JP2002277750A - 検査装置 - Google Patents
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- JP2002277750A JP2002277750A JP2001074597A JP2001074597A JP2002277750A JP 2002277750 A JP2002277750 A JP 2002277750A JP 2001074597 A JP2001074597 A JP 2001074597A JP 2001074597 A JP2001074597 A JP 2001074597A JP 2002277750 A JP2002277750 A JP 2002277750A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】顕微鏡の組み立て工程において、複数のリレー
鏡筒の共通化を図って複数の結像位置の調整作業が容易
にする。 【解決手段】対物光学系及び第１〜第３のリレーレンズ
光学系の各結像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３に近傍でリレー鏡
筒を分割し、この位置で分割された各リレー鏡筒１０、
８、５の結像位置側の端面１０ａ、８ａ、５ｂを結像位
置に対して同距離になるように全て一致させる。
鏡筒の共通化を図って複数の結像位置の調整作業が容易
にする。 【解決手段】対物光学系及び第１〜第３のリレーレンズ
光学系の各結像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３に近傍でリレー鏡
筒を分割し、この位置で分割された各リレー鏡筒１０、
８、５の結像位置側の端面１０ａ、８ａ、５ｂを結像位
置に対して同距離になるように全て一致させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば大型の液晶
ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの被検査物の
検査に適用される検査装置に関する。
ディスプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの被検査物の
検査に適用される検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる検査として顕微鏡を通して観察す
る方法では、例えば特開平５−１２７０８８号公報及び
特開平１０−１１１２５３号公報に記載されているよう
に、対物レンズを含む対物光学系により得られた被検査
物の像をリレーレンズ光学系を通して接眼レンズを含む
観察光学系に送り、対物レンズを被検査物の平面に沿っ
て一方向に移動させるとともに、被検査物を載置するス
テージを対物レンズの一方向と交差する他方向に移動し
て被検査物の全体を観察可能にしている。
る方法では、例えば特開平５−１２７０８８号公報及び
特開平１０−１１１２５３号公報に記載されているよう
に、対物レンズを含む対物光学系により得られた被検査
物の像をリレーレンズ光学系を通して接眼レンズを含む
観察光学系に送り、対物レンズを被検査物の平面に沿っ
て一方向に移動させるとともに、被検査物を載置するス
テージを対物レンズの一方向と交差する他方向に移動し
て被検査物の全体を観察可能にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記顕微鏡を通して観
察する方法の光学系では、実際には対物光学系の対物レ
ンズにより得られた被検査物の像を対物光学系の結像レ
ンズにより結像し、この結像された像を複数のリレーレ
ンズ光学系により観察光学系の接眼レンズに伝送してい
る。
察する方法の光学系では、実際には対物光学系の対物レ
ンズにより得られた被検査物の像を対物光学系の結像レ
ンズにより結像し、この結像された像を複数のリレーレ
ンズ光学系により観察光学系の接眼レンズに伝送してい
る。
【０００４】特に液晶ディスプレイの製造分野では、Ｌ
ＣＤガラス基板の大型化が進んでおり、現在では、１０
００ｍｍを超えるものまで現われており、このガラス基
板の大型化に伴いリレーレンズ光学系も１０００ｍｍ以
上の長さが必要となる。
ＣＤガラス基板の大型化が進んでおり、現在では、１０
００ｍｍを超えるものまで現われており、このガラス基
板の大型化に伴いリレーレンズ光学系も１０００ｍｍ以
上の長さが必要となる。
【０００５】このようにリレーレンズ光学系が長くなる
と、加工及び組み立ての都合上、リレーレンズ光学系を
組み込んだリレー鏡筒を複数に分割することになる。こ
のリレー鏡筒を複数に分割する際に、各リレーレンズ光
