニーリング処理を施さない初期状態のもの
と何ら変わりない。
【0022】これに対し、300〜600℃の加熱温度
でアニーリング処理を施したものでは剥離が発生せずに
高い固着強度が得られる。然し、アニーリング処理を7
00℃まで施すと、逆に剥離が発生して固着強度も低下
してしまうことが判明した。
【0023】次に、各試料について、表面等価抵抗を測
定した。この結果は図1で示す通りであり、アニーリン
グ処理を施さない初期状態のものでは表面等価抵抗が高
くバラ付きも大きい。一方、700℃によるアニーリン
グ処理したものでは表面等価抵抗を低く抑えられるが、
バラ付きが大きい。これに対し、300〜600℃の加
熱温度でアニーリング処理を施したものでは表面等価抵
抗を安定して低く抑えられることが判明した。
【0024】
【発明の効果】以上の如く、本発明に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造方法に依れば、セラミック素体の両端
部に被着するCuの導電性ペーストによる第1層目電極
と、第1層目電極の上に被着するAg,Cuを主成分と
して貴金属を含有し、且つ、ガラスフリットを加えた導
電性ペーストによる第2層目電極とを形成後、300〜
600℃の加熱温度でアニーリング処理を施すことによ
り、第2層目電極と第1層目電極との接合強度を高めて
第2層目電極とセラミック素体との界面固着強度を高め
られるため、鉛を含まない導電性樹脂ペーストを固着手
段として用いても、その導電性樹脂ペーストを加熱乾燥
することによる引張り応力に対抗でき、第2層目電極と
セラミック素体との界面による層間剥離の発生を防げ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアニーリング処理法による積層セラミ
ック電子部品とアニーリング処理を施さない初期状態の
積層セラミック電子部品との表面等価抵抗の測定結果を
示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡部 昌幸 秋田県由利郡仁賀保町平沢字前田151 テ ィーディーケイ エムシーシー株式会社内 (72)発明者 藤川 佳則 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 五島 美喜 秋田県由利郡仁賀保町平沢字前田151 テ ィーディーケイ エムシーシー株式会社内 Fターム(参考) 5E001 AB03 AC04 AF00 AF06 AH01 AH08 AJ03 5E082 AB03 BC33 FG26 GG10 GG11 GG28 JJ03 JJ12 JJ23 LL01 MM24 PP06

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部電極とセラミック層とを交互に複数
    積層させて形成したセラミック素体を備えると共に、そ
    の内部電極と電気的に導通させてセラミック素体の両端
    部に被着するCuの導電性ペーストによる第1層目電極
    と、第1層目電極の上に被着するAg,Cuを主成分と
    して貴金属を含有し、且つ、ガラスフリットを加えた導
    電性ペーストによる第2層目電極とから形成される外部
    電極を備える積層セラミック電子部品の製造方法におい
    て、第1層目電極と第2層目電極とを形成後、300〜
    600℃の加熱温度でアニーリング処理を施すようにし
    たことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方
    法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006229077A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Tdk Corp セラミック電子部品
JP2019067829A (ja) * 2017-09-28 2019-04-25 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6112016A (ja) * 1984-06-22 1986-01-20 ノース・アメリカン・フイリツプス・コーポーシヨン 強度を増加した端子を有する卑金属電極積層コンデンサの製造方法
JP2000286144A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Tdk Corp 積層チップ部品及びその製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6112016A (ja) * 1984-06-22 1986-01-20 ノース・アメリカン・フイリツプス・コーポーシヨン 強度を増加した端子を有する卑金属電極積層コンデンサの製造方法
JP2000286144A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Tdk Corp 積層チップ部品及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006229077A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Tdk Corp セラミック電子部品
JP2019067829A (ja) * 2017-09-28 2019-04-25 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品
JP7000779B2 (ja) 2017-09-28 2022-01-19 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品

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