JPH05127088A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05127088A JPH05127088A JP3285141A JP28514191A JPH05127088A JP H05127088 A JPH05127088 A JP H05127088A JP 3285141 A JP3285141 A JP 3285141A JP 28514191 A JP28514191 A JP 28514191A JP H05127088 A JPH05127088 A JP H05127088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- optical axis
- optical system
- stage
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大きな標本を観察可能であると共に、ステー
ジのストロークが小さく軽量な顕微鏡を得る。 【構成】 対物レンズ（５，３５）の光軸に直交する平
面上の互いに交差するＸ−Ｙ方向の一方向と平行にステ
ージ（４，３４）を移動させると共に他方向と平行に対
物レンズを移動させることによってステージ上の試料の
全範囲を観察可能にした顕微鏡。
ジのストロークが小さく軽量な顕微鏡を得る。 【構成】 対物レンズ（５，３５）の光軸に直交する平
面上の互いに交差するＸ−Ｙ方向の一方向と平行にステ
ージ（４，３４）を移動させると共に他方向と平行に対
物レンズを移動させることによってステージ上の試料の
全範囲を観察可能にした顕微鏡。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は比較的大きな標本，例え
ば大径ウェハや大型液晶基板の検査に用いられる顕微鏡
に関する。
ば大径ウェハや大型液晶基板の検査に用いられる顕微鏡
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の顕微鏡は観察を必要とす
る試料の範囲をカバーできるＸ−Ｙ方向に移動可能なス
テージを備えた構造であった。
る試料の範囲をカバーできるＸ−Ｙ方向に移動可能なス
テージを備えた構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の顕
微鏡においては、例えば液晶基板の顕微鏡検査の場合、
５００mm角の試料を観察しようとすると、ステージのス
トロークだけでもステージの占有床面積が１０００mm角
になってしまい、構造上大変に大きな装置となり、限ら
れた工場スペースを占拠してしまうという問題があっ
た。また、このようなステージは重量も大きくその移動
には大きなトルクを必要とする。特にＸ−Ｙステージの
下側のステージの移動の際には大重量の二つのステージ
全体を動かすことになる。そのためステージを電動駆動
する場合には大出力のモータを必要とし、更に装置の大
型化を助長してしまうという問題点があった。
微鏡においては、例えば液晶基板の顕微鏡検査の場合、
５００mm角の試料を観察しようとすると、ステージのス
トロークだけでもステージの占有床面積が１０００mm角
になってしまい、構造上大変に大きな装置となり、限ら
れた工場スペースを占拠してしまうという問題があっ
た。また、このようなステージは重量も大きくその移動
には大きなトルクを必要とする。特にＸ−Ｙステージの
下側のステージの移動の際には大重量の二つのステージ
全体を動かすことになる。そのためステージを電動駆動
する場合には大出力のモータを必要とし、更に装置の大
型化を助長してしまうという問題点があった。
【０００４】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたもので、大きな標本を観察可能であると共に、
ステージのストロークが小さく軽量な顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
なされたもので、大きな標本を観察可能であると共に、
ステージのストロークが小さく軽量な顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡は、対物
レンズの光軸に直交する平面上のＸ−Ｙ方向のどちらか
一方向のみにステージを移動し、他方向については対物
レンズを移動することによって前記ステージ上の試料の
全範囲を観察可能にしたものである。本発明の実施例に
よれば、対物レンズの移動方向と直交する方向に対物レ
ンズの光軸から所定距離だけ離れた位置に観察光学系が
設けられ、対物レンズと観察光学系との間にリレー光路
を形成するリレー光学系を設け、対物レンズの移動に伴
って観察光学系の光軸を中心に前記リレー光学系を旋回
させる。
レンズの光軸に直交する平面上のＸ−Ｙ方向のどちらか
一方向のみにステージを移動し、他方向については対物
レンズを移動することによって前記ステージ上の試料の
全範囲を観察可能にしたものである。本発明の実施例に
よれば、対物レンズの移動方向と直交する方向に対物レ
ンズの光軸から所定距離だけ離れた位置に観察光学系が
設けられ、対物レンズと観察光学系との間にリレー光路
を形成するリレー光学系を設け、対物レンズの移動に伴
って観察光学系の光軸を中心に前記リレー光学系を旋回
させる。
【０００６】本発明の第１，第２実施例では、リレー光
学系は対物レンズの光軸を前記平面と平行な方向に偏向
する反射面と、該反射面と観察光学系との間に設けられ