学系の結像位置が各リレー鏡筒の接続位置に対してそれ
ぞれ異なった位置にあると、顕微鏡の組み立て工程にお
ける結像レンズの結像位置調整が非常に面倒になる。
と、加工及び組み立ての都合上、リレーレンズ光学系を
組み込んだリレー鏡筒を複数に分割することになる。こ
のリレー鏡筒を複数に分割する際に、各リレーレンズ光
学系の結像位置が各リレー鏡筒の接続位置に対してそれ
ぞれ異なった位置にあると、顕微鏡の組み立て工程にお
ける結像レンズの結像位置調整が非常に面倒になる。
【０００６】そこで本発明は、顕微鏡の組み立て工程に
おいて、複数のリレー鏡筒の共通化を図って複数の結像
位置の調整作業が容易にできる検査装置を提供すること
を目的とする。
おいて、複数のリレー鏡筒の共通化を図って複数の結像
位置の調整作業が容易にできる検査装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、対物光学系により形成される被検査物の像を複数
のリレー光学系により前記像を観察するための観察光学
系に伝送し、この観察光学系の接眼レンズにより前記被
検査物の像を目視により観察する検査装置において、複
数の前記リレー光学系を複数連結した前記リレー鏡筒に
より保持し、このリレー鏡筒を少なくとも前記対物光学
系及び各リレー光学系の結像位置の近傍で分割し、この
位置で分割された各リレー鏡筒の端面を結像位置に対し
て同一距離に設定したことを特徴とする検査装置であ
る。
明は、対物光学系により形成される被検査物の像を複数
のリレー光学系により前記像を観察するための観察光学
系に伝送し、この観察光学系の接眼レンズにより前記被
検査物の像を目視により観察する検査装置において、複
数の前記リレー光学系を複数連結した前記リレー鏡筒に
より保持し、このリレー鏡筒を少なくとも前記対物光学
系及び各リレー光学系の結像位置の近傍で分割し、この
位置で分割された各リレー鏡筒の端面を結像位置に対し
て同一距離に設定したことを特徴とする検査装置であ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１及び図２は検査装置
の構成図であって、図１は側面図、図２は上面図であ
る。
いて図面を参照して説明する。図１及び図２は検査装置
の構成図であって、図１は側面図、図２は上面図であ
る。
【０００９】先ず、検査装置の構造から説明する。検査
装置本体の基台又は門型アーム４９の支柱部に観察鏡筒
用の固定台１が設けられている。この固定台１上には、
観察鏡筒２が位置固定されている。この観察鏡筒２の上
部には、接眼鏡筒部３が設けられている。
装置本体の基台又は門型アーム４９の支柱部に観察鏡筒
用の固定台１が設けられている。この固定台１上には、
観察鏡筒２が位置固定されている。この観察鏡筒２の上
部には、接眼鏡筒部３が設けられている。
【００１０】観察鏡筒２の側面には、複数のリレー鏡筒
例えば３つのリレー鏡筒４、５、５ａを介して回動自在
なリレー連結鏡筒部６が接続され、さらにこのリレー連
結鏡筒部６から複数のリレー鏡筒例えば４つのリレー鏡
筒７〜１０が連結されている。
例えば３つのリレー鏡筒４、５、５ａを介して回動自在
なリレー連結鏡筒部６が接続され、さらにこのリレー連
結鏡筒部６から複数のリレー鏡筒例えば４つのリレー鏡
筒７〜１０が連結されている。
【００１１】リレー連結鏡筒部６は、３つのリレー鏡筒
４、５、５ａを連結した第１の延長リレー鏡筒と４つの
リレー鏡筒７〜１０を連結した第２の延長リレー鏡筒と
の間にあって、これらリレー鏡筒４、５、５ａとリレー
鏡筒７〜１０とのなす角度を相互に変更可能にするよう
に回動自在に設けられている。このリレー連結鏡筒部６
は、第１の連結部１１と第２の連結部１２とからなり、
第１の連結部１１にはリレー鏡筒４、５、５ａが連結さ
れ、第２の連結部１２にはリレー鏡筒７〜１０が連結さ
れている。これら連結部１１と１２とは、例えばボール
ベアリング１３を介して互いに回動自在に設けられてい
る。
４、５、５ａを連結した第１の延長リレー鏡筒と４つの
リレー鏡筒７〜１０を連結した第２の延長リレー鏡筒と
の間にあって、これらリレー鏡筒４、５、５ａとリレー
鏡筒７〜１０とのなす角度を相互に変更可能にするよう
に回動自在に設けられている。このリレー連結鏡筒部６
は、第１の連結部１１と第２の連結部１２とからなり、
第１の連結部１１にはリレー鏡筒４、５、５ａが連結さ
れ、第２の連結部１２にはリレー鏡筒７〜１０が連結さ
れている。これら連結部１１と１２とは、例えばボール
ベアリング１３を介して互いに回動自在に設けられてい
る。
【００１２】第２の連結部１２の底部には、連結支持ア
ーム１４を介して移動摺動部１５が設けられている。こ
の移動摺動部１５は、互いに平行に所定間隔をおいて設
