JP2002277751A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】複数のリレーレンズ光学系を組み込んで第１と
第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光軸を合せて良好な
像を得ること。 【解決手段】リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ第
１及び第２の延長リレー鏡筒のリレー連結鏡筒部６を上
下方向に移動可能に保持し、顕微鏡ヘッド部２０を移動
させたときのこれら第１と第２の延長リレー鏡筒の移動
に連動して移動してリレー連結鏡筒部６の軌跡をガイド
するガイド機構５０を設けた。
第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光軸を合せて良好な
像を得ること。 【解決手段】リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ第
１及び第２の延長リレー鏡筒のリレー連結鏡筒部６を上
下方向に移動可能に保持し、顕微鏡ヘッド部２０を移動
させたときのこれら第１と第２の延長リレー鏡筒の移動
に連動して移動してリレー連結鏡筒部６の軌跡をガイド
するガイド機構５０を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば大型の液晶
ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの被検査物の
検査に適用される検査装置に関する。
ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの被検査物の
検査に適用される検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる検査として顕微鏡を通して観察す
る方法では、例えば特開平５−１２７０８８号公報及び
特開平１０−１１１２５３号公報に記載されているよう
に、対物レンズを含む対物光学系により得られた被検査
物の像をリレーレンズ光学系を通して接眼レンズを含む
観察光学系に送り、対物レンズを被検査物の平面に沿っ
て一方向に移動させるとともに、被検査物を載置するス
テージを対物レンズの一方向と交差する他方向に移動し
て被検査物の全体を観察可能にしている。
る方法では、例えば特開平５−１２７０８８号公報及び
特開平１０−１１１２５３号公報に記載されているよう
に、対物レンズを含む対物光学系により得られた被検査
物の像をリレーレンズ光学系を通して接眼レンズを含む
観察光学系に送り、対物レンズを被検査物の平面に沿っ
て一方向に移動させるとともに、被検査物を載置するス
テージを対物レンズの一方向と交差する他方向に移動し
て被検査物の全体を観察可能にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記顕微鏡を通して観
察する方法の光学系では、実際には顕微鏡部に得られた
被検査物の像を結像レンズにより結像し、この結像され
た像を複数のリレーレンズにより接眼レンズに伝達し、
この接眼レンズを通して被検査物の拡大像を観察してい
る。
察する方法の光学系では、実際には顕微鏡部に得られた
被検査物の像を結像レンズにより結像し、この結像され
た像を複数のリレーレンズにより接眼レンズに伝達し、
この接眼レンズを通して被検査物の拡大像を観察してい
る。
【０００４】又、複数のリレーレンズ光学系を回動自在
な一対の延長リレー鏡筒に組み込んで、対物光学系の対
物レンズにより取り込まれた被検査物の像を伝送するも
のが例えば特開平１０−１１１２５３号公報及び特開２
０００−９６５１号公報に記載されている。このように
延長リレー鏡筒を回動自在に連結すると、延長リレー鏡
筒の自重で撓み、両光軸がずれることがある。このリレ
ーレンズの光軸を合せることが被検査物の拡大像の鮮明
化に繋がるため、リレーレンズの光軸を合せることが要
求されている。
な一対の延長リレー鏡筒に組み込んで、対物光学系の対
物レンズにより取り込まれた被検査物の像を伝送するも
のが例えば特開平１０−１１１２５３号公報及び特開２
０００−９６５１号公報に記載されている。このように
延長リレー鏡筒を回動自在に連結すると、延長リレー鏡
筒の自重で撓み、両光軸がずれることがある。このリレ
ーレンズの光軸を合せることが被検査物の拡大像の鮮明
化に繋がるため、リレーレンズの光軸を合せることが要
求されている。
【０００５】そこで本発明は、複数のリレーレンズ光学
系を組み込んで第１と第２の延長リレー鏡筒の水平方向
の光軸を合せて良好な像を得ることができる検査装置を
提供することを目的とする。
系を組み込んで第１と第２の延長リレー鏡筒の水平方向
の光軸を合せて良好な像を得ることができる検査装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、被検査物の像を得るための顕微鏡部と、この顕微
鏡部により得られた前記像を再結像する複数のリレーレ
ンズ光学系を有し、リレー連結部を介して互いに回動自
在に連結された第１と第２の延長リレー鏡筒と、これら
第１と第２の延長リレー鏡筒により再結像された前記像
を観察するための位置固定された観察光学系とを備え、
前記リレー連結部を前記第１と第２の延長リレー鏡筒の
水平光軸方向に対して略垂直方向に移動可能に保持し、
前記顕微鏡ヘッド部を移動させたときの前記第１と第２
の延長リレー鏡筒の移動に連動して前記リレー連結部を
ＸＹ方向にガイドするガイド機構を具備したことを特徴