た少なくとも一対のリレーレンズとを有し、該一対のリ
レーレンズの間が平行系で構成されると共に、対物レン
ズの移動に伴って一対のリレーレンズの間隔を変化させ
る。
学系は対物レンズの光軸を前記平面と平行な方向に偏向
する反射面と、該反射面と観察光学系との間に設けられ
た少なくとも一対のリレーレンズとを有し、該一対のリ
レーレンズの間が平行系で構成されると共に、対物レン
ズの移動に伴って一対のリレーレンズの間隔を変化させ
る。
【０００７】本発明の第３実施例では、リレー光学系は
対物レンズの光軸を前記平面と平行な方向に偏向する第
１反射面およびこれと対向し且つ平行な第２反射面を有
する第１ユニットと、第２反射面からの光を観察光学系
に向けて前記平面と平行な方向に偏向する第３反射面を
有する第２ユニットとを含み、対物レンズの移動に伴っ
て第２および第３反射面の間の光軸を中心に第１および
第２ユニットを相対回転させる。
対物レンズの光軸を前記平面と平行な方向に偏向する第
１反射面およびこれと対向し且つ平行な第２反射面を有
する第１ユニットと、第２反射面からの光を観察光学系
に向けて前記平面と平行な方向に偏向する第３反射面を
有する第２ユニットとを含み、対物レンズの移動に伴っ
て第２および第３反射面の間の光軸を中心に第１および
第２ユニットを相対回転させる。
【０００８】
【作用】ステージの移動による試料の一方の方向の走査
と、対物レンズの移動による試料の他方の方向の走査と
の組合せで、試料の全範囲の観察が可能になる。
と、対物レンズの移動による試料の他方の方向の走査と
の組合せで、試料の全範囲の観察が可能になる。
【０００９】
【実施例】図１および図２を参照して本発明の第１実施
例を説明する。ベース１上にはレール１２が固定され、
ステージ４の下部に直動ガイド１１が固定され、ステー
ジ４はベース１上で観察鏡筒９に取り付けられた接眼レ
ンズ１０を覗く観察者に対して、近づいたり遠ざかった
りする方向に直線移動する。対物レンズ５は対物レンズ
ユニット６の下端に取り付けられ、該対物レンズユニッ
ト６は対物レンズ移動部材８の下部に設けられた回転案
内８ａに対物レンズの光軸を中心に回転可能に取り付け
られている。対物レンズ移動部材８の上部には、直動ガ
イド１３が固定され、天井２の下部に固定されたレール
１４により、対物レンズ移動部材８はステージの移動方
向と直交する方向に直線移動する。
例を説明する。ベース１上にはレール１２が固定され、
ステージ４の下部に直動ガイド１１が固定され、ステー
ジ４はベース１上で観察鏡筒９に取り付けられた接眼レ
ンズ１０を覗く観察者に対して、近づいたり遠ざかった
りする方向に直線移動する。対物レンズ５は対物レンズ
ユニット６の下端に取り付けられ、該対物レンズユニッ
ト６は対物レンズ移動部材８の下部に設けられた回転案
内８ａに対物レンズの光軸を中心に回転可能に取り付け
られている。対物レンズ移動部材８の上部には、直動ガ
イド１３が固定され、天井２の下部に固定されたレール
１４により、対物レンズ移動部材８はステージの移動方
向と直交する方向に直線移動する。
【００１０】ベース１と天井２とは支持部材３ａ，３ｂ
によって互いに連結固定され、天井２の下部に設けられ
た回転案内２ａには、観察光学系ユニット７が回転可能
に嵌合している。対物レンズユニット６内には１個以上
のリレーレンズ１５，１７が設けられ、ユニット６内に
固定された反射鏡１６により対物レンズからの光を偏向
させ、観察光学系ユニット７へ導く。ユニット７内には
１個以上のリレーレンズ１８，２０が設けられ、反射鏡
１６と平行な反射面を有する反射鏡１９が固定されてい
る。リレーレンズ１５の光軸（対物レンズ光軸）は対物
レンズユニット６の回転軸と一致し、リレーレンズ２０
の光軸（観察光軸）は観察光学系ユニット７の回転軸と
一致するようにそれぞれ設けられている。
によって互いに連結固定され、天井２の下部に設けられ
た回転案内２ａには、観察光学系ユニット７が回転可能
に嵌合している。対物レンズユニット６内には１個以上
のリレーレンズ１５，１７が設けられ、ユニット６内に
固定された反射鏡１６により対物レンズからの光を偏向
させ、観察光学系ユニット７へ導く。ユニット７内には
１個以上のリレーレンズ１８，２０が設けられ、反射鏡
１６と平行な反射面を有する反射鏡１９が固定されてい
る。リレーレンズ１５の光軸（対物レンズ光軸）は対物
レンズユニット６の回転軸と一致し、リレーレンズ２０
の光軸（観察光軸）は観察光学系ユニット７の回転軸と
一致するようにそれぞれ設けられている。
【００１１】対物レンズユニット６からの光の射出口部
分と観察光学系ユニット７への光の入射口部分とは、直
線案内６ａ，７ａによって、光軸方向に相対的に移動可
能に連結され、これらの部分にそれぞれ設けられたリレ
ーレンズ１７，１８の間は、対物レンズ５によって形成
された物体像に関して平行系になるように構成されてい
る。
分と観察光学系ユニット７への光の入射口部分とは、直
線案内６ａ，７ａによって、光軸方向に相対的に移動可
能に連結され、これらの部分にそれぞれ設けられたリレ
ーレンズ１７，１８の間は、対物レンズ５によって形成
された物体像に関して平行系になるように構成されてい
る。
【００１２】ベース１とステージ４との間には、ステー
ジ４をレール１２に沿ってＸ方向に移動させるための図
示なき移動機構が設けられ、天井２と対物レンズ移動部
材８との間にも、対物レンズ移動部材８をレール１４に
そってＹ方向に移動させるための図示なき移動機構が設
けられている。これらの移動機構は何れも電動モータを