けられた２本のリニアガイド１６、１７上を移動する移
動支持体１８に対して例えばボールベアリング１９を介
して回動自在に設けられている。移動支持体１８は、図
２に示すように２本のリニアガイド１６、１７上を矢印
ロ方向に移動自在に設けられ、かつ移動摺動部１５は、
同図に示すように移動支持体１８上を矢印ハ方向に移動
自在に設けられている。
ーム１４を介して移動摺動部１５が設けられている。こ
の移動摺動部１５は、互いに平行に所定間隔をおいて設
けられた２本のリニアガイド１６、１７上を移動する移
動支持体１８に対して例えばボールベアリング１９を介
して回動自在に設けられている。移動支持体１８は、図
２に示すように２本のリニアガイド１６、１７上を矢印
ロ方向に移動自在に設けられ、かつ移動摺動部１５は、
同図に示すように移動支持体１８上を矢印ハ方向に移動
自在に設けられている。
【００１３】２本のリニアガイド１６、１７は、一方向
（矢印Ｘ方向）に移動可能なステージ４８を跨ぐ門型ア
ーム４９の水平アーム部の上面に敷設されている。
（矢印Ｘ方向）に移動可能なステージ４８を跨ぐ門型ア
ーム４９の水平アーム部の上面に敷設されている。
【００１４】第２の延長リレー鏡筒を構成するリレー鏡
筒１０の先端部には、対物光学系を構成する顕微鏡ヘッ
ド部２０が設けられている。この顕微鏡ヘッド部２０
は、電動レボルバに複数の対物レンズ２１、２２が取り
付けられたもので、これら対物レンズ２１、２２のうち
１つの対物レンズ２１又は２２が光軸上に交換可能にな
っている。この顕微鏡ヘッド部２０は、リレー鏡筒１０
の先端部に設けられた保持体２３に対して嵌合部２４を
介して回動可能に嵌合している。
筒１０の先端部には、対物光学系を構成する顕微鏡ヘッ
ド部２０が設けられている。この顕微鏡ヘッド部２０
は、電動レボルバに複数の対物レンズ２１、２２が取り
付けられたもので、これら対物レンズ２１、２２のうち
１つの対物レンズ２１又は２２が光軸上に交換可能にな
っている。この顕微鏡ヘッド部２０は、リレー鏡筒１０
の先端部に設けられた保持体２３に対して嵌合部２４を
介して回動可能に嵌合している。
【００１５】顕微鏡ヘッド部２０は、図２に示すように
顕微鏡ヘッド用架台３０に載せられている。この顕微鏡
ヘッド用架台３０は、２本のリニアガイド１６、１７上
に乗せられ、上記矢印ロ方向と同一方向に移動可能にな
っている。
顕微鏡ヘッド用架台３０に載せられている。この顕微鏡
ヘッド用架台３０は、２本のリニアガイド１６、１７上
に乗せられ、上記矢印ロ方向と同一方向に移動可能にな
っている。
【００１６】従って、例えば、顕微鏡ヘッド用架台３０
を図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往復
移動させると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移動
に連動して移動支持体１８がリニアガイド１６、１７に
沿って往復移動すると共に、この移動支持体１８に連動
して移動摺動部１５が移動支持体１８上を矢印ハ方向に
往復移動する。図３は顕微鏡ヘッド部２０が図面上左側
に移動しているところを示す図である。
を図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往復
移動させると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移動
に連動して移動支持体１８がリニアガイド１６、１７に
沿って往復移動すると共に、この移動支持体１８に連動
して移動摺動部１５が移動支持体１８上を矢印ハ方向に
往復移動する。図３は顕微鏡ヘッド部２０が図面上左側
に移動しているところを示す図である。
【００１７】次に光学系について説明する。対物レンズ
２１を通る光軸ａ上には、この対物レンズ２１により得
られる像を結像するための結像レンズ３１が第２の延長
リレー鏡筒の先端部に設けられた保持体２３に設けられ
ている。この結像レンズ３１は、対物レンズ２１により
得られる像が平行光に整形されて結像レンズ３１に入射
するので、この入射した平行光の像を１次像として結像
位置Ｑ１にて再結像する。
２１を通る光軸ａ上には、この対物レンズ２１により得
られる像を結像するための結像レンズ３１が第２の延長
リレー鏡筒の先端部に設けられた保持体２３に設けられ
ている。この結像レンズ３１は、対物レンズ２１により
得られる像が平行光に整形されて結像レンズ３１に入射
するので、この入射した平行光の像を１次像として結像
位置Ｑ１にて再結像する。
【００１８】又、保持体２３内には、光軸ａ上にミラー
３２が設けられている。このミラー３２は、結像レンズ
３１により結像される像を各リレー鏡筒１０〜７（第２