とする検査装置である。
明は、被検査物の像を得るための顕微鏡部と、この顕微
鏡部により得られた前記像を再結像する複数のリレーレ
ンズ光学系を有し、リレー連結部を介して互いに回動自
在に連結された第１と第２の延長リレー鏡筒と、これら
第１と第２の延長リレー鏡筒により再結像された前記像
を観察するための位置固定された観察光学系とを備え、
前記リレー連結部を前記第１と第２の延長リレー鏡筒の
水平光軸方向に対して略垂直方向に移動可能に保持し、
前記顕微鏡ヘッド部を移動させたときの前記第１と第２
の延長リレー鏡筒の移動に連動して前記リレー連結部を
ＸＹ方向にガイドするガイド機構を具備したことを特徴
とする検査装置である。
【０００７】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の検査装置において、前記ガイド機構は、前記顕微鏡
ヘッド部の移動方向に対して略平行方向に移動可能に設
けられた第１の移動手段と、この第１の移動手段上に設
けられ、前記第１の移動手段の移動方向に対して略垂直
方向に移動可能に設けられた第２の移動手段と、この第
２の移動手段上に設けられ、前記リレー連結部を回動可
能でかつ前記第１と第２の移動手段の各移動方向に対し
て共に略垂直方向に移動可能に保持する連結受け手段と
からなることを特徴とする。
載の検査装置において、前記ガイド機構は、前記顕微鏡
ヘッド部の移動方向に対して略平行方向に移動可能に設
けられた第１の移動手段と、この第１の移動手段上に設
けられ、前記第１の移動手段の移動方向に対して略垂直
方向に移動可能に設けられた第２の移動手段と、この第
２の移動手段上に設けられ、前記リレー連結部を回動可
能でかつ前記第１と第２の移動手段の各移動方向に対し
て共に略垂直方向に移動可能に保持する連結受け手段と
からなることを特徴とする。
【０００８】請求項３記載による本発明は、請求項２記
載の検査装置において、前記リレー連結部は前記第１及
び第２の移動手段によりＸＹ方向に自由に移動し、前記
顕微鏡ヘッド部は前記第１の移動手段上で移動すること
を特徴とする。
載の検査装置において、前記リレー連結部は前記第１及
び第２の移動手段によりＸＹ方向に自由に移動し、前記
顕微鏡ヘッド部は前記第１の移動手段上で移動すること
を特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１及び図２は検査装置
の構成図であって、図１は側面図、図２は上面図であ
る。
いて図面を参照して説明する。図１及び図２は検査装置
の構成図であって、図１は側面図、図２は上面図であ
る。
【００１０】先ず、検査装置の構造から説明する。検査
装置本体の基台又は門型アーム４９の支柱部に観察鏡筒
用の固定台１が設けられている。この固定台１上には、
観察鏡筒２が位置固定されている。この観察鏡筒２の上
部には、接眼鏡筒部３が設けられている。
装置本体の基台又は門型アーム４９の支柱部に観察鏡筒
用の固定台１が設けられている。この固定台１上には、
観察鏡筒２が位置固定されている。この観察鏡筒２の上
部には、接眼鏡筒部３が設けられている。
【００１１】観察鏡筒２の側面には、複数のリレー鏡筒
例えば３つのリレー鏡筒４、５、５ａを介して回動自在
なリレー連結鏡筒部６が接続され、さらにこのリレー連
結鏡筒部６から複数のリレー鏡筒例えば４つのリレー鏡
筒７〜１０が連結されている。
例えば３つのリレー鏡筒４、５、５ａを介して回動自在
なリレー連結鏡筒部６が接続され、さらにこのリレー連
結鏡筒部６から複数のリレー鏡筒例えば４つのリレー鏡
筒７〜１０が連結されている。
【００１２】リレー連結鏡筒部６は、３つのリレー鏡筒
４、５、５ａを連結した第１の延長リレー鏡筒と４つの
リレー鏡筒７〜１０を連結した第２の延長リレー鏡筒と
の間にあって、これらリレー鏡筒４、５、５ａとリレー
鏡筒７〜１０とのなす角度を相互に変更可能にするよう
に回動自在に設けられている。このリレー連結鏡筒部６
は、第１の連結部１１と第２の連結部１２とからなり、
第１の連結部１１にはリレー鏡筒４、５、５ａが連結さ
れ、第２の連結部１２にはリレー鏡筒７〜１０が連結さ
れている。これら連結部１１と１２とは、例えばボール
ベアリング１３を介して互いに回動自在に設けられてい
る。
４、５、５ａを連結した第１の延長リレー鏡筒と４つの
リレー鏡筒７〜１０を連結した第２の延長リレー鏡筒と
の間にあって、これらリレー鏡筒４、５、５ａとリレー
鏡筒７〜１０とのなす角度を相互に変更可能にするよう
に回動自在に設けられている。このリレー連結鏡筒部６
は、第１の連結部１１と第２の連結部１２とからなり、
第１の連結部１１にはリレー鏡筒４、５、５ａが連結さ
れ、第２の連結部１２にはリレー鏡筒７〜１０が連結さ
れている。これら連結部１１と１２とは、例えばボール
ベアリング１３を介して互いに回動自在に設けられてい
る。
【００１３】第２の延長リレー鏡筒を構成するリレー鏡
筒１０の先端部には、対物光学系を構成する顕微鏡ヘッ
ド部２０が設けられている。この顕微鏡ヘッド部２０
は、電動レボルバに複数の対物レンズ２１、２２が取り
付けられたもので、これら対物レンズ２１、２２のうち
１つの対物レンズ２１又は２２が光軸上に交換可能にな
っている。この顕微鏡ヘッド部２０は、リレー鏡筒１０
の先端部に設けられた保持体２３に対して嵌合部２４を
介して回動可能に嵌合している。
筒１０の先端部には、対物光学系を構成する顕微鏡ヘッ
ド部２０が設けられている。この顕微鏡ヘッド部２０
は、電動レボルバに複数の対物レンズ２１、２２が取り
付けられたもので、これら対物レンズ２１、２２のうち
１つの対物レンズ２１又は２２が光軸上に交換可能にな