備え、これらの電動モータを制御する駆動制御回路は、
キーボードやジョイスティック等の操作装置からのステ
ージ移動指令、あるいはコンピュータに予めプログラム
されたステージ移動指令に従って電動モータを駆動す
る。
ジ４をレール１２に沿ってＸ方向に移動させるための図
示なき移動機構が設けられ、天井２と対物レンズ移動部
材８との間にも、対物レンズ移動部材８をレール１４に
そってＹ方向に移動させるための図示なき移動機構が設
けられている。これらの移動機構は何れも電動モータを
備え、これらの電動モータを制御する駆動制御回路は、
キーボードやジョイスティック等の操作装置からのステ
ージ移動指令、あるいはコンピュータに予めプログラム
されたステージ移動指令に従って電動モータを駆動す
る。
【００１３】本実施例の動作を説明する。ステージ移動
指令が発せられると、駆動制御回路はＸ−Ｙ方向の電動
モータを各成分の移動量に対応して駆動する。それによ
って試料のＸ方向への移動のためにステージ４がレール
１２に沿って直線移動し、試料のＹ方向への移動のため
に対物レンズ移動部材８がレール１４に沿って直線移動
する。この両者の移動によって試料全体が観察可能なよ
うに、それぞれの移動範囲が定められている。
指令が発せられると、駆動制御回路はＸ−Ｙ方向の電動
モータを各成分の移動量に対応して駆動する。それによ
って試料のＸ方向への移動のためにステージ４がレール
１２に沿って直線移動し、試料のＹ方向への移動のため
に対物レンズ移動部材８がレール１４に沿って直線移動
する。この両者の移動によって試料全体が観察可能なよ
うに、それぞれの移動範囲が定められている。
【００１４】図１に示すように対物レンズ５がレール１
４のほぼ中央に位置する時、対物レンズ光軸と観察光軸
との光軸間距離はＬ１であり、対物レンズ５がレール１
４の上端または下端に移動した位置にある時、上記光軸
間距離はＬ２となる。このように対物レンズ５がＹ方向
に移動すると光軸間距離が変化するが、回転案内８ａ，
２ａに伴う反射鏡１６，１９の回転と、直線案内６ａ，
７ａにおける相対移動とによって、リレーレンズ１７，
１８間は平行系が維持される。光軸間に生じる光路長の
変化（Ｌ２−Ｌ１）に従ってリレーレンズ１７，１８間
の距離が変化するが、物体像に関して平行系になってい
るために焦準ずれや倍率の変化は起きず、試料全体を同
一条件で観察することができる。
４のほぼ中央に位置する時、対物レンズ光軸と観察光軸
との光軸間距離はＬ１であり、対物レンズ５がレール１
４の上端または下端に移動した位置にある時、上記光軸
間距離はＬ２となる。このように対物レンズ５がＹ方向
に移動すると光軸間距離が変化するが、回転案内８ａ，
２ａに伴う反射鏡１６，１９の回転と、直線案内６ａ，
７ａにおける相対移動とによって、リレーレンズ１７，
１８間は平行系が維持される。光軸間に生じる光路長の
変化（Ｌ２−Ｌ１）に従ってリレーレンズ１７，１８間
の距離が変化するが、物体像に関して平行系になってい
るために焦準ずれや倍率の変化は起きず、試料全体を同
一条件で観察することができる。
【００１５】尚、照明系については図示していないが、
反射照明装置は対物レンズユニット６に直接装着して対
物レンズと一体に動かしても良いし、上述のような構成
を照明系に採用することも可能である。また、透過照明
装置については、ベース１の内部に対物レンズユニット
の動きと連動してＹ方向に移動するように設けると共
に、ベース１およびステージ４にＹ方向に延びた照明窓
をそれぞれ設けておけば良い。
反射照明装置は対物レンズユニット６に直接装着して対
物レンズと一体に動かしても良いし、上述のような構成
を照明系に採用することも可能である。また、透過照明
装置については、ベース１の内部に対物レンズユニット
の動きと連動してＹ方向に移動するように設けると共
に、ベース１およびステージ４にＹ方向に延びた照明窓
をそれぞれ設けておけば良い。
【００１６】図３および図４は本発明の第２実施例を示
し、第１実施例と同一機能の部材には同一番号を付して
ある。第２実施例では観察者に対してステージ４が左右
方向に移動するように構成され、そのために図示なきリ
レーレンズと反射鏡とを含む光学ユニット２１が観察鏡
筒と観察光学系ユニット７との間に設けられている。ま
た、ベース１と天井２２とを連結する支持部材２３ａ，
２３ｂは、第１実施例よりもステージ４の移動範囲の外
側に（図の左方向に）ずれた位置にそれぞれ配置され、
特に観察側の支持部材２３ｂの右端のＸ方向の長さは他
方の支持部材２３ａより短く構成されている。それによ
ってステージ上での試料交換が妨げられることがない。
し、第１実施例と同一機能の部材には同一番号を付して
ある。第２実施例では観察者に対してステージ４が左右
方向に移動するように構成され、そのために図示なきリ
レーレンズと反射鏡とを含む光学ユニット２１が観察鏡
筒と観察光学系ユニット７との間に設けられている。ま
た、ベース１と天井２２とを連結する支持部材２３ａ，
２３ｂは、第１実施例よりもステージ４の移動範囲の外
側に（図の左方向に）ずれた位置にそれぞれ配置され、
特に観察側の支持部材２３ｂの右端のＸ方向の長さは他
方の支持部材２３ａより短く構成されている。それによ
ってステージ上での試料交換が妨げられることがない。
【００１７】顕微鏡が配置される工場内のレイアウトの
関係で、上述の第１実施例と第２実施例との何れを選択
すれかを決定すればよい。図５および図６は本発明の第
３実施例を示す。ベース３１上にはＸ−方向に延びるレ