の延長リレー鏡筒）内に向けて反射（偏向）するもので
ある。リレー鏡筒９、８内には、結像レンズ３１により
結像位置Ｑ１に結像された像を結像位置Ｑ２に伝送する
第１のリレーレンズ光学系を構成するリレーレンズ３３
〜３４が設けられている。
３２が設けられている。このミラー３２は、結像レンズ
３１により結像される像を各リレー鏡筒１０〜７（第２
の延長リレー鏡筒）内に向けて反射（偏向）するもので
ある。リレー鏡筒９、８内には、結像レンズ３１により
結像位置Ｑ１に結像された像を結像位置Ｑ２に伝送する
第１のリレーレンズ光学系を構成するリレーレンズ３３
〜３４が設けられている。
【００１９】リレー連結鏡筒部６内には、互いに対向す
る位置にそれぞれミラー３６、３７が設けられ、このう
ちミラー３６はリレーレンズ３５からの像をミラー３７
に向けて反射（偏向）し、ミラー３７はミラー３６から
の像を各リレー鏡筒５ａ、５、４内に向けて反射するも
のである。リレー鏡筒７、５ａ、５内には、第１のリレ
ーレンズ光学系により結像位置Ｑ２に結像された２次像
を結像位置Ｑ３に伝送する第２のリレーレンズ光学系を
構成するリレーレンズ３５、３８ａ、３８が設けられて
いる。
る位置にそれぞれミラー３６、３７が設けられ、このう
ちミラー３６はリレーレンズ３５からの像をミラー３７
に向けて反射（偏向）し、ミラー３７はミラー３６から
の像を各リレー鏡筒５ａ、５、４内に向けて反射するも
のである。リレー鏡筒７、５ａ、５内には、第１のリレ
ーレンズ光学系により結像位置Ｑ２に結像された２次像
を結像位置Ｑ３に伝送する第２のリレーレンズ光学系を
構成するリレーレンズ３５、３８ａ、３８が設けられて
いる。
【００２０】観察鏡筒２内には、光軸ａ上にミラー４５
が設けられている。このミラー４５は、リレーレンズ３
９ａからの像を接眼鏡筒部３内に向けて反射するもので
ある。リレー鏡筒４内には、第２のリレーレンズ光学系
により結像位置Ｑ３に結像された３次像を接眼レンズの
結像位置に伝送する第３のリレーレンズ光学系を構成す
るリレーレンズ４、４ａが設けられている。
が設けられている。このミラー４５は、リレーレンズ３
９ａからの像を接眼鏡筒部３内に向けて反射するもので
ある。リレー鏡筒４内には、第２のリレーレンズ光学系
により結像位置Ｑ３に結像された３次像を接眼レンズの
結像位置に伝送する第３のリレーレンズ光学系を構成す
るリレーレンズ４、４ａが設けられている。
【００２１】これら第１〜第３のリレーレンズ光学系に
より対物光学系の一次像が結像位置Ｑ２、結像位置
Ｑ３、接眼レンズ内に再結像される。
より対物光学系の一次像が結像位置Ｑ２、結像位置
Ｑ３、接眼レンズ内に再結像される。
【００２２】次に、第１及び第２の延長リレー鏡筒につ
いて図４及び図５を参照して説明する。図４は第２の延
長リレー鏡筒の具体的な構成図であり、図５は第１の延
長リレー鏡筒の具体的な構成図である。
いて図４及び図５を参照して説明する。図４は第２の延
長リレー鏡筒の具体的な構成図であり、図５は第１の延
長リレー鏡筒の具体的な構成図である。
【００２３】図４に示すように保持体２３とリレー連結
鏡筒部６との間には、上記の如く第２の延長リレー鏡筒
を構成する各リレー鏡筒１０〜７が連結されており、こ
のうちリレー鏡筒９にリレーレンズ３３、３３ａが設け
られ、リレー鏡筒８にリレーレンズ（結像レンズ）３４
が設けられ、さらにリレー鏡筒７にリレーレンズ３５が
設けられている。
鏡筒部６との間には、上記の如く第２の延長リレー鏡筒
を構成する各リレー鏡筒１０〜７が連結されており、こ
のうちリレー鏡筒９にリレーレンズ３３、３３ａが設け
られ、リレー鏡筒８にリレーレンズ（結像レンズ）３４
が設けられ、さらにリレー鏡筒７にリレーレンズ３５が
設けられている。
【００２４】このような延長リレー鏡筒に対し、対物光
学系による１次像の結像位置Ｑ１の近傍でリレー鏡筒１
０、９が分割され、又第１のリレーレンズ光学系による
２次像の結像位置Ｑ２の近傍でリレー鏡筒８、７が分割
されている。各リレー鏡筒１０、８における再結像され
る位置側の各端面１０ａ、８ａは、図６に示すように各
結像位置Ｑ１、Ｑ２から組立工程での結像位置を観察す
るための接眼レンズ７０の胴付け面７１との間に形成さ
れ、各リレー鏡筒１０、８の各端面１０ａ、８ａから欠
く結像位置Ｑ１、Ｑ２の距離を全て一致させ、各リレー
鏡筒１０、８に装着した接眼レンズ７０へ胴付け面７１
と各結像位置Ｑ１、Ｑ２とを一定にする。
学系による１次像の結像位置Ｑ１の近傍でリレー鏡筒１
０、９が分割され、又第１のリレーレンズ光学系による
２次像の結像位置Ｑ２の近傍でリレー鏡筒８、７が分割
されている。各リレー鏡筒１０、８における再結像され
る位置側の各端面１０ａ、８ａは、図６に示すように各
結像位置Ｑ１、Ｑ２から組立工程での結像位置を観察す