っている。この顕微鏡ヘッド部２０は、リレー鏡筒１０
の先端部に設けられた保持体２３に対して嵌合部２４を
介して回動可能に嵌合している。
【００１４】次に光学系について説明する。対物レンズ
２１を通る光軸ａ上には、この対物レンズ２１により得
られる像を結像するための結像レンズ３１が第２の延長
リレー鏡筒の先端部に設けられた保持体２３に設けられ
ている。この結像レンズ３１は、対物レンズ２１により
得られる像が平行光に整形されて結像レンズ３１に入射
するので、この入射した平行光の像を１次像として結像
位置Ｑ１にて再結像する。
２１を通る光軸ａ上には、この対物レンズ２１により得
られる像を結像するための結像レンズ３１が第２の延長
リレー鏡筒の先端部に設けられた保持体２３に設けられ
ている。この結像レンズ３１は、対物レンズ２１により
得られる像が平行光に整形されて結像レンズ３１に入射
するので、この入射した平行光の像を１次像として結像
位置Ｑ１にて再結像する。
【００１５】又、保持体２３内には、光軸ａ上にミラー
３２が設けられている。このミラー３２は、結像レンズ
３１により結像される像を各リレー鏡筒１０〜７内（第
２の延長リレー鏡筒）に向けて反射（偏向）するもので
ある。リレー鏡筒９、８内には、結像レンズ３１により
結像位置Ｑ１に結像された像と結像位置Ｑ２に伝達する
第１のリレーレンズ光学系を構成するリレーレンズ３３
〜３４が光軸ａ上に設けられている。
３２が設けられている。このミラー３２は、結像レンズ
３１により結像される像を各リレー鏡筒１０〜７内（第
２の延長リレー鏡筒）に向けて反射（偏向）するもので
ある。リレー鏡筒９、８内には、結像レンズ３１により
結像位置Ｑ１に結像された像と結像位置Ｑ２に伝達する
第１のリレーレンズ光学系を構成するリレーレンズ３３
〜３４が光軸ａ上に設けられている。
【００１６】リレー連結鏡筒部６内には、互いに対向す
る位置にそれぞれミラー３６、３７が設けられ、このう
ちミラー３６はリレーレンズ３５からの像をミラー３７
に向けて反射（偏向）し、ミラー３７はミラー３６から
の像を各リレー鏡筒５ａ、５、４内に向けて反射するも
のである。リレー鏡筒７、５ａ、５内には、第１のリレ
ーレンズ光学系により結像位置Ｑ２に結像された２次像
を結像位置Ｑ３に伝送する第２のリレーレンズ光学系を
構成するリレーレンズ３５、３８ａ、３８が設けられて
いる。
る位置にそれぞれミラー３６、３７が設けられ、このう
ちミラー３６はリレーレンズ３５からの像をミラー３７
に向けて反射（偏向）し、ミラー３７はミラー３６から
の像を各リレー鏡筒５ａ、５、４内に向けて反射するも
のである。リレー鏡筒７、５ａ、５内には、第１のリレ
ーレンズ光学系により結像位置Ｑ２に結像された２次像
を結像位置Ｑ３に伝送する第２のリレーレンズ光学系を
構成するリレーレンズ３５、３８ａ、３８が設けられて
いる。
【００１７】観察鏡筒２内には、光軸ａ上にミラー４５
が設けられている。このミラー４５は、リレーレンズ３
９ａからの像を接眼鏡筒部３内に向けて反射するもので
ある。リレー鏡筒４内には、第２のリレーレンズ光学系
により結像位置Ｑ３に結像された３次像を接眼レンズの
結像位置に伝送する第３のリレーレンズ光学系を構成す
るリレーレンズ３９、３９ａが設けられている。
が設けられている。このミラー４５は、リレーレンズ３
９ａからの像を接眼鏡筒部３内に向けて反射するもので
ある。リレー鏡筒４内には、第２のリレーレンズ光学系
により結像位置Ｑ３に結像された３次像を接眼レンズの
結像位置に伝送する第３のリレーレンズ光学系を構成す
るリレーレンズ３９、３９ａが設けられている。
【００１８】これら第１〜第３のリレーレンズ光学系に
より対物光学系の一次像が結像位置Ｑ２、結像位置
Ｑ３、接眼レンズ内に再結像される。
より対物光学系の一次像が結像位置Ｑ２、結像位置
Ｑ３、接眼レンズ内に再結像される。
【００１９】又、上記各第１〜第３のリレーレンズ光学
系のそれぞれ結像レンズ３１側には、それぞれ絞り４０
〜４４が設けられている。
系のそれぞれ結像レンズ３１側には、それぞれ絞り４０
〜４４が設けられている。
【００２０】観察鏡筒２の内部には、ミラー４５が設け
られ、上記リレーレンズ３３〜３５、３８ａ、３８、３
９、３９ａを通ってきた像を接眼鏡筒部３の接眼レンズ
４６に送るものとなっている。
られ、上記リレーレンズ３３〜３５、３８ａ、３８、３
９、３９ａを通ってきた像を接眼鏡筒部３の接眼レンズ
４６に送るものとなっている。
【００２１】一方、被検査物としての大型の液晶ディス
プレイのガラス基板４７は、ステージ４８上に載置され
ている。顕微鏡ヘッド部２０が上記矢印Ｙ方向に往復移
動し、ガラス基板４７を載置したステージ４８を顕微鏡
ヘッド部２０の移動方向と直交する矢印Ｘ方向に移動さ
せることにより、ガラス基板４７の全面を観察できる。
プレイのガラス基板４７は、ステージ４８上に載置され
ている。顕微鏡ヘッド部２０が上記矢印Ｙ方向に往復移
動し、ガラス基板４７を載置したステージ４８を顕微鏡
ヘッド部２０の移動方向と直交する矢印Ｘ方向に移動さ
せることにより、ガラス基板４７の全面を観察できる。
【００２２】上記リレー連結鏡筒部６における第２の連
結部１２の底部に固定された連結支持アーム１４を介し
てガイド機構５０が設けられている。このガイド機構５
０は、リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ３つのリ
レー鏡筒４、５、５ａを一体に連結した第１の延長リレ
ー鏡筒と、４つのリレー鏡筒７〜１０を一体に連結した
第２の延長リレー鏡筒との水平光軸方向に対して略垂直