ール４２が固定され、ステージ３４の下部に設けられた
直動ガイド４１を介してステージ３４は観察鏡筒３９を
覗く観察者に対して近づいたり遠ざかったりする方向に
直線移動する。対物レンズ３５は対物レンズユニット３
６の下端に取り付けられ、該対物レンズユニット３６の
対物レンズ移動部材３８の下部に設けられた回転案内３
８ａに対物レンズの光軸を中心に回転可能に装着されて
いる。対物レンズ移動部材３８は、上部に固定された直
動ガイド４３によって、天井３２の下部に固定されたレ
ール４４に沿ってＹ方向に直線移動する。ベース３１と
天井３２とは支持部材３３ａ，３３ｂによって連結固定
されている。
関係で、上述の第１実施例と第２実施例との何れを選択
すれかを決定すればよい。図５および図６は本発明の第
３実施例を示す。ベース３１上にはＸ−方向に延びるレ
ール４２が固定され、ステージ３４の下部に設けられた
直動ガイド４１を介してステージ３４は観察鏡筒３９を
覗く観察者に対して近づいたり遠ざかったりする方向に
直線移動する。対物レンズ３５は対物レンズユニット３
６の下端に取り付けられ、該対物レンズユニット３６の
対物レンズ移動部材３８の下部に設けられた回転案内３
８ａに対物レンズの光軸を中心に回転可能に装着されて
いる。対物レンズ移動部材３８は、上部に固定された直
動ガイド４３によって、天井３２の下部に固定されたレ
ール４４に沿ってＹ方向に直線移動する。ベース３１と
天井３２とは支持部材３３ａ，３３ｂによって連結固定
されている。
【００１８】観察光学系ユニット３７は、天井３２の下
部に設けられた回転案内３２ａに、観察鏡筒への光軸
（観察光軸）を中心に回転可能に嵌合している。対物レ
ンズユニット３６内には第１，第２の反射鏡４５，４６
が反射面を平行に対向させてそれぞれ固定され、観察光
学系ユニット３７内には第３，第４の反射鏡４７，４８
が反射面を平行に対向させてそれぞれ固定されている。
第２の反射鏡４６と第３の反射鏡４７の反射面も平行に
対向するように設けられている。そして、対物レンズユ
ニット３６からの光の射出口部分と観察光学系ユニット
３７への光の入射口部分とは、回転案内３６ａ，３７ａ
によって回転可能に連結されている。
部に設けられた回転案内３２ａに、観察鏡筒への光軸
（観察光軸）を中心に回転可能に嵌合している。対物レ
ンズユニット３６内には第１，第２の反射鏡４５，４６
が反射面を平行に対向させてそれぞれ固定され、観察光
学系ユニット３７内には第３，第４の反射鏡４７，４８
が反射面を平行に対向させてそれぞれ固定されている。
第２の反射鏡４６と第３の反射鏡４７の反射面も平行に
対向するように設けられている。そして、対物レンズユ
ニット３６からの光の射出口部分と観察光学系ユニット
３７への光の入射口部分とは、回転案内３６ａ，３７ａ
によって回転可能に連結されている。
【００１９】前述の第１実施例において説明したよう
に、対物レンズ３５がレール４４のほぼ中央に位置する
時、対物レンズ光軸と観察光軸との光軸間距離はＬ１で
あり、対物レンズ３５がレール４４の上端または下端に
移動した位置にある時、上記光軸間距離はＬ２となるの
で、対物レンズの移動に伴ってＸ−Ｙ平面内で（Ｌ２−
Ｌ１）だけ距離の変化が生じることになる。本実施例は
この距離の変化を、回転案内３６ａ，３７ａの回転によ
る光路の折り曲げによって対応するように構成したもの
である。即ち、第１，第２反射鏡４５，４６間の光路長
ｌ１と第３，第４反射鏡４７，４８間の光路長ｌ２との
和が（ｌ１＋ｌ２）≧ｌ２となるように構成されてい
る。
に、対物レンズ３５がレール４４のほぼ中央に位置する
時、対物レンズ光軸と観察光軸との光軸間距離はＬ１で
あり、対物レンズ３５がレール４４の上端または下端に
移動した位置にある時、上記光軸間距離はＬ２となるの
で、対物レンズの移動に伴ってＸ−Ｙ平面内で（Ｌ２−
Ｌ１）だけ距離の変化が生じることになる。本実施例は
この距離の変化を、回転案内３６ａ，３７ａの回転によ
る光路の折り曲げによって対応するように構成したもの
である。即ち、第１，第２反射鏡４５，４６間の光路長
ｌ１と第３，第４反射鏡４７，４８間の光路長ｌ２との
和が（ｌ１＋ｌ２）≧ｌ２となるように構成されてい
る。
【００２０】以下に動作を説明する。対物レンズ３５か
らの光は第１の反射鏡４５で偏向され、第２〜第４の反
射鏡４６〜４８によって観察鏡筒３９に導かれる。対物
レンズによる像は図示なきリレーレンズ系によって接眼
レンズの像面に結像される。対物レンズ３５がレール４
４のほぼ中央に位置する時、対物レンズ光軸と観察光軸
との光軸間距離が最短のため、対物レンズユニット３６
と観察光学系ユニット３７とは中央の回転案内３６ａ，
３７ａで大きな角度で屈曲した状態になる。また、対物
レンズ３５がレール４４の両端に位置する時には上記光
軸間距離が最長になり、対物レンズユニット３６と観察
光学系ユニット３７とは中央の回転案内３６ａ，３７ａ
で小さな角度で屈曲するか、一直線状に整列する。この
ように、対物レンズが移動しても光学的な光路長は一定
であり、また第１，第２反射鏡４５，４６の両反射面お
よび第３，第４反射鏡４７，４８の両反射面は、それぞ
れ平行が維持されるので、像の回転もなく試料の全範囲
を同一条件で観察することができる。
らの光は第１の反射鏡４５で偏向され、第２〜第４の反
射鏡４６〜４８によって観察鏡筒３９に導かれる。対物
レンズによる像は図示なきリレーレンズ系によって接眼
レンズの像面に結像される。対物レンズ３５がレール４
４のほぼ中央に位置する時、対物レンズ光軸と観察光軸
との光軸間距離が最短のため、対物レンズユニット３６