るための接眼レンズ７０の胴付け面７１との間に形成さ
れ、各リレー鏡筒１０、８の各端面１０ａ、８ａから欠
く結像位置Ｑ１、Ｑ２の距離を全て一致させ、各リレー
鏡筒１０、８に装着した接眼レンズ７０へ胴付け面７１
と各結像位置Ｑ１、Ｑ２とを一定にする。
【００２５】一方、図５に示すようにリレー連結鏡筒部
６と観察鏡筒２との間には、上記の如く第１の延長リレ
ー鏡筒を構成する各リレー鏡筒５、５ａ、４が連結され
ており、このうちリレー鏡筒５にリレーレンズ３８ａ、
リレーレンズ（結像レンズ）３８が設けられ、リレー鏡
筒４にリレーレンズ３９、３９ａが設けられている。
６と観察鏡筒２との間には、上記の如く第１の延長リレ
ー鏡筒を構成する各リレー鏡筒５、５ａ、４が連結され
ており、このうちリレー鏡筒５にリレーレンズ３８ａ、
リレーレンズ（結像レンズ）３８が設けられ、リレー鏡
筒４にリレーレンズ３９、３９ａが設けられている。
【００２６】このような延長リレー鏡筒に対し、第２の
リレーレンズ光学系による３次像の結像位置Ｑ３の近傍
でレー鏡筒５、４が分割され、このリレー鏡筒５におけ
る再結像される位置側の端面５ｂは、図６に示すように
結像位置Ｑ３から組立工程での結像位置を観察するため
の接眼レンズ７０の胴付け面７１との間に形成され、リ
レー鏡筒５の端面５ａから結像位置Ｑ２の距離を第１の
リレーレンズ光学系と同様に合せて一致させる。
リレーレンズ光学系による３次像の結像位置Ｑ３の近傍
でレー鏡筒５、４が分割され、このリレー鏡筒５におけ
る再結像される位置側の端面５ｂは、図６に示すように
結像位置Ｑ３から組立工程での結像位置を観察するため
の接眼レンズ７０の胴付け面７１との間に形成され、リ
レー鏡筒５の端面５ａから結像位置Ｑ２の距離を第１の
リレーレンズ光学系と同様に合せて一致させる。
【００２７】又、図４に示すように保持体２３とリレー
連結鏡筒部６との間において、リレー鏡筒１０における
１次像の結像位置Ｑ１側の端面よりも入射側には、絞り
４０が設けられ、リレー鏡筒８におけるリレーレンズ３
４よりも入射側には、絞り４１が設けられ、同リレー鏡
筒８における二次像の結像位置Ｑ２側の端面よりも入射
側には、絞り４２が設けられている。
連結鏡筒部６との間において、リレー鏡筒１０における
１次像の結像位置Ｑ１側の端面よりも入射側には、絞り
４０が設けられ、リレー鏡筒８におけるリレーレンズ３
４よりも入射側には、絞り４１が設けられ、同リレー鏡
筒８における二次像の結像位置Ｑ２側の端面よりも入射
側には、絞り４２が設けられている。
【００２８】一方、図５に示すようにリレー連結鏡筒部
６と観察鏡筒２との間において、リレー鏡筒５における
リレーレンズ３８よりも入射側には、絞り４３が設けら
れ、同リレー鏡筒５における３次像の結像位置Ｑ３側の
端面よりも入射側には、絞り４４が設けられている。
６と観察鏡筒２との間において、リレー鏡筒５における
リレーレンズ３８よりも入射側には、絞り４３が設けら
れ、同リレー鏡筒５における３次像の結像位置Ｑ３側の
端面よりも入射側には、絞り４４が設けられている。
【００２９】従って、上記各リレー鏡筒１０〜７及び５
ａ、５、４は、それぞれ各リレーレンズ３３〜３５、３
８ａ、３８、３９、３９ａ及び各絞り４０〜４４が設け
られており、検査装置の組み立て工程においては、これ
らリレー鏡筒１０〜７及び５ａ、５、４をそれぞれ連結
するだけの作業となる。
ａ、５、４は、それぞれ各リレーレンズ３３〜３５、３
８ａ、３８、３９、３９ａ及び各絞り４０〜４４が設け
られており、検査装置の組み立て工程においては、これ
らリレー鏡筒１０〜７及び５ａ、５、４をそれぞれ連結
するだけの作業となる。
【００３０】上記観察鏡筒２の内部には、ミラー４５が
設けられ、上記リレーレンズ３３〜３５、３８ａ、３
８、３９、３９ａを通ってきた像を接眼鏡筒部３の接眼
レンズ４６に送るものとなっている。
設けられ、上記リレーレンズ３３〜３５、３８ａ、３
８、３９、３９ａを通ってきた像を接眼鏡筒部３の接眼
レンズ４６に送るものとなっている。
【００３１】一方、被検査物としての大型の液晶ディス
プレイのガラス基板４７は、ステージ４８上に載置され
ている。顕微鏡ヘッド部２０が上記矢印Ｙ方向に往復移
動し、ガラス基板４７を載置したステージ４８を顕微鏡
ヘッド部２０の移動方向と直交する矢印Ｘ方向に移動さ
せることにより、ガラス基板４７の全面を観察できる。
プレイのガラス基板４７は、ステージ４８上に載置され
ている。顕微鏡ヘッド部２０が上記矢印Ｙ方向に往復移
動し、ガラス基板４７を載置したステージ４８を顕微鏡
ヘッド部２０の移動方向と直交する矢印Ｘ方向に移動さ
せることにより、ガラス基板４７の全面を観察できる。