方向（上下方向）に移動可能に保持し、顕微鏡ヘッド部
２０を移動させたときのこれら第１と第２の延長リレー
鏡筒の移動に連動して移動するリレー連結鏡筒部６をＸ
Ｙ方向にガイドするものである。
結部１２の底部に固定された連結支持アーム１４を介し
てガイド機構５０が設けられている。このガイド機構５
０は、リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ３つのリ
レー鏡筒４、５、５ａを一体に連結した第１の延長リレ
ー鏡筒と、４つのリレー鏡筒７〜１０を一体に連結した
第２の延長リレー鏡筒との水平光軸方向に対して略垂直
方向（上下方向）に移動可能に保持し、顕微鏡ヘッド部
２０を移動させたときのこれら第１と第２の延長リレー
鏡筒の移動に連動して移動するリレー連結鏡筒部６をＸ
Ｙ方向にガイドするものである。
【００２３】図３はガイド機構５０の具体的な構成図で
ある。このガイド機構５０には、図２に示すように互い
に平行に所定間隔をおいて設けられた２本の第１のリニ
アガイド１６、１７が配設されている。これら第１のリ
ニアガイド１６、１７は、顕微鏡ヘッド部２０の移動方
向に対して略平行方向に配設されている。これら第１の
リニアガイド１６、１７上には、これら第１のリニアガ
イド１６、１７間に跨って第２のリニアガイドとしての
棒状の第１の移動支持体１８が載せられている。この第
１の移動支持体１８は、第１のリニアガイド１６、１７
上を移動可能すなわち矢印ロ方向に移動可能に載せられ
ている。
ある。このガイド機構５０には、図２に示すように互い
に平行に所定間隔をおいて設けられた２本の第１のリニ
アガイド１６、１７が配設されている。これら第１のリ
ニアガイド１６、１７は、顕微鏡ヘッド部２０の移動方
向に対して略平行方向に配設されている。これら第１の
リニアガイド１６、１７上には、これら第１のリニアガ
イド１６、１７間に跨って第２のリニアガイドとしての
棒状の第１の移動支持体１８が載せられている。この第
１の移動支持体１８は、第１のリニアガイド１６、１７
上を移動可能すなわち矢印ロ方向に移動可能に載せられ
ている。
【００２４】この第１の移動支持体１８上には、連結受
け手段としての第２の移動摺動部５５が移動可能に、す
なわち図２に示す矢印ハ方向に移動可能に載せられてい
る。
け手段としての第２の移動摺動部５５が移動可能に、す
なわち図２に示す矢印ハ方向に移動可能に載せられてい
る。
【００２５】この第２の移動摺動部５５は、リレー連結
鏡筒部６の底部にビス等で固定された連結支持アーム１
４の先端部にボールベアリング１９を介して回動可能
で、かつ当該回動軸方向に移動可能すなわち上下移動可
能に保持するものである。
鏡筒部６の底部にビス等で固定された連結支持アーム１
４の先端部にボールベアリング１９を介して回動可能
で、かつ当該回動軸方向に移動可能すなわち上下移動可
能に保持するものである。
【００２６】具体的には、第１の移動支持体１８上に上
記矢印ハ方向に移動可能な第２の移動支持体５５が載せ
られている。この第２の移動支持体５５には、回転支持
軸５６が形成されている。この回転支持軸５６の軸方向
は、リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７間の光
軸方向と同一方向に形成されている。この回転支持軸５
６には、例えばボールベアリング１９を介して連結支持
アーム１４が回動自在に設けられている。この連結支持
アーム１４に固定された筒状体５８は、回転支持軸５６
に対しボールベアリング１９を介して上下移動可能にな
っており、回転支持軸５６の先端部に螺合されたビス５
７により上下方向に移動調整可能になっている。この上
下移動方向は、上記リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３
６、３７間の光軸方向と同一方向である。
記矢印ハ方向に移動可能な第２の移動支持体５５が載せ
られている。この第２の移動支持体５５には、回転支持
軸５６が形成されている。この回転支持軸５６の軸方向
は、リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７間の光
軸方向と同一方向に形成されている。この回転支持軸５
６には、例えばボールベアリング１９を介して連結支持
アーム１４が回動自在に設けられている。この連結支持
アーム１４に固定された筒状体５８は、回転支持軸５６
に対しボールベアリング１９を介して上下移動可能にな
っており、回転支持軸５６の先端部に螺合されたビス５
７により上下方向に移動調整可能になっている。この上
下移動方向は、上記リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３
６、３７間の光軸方向と同一方向である。
【００２７】顕微鏡ヘッド部２０は、図２に示すように
顕微鏡ヘッド用架台３０に載せられている。この顕微鏡
ヘッド用架台３０は、２本の第１のリニアガイド１６、
１７上に乗せられ、上記矢印ロ方向と同一方向に移動可
能になっている。
顕微鏡ヘッド用架台３０に載せられている。この顕微鏡
ヘッド用架台３０は、２本の第１のリニアガイド１６、
１７上に乗せられ、上記矢印ロ方向と同一方向に移動可
能になっている。
【００２８】従って、例えば、顕微鏡ヘッド用架台３０
を図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往復
移動させると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移動
に連動して移動支持体１８が第１のリニアガイド１６、