と観察光学系ユニット３７とは中央の回転案内３６ａ，
３７ａで大きな角度で屈曲した状態になる。また、対物
レンズ３５がレール４４の両端に位置する時には上記光
軸間距離が最長になり、対物レンズユニット３６と観察
光学系ユニット３７とは中央の回転案内３６ａ，３７ａ
で小さな角度で屈曲するか、一直線状に整列する。この
ように、対物レンズが移動しても光学的な光路長は一定
であり、また第１，第２反射鏡４５，４６の両反射面お
よび第３，第４反射鏡４７，４８の両反射面は、それぞ
れ平行が維持されるので、像の回転もなく試料の全範囲
を同一条件で観察することができる。
【００２１】本第３実施例についても、観察者に対して
ステージ３４の移動方向が左右方向になるように、第２
実施例と同様な構成を用いて変更可能であることは言う
までもない。
ステージ３４の移動方向が左右方向になるように、第２
実施例と同様な構成を用いて変更可能であることは言う
までもない。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、直交する
２方向に関してステージと対物レンズとを別々に移動す
るように構成したので、試料の全範囲の観察のためにス
テージの移動のみが可能であった従来の装置に比較し
て、ステージの移動範囲が極めて小さく、従って占有床
面積を小さくすることができ、小さい設置スペースでよ
り多くの装置を使用できるという効果がある。また、ス
テージと対物レンズが独立に移動するので、電動駆動の
ための動力も小さく消費電力も少なくなる。
２方向に関してステージと対物レンズとを別々に移動す
るように構成したので、試料の全範囲の観察のためにス
テージの移動のみが可能であった従来の装置に比較し
て、ステージの移動範囲が極めて小さく、従って占有床
面積を小さくすることができ、小さい設置スペースでよ
り多くの装置を使用できるという効果がある。また、ス
テージと対物レンズが独立に移動するので、電動駆動の
ための動力も小さく消費電力も少なくなる。
【図１】本発明の第１実施例による顕微鏡の平面図であ
る。
る。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】本発明の第２実施例による顕微鏡の平面図であ
る。
る。
【図４】図３のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図５】本発明の第３実施例による顕微鏡の平面図であ
る。
る。
【図６】図５のＣ−Ｃ矢視断面図である。
１，３１ ・・・・ベース ２，２２，３２ ・・・・天井 ４，３４ ・・・・ステージ ５，３５ ・・・・対物レンズ ６，３６ ・・・・対物レンズユニット ７，３７ ・・・・観察光学系ユニット ８，３８ ・・・・対物レンズ移動部材 ２，３２ａ・・・・回転案内 ８，３８ａ・・・・回転案内 ３６ａ，３７ａ・・・・回転案内 ９，３９ ・・・・観察鏡筒 １０，４０・・・・接眼レンズ １１，１３，４１，４３・・・・直動ガイド １２，１４，４２，４４・・・・レール １５，１７，１８，２０・・・・リレーレンズ １６，１９，４５〜４８・・・・反射鏡
Claims (4)
- 【請求項１】 対物レンズの光軸に直交する平面内で移
動するステージを有する顕微鏡において、前記平面上の
互いに交差するＸ−Ｙ方向の一方向と平行に前記ステー
ジを移動させると共に他方向と平行に前記対物レンズを
移動させることによって前記ステージ上の試料の全範囲
を観察可能にしたことを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 前記顕微鏡は、前記対物レンズの光軸か
ら対物レンズの移動方向と直交する方向に所定距離だけ
離れた位置に前記対物レンズの光軸と平行な光軸を有す
る観察光学系と、前記対物レンズと該観察光学系との間
にリレー光路を形成するリレー光学系とを有し、前記対
物レンズの移動に伴って前記観察光学系の光軸を中心に
前記リレー光学系を旋回させることを特徴とする請求項
１に記載の顕微鏡。 - 【請求項３】 前記リレー光学系は前記対物レンズの光
軸を前記平面と平行な方向に偏向する第１反射面と、該
第１反射面と前記観察光学系との間に設けられた少なく
とも一対のリレーレンズとを有し、該一対のリレーレン
ズの間が平行系で構成されると共に、前記対物レンズの
移動に伴って該一対のリレーレンズの間隔を変化させる
ことを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡。 - 【請求項４】 前記リレー光学系は、前記対物レンズの
光軸を前記平面と平行な方向に偏向する第１反射面およ
び該第１反射面と対向し且つ平行な第２反射面を有する
第１ユニットと、該第２反射面からの光を前記観察光学
系に向けて前記平面と平行な方向に偏向する第３反射面
を有する第２ユニットとを含み、前記対物レンズの移動
に伴って前記第２および第３反射面の間の光軸を中心に
前記第１および第２ユニットを相対回転させることを特
徴とする請求項２に記載の顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3285141A JP3067331B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 顕微鏡 |