【００３２】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００３３】大型の液晶ディスプレイのガラス基板４７
の欠陥検査を行なう場合、顕微鏡ヘッド用架台３０が例
えば図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往
復移動されると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移
動に連動して移動支持体１８がリニアガイド１６、１７
に沿って矢印ロ方向に往復移動すると共に、この移動支
持体１８に連動して移動摺動部１５が移動支持体１８上
を矢印ハ方向に往復移動し、第１及び第２の延長リレー
鏡筒は、保持体２３、リレー連結鏡筒部６、観察鏡筒２
を回転させて所定の角度に屈曲する。これにより、接眼
レンズ４６から対物レンズ２１までの光路長が変らずに
対物レンズ２１をＹ方向に走査することが可能になる。
の欠陥検査を行なう場合、顕微鏡ヘッド用架台３０が例
えば図示しない駆動部により図２に示す矢印ロ方向に往
復移動されると、この顕微鏡ヘッド用架台３０の往復移
動に連動して移動支持体１８がリニアガイド１６、１７
に沿って矢印ロ方向に往復移動すると共に、この移動支
持体１８に連動して移動摺動部１５が移動支持体１８上
を矢印ハ方向に往復移動し、第１及び第２の延長リレー
鏡筒は、保持体２３、リレー連結鏡筒部６、観察鏡筒２
を回転させて所定の角度に屈曲する。これにより、接眼
レンズ４６から対物レンズ２１までの光路長が変らずに
対物レンズ２１をＹ方向に走査することが可能になる。
【００３４】この対物レンズ２１のＹ方向の走査と共に
ステージ４８をＸ方向に走査することによりガラス基板
４７の全面を観察するものとなる。
ステージ４８をＸ方向に走査することによりガラス基板
４７の全面を観察するものとなる。
【００３５】この顕微鏡ヘッド部２０の対物レンズ２１
を通して得られたガラス基板４７の像は、平行光として
結像レンズ３１に入射し、ミラー３２で反射してリレー
鏡筒１０内に入り、１次像として結像位置Ｑ１にて結像
する。さらに、この１次像は、第１のリレーレンズ光学
系の各リレーレンズ３３〜３４により２次像として結像
位置Ｑ２に結像される。この２次像は、第２のリレーレ
ンズ光学系のリレーレンズ３５、リレー連結鏡筒部６内
の各ミラー３６、３７、各リレーレンズ３８ａ、３８に
より３次像として結像位置Ｑ３に結像される。この３次
像は、第３のリレーレンズ光学系の各リレーレンズ３
９、３９ａ、ミラー４５により観察光学系の接眼レンズ
４６内に結像される。
を通して得られたガラス基板４７の像は、平行光として
結像レンズ３１に入射し、ミラー３２で反射してリレー
鏡筒１０内に入り、１次像として結像位置Ｑ１にて結像
する。さらに、この１次像は、第１のリレーレンズ光学
系の各リレーレンズ３３〜３４により２次像として結像
位置Ｑ２に結像される。この２次像は、第２のリレーレ
ンズ光学系のリレーレンズ３５、リレー連結鏡筒部６内
の各ミラー３６、３７、各リレーレンズ３８ａ、３８に
より３次像として結像位置Ｑ３に結像される。この３次
像は、第３のリレーレンズ光学系の各リレーレンズ３
９、３９ａ、ミラー４５により観察光学系の接眼レンズ
４６内に結像される。
【００３６】これと共に、各リレー鏡筒１０〜７及び５
ａ、５、４には、各絞り４０〜４４が設けられているの
で、これら絞り４０〜４４によりフレアが防止される。
ａ、５、４には、各絞り４０〜４４が設けられているの
で、これら絞り４０〜４４によりフレアが防止される。
【００３７】そして、対物レンズ２１により取り込まれ
たガラス基板４７の像は、第１〜第３のリレーレンズ光
学系を組み込んだ第２及び第３の延長リレー鏡筒を通し
て観察鏡筒２内のミラー４５で反射して接眼鏡筒部３に
入射し、接眼レンズ４６を通して観察される。
たガラス基板４７の像は、第１〜第３のリレーレンズ光
学系を組み込んだ第２及び第３の延長リレー鏡筒を通し
て観察鏡筒２内のミラー４５で反射して接眼鏡筒部３に
入射し、接眼レンズ４６を通して観察される。
【００３８】このように上記一実施の形態においては、
対物光学系及び第１〜第３のリレーレンズ光学系の各結
像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３に近傍でリレー鏡筒を分割し、
この位置で分割された各リレー鏡筒１０、８、５の結像
位置側の端面１０ａ、８ａ、５ｂを図６に示すように結
像位置に対して同距離になるように全て一致させること
により、検査装置の組み立て工程における延長リレー鏡
筒の組立時においては、これらリレー鏡筒１０〜７及び
５ａ、５、４をそれぞれ連結するだけの作業となり、複
数の再結像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３の調整を行なうのに、
調整治具（結像位置検査用の接眼レンズ７０）の共通化
を図ってその自由度を高めることができ、その調整作業
を容易にできる。
対物光学系及び第１〜第３のリレーレンズ光学系の各結
像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３に近傍でリレー鏡筒を分割し、
この位置で分割された各リレー鏡筒１０、８、５の結像
位置側の端面１０ａ、８ａ、５ｂを図６に示すように結
像位置に対して同距離になるように全て一致させること
により、検査装置の組み立て工程における延長リレー鏡
筒の組立時においては、これらリレー鏡筒１０〜７及び
５ａ、５、４をそれぞれ連結するだけの作業となり、複
数の再結像位置Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３の調整を行なうのに、
調整治具（結像位置検査用の接眼レンズ７０）の共通化
を図ってその自由度を高めることができ、その調整作業
を容易にできる。
【００３９】さらに、各リレー鏡筒５と８とをそれぞれ
同一構造にでき、これによっても複数の再結像位置
Ｑ２、Ｑ３の調整が同じ治具を用いて容易にできる。
同一構造にでき、これによっても複数の再結像位置
Ｑ２、Ｑ３の調整が同じ治具を用いて容易にできる。
【００４０】又、リレー鏡筒１０〜７及び５ａ、５、４
には、各絞り４０〜４４が設けられているので、フレア
発生を防止でき、鮮明なガラス基板４７の画像を得るこ
とができる。
には、各絞り４０〜４４が設けられているので、フレア
発生を防止でき、鮮明なガラス基板４７の画像を得るこ
とができる。
【００４１】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。
【００４２】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４３】例えば、上記一実施の形態は、複数連結し
たリレー鏡筒１０〜７及び５ａ、５、４により第１〜第
３のリレーレンズ光学系を構成する複数のリレーレンズ
３３〜３５、３８ａ、３８、３９、３９ａを保持してい
るが、リレー鏡筒の連結本数は制限があるものでなく、
又リレーレンズ光学系も２組又は４組以上であってもよ
く、リレー鏡筒の機械的な強度が維持できる連結本数だ
けリレー鏡筒を連結してもよい。
たリレー鏡筒１０〜７及び５ａ、５、４により第１〜第
３のリレーレンズ光学系を構成する複数のリレーレンズ
３３〜３５、３８ａ、３８、３９、３９ａを保持してい
るが、リレー鏡筒の連結本数は制限があるものでなく、
又リレーレンズ光学系も２組又は４組以上であってもよ
く、リレー鏡筒の機械的な強度が維持できる連結本数だ
けリレー鏡筒を連結してもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、顕
微鏡の組み立て工程において、複数のリレー鏡筒の共通
化を図って複数の結像位置の調整作業が容易にできる検
査装置を提供できる。
微鏡の組み立て工程において、複数のリレー鏡筒の共通
化を図って複数の結像位置の調整作業が容易にできる検
査装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる検査装置の一実施の形態を示す
側面から見た構成図。
側面から見た構成図。
【図２】本発明に係わる検査装置の一実施の形態を示す
上方から見た構成図。
上方から見た構成図。
【図３】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る顕微鏡部の移動を示す図。
る顕微鏡部の移動を示す図。
【図４】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る顕微鏡部側の各リレー鏡筒の具体的な構成図。
る顕微鏡部側の各リレー鏡筒の具体的な構成図。
【図５】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る観察鏡筒側の各リレー鏡筒の具体的な構成図。
る観察鏡筒側の各リレー鏡筒の具体的な構成図。
【図６】本発明に係わる検査装置の一実施の形態におけ
る接眼レンズ胴付け面部分の拡大図。
る接眼レンズ胴付け面部分の拡大図。
１：固定台 ２：観察鏡筒 ３：接眼鏡筒部 ４，５，５ａ，７，８，９，１０：リレー鏡筒 ５ｂ，８ａ，１０ａ：リレー鏡筒の端面 ６：リレー連結鏡筒部 １１：連結部 １２：連結部 １３，１９：ボールベアリング １４：連結支持アーム １５：移動摺動部 １６，１７：リニアガイド １８：移動支持体 ２０：顕微鏡ヘッド部 ２１，２２：対物レンズ ２３：保持体 ２４：嵌合部 ３０：顕微鏡ヘッド用架台 ３１：結像レンズ ３２：ミラー ３３〜３５，３８，３８ａ，３９：リレーレンズ ３６，３７：ミラー ３９ａ：レンズ ４０〜４４：絞り ４５：ミラー ４６：接眼レンズ ４７：ガラス基板 ４８：ステージ ４９：門型アーム ７０：接眼レンズ ７１：接眼レンズの胴付け面
Claims (1)
- 【請求項１】 対物光学系により形成される被検査物の
像を複数のリレー光学系により前記像を観察するための
観察光学系に伝送し、この観察光学系の接眼レンズによ
り前記被検査物の像を目視により観察する検査装置にお
いて、 複数の前記リレー光学系を複数連結した前記リレー鏡筒
により保持し、このリレー鏡筒を少なくとも前記対物光
学系及び各リレー光学系の結像位置の近傍で分割し、こ
の位置で分割された各リレー鏡筒の端面を結像位置に対
して同一距離に設定したことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074597A JP2002277750A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074597A JP2002277750A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002277750A true JP2002277750A (ja) | 2002-09-25 |
| JP2002277750A5 JP2002277750A5 (ja) | 2008-04-24 |
Family
ID=18931834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001074597A Pending JP2002277750A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002277750A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100374898C (zh) * | 2003-02-10 | 2008-03-12 | 奥林巴斯株式会社 | 检查装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH075377A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Olympus Optical Co Ltd | 変倍光学系およびこれを持った内視鏡システム |
| JPH10161036A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡用ディスカッション装置 |
| JPH10268206A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | ディスカッション顕微鏡 |
-
2001
- 2001-03-15 JP JP2001074597A patent/JP2002277750A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH075377A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Olympus Optical Co Ltd | 変倍光学系およびこれを持った内視鏡システム |
| JPH10161036A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡用ディスカッション装置 |
| JPH10268206A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Olympus Optical Co Ltd | ディスカッション顕微鏡 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100374898C (zh) * | 2003-02-10 | 2008-03-12 | 奥林巴斯株式会社 | 检查装置 |
| KR101042118B1 (ko) | 2003-02-10 | 2011-06-16 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 검사 장치 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080306 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110407 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110823 |