１７に沿って矢印ロ方向に往復移動すると共に、この移
動支持体１８に連動して移動摺動部１５が移動支持体１
８上を矢印ハ方向に往復移動する。図４は顕微鏡ヘッド
部２０が図面上左側に移動しているところを示す図であ
る。
を図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往復
移動させると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移動
に連動して移動支持体１８が第１のリニアガイド１６、
１７に沿って矢印ロ方向に往復移動すると共に、この移
動支持体１８に連動して移動摺動部１５が移動支持体１
８上を矢印ハ方向に往復移動する。図４は顕微鏡ヘッド
部２０が図面上左側に移動しているところを示す図であ
る。
【００２９】次に、観察鏡筒２（接眼鏡筒部３）の光軸
の位置について図５を参照して説明する。
の位置について図５を参照して説明する。
【００３０】顕微鏡ヘッド部２０と位置固定の観察鏡筒
２とを２つの延長リレー鏡筒を介して連結した検査装置
において、顕微鏡ヘッド部２０の光軸ａ１と、２つの延
長リレー鏡筒を連結するリレー連結鏡筒部６の光軸ａ２
と、観察鏡筒２の光軸ａ３とが設定される。このような
検査装置において顕微鏡ヘッド部２０を図４に示すよう
に第１のリニアガイド１６、１７に沿ってＹ方向に移動
されると、このときの顕微鏡ヘッド部２０の対物レンズ
２０は移動軌跡ｓ上を通る。
２とを２つの延長リレー鏡筒を介して連結した検査装置
において、顕微鏡ヘッド部２０の光軸ａ１と、２つの延
長リレー鏡筒を連結するリレー連結鏡筒部６の光軸ａ２
と、観察鏡筒２の光軸ａ３とが設定される。このような
検査装置において顕微鏡ヘッド部２０を図４に示すよう
に第１のリニアガイド１６、１７に沿ってＹ方向に移動
されると、このときの顕微鏡ヘッド部２０の対物レンズ
２０は移動軌跡ｓ上を通る。
【００３１】この検査装置において、観察鏡筒２の光軸
ａ３は、顕微鏡ヘッド部２０の移動軌跡ｓ上、又はこの
移動軌跡ｓに対して上記２つの延長リレー鏡筒側と反対
側の領域Ｆ内に固定して配置されることが好ましい。
ａ３は、顕微鏡ヘッド部２０の移動軌跡ｓ上、又はこの
移動軌跡ｓに対して上記２つの延長リレー鏡筒側と反対
側の領域Ｆ内に固定して配置されることが好ましい。
【００３２】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００３３】２つの延長リレー鏡筒の光軸を調整する場
合、回転支持軸５６の頭部によりドライバを用いてビス
５７を回して移動摺動部１５を、リレー連結鏡筒部６内
の各ミラー３６、３７間の光軸方向と同一方向に上下移
動させる。この移動摺動部１５の上下移動により連結支
持アーム１４を介してリレー連結鏡筒部６が上下移動す
る。
合、回転支持軸５６の頭部によりドライバを用いてビス
５７を回して移動摺動部１５を、リレー連結鏡筒部６内
の各ミラー３６、３７間の光軸方向と同一方向に上下移
動させる。この移動摺動部１５の上下移動により連結支
持アーム１４を介してリレー連結鏡筒部６が上下移動す
る。
【００３４】このビス５７を回してリレー連結鏡筒部６
を上下方向に移動させながら２つの延長リレー鏡筒の光
軸と第１のリニアガイド１６、１７と平行になるように
調整する。
を上下方向に移動させながら２つの延長リレー鏡筒の光
軸と第１のリニアガイド１６、１７と平行になるように
調整する。
【００３５】この状態において、大型の液晶ディスプレ
イのガラス基板４７の欠陥検査を行なう場合、顕微鏡ヘ
ッド用架台３０が例えば図示しない駆動部により第１の
リニアガイド５１、５２上を図２に示す矢印ロ方向に往
復移動されると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移
動に連動して第１と第２の延長リレー鏡筒がリレー連結
鏡筒部６を中心として互いになす角度を変え、移動摺動
部１５が第１の移動支持体１８上を矢印ハ方向に往復移
動する。
イのガラス基板４７の欠陥検査を行なう場合、顕微鏡ヘ
ッド用架台３０が例えば図示しない駆動部により第１の
リニアガイド５１、５２上を図２に示す矢印ロ方向に往
復移動されると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移
動に連動して第１と第２の延長リレー鏡筒がリレー連結
鏡筒部６を中心として互いになす角度を変え、移動摺動
部１５が第１の移動支持体１８上を矢印ハ方向に往復移
動する。
【００３６】このとき、リレー連結鏡筒部６は、当該リ
レー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７間の光軸方向
を中心に回動するので、これらミラー３６、３７間の光
軸はずれることがない。
レー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７間の光軸方向
を中心に回動するので、これらミラー３６、３７間の光
軸はずれることがない。
【００３７】これと共に、第１の延長リレー鏡筒の光軸
と、第２の延長リレー鏡筒の光軸とは、回転支持軸５６
のビス５７を回して移動摺動部１５を上下移動させ、第
１及び第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光軸が第１の
リニアガイド１６、１８に対して平行になるように調整
されているので、これらリレー鏡筒１０〜７からなる第
２の延長リレー鏡筒の光軸と、リレー鏡筒５ａ、５、４
からなる第１の延長リレー鏡筒の光軸とは、リレー連結
鏡筒部６を中心として水平に回動しずれることはない。
と、第２の延長リレー鏡筒の光軸とは、回転支持軸５６
のビス５７を回して移動摺動部１５を上下移動させ、第
１及び第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光軸が第１の
リニアガイド１６、１８に対して平行になるように調整
されているので、これらリレー鏡筒１０〜７からなる第
２の延長リレー鏡筒の光軸と、リレー鏡筒５ａ、５、４
からなる第１の延長リレー鏡筒の光軸とは、リレー連結
鏡筒部６を中心として水平に回動しずれることはない。
【００３８】一方、顕微鏡ヘッド部２０の移動と共に、
ガラス基板４７は、ステージ４８の動作により、顕微鏡
ヘッド部２０が上記矢印ロ方向と同一方向に往復移動
し、ガラス基板４７を矢印ハ方向と同一方向に移動させ
ることで、顕微鏡ヘッド部２０によりガラス基板４７の
全面を観察するものとなる。
ガラス基板４７は、ステージ４８の動作により、顕微鏡
ヘッド部２０が上記矢印ロ方向と同一方向に往復移動
し、ガラス基板４７を矢印ハ方向と同一方向に移動させ
ることで、顕微鏡ヘッド部２０によりガラス基板４７の
全面を観察するものとなる。
【００３９】しかるに、顕微鏡ヘッド部２０の対物レン
ズ２１を通して得られたガラス基板４７の像は、平行光
として結像レンズ３１に入射し、ミラー３２で反射（偏
向）してリレー鏡筒１０内に入り、１次像として結像位
置Ｑ１にて結像する。さらに、このガラス基板４７の像
は、各リレーレンズ３３〜３４の第１のリレーレンズ光
学系により結像位置Ｑ２に送られ、さらに結像位置Ｑ２
の像は、リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７で
反射され、各リレーレンズ３５、３８ａ、３８の第２の
リレーレンズ光学系により結像位置Ｑ３に送られ、この
結像位置Ｑ３の像は各リレーレンズ３９、３９ａの第３
のリレーレンズ光学系により観察鏡筒２内の接眼レンズ
の結像位置に送られる。このとき、各対物光学系、第１
〜第３のリレーレンズ光学系によりガラス基板４７の１
次像が結像位置Ｑ１、２次像が結像位置Ｑ２、３次像が
結像位置Ｑ３に伝送された後、ガラス基板４７の像は、
観察鏡筒２内のミラー４５で反射して接眼鏡筒部３に入
射し、接眼レンズ４６を通して観察される。
ズ２１を通して得られたガラス基板４７の像は、平行光
として結像レンズ３１に入射し、ミラー３２で反射（偏
向）してリレー鏡筒１０内に入り、１次像として結像位
置Ｑ１にて結像する。さらに、このガラス基板４７の像
は、各リレーレンズ３３〜３４の第１のリレーレンズ光
学系により結像位置Ｑ２に送られ、さらに結像位置Ｑ２
の像は、リレー連結鏡筒部６内の各ミラー３６、３７で
反射され、各リレーレンズ３５、３８ａ、３８の第２の
リレーレンズ光学系により結像位置Ｑ３に送られ、この
結像位置Ｑ３の像は各リレーレンズ３９、３９ａの第３
のリレーレンズ光学系により観察鏡筒２内の接眼レンズ
の結像位置に送られる。このとき、各対物光学系、第１
〜第３のリレーレンズ光学系によりガラス基板４７の１
次像が結像位置Ｑ１、２次像が結像位置Ｑ２、３次像が
結像位置Ｑ３に伝送された後、ガラス基板４７の像は、
観察鏡筒２内のミラー４５で反射して接眼鏡筒部３に入
射し、接眼レンズ４６を通して観察される。
【００４０】このように上記一実施の形態においては、
リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ第１及び第２の
延長リレー鏡筒のリレー連結鏡筒部６を上下方向に移動
可能に保持し、顕微鏡ヘッド部２０を移動させたときの
これら第１と第２の延長リレー鏡筒の移動に連動して移
動してリレー連結鏡筒部６の軌跡をガイドするガイド機
構５０を設けたので、リレー連結鏡筒部６の上下動調整
により第１及び第２の延長リレー鏡筒の両光軸を第１の
リニアガイド１６、１７に無対して水平になるように調
整させることができ、さらに顕微鏡ヘッド部２０の移動
により第１及び第２の延長リレー鏡筒がリレー連結鏡筒
部６を中心として回動しても水平度が保たれるので、第
１及び第２の延長リレー鏡筒の光軸はずれることはな
い。又、第１及び第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光
軸ずれが生じても回転支持軸５６の頭部のビス５７を回
すだけで容易に光軸ずれを補正することができる。
リレー連結鏡筒部６を回動可能で、かつ第１及び第２の
延長リレー鏡筒のリレー連結鏡筒部６を上下方向に移動
可能に保持し、顕微鏡ヘッド部２０を移動させたときの
これら第１と第２の延長リレー鏡筒の移動に連動して移
動してリレー連結鏡筒部６の軌跡をガイドするガイド機
構５０を設けたので、リレー連結鏡筒部６の上下動調整
により第１及び第２の延長リレー鏡筒の両光軸を第１の
リニアガイド１６、１７に無対して水平になるように調
整させることができ、さらに顕微鏡ヘッド部２０の移動
により第１及び第２の延長リレー鏡筒がリレー連結鏡筒
部６を中心として回動しても水平度が保たれるので、第
１及び第２の延長リレー鏡筒の光軸はずれることはな
い。又、第１及び第２の延長リレー鏡筒の水平方向の光
軸ずれが生じても回転支持軸５６の頭部のビス５７を回
すだけで容易に光軸ずれを補正することができる。
【００４１】従って、第１及び第２の延長リレー鏡筒に
組み込まれた第１〜第３のリレーレンズ光学系での像位
置の同焦が取れ、接眼レンズ４６を通して大型のガラス
基板４７の像を良好に観察できる。そして、この観察さ
れるガラス基板４７の像から大型のガラス基板４７の表
面上の傷や汚れ、塵埃などの欠陥部分が検出できる。
組み込まれた第１〜第３のリレーレンズ光学系での像位
置の同焦が取れ、接眼レンズ４６を通して大型のガラス
基板４７の像を良好に観察できる。そして、この観察さ
れるガラス基板４７の像から大型のガラス基板４７の表
面上の傷や汚れ、塵埃などの欠陥部分が検出できる。
【００４２】又、観察鏡筒２の光軸ａ３は、顕微鏡ヘッ
ド部２０の移動軌跡ｓ上、又はこの移動軌跡ｓに対して
上記２つの延長リレー鏡筒側と反対側の領域Ｆ内に固定
して配置されるので、顕微鏡ヘッド部２０を第１のリニ
アガイド１６、１７に沿って移動するときの負荷を軽減
でき、機械的な耐久性を向上できる。
ド部２０の移動軌跡ｓ上、又はこの移動軌跡ｓに対して
上記２つの延長リレー鏡筒側と反対側の領域Ｆ内に固定
して配置されるので、顕微鏡ヘッド部２０を第１のリニ
アガイド１６、１７に沿って移動するときの負荷を軽減
でき、機械的な耐久性を向上できる。
【００４３】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。
【００４４】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４５】上記一実施の形態において他に特徴とする
ところは、次の通りである。
ところは、次の通りである。
【００４６】本発明は、被検査物の像を得るための顕微
鏡ヘッド部と、この顕微鏡ヘッド部により得られた前記
像を再結像するものでリレー連結鏡筒部を介して互いに
回動自在に連結された第１と第２の延長リレー鏡筒と、
これら第１と第２の延長リレー鏡筒により再結像された
前記像を観察するための位置固定された観察光学系とを
備え、前記リレー連結鏡筒部を前記第１と第２の延長リ
レー鏡筒の水平光軸方向に対して略垂直方向に移動可能
に保持し、前記顕微鏡ヘッド部を移動させたときの前記
第１と第２の延長リレー鏡筒の移動に連動して前記リレ
ー連結鏡筒部をＸＹ方向にガイドするガイド機構を備
え、前記観察光学系の垂直光軸は、前記顕微鏡ヘッド部
の直線移動軌跡上、又はこの直線移動軌跡に対して前記
第１と第２の延長リレー鏡筒側と反対側の領域内に固定
して配置されることを特徴とする検査装置である。
鏡ヘッド部と、この顕微鏡ヘッド部により得られた前記
像を再結像するものでリレー連結鏡筒部を介して互いに
回動自在に連結された第１と第２の延長リレー鏡筒と、
これら第１と第２の延長リレー鏡筒により再結像された
前記像を観察するための位置固定された観察光学系とを
備え、前記リレー連結鏡筒部を前記第１と第２の延長リ
レー鏡筒の水平光軸方向に対して略垂直方向に移動可能
に保持し、前記顕微鏡ヘッド部を移動させたときの前記
第１と第２の延長リレー鏡筒の移動に連動して前記リレ
ー連結鏡筒部をＸＹ方向にガイドするガイド機構を備
え、前記観察光学系の垂直光軸は、前記顕微鏡ヘッド部
の直線移動軌跡上、又はこの直線移動軌跡に対して前記
第１と第２の延長リレー鏡筒側と反対側の領域内に固定
して配置されることを特徴とする検査装置である。
【００４７】このような検査装置であれば、観察光学系
の垂直光軸（回転軸）を顕微鏡ヘッド部の直線移動軌跡
より延長リレー鏡筒と反対側の領域に固定配置すること
により、顕微鏡ヘッド部の移動に伴う第１及び第２の延
長リレー鏡筒の回転動作の負荷を軽減でき、機械的な耐
久性を向上できる。
の垂直光軸（回転軸）を顕微鏡ヘッド部の直線移動軌跡
より延長リレー鏡筒と反対側の領域に固定配置すること
により、顕微鏡ヘッド部の移動に伴う第１及び第２の延
長リレー鏡筒の回転動作の負荷を軽減でき、機械的な耐
久性を向上できる。
【００４８】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、複
数のリレーレンズ光学系を組み込んで第１と第２の延長
リレー鏡筒の水平方向の光軸を合せて良好な像を得るこ
とができる検査装置を提供できる。
数のリレーレンズ光学系を組み込んで第１と第２の延長
リレー鏡筒の水平方向の光軸を合せて良好な像を得るこ
とができる検査装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる検査装置の一実施の形態を示す
側面から見た構成図。
側面から見た構成図。
【図２】本発明に係わる検査装置の一実施の形態を示す
上方から見た構成図。
上方から見た構成図。
【図３】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
るガイド機構の具体的な構成図。
るガイド機構の具体的な構成図。
【図４】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る顕微鏡部の移動を示す図。
る顕微鏡部の移動を示す図。
【図５】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る観察鏡筒の光軸の位置について説明するための図。
る観察鏡筒の光軸の位置について説明するための図。
１：固定台 ２：観察鏡筒 ３：接眼鏡筒部 ４，５，５ａ，７，８，９，１０：リレー鏡筒 ６：リレー連結鏡筒部 １１：第１の連結部 １２：第２の連結部 １４：連結支持アーム １５：移動摺動部 １６，１７：第１のリニアガイド １８：第１の移動支持体（第２のリニアガイド） １９：ボールベアリング ２０：顕微鏡ヘッド部 ２１，２２：対物レンズ ２３：保持体 ２４：嵌合部 ３０：顕微鏡ヘッド用架台 ３１：結像レンズ ３２：ミラー ３３〜３５：リレーレンズ ３６，３７：ミラー ３８，３８ａ，３９，３９ａ：リレーレンズ ４０〜４４：絞り ４５：ミラー ４６：接眼レンズ ４７：ガラス基板 ４８：ステージ ４９：門型アーム ５０：ガイド機構 ５５：第２の移動支持体 ５６：回転支持軸 ５８：筒状体
Claims (3)
- 【請求項１】 被検査物の像を得るための顕微鏡部と、
この顕微鏡部により得られた前記像を再結像する複数の
リレーレンズ光学系を有し、リレー連結部を介して互い
に回動自在に連結された第１と第２の延長リレー鏡筒
と、これら第１と第２の延長リレー鏡筒により再結像さ
れた前記像を観察するための位置固定された観察光学系
とを備え、 前記リレー連結部を前記第１と第２の延長リレー鏡筒の
水平光軸方向に対して略垂直方向に移動可能に保持し、
前記顕微鏡ヘッド部を移動させたときの前記第１と第２
の延長リレー鏡筒の移動に連動して前記リレー連結部を
ＸＹ方向にガイドするガイド機構、を具備したことを特
徴とする検査装置。 - 【請求項２】 前記ガイド機構は、前記顕微鏡ヘッド部
の移動方向に対して略平行方向に移動可能に設けられた
第１の移動手段と、 この第１の移動手段上に設けられ、前記第１の移動手段
の移動方向に対して略垂直方向に移動可能に設けられた
第２の移動手段と、 この第２の移動手段上に設けられ、前記リレー連結部を
回動可能でかつ前記第１と第２の移動手段の各移動方向
に対して共に略垂直方向に移動可能に保持する連結受け
手段と、からなることを特徴とする請求項１記載の検査
装置。 - 【請求項３】 前記リレー連結部は前記第１及び第２の
移動手段によりＸＹ方向に自由に移動し、前記顕微鏡ヘ
ッド部は前記第１の移動手段上で移動することを特徴と
する請求項２記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074598A JP2002277751A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074598A JP2002277751A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002277751A true JP2002277751A (ja) | 2002-09-25 |
| JP2002277751A5 JP2002277751A5 (ja) | 2008-04-24 |
Family
ID=18931835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001074598A Pending JP2002277751A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002277751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018077416A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545589A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-23 | Olympus Optical Co Ltd | デイスカツシヨン顕微鏡用光学系 |
| JPH05127088A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-25 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JPH10111253A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| JPH10161036A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡用ディスカッション装置 |
-
2001
- 2001-03-15 JP JP2001074598A patent/JP2002277751A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545589A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-23 | Olympus Optical Co Ltd | デイスカツシヨン顕微鏡用光学系 |
| JPH05127088A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-25 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JPH10111253A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| JPH10161036A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡用ディスカッション装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018077416A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A621 | Written request for application examination |
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|
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| A02 | Decision of refusal |
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