| US08/167,616 US5552928A (en) | 1991-10-30 | 1993-12-16 | Microscope with movable stage and objective for examining large sample |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3285141A JP3067331B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05127088A true JPH05127088A (ja) | 1993-05-25 |
| JP3067331B2 JP3067331B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=17687634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3285141A Expired - Fee Related JP3067331B2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5552928A (ja) |
| JP (1) | JP3067331B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5636058A (en) * | 1994-11-09 | 1997-06-03 | Nikon Corporation | Microscope objective lens and microscope using the same |
| JP2002277751A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 検査装置 |
| WO2009020161A1 (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-12 | Nikon Corporation | 顕微鏡 |
| JP2009109681A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| CN102338990A (zh) * | 2010-07-16 | 2012-02-01 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法、程序和计算机存储媒体 |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469779B2 (en) | 1997-02-07 | 2002-10-22 | Arcturus Engineering, Inc. | Laser capture microdissection method and apparatus |
| US6495195B2 (en) | 1997-02-14 | 2002-12-17 | Arcturus Engineering, Inc. | Broadband absorbing film for laser capture microdissection |
| DE19742802C1 (de) * | 1997-09-27 | 1998-10-22 | Leica Mikroskopie & Syst | Mikroskopstativ für ein Waferinspektionsmikroskop |
| US5985085A (en) * | 1997-10-01 | 1999-11-16 | Arcturus Engineering, Inc. | Method of manufacturing consumable for laser capture microdissection |
| US7473401B1 (en) | 1997-12-04 | 2009-01-06 | Mds Analytical Technologies (Us) Inc. | Fluidic extraction of microdissected samples |
| US6201639B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-03-13 | James W. Overbeck | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
| US6185030B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-02-06 | James W. Overbeck | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
| AU4812600A (en) | 1999-04-29 | 2000-11-17 | Arcturus Engineering, Inc. | Processing technology for lcm samples |
| US6784982B1 (en) * | 1999-11-04 | 2004-08-31 | Regents Of The University Of Minnesota | Direct mapping of DNA chips to detector arrays |
| US6867851B2 (en) * | 1999-11-04 | 2005-03-15 | Regents Of The University Of Minnesota | Scanning of biological samples |
| US6690470B1 (en) | 1999-11-04 | 2004-02-10 | Arcturus Engineering, Inc. | Automated laser capture microdissection |
| US6544477B1 (en) | 2000-08-01 | 2003-04-08 | Regents Of The University Of Minnesota | Apparatus for generating a temperature gradient |
| US6850362B2 (en) * | 2001-08-08 | 2005-02-01 | Atto Bioscience Inc. | Microscope optical system with a stationary sample stage and stationary viewing ports suited for viewing various fields of view of a sample |
| DE10152609A1 (de) * | 2001-10-25 | 2003-05-08 | Max Planck Gesellschaft | Optisches Mikroskop mit verstellbarem Objektiv |
| US8722357B2 (en) | 2001-11-05 | 2014-05-13 | Life Technologies Corporation | Automated microdissection instrument |
| US8715955B2 (en) | 2004-09-09 | 2014-05-06 | Life Technologies Corporation | Laser microdissection apparatus and method |
| US10156501B2 (en) | 2001-11-05 | 2018-12-18 | Life Technologies Corporation | Automated microdissection instrument for determining a location of a laser beam projection on a worksurface area |
| US20050054118A1 (en) * | 2002-02-27 | 2005-03-10 | Lebrun Stewart J. | High throughput screening method |
| US20040063220A1 (en) * | 2002-02-27 | 2004-04-01 | Lebrun Stewart J. | Substrate chemistry for protein immobilization on a rigid support |
| US20040072274A1 (en) * | 2002-05-09 | 2004-04-15 | Lebrun Stewart J. | System and method for visualization and digital analysis of protein and other macromolecule microarrays |
| US20060127963A1 (en) * | 2003-11-21 | 2006-06-15 | Lebrun Stewart J | Microarray-based analysis of rheumatoid arthritis markers |
| US20050124017A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-09 | Stewart Lebrun | Quantitative alkaline-phosphatase precipitation reagent and methods for visualization of protein microarrays |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3577355D1 (de) * | 1984-06-25 | 1990-05-31 | Olympus Optical Co | Mikroskop. |
| EP0193001B1 (en) * | 1985-02-04 | 1989-04-05 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope apparatus for examining wafer |
| US4676608A (en) * | 1985-05-20 | 1987-06-30 | Donald Faubion | Measuring microscope assembly |
| DE3740737A1 (de) * | 1986-12-01 | 1988-06-09 | Olympus Optical Co | Mikroskopeinrichtung |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP3285141A patent/JP3067331B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-12-16 US US08/167,616 patent/US5552928A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5636058A (en) * | 1994-11-09 | 1997-06-03 | Nikon Corporation | Microscope objective lens and microscope using the same |
| JP2002277751A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 検査装置 |
| WO2009020161A1 (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-12 | Nikon Corporation | 顕微鏡 |
| US10613309B2 (en) | 2007-08-07 | 2020-04-07 | Nikon Corporation | Microscope |
| US11988822B2 (en) | 2007-08-07 | 2024-05-21 | Nikon Corporation | Microscope |
| JP2009109681A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| CN102338990A (zh) * | 2010-07-16 | 2012-02-01 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置、基板处理方法、程序和计算机存储媒体 |
| JP2012023289A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| US8730317B2 (en) | 2010-07-16 | 2014-05-20 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, substrate processing method and non-transitory computer storage medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3067331B2 (ja) | 2000-07-17 |
| US5552928A (en) | 1996-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3067331B2 (ja) | 顕微鏡 | |
| US4744642A (en) | Microscope | |
| JP5230236B2 (ja) | 露光装置 | |
| US9075239B2 (en) | Optical system for forming optical path of oblique angle and method thereof | |
| US6580554B2 (en) | Method for beam control in a scanning microscope, arrangement for beam control in a scanning microscope, and scanning microscope | |
| US6072625A (en) | Optical microscope apparatus | |
| US20080123169A1 (en) | Method and Apparatus for Two-Axis, High-Speed Beam Steering | |
| US6084672A (en) | Device for optically measuring an object using a laser interferometer | |
| EP0310514B2 (en) | Binocular microscope | |
| KR20020001892A (ko) | 현미경유닛 | |
| CN211426904U (zh) | 结构照明系统 | |
| JPH10115784A (ja) | 鏡筒を有する光学機器 | |
| JP3854665B2 (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2501098B2 (ja) | 顕微鏡 | |
| CN110927944B (zh) | 样本的结构照明 | |
| US20010014195A1 (en) | Apparatus for slewing a light beam | |
| JPH11271631A (ja) | 光学顕微鏡を組み込んだ走査型電子顕微鏡 | |
| JPH05323201A (ja) | 顕微鏡 | |
| US7184229B2 (en) | Optical switch element | |
| JP2002098906A (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH05323200A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2597646Y2 (ja) | 顕微鏡 | |
| KR200238929Y1 (ko) | 기판검사장치 | |
| JPH0784190A (ja) | 光ファイバ観察用顕微鏡 | |
| JPH0533110U (ja) | 鏡筒上下焦準式顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |