JP2002258183A - 光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
光走査装置及び画像形成装置Info
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- JP2002258183A JP2002258183A JP2001056304A JP2001056304A JP2002258183A JP 2002258183 A JP2002258183 A JP 2002258183A JP 2001056304 A JP2001056304 A JP 2001056304A JP 2001056304 A JP2001056304 A JP 2001056304A JP 2002258183 A JP2002258183 A JP 2002258183A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、共振振動によって揺動する可動ミ
ラーを用い、その小型化、高速化のメリットが活かせる
と共に、低電力で高速記録ができ、良好な画像品質が得
られる。 【解決手段】 本発明の光走査装置は、画像データに応
じて変調する発光源と、支持基体に設けられた一対のト
ーションバーで支持され、トーションバーを回転軸とし
て揺動可能としてなる可動ミラーと、トーションバーを
挟む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆動電圧
を切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの間に引
力又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを揺動さ
せる可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュールを、
主走査方向に複数配列し、発光源から射出された光ビー
ムを揺動する可動ミラーによって主走査方向に走査させ
て各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行う。
ラーを用い、その小型化、高速化のメリットが活かせる
と共に、低電力で高速記録ができ、良好な画像品質が得
られる。 【解決手段】 本発明の光走査装置は、画像データに応
じて変調する発光源と、支持基体に設けられた一対のト
ーションバーで支持され、トーションバーを回転軸とし
て揺動可能としてなる可動ミラーと、トーションバーを
挟む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆動電圧
を切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの間に引
力又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを揺動さ
せる可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュールを、
主走査方向に複数配列し、発光源から射出された光ビー
ムを揺動する可動ミラーによって主走査方向に走査させ
て各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光走査装置及び画像
形成装置に関し、詳細には特にデジタル複写機、及びレ
ーザプリンタ等の画像形成装置の書込系に用いられる光
走査装置に関する。
形成装置に関し、詳細には特にデジタル複写機、及びレ
ーザプリンタ等の画像形成装置の書込系に用いられる光
走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光走査装置に用いられる偏向器と
してポリゴンミラーやガルバノミラーが知られている。
この内、ガルバノミラーは磁界中に軸支された可動コイ
ルに電流を流して電磁力を発生させ、その回転トルクと
戻しばねとの平衡関係で可動コイルを往復回転させる方
式で、ポリゴンミラーに比べ構成が簡単で小型化できる
という利点がある。
してポリゴンミラーやガルバノミラーが知られている。
この内、ガルバノミラーは磁界中に軸支された可動コイ
ルに電流を流して電磁力を発生させ、その回転トルクと
戻しばねとの平衡関係で可動コイルを往復回転させる方
式で、ポリゴンミラーに比べ構成が簡単で小型化できる
という利点がある。
【０００３】また、近年マイクロマシニングの発展に伴
い特許第２，７２２，３１４号明細書に開示されるよう
にＳｉ基板上に可動ミラーと当該可動ミラーを軸支する
トーションバーを一体形成したガルバノミラーが提案さ
れている。また、特許第３，０１１，１４４号明細書に
開示されるように静電引力を利用して可動ミラーを揺動
する方式もある。これらの方式によれば、高速動作が可
能で、かつ生産性の高い偏向器を得ることができる。
い特許第２，７２２，３１４号明細書に開示されるよう
にＳｉ基板上に可動ミラーと当該可動ミラーを軸支する
トーションバーを一体形成したガルバノミラーが提案さ
れている。また、特許第３，０１１，１４４号明細書に
開示されるように静電引力を利用して可動ミラーを揺動
する方式もある。これらの方式によれば、高速動作が可
能で、かつ生産性の高い偏向器を得ることができる。
【０００４】このようにＳｉ基板上に可動ミラーを形成
する方式においては、可動ミラーに与える引力または反
発力の周期を可動ミラーの固有振動数に合わせて共振振
動させることで、ポリゴンミラーよりも高速でビームを
走査することが可能であるという利点がある。
する方式においては、可動ミラーに与える引力または反
発力の周期を可動ミラーの固有振動数に合わせて共振振
動させることで、ポリゴンミラーよりも高速でビームを
走査することが可能であるという利点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、振れ角θは
可動ミラーを支えるトーションバーの弾性係数Ｇ、断面
２次モーメントＩ、長さＬで決まるばね定数Ｋと与えら
れるトルクＴにより以下の式で表される。
可動ミラーを支えるトーションバーの弾性係数Ｇ、断面
２次モーメントＩ、長さＬで決まるばね定数Ｋと与えら
れるトルクＴにより以下の式で表される。
【０００６】θ＝Ｔ／Ｋ ここで、Ｋ＝ＧＩ／Ｌ
【０００７】また、可動ミラーの共振周波数φは慣性モ
ーメントＪとすると
ーメントＪとすると
【０００８】φ＝√Ｋ／Ｊ
【０００９】となり、速度つまり共振周波数と振れ角と
は相反する関係のため、一般に振れ角は１０°以下程度
でポリゴンミラーと同程度(４０°程度)まで走査角を広
げるのは物性上困難とされる。このため、ポリゴンミラ
ーの代用として記録幅を確保するには光路長(偏向面と
被走査面との間の距離)を長くとる必要があり偏向器と
しては微小となるが光走査装置全体としては大型化して
しまうという欠点があった。
は相反する関係のため、一般に振れ角は１０°以下程度
でポリゴンミラーと同程度(４０°程度)まで走査角を広
げるのは物性上困難とされる。このため、ポリゴンミラ
ーの代用として記録幅を確保するには光路長(偏向面と
被走査面との間の距離)を長くとる必要があり偏向器と
しては微小となるが光走査装置全体としては大型化して
しまうという欠点があった。
【００１０】本発明はこれらの問題点を解決するための
ものであり、共振振動によって揺動する可動ミラーを用
い、その小型化、高速化のメリットが活かせると共に、
低電力で高速記録ができ、良好な画像品質が得られる光
走査装置及び画像形成装置を提供することを目的とす
る。
ものであり、共振振動によって揺動する可動ミラーを用
い、その小型化、高速化のメリットが活かせると共に、
低電力で高速記録ができ、良好な画像品質が得られる光
走査装置及び画像形成装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに、画像データに応じて変調する発光源と、支持基体
に設けられた一対のトーションバーで支持され、トーシ
ョンバーを回転軸として揺動可能としてなる可動ミラー
と、トーションバーを挟む可動ミラーの両端部に設けら
れ、印加する駆動電圧を切り換えることで、支持基板と
可動ミラーとの間に引力又は反発力を周期的に発生させ
て可動ミラーを揺動させる可動ミラー揺動手段とを有す
る単位モジュールを、主走査方向に複数配列し、発光源
から射出された光ビームを揺動する可動ミラーによって
主走査方向に走査させて各々の被走査域をつなぎ合わせ
て画像記録を行うことに特徴がある。よって、一走査を
分割し単位モジュールあたりの走査幅を小さくすること
で、共振を利用して揺動できる範囲内に可動ミラーの振
れ角を抑えられ、走査周波数を上げることができ高速化
できるうえ、起動時に与える電力も小さくて済むので省
電力化できる。
めに、画像データに応じて変調する発光源と、支持基体
に設けられた一対のトーションバーで支持され、トーシ
ョンバーを回転軸として揺動可能としてなる可動ミラー
と、トーションバーを挟む可動ミラーの両端部に設けら
れ、印加する駆動電圧を切り換えることで、支持基板と
可動ミラーとの間に引力又は反発力を周期的に発生させ
て可動ミラーを揺動させる可動ミラー揺動手段とを有す
る単位モジュールを、主走査方向に複数配列し、発光源
から射出された光ビームを揺動する可動ミラーによって
主走査方向に走査させて各々の被走査域をつなぎ合わせ
て画像記録を行うことに特徴がある。よって、一走査を
分割し単位モジュールあたりの走査幅を小さくすること
で、共振を利用して揺動できる範囲内に可動ミラーの振
れ角を抑えられ、走査周波数を上げることができ高速化
できるうえ、起動時に与える電力も小さくて済むので省
電力化できる。
【００１２】また、発光源を変調する画素周波数を前記
可動ミラーの揺動量に応じて可変する画素周波数可変手
段を有することにより、振動周波数の修正に伴う記録幅
(倍率)のずれを補正できるので隣接するモジュールとの
画像端の継ぎ目を一致させ、良好な画像を得ることがで
きる。
可動ミラーの揺動量に応じて可変する画素周波数可変手
段を有することにより、振動周波数の修正に伴う記録幅
(倍率)のずれを補正できるので隣接するモジュールとの
画像端の継ぎ目を一致させ、良好な画像を得ることがで
きる。
【００１３】更に、被走査域外に、可動ミラーで偏向さ
れた光ビーム位置を検出するビーム検出手段を走査開始
端及び走査終端の各々に設け、各ビーム検出手段の間の
走査時間を基準として画素周波数可変手段による画素周
波数を可変することにより、走査時間を計測し、その結
果に応じて記録ドット位置のずれを補正するので、環境
変化や経時変化があっても記録幅を安定的に保ち、隣接
するモジュールとの画像端の継ぎ目を一致させ、良好な
画像を得ることができる。
れた光ビーム位置を検出するビーム検出手段を走査開始
端及び走査終端の各々に設け、各ビーム検出手段の間の
走査時間を基準として画素周波数可変手段による画素周
波数を可変することにより、走査時間を計測し、その結
果に応じて記録ドット位置のずれを補正するので、環境
変化や経時変化があっても記録幅を安定的に保ち、隣接
するモジュールとの画像端の継ぎ目を一致させ、良好な
画像を得ることができる。
【００１４】また、画素周波数可変手段は発光源を変調
する画素周波数を一走査内で複数段階に可変することに
より、空気抵抗などによるミラー揺動速度の理想変位角
速度からのずれに伴う記録ドット位置のずれを補正でき
るので、被走査面での等速性を確保できドット位置ずれ
のない良好な画像を得ることができる。
する画素周波数を一走査内で複数段階に可変することに
より、空気抵抗などによるミラー揺動速度の理想変位角
速度からのずれに伴う記録ドット位置のずれを補正でき
るので、被走査面での等速性を確保できドット位置ずれ
のない良好な画像を得ることができる。
【００１５】更に、発光源から射出される光量を可変す
るために発光源に供給する駆動電流を可変する駆動電流
可変手段を有し、画素周波数に対応して駆動電流を可変
することにより、画素周波数の変化に伴う１ドットの点
灯時間のずれに対応して光量を可変したので、その積分
で表される被走査面を露光するエネルギーを均一化で
き、濃度むらのない良好な画像を得ることができる。
るために発光源に供給する駆動電流を可変する駆動電流
可変手段を有し、画素周波数に対応して駆動電流を可変
することにより、画素周波数の変化に伴う１ドットの点
灯時間のずれに対応して光量を可変したので、その積分
で表される被走査面を露光するエネルギーを均一化で
き、濃度むらのない良好な画像を得ることができる。
【００１６】また、被走査域外において可動ミラーで偏
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に各走査開始端に設け、可動ミラー揺動
手段に印加する駆動電圧のタイミングを基準としてビー
ム位置検出手段から出力される検出信号のうち、画像書
き出しの基準信号として用いる検出信号を切替えること
により、駆動電圧のタイミングでビーム検出手段で検出
されるビームの走査方向を判別できるので、双方向での
走査によっても、誤検知されることなく各走査に対応し
て確実に検出信号を得ることができる。
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に各走査開始端に設け、可動ミラー揺動
手段に印加する駆動電圧のタイミングを基準としてビー
ム位置検出手段から出力される検出信号のうち、画像書
き出しの基準信号として用いる検出信号を切替えること
により、駆動電圧のタイミングでビーム検出手段で検出
されるビームの走査方向を判別できるので、双方向での
走査によっても、誤検知されることなく各走査に対応し
て確実に検出信号を得ることができる。
【００１７】更に、被走査域外において可動ミラーで偏
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に設け、ビーム検出手段の検出面内で折
り返して往復走査することにより、ビーム検出手段内で
折り返し双方向で単一の検出信号しか得られないように
したので、ビームの走査方向を判別しなくても各走査に
対応して確実に検出信号を得ることができる。
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に設け、ビーム検出手段の検出面内で折
り返して往復走査することにより、ビーム検出手段内で
折り返し双方向で単一の検出信号しか得られないように
したので、ビームの走査方向を判別しなくても各走査に
対応して確実に検出信号を得ることができる。
【００１８】また、被走査域が隣接する単位モジュール
の間で副走査方向に一走査ピッチずつずらして単位モジ
ュールを配列すると共に、ミラー揺動手段に印加する駆
動電圧のタイミング位相を略一致することにより、分割
位置において良好に画像を継ぎ合わせることができるう
え、一方の単位モジュールの終端を走査途中のビームと
他方の単位モジュールの開始端を走査途中のビームが重
複して同じビーム検出手段に入射するのを防止でき、各
走査に対応して確実に検出信号を得ることができる。
の間で副走査方向に一走査ピッチずつずらして単位モジ
ュールを配列すると共に、ミラー揺動手段に印加する駆
動電圧のタイミング位相を略一致することにより、分割
位置において良好に画像を継ぎ合わせることができるう
え、一方の単位モジュールの終端を走査途中のビームと
他方の単位モジュールの開始端を走査途中のビームが重
複して同じビーム検出手段に入射するのを防止でき、各
走査に対応して確実に検出信号を得ることができる。
【００１９】更に、各単位モジュール毎に発光源からの
光ビームを可動ミラーで往復偏向し被走査域を双方向に
光走査すると共に、画像データを一走査おきに一時保存
する一対のバッファ手段を有し、各バッファ手段から読
み出される画像データ順を反転させて、ミラー揺動手段
に印加する駆動電圧のタイミングを基準として読み出す
バッファ手段を交互に切替えることにより、印加する駆
動電圧タイミングでビームの走査方向を判別できるの
で、双方向での走査によっても記録画像データの正反転
を誤ることなく各走査の同期検知信号(走査開始端での
ビーム位置検出信号)に対応して確実に割り振ることが
できる。
光ビームを可動ミラーで往復偏向し被走査域を双方向に
光走査すると共に、画像データを一走査おきに一時保存
する一対のバッファ手段を有し、各バッファ手段から読
み出される画像データ順を反転させて、ミラー揺動手段
に印加する駆動電圧のタイミングを基準として読み出す
バッファ手段を交互に切替えることにより、印加する駆
動電圧タイミングでビームの走査方向を判別できるの
で、双方向での走査によっても記録画像データの正反転
を誤ることなく各走査の同期検知信号(走査開始端での
ビーム位置検出信号)に対応して確実に割り振ることが
できる。
【００２０】また、別の発明としての画像形成装置は、
単色の画像形成を行う画像形成部に対して、１ライン分
の画像データをモジュール数に分割して画像記録を行う
ことに特徴がある。
単色の画像形成を行う画像形成部に対して、１ライン分
の画像データをモジュール数に分割して画像記録を行う
ことに特徴がある。
【００２１】更に、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の各々に
配備し、各色に対応した画像データにより個別に画像記
録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の各々に
配備し、各色に対応した画像データにより個別に画像記
録を行うことに特徴がある。
【００２２】また、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部に対して
共用配備し、各色に対応した画像データにより時系列に
画像記録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部に対して
共用配備し、各色に対応した画像データにより時系列に
画像記録を行うことに特徴がある。
【００２３】更に、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の１又は
複数色に対して共用配備し、各色に対応した画像データ
により時系列に画像記録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の１又は
複数色に対して共用配備し、各色に対応した画像データ
により時系列に画像記録を行うことに特徴がある。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明の光走査装置は、画像デー
タに応じて変調する発光源と、支持基体に設けられた一
対のトーションバーで支持され、トーションバーを回転
軸として揺動可能としてなる可動ミラーと、トーション
バーを挟む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆
動電圧を切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの
間に引力又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを
揺動させる可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュー
ルを、主走査方向に複数配列し、発光源から射出された
光ビームを揺動する可動ミラーによって主走査方向に走
査させて各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行
う。
タに応じて変調する発光源と、支持基体に設けられた一
対のトーションバーで支持され、トーションバーを回転
軸として揺動可能としてなる可動ミラーと、トーション
バーを挟む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆
動電圧を切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの
間に引力又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを
揺動させる可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュー
ルを、主走査方向に複数配列し、発光源から射出された
光ビームを揺動する可動ミラーによって主走査方向に走
査させて各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行
う。
【００２５】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例に係る光走査装
置の構成を示す分解斜視図である。図２は本実施例の光
走査装置の構成を示す断面図である。なお、両図に示す
第１の実施例の光走査装置は可動ミラー１００を静電引
力で駆動する方式である。両図において、ミラー基板１
０６は第１のＳｉ基板１０２及び第２のＳｉ基板１０３
を接合して構成される。可動ミラー１００及び可動ミラ
ー１００を軸支するトーションバー１０１は第１のＳｉ
基板１０２をエッチングにより貫通して形成する。中央
部には金属被膜を蒸着するなどしてミラー面を形成し、
トーションバー１０１を挟んでミラーの両端部は櫛形に
凹凸のある平面形状となし、その側面には電極１０４を
形成する。第２のＳｉ基板１０３にはミラー部の揺動空
間として上記櫛形に合わせて数十μｍの間隔をもって互
い違いに重なり合う凹凸のある斜面を形成した台形断面
の凹部が設けられ、可動ミラー１００の支持基板をな
す。上記凹凸斜面とその側面には台形断面の底面にかけ
て電極１０４に対向して固定電極１０５、１１８を形成
しており、この固定電極１０５、１１８に交互に電圧を
印加することにより電極間で静電引力を発生させ可動ミ
ラー１００を揺動することができる。
置の構成を示す分解斜視図である。図２は本実施例の光
走査装置の構成を示す断面図である。なお、両図に示す
第１の実施例の光走査装置は可動ミラー１００を静電引
力で駆動する方式である。両図において、ミラー基板１
０６は第１のＳｉ基板１０２及び第２のＳｉ基板１０３
を接合して構成される。可動ミラー１００及び可動ミラ
ー１００を軸支するトーションバー１０１は第１のＳｉ
基板１０２をエッチングにより貫通して形成する。中央
部には金属被膜を蒸着するなどしてミラー面を形成し、
トーションバー１０１を挟んでミラーの両端部は櫛形に
凹凸のある平面形状となし、その側面には電極１０４を
形成する。第２のＳｉ基板１０３にはミラー部の揺動空
間として上記櫛形に合わせて数十μｍの間隔をもって互
い違いに重なり合う凹凸のある斜面を形成した台形断面
の凹部が設けられ、可動ミラー１００の支持基板をな
す。上記凹凸斜面とその側面には台形断面の底面にかけ
て電極１０４に対向して固定電極１０５、１１８を形成
しており、この固定電極１０５、１１８に交互に電圧を
印加することにより電極間で静電引力を発生させ可動ミ
ラー１００を揺動することができる。
【００２６】また、第１のＳｉ基板１０２の表面には、
入力される駆動周波数に応じて固定電極１０５，１１８
への印加電圧をスイッチングする駆動回路１１４を堆積
して形成している。光源基板１０７は焼結金属等で形成
し、接合面と垂直に形成したＬＤ実装面にＬＤチップ１
０８を、また位置決め溝１０９に円筒状のカップリング
レンズ１１０を接合してなる。カップリングレンズ１１
０は２群構成で前玉を軸対称の非球面レンズと、後玉を
副走査方向に曲率を有するシリンダレンズとに形成され
たレンズである。溝１０９はカップリングレンズ１１０
の円筒外周面が当接した際、光軸がＬＤチップ１０８の
発光点に合うように幅が設定されている。また、光軸方
向の調整にて発散光束を主走査方向には略平行光束に、
副走査方向には集束光束となし各々接着固定する。スペ
ーサ基板１１１はＳｉ基板の中央部をエッチングにより
貫通した枠状となし、内側端面の一辺にはＬＤチップ１
０８からのビームを下向きに折り返すミラー斜面１１
２、対向する端面にはＬＤチップ１０８の背面光を受光
するＰＤ１１３がＧａＡｓ層等を堆積して形成されてい
る。端子基板１１６はセラミック等で形成され、ワイヤ
ボンディング等で上記したＬＤチップ１０８、ＰＤ１１
３、駆動回路１１４との配線を行う複数のリード端子１
１５を備え、外部回路への接続を行う。そして、ミラー
基板１０６、光源基板１０７、スペーサ基板１１１は順
に端子基板１１６上に重ね合せて接合され、板ガラス等
の窓基板１１７で封止して光走査装置の単位モジュール
を構成する。
入力される駆動周波数に応じて固定電極１０５，１１８
への印加電圧をスイッチングする駆動回路１１４を堆積
して形成している。光源基板１０７は焼結金属等で形成
し、接合面と垂直に形成したＬＤ実装面にＬＤチップ１
０８を、また位置決め溝１０９に円筒状のカップリング
レンズ１１０を接合してなる。カップリングレンズ１１
０は２群構成で前玉を軸対称の非球面レンズと、後玉を
副走査方向に曲率を有するシリンダレンズとに形成され
たレンズである。溝１０９はカップリングレンズ１１０
の円筒外周面が当接した際、光軸がＬＤチップ１０８の
発光点に合うように幅が設定されている。また、光軸方
向の調整にて発散光束を主走査方向には略平行光束に、
副走査方向には集束光束となし各々接着固定する。スペ
ーサ基板１１１はＳｉ基板の中央部をエッチングにより
貫通した枠状となし、内側端面の一辺にはＬＤチップ１
０８からのビームを下向きに折り返すミラー斜面１１
２、対向する端面にはＬＤチップ１０８の背面光を受光
するＰＤ１１３がＧａＡｓ層等を堆積して形成されてい
る。端子基板１１６はセラミック等で形成され、ワイヤ
ボンディング等で上記したＬＤチップ１０８、ＰＤ１１
３、駆動回路１１４との配線を行う複数のリード端子１
１５を備え、外部回路への接続を行う。そして、ミラー
基板１０６、光源基板１０７、スペーサ基板１１１は順
に端子基板１１６上に重ね合せて接合され、板ガラス等
の窓基板１１７で封止して光走査装置の単位モジュール
を構成する。
【００２７】このように構成された光走査装置の単位モ
ジュールによれば、ＬＤチップ１０８より射出された光
ビームはカップリングレンズ１１０、端面ミラー１１２
を介して可動ミラー１００に入射される。可動ミラー１
００はトーションバー１０１を回転軸として往復振動
し、可動ミラー１００に入射されたビームは上向きに反
射、偏向されて、単位モジュールより射出され走査され
る。射出されるビーム径は上記したミラー斜面１１２又
は可動ミラー１００の外径を所定サイズとし、その外径
より大きなビームを照射して反射された部分のみを取り
出すことにより規定される。
ジュールによれば、ＬＤチップ１０８より射出された光
ビームはカップリングレンズ１１０、端面ミラー１１２
を介して可動ミラー１００に入射される。可動ミラー１
００はトーションバー１０１を回転軸として往復振動
し、可動ミラー１００に入射されたビームは上向きに反
射、偏向されて、単位モジュールより射出され走査され
る。射出されるビーム径は上記したミラー斜面１１２又
は可動ミラー１００の外径を所定サイズとし、その外径
より大きなビームを照射して反射された部分のみを取り
出すことにより規定される。
【００２８】次に、図１及び図２に示す第１の実施例の
光走査装置の単位モジュールを複数、例えば図３に示す
ように３基の単位モジュール２０８，２０９，２１０を
配列して光走査装置を構成する。単位モジュール２０８
において走査されたビームは走査レンズ２０１、２０２
により被走査面２０３に結像され画像記録が行われる。
図３に示す例では１ライン分の記録幅を３基の単位モジ
ュール２０８〜２１０で分割して記録するようにしてお
り、単位モジュール２０８〜２１０は回路基板２０４上
に主走査方向を合わせて配列される。各単位モジュール
では可動ミラーの往復振動により双方向に画像が記録さ
れるが、例えば単位モジュール２０８においてその画像
記録域外の両端に配備したミラー２０５，２１３により
回路基板２０４方向へ折り返して、回路基板上に実装し
たＰＤ２０６，２０７により往復各々の走査開始側、走
査終端側のビーム位置検出を行う。単位モジュール２０
９，２１０も同様であるので説明を省略する。
光走査装置の単位モジュールを複数、例えば図３に示す
ように３基の単位モジュール２０８，２０９，２１０を
配列して光走査装置を構成する。単位モジュール２０８
において走査されたビームは走査レンズ２０１、２０２
により被走査面２０３に結像され画像記録が行われる。
図３に示す例では１ライン分の記録幅を３基の単位モジ
ュール２０８〜２１０で分割して記録するようにしてお
り、単位モジュール２０８〜２１０は回路基板２０４上
に主走査方向を合わせて配列される。各単位モジュール
では可動ミラーの往復振動により双方向に画像が記録さ
れるが、例えば単位モジュール２０８においてその画像
記録域外の両端に配備したミラー２０５，２１３により
回路基板２０４方向へ折り返して、回路基板上に実装し
たＰＤ２０６，２０７により往復各々の走査開始側、走
査終端側のビーム位置検出を行う。単位モジュール２０
９，２１０も同様であるので説明を省略する。
【００２９】図３に示す例では可動ミラーの最大振れ角
は±５°で、その内±３°(θ)を被走査域に、その外側
の３〜５°での走査角内にＰＤ２０６，２０７を配置す
る。隣接する単位モジュール２０９とは３〜５°での走
査域の一部を重なり合うようにし、ＰＤ２０７について
は単位モジュール２０９のビーム位置検出にも共用で用
いられる。なお、走査レンズ２０２は各モジュールで連
続的に一体化して樹脂成形しているが、各々個別に設け
ても同様である。
は±５°で、その内±３°(θ)を被走査域に、その外側
の３〜５°での走査角内にＰＤ２０６，２０７を配置す
る。隣接する単位モジュール２０９とは３〜５°での走
査域の一部を重なり合うようにし、ＰＤ２０７について
は単位モジュール２０９のビーム位置検出にも共用で用
いられる。なお、走査レンズ２０２は各モジュールで連
続的に一体化して樹脂成形しているが、各々個別に設け
ても同様である。
【００３０】なお、図３に示す例では駆動電圧を低減す
るため、櫛形形状として対向する電極の面積を拡大して
いるが、これに限らない。
るため、櫛形形状として対向する電極の面積を拡大して
いるが、これに限らない。
【００３１】図４は本発明の第２の実施例に係る光走査
装置の構成を示す分解斜視図である。図５は断面図であ
る。なお、両図に示す第２の実施例の光走査装置は、可
動ミラー３０２を電磁力で駆動する方式である。両図に
おいて、ミラー基板３０１は図５に示すようにＳｉ基板
３０４と金属製のヨーク基板３０６を接合し構成され
る。可動ミラー３０２及び可動ミラー３０２を軸支する
トーションバー３０３は第１の実施例と同様、Ｓｉ基板
３０４をエッチングにより貫通して形成する。中央部に
金属蒸着などにより形成されたミラーを、周縁にはトー
ションバー３０３を通して引き込まれた配線により渦巻
状にパターンニングされた薄膜コイル３０５を形成して
いる。なお、薄膜コイル３０５はミラー面の裏側に配備
してもよい。ヨーク基板３０６は中央部に貫通穴を形成
し可動ミラーの揺動空間を確保した支持基板をなす。一
対のマグネット３０７、３０８はＮ極とＳ極を対向して
トーションバー３０３に対して対称に配置され、ヨーク
基板３０６の貫通穴側面に固定される。薄膜コイル３０
５に電流を流すとマグネット３０７，３０８による磁場
との相互作用により薄膜コイル３０５のトーションバー
３０３を挟んだ両端部で一定回転方向にローレンツ力を
生じ、この電流の方向を切り換えることで可動ミラー３
０２を揺動することができる。第１の実施例と同様、Ｓ
ｉ基板３０４の表面には、入力される駆動周波数に応じ
て薄膜コイル３０５への印加電圧をスイッチングする駆
動回路３０９を堆積して形成している。ミラー基板３０
１は、第１の実施例と同様に構成した光源基板３１０、
スペーサ基板３１１と共に順に端子基板３１２上に重ね
合せて接合され、窓基板３１３で封止して単位モジュー
ルを構成する。なお、単位モジュール以外の構成は第１
の実施例と同様のため、説明を省略する。
装置の構成を示す分解斜視図である。図５は断面図であ
る。なお、両図に示す第２の実施例の光走査装置は、可
動ミラー３０２を電磁力で駆動する方式である。両図に
おいて、ミラー基板３０１は図５に示すようにＳｉ基板
３０４と金属製のヨーク基板３０６を接合し構成され
る。可動ミラー３０２及び可動ミラー３０２を軸支する
トーションバー３０３は第１の実施例と同様、Ｓｉ基板
３０４をエッチングにより貫通して形成する。中央部に
金属蒸着などにより形成されたミラーを、周縁にはトー
ションバー３０３を通して引き込まれた配線により渦巻
状にパターンニングされた薄膜コイル３０５を形成して
いる。なお、薄膜コイル３０５はミラー面の裏側に配備
してもよい。ヨーク基板３０６は中央部に貫通穴を形成
し可動ミラーの揺動空間を確保した支持基板をなす。一
対のマグネット３０７、３０８はＮ極とＳ極を対向して
トーションバー３０３に対して対称に配置され、ヨーク
基板３０６の貫通穴側面に固定される。薄膜コイル３０
５に電流を流すとマグネット３０７，３０８による磁場
との相互作用により薄膜コイル３０５のトーションバー
３０３を挟んだ両端部で一定回転方向にローレンツ力を
生じ、この電流の方向を切り換えることで可動ミラー３
０２を揺動することができる。第１の実施例と同様、Ｓ
ｉ基板３０４の表面には、入力される駆動周波数に応じ
て薄膜コイル３０５への印加電圧をスイッチングする駆
動回路３０９を堆積して形成している。ミラー基板３０
１は、第１の実施例と同様に構成した光源基板３１０、
スペーサ基板３１１と共に順に端子基板３１２上に重ね
合せて接合され、窓基板３１３で封止して単位モジュー
ルを構成する。なお、単位モジュール以外の構成は第１
の実施例と同様のため、説明を省略する。
【００３２】図６は単位モジュールの制御回路を示すブ
ロック図である。同図において、可動ミラーの駆動回路
４０１には駆動周波数可変手段４０２よりＴＴＬレベル
の矩形波からなる各単位モジュールで共通の駆動周波数
ｆｄが印加される。駆動周波数可変手段４０２は基準発
振器４０３からのクロックを分周し周波数ｆｄを可変す
る。各単位モジュールでは可動ミラーの共振周波数ピー
クに若干の差があるため、駆動周波数可変手段４０２で
はそのばらつき幅のほぼ中央値を選択するように駆動周
波数ｆｄを設定する。この際、駆動電圧を調整すること
により、共振周波数がピークからずれていても、振れ角
を均一とすることができる。画素周波数可変手段４０４
は設定した駆動周波数ｆｄに比例倍して画素周波数ｆｍ
を設定することで可動ミラーの共振振動数のばらつきに
より走査速度が変化しても記録幅(走査倍率)が変わらな
いようにしている。また、上述したように第１、第２の
実施例では単位モジュールの画像域外の両端においてビ
ームを検出するＰＤ４０６，４０７によって検出された
両端での検出信号の時間差を倍率計測手段４０５で計測
し、この初期値との比較により経時的な変動、例えば走
査レンズの温度膨張や屈折率変動、ＬＤの波長変化によ
る被走査面での走査速度のずれ、を見込んで単位モジュ
ール毎に記録幅を補正することもできる。更に、画素周
波数を一走査内で変化させてもよく、例えば可動ミラー
の回転に対向する空気抵抗や電極間ギャップ変化に伴う
静電引力の変動により揺動の回転速度が理想値から非線
型に加減速があっても、それに対応した補正データ４０
８、図６に示す例では階段状に近似した補正データを付
加することにより複数段階に画素周波数を切り換えれ
ば、部分的な主走査ドットピッチの伸縮を補正し、被走
査面上で均等なピッチとすることができる。図６に示す
例では全ての単位モジュールについて同一の駆動周波数
を与え、画素周波数は単位モジュール毎に与えるように
しているが、駆動周波数を個別に設定しても、画素周波
数を共通に設定してもよい。
ロック図である。同図において、可動ミラーの駆動回路
４０１には駆動周波数可変手段４０２よりＴＴＬレベル
の矩形波からなる各単位モジュールで共通の駆動周波数
ｆｄが印加される。駆動周波数可変手段４０２は基準発
振器４０３からのクロックを分周し周波数ｆｄを可変す
る。各単位モジュールでは可動ミラーの共振周波数ピー
クに若干の差があるため、駆動周波数可変手段４０２で
はそのばらつき幅のほぼ中央値を選択するように駆動周
波数ｆｄを設定する。この際、駆動電圧を調整すること
により、共振周波数がピークからずれていても、振れ角
を均一とすることができる。画素周波数可変手段４０４
は設定した駆動周波数ｆｄに比例倍して画素周波数ｆｍ
を設定することで可動ミラーの共振振動数のばらつきに
より走査速度が変化しても記録幅(走査倍率)が変わらな
いようにしている。また、上述したように第１、第２の
実施例では単位モジュールの画像域外の両端においてビ
ームを検出するＰＤ４０６，４０７によって検出された
両端での検出信号の時間差を倍率計測手段４０５で計測
し、この初期値との比較により経時的な変動、例えば走
査レンズの温度膨張や屈折率変動、ＬＤの波長変化によ
る被走査面での走査速度のずれ、を見込んで単位モジュ
ール毎に記録幅を補正することもできる。更に、画素周
波数を一走査内で変化させてもよく、例えば可動ミラー
の回転に対向する空気抵抗や電極間ギャップ変化に伴う
静電引力の変動により揺動の回転速度が理想値から非線
型に加減速があっても、それに対応した補正データ４０
８、図６に示す例では階段状に近似した補正データを付
加することにより複数段階に画素周波数を切り換えれ
ば、部分的な主走査ドットピッチの伸縮を補正し、被走
査面上で均等なピッチとすることができる。図６に示す
例では全ての単位モジュールについて同一の駆動周波数
を与え、画素周波数は単位モジュール毎に与えるように
しているが、駆動周波数を個別に設定しても、画素周波
数を共通に設定してもよい。
【００３３】また、ＬＤ駆動電流可変手段４０９は画素
周波数可変手段４０４で設定された周波数に応じて反比
例倍にＬＤ４１１に印加する電流を制御し、１ドットあ
たりのエネルギー量が均一となるようにしている。バッ
ファ４１２，４１３は画像データを一走査ラインおきに
振り分けて各々データを一時的に保存し、記録開始のタ
イミング、各走査方向において開始側となるビーム位置
検出信号から所定時間後にあわせてバッファ４１２から
は先頭ドットより、バッファ４１３からは末尾ドットよ
り読み出されてＬＤ４１１を変調し双方向に画像記録が
行われる。なお、図６に示す例では双方向に画像を記録
するようにしているが、一走査ラインおきに画像を記録
することもでき、いずれか一方向のみに記録方向を統一
しても構わない。
周波数可変手段４０４で設定された周波数に応じて反比
例倍にＬＤ４１１に印加する電流を制御し、１ドットあ
たりのエネルギー量が均一となるようにしている。バッ
ファ４１２，４１３は画像データを一走査ラインおきに
振り分けて各々データを一時的に保存し、記録開始のタ
イミング、各走査方向において開始側となるビーム位置
検出信号から所定時間後にあわせてバッファ４１２から
は先頭ドットより、バッファ４１３からは末尾ドットよ
り読み出されてＬＤ４１１を変調し双方向に画像記録が
行われる。なお、図６に示す例では双方向に画像を記録
するようにしているが、一走査ラインおきに画像を記録
することもでき、いずれか一方向のみに記録方向を統一
しても構わない。
【００３４】図７は図３に示すビーム位置検出用のＰＤ
での検出信号と書込みに関連するタイミングを示すタイ
ムチャートである。なお、図７のＰＤ１及びＰＤ２は、
各々図３のＰＤ２０６及びＰＤ２０７に、図７の電極１
及び電極２は、各々図１の電極１０５及び電極１１８に
相当する。図７に示すようにＰＤ１，２においては双方
向にビームが通過するため、走査開始端、走査終端のい
ずれにおいても２つの連続した出力が得られる。従っ
て、この例では可動ミラーに与えられる駆動電圧のオン
・オフタイミングに合わせて一方のビーム検出信号のみ
を有効とするように制御することで走査されている方向
を認識し検出信号を選別するようにしている。つまり、
往方向での書込みの場合、電極１への印加電圧がオフ時
に検出されたＰＤ２の信号は走査終端側検知として扱
い、オフ時に検出されたＰＤ１の信号は走査開始側検知
として扱うようにすればよい。復方向での書込みも同様
である。これらの信号を基準として別途制御用の信号を
生成しても効果は同じである。この時、画像データを読
み出す対称となるバッファ手段についても駆動電圧のオ
ン・オフタイミングに合わせて一方のみを有効とするよ
うに切り換えることで、いずれの走査方向においても走
査開始側の検出信号と画像データとを１対１対応するこ
とができる。
での検出信号と書込みに関連するタイミングを示すタイ
ムチャートである。なお、図７のＰＤ１及びＰＤ２は、
各々図３のＰＤ２０６及びＰＤ２０７に、図７の電極１
及び電極２は、各々図１の電極１０５及び電極１１８に
相当する。図７に示すようにＰＤ１，２においては双方
向にビームが通過するため、走査開始端、走査終端のい
ずれにおいても２つの連続した出力が得られる。従っ
て、この例では可動ミラーに与えられる駆動電圧のオン
・オフタイミングに合わせて一方のビーム検出信号のみ
を有効とするように制御することで走査されている方向
を認識し検出信号を選別するようにしている。つまり、
往方向での書込みの場合、電極１への印加電圧がオフ時
に検出されたＰＤ２の信号は走査終端側検知として扱
い、オフ時に検出されたＰＤ１の信号は走査開始側検知
として扱うようにすればよい。復方向での書込みも同様
である。これらの信号を基準として別途制御用の信号を
生成しても効果は同じである。この時、画像データを読
み出す対称となるバッファ手段についても駆動電圧のオ
ン・オフタイミングに合わせて一方のみを有効とするよ
うに切り換えることで、いずれの走査方向においても走
査開始側の検出信号と画像データとを１対１対応するこ
とができる。
【００３５】また、図７に示す例では走査両端での検出
信号の時間差を計測し、この初期値との比較により経時
的な変動を見込んで記録幅を補正するようにしている
が、走査両端での検出信号の時間差は図中、Ｔ１、Ｔ２
に相当する。この変動分ΔＴ１、ΔＴ２に対応して画素
周波数を可変するが、ビーム検出から書込み開始までの
時間ｔ１、ｔ２をｔ１'＝ｔ１−ΔＴ１／２、ｔ２'＝ｔ
２−ΔＴ２／２とすることで、往復での記録位置を、画
像中央を基準として補正することができる。
信号の時間差を計測し、この初期値との比較により経時
的な変動を見込んで記録幅を補正するようにしている
が、走査両端での検出信号の時間差は図中、Ｔ１、Ｔ２
に相当する。この変動分ΔＴ１、ΔＴ２に対応して画素
周波数を可変するが、ビーム検出から書込み開始までの
時間ｔ１、ｔ２をｔ１'＝ｔ１−ΔＴ１／２、ｔ２'＝ｔ
２−ΔＴ２／２とすることで、往復での記録位置を、画
像中央を基準として補正することができる。
【００３６】一方、第２の実施例では印加電圧のオン・
オフを薄膜コイルに印加される電圧の正負に対応すれば
同様である。
オフを薄膜コイルに印加される電圧の正負に対応すれば
同様である。
【００３７】図８は別のタイミングを示すタイムチャー
トである。なお、図８の例はビーム位置検出用のＰＤに
おける別の例であってＰＤ内でビームが折り返すように
ＰＤ位置または振れ角を設定している。振れ角を設定す
るには駆動電圧を調整すればよく、可動ミラーの最大振
れ角でのビーム到達位置をＰＤの設置位置に合わせる。
これによると双方向にビームを走査しても出力は１つと
なり、立ち上がりを走査終端側検知、立ち下がりを走査
開始側検知として区別すれば走査方向を認識することが
できる。なお、実施例では隣接する単位モジュールで駆
動周波数の位相を０°としているので、各単位モジュー
ルで同時期に走査している方向は同一となり、隣接する
単位モジュールのビームが同じタイミングでビーム位置
検出用のＰＤに入ることはない。
トである。なお、図８の例はビーム位置検出用のＰＤに
おける別の例であってＰＤ内でビームが折り返すように
ＰＤ位置または振れ角を設定している。振れ角を設定す
るには駆動電圧を調整すればよく、可動ミラーの最大振
れ角でのビーム到達位置をＰＤの設置位置に合わせる。
これによると双方向にビームを走査しても出力は１つと
なり、立ち上がりを走査終端側検知、立ち下がりを走査
開始側検知として区別すれば走査方向を認識することが
できる。なお、実施例では隣接する単位モジュールで駆
動周波数の位相を０°としているので、各単位モジュー
ルで同時期に走査している方向は同一となり、隣接する
単位モジュールのビームが同じタイミングでビーム位置
検出用のＰＤに入ることはない。
【００３８】図９は被走査面の送りを考慮した各単位モ
ジュールの被走査面での走査ラインの様子を示す図であ
る。被走査面は走査開始から終了までの時間で一走査ピ
ッチＰ分送られ画像が記録される。そのため、図９の
（ａ）に示すように、隣接する単位モジュール間の振動
周波数の位相を０°とすると分割位置においては記録時
間にずれがあるため、一走査ピッチ分副走査ドット位置
がずれることになる。走査ラインの密度が細かい場合は
無視できるが、送り量に対して走査線密度が荒い場合は
分割位置が目立ちやすくなる。図９の（ａ）に示す例で
は記録開始点での副走査ドット位置が一走査ピッチＰ分
ずつずれるように隣接する単位モジュールの走査位置を
設定しておくことで画像を継ぎ合わせている。なお、隣
接する単位モジュールのビームが同じタイミングでビー
ム位置検出用のＰＤに入る可能性はあるが、図９の
（ｂ）に示すように、隣接するモジュール間の振動周波
数の位相を約１８０°、走査方向を相反する方向とする
ことにより、各走査ビームが同時刻に分割位置を通過す
るようにでき同様に被走査面の送りに伴う副走査ドット
位置ずれを生じないようにすることもできる。
ジュールの被走査面での走査ラインの様子を示す図であ
る。被走査面は走査開始から終了までの時間で一走査ピ
ッチＰ分送られ画像が記録される。そのため、図９の
（ａ）に示すように、隣接する単位モジュール間の振動
周波数の位相を０°とすると分割位置においては記録時
間にずれがあるため、一走査ピッチ分副走査ドット位置
がずれることになる。走査ラインの密度が細かい場合は
無視できるが、送り量に対して走査線密度が荒い場合は
分割位置が目立ちやすくなる。図９の（ａ）に示す例で
は記録開始点での副走査ドット位置が一走査ピッチＰ分
ずつずれるように隣接する単位モジュールの走査位置を
設定しておくことで画像を継ぎ合わせている。なお、隣
接する単位モジュールのビームが同じタイミングでビー
ム位置検出用のＰＤに入る可能性はあるが、図９の
（ｂ）に示すように、隣接するモジュール間の振動周波
数の位相を約１８０°、走査方向を相反する方向とする
ことにより、各走査ビームが同時刻に分割位置を通過す
るようにでき同様に被走査面の送りに伴う副走査ドット
位置ずれを生じないようにすることもできる。
【００３９】次に、上述した第１、第２の実施例に係る
光走査装置を搭載した電子写真プロセスを用いた画像形
成装置として、図１０にデジタル複写機、図１１にレー
ザプリンタ、図１２に普通紙ファクシミリの例を示す。
図１０において、デジタル複写機本体５００は、光走査
装置５０１と、用紙を収容するカセット５０２，５０
２’と、カセット５０２，５０２’から用紙を１枚ずつ
取り出す給紙ローラ５０３，５０３’と、搬送タイミン
グをコントロールするレジストローラ５０４と、転写帯
電器５０５と、感光体ドラム５０６及び現像ローラ５０
７並びに帯電ローラ５０８等が一体化されているプロセ
スカートリッジ５０９と、ハロゲンヒータが内蔵された
定着ローラ５１０と、加圧ローラで構成する定着器５１
１と、搬送ローラ５１２と、排紙ローラ５１３とを含ん
で構成されている。このような構成を有するデジタル複
写機における光走査装置５０１は画像信号に応じて半導
体レーザが変調され、帯電ローラ５０８によって一様に
帯電された感光体ドラム５０６上に潜像を形成し、現像
ローラ５０７から供給されるトナーによって顕像化され
る。一方、給紙ローラ５０３，５０３’によって取り出
された用紙はレジストローラ５０４によって光走査装置
の画像書き出しのタイミングに合わせて搬送されトナー
像が転写される。転写された画像は定着ローラ５１０及
び定着器５１１により定着されて搬送ローラ５１２、そ
して排紙ローラ５１３によって排紙される。また、図１
０において、原稿読取装置本体６００では、原稿台に固
定された原稿の読み取り部６０１における画像を結像レ
ンズ６０２を介してＣＣＤ等の光電変換素子６０３上に
結像させ、ミラー群６０４を移動して順次、電子データ
に変換する。なお、図１０に示すデジタル複写機はモノ
クロ複写機であるが、これに限定する必要はなく、フル
カラー複写機の場合、各色毎のプロセスカートリッジ毎
に本発明の光走査装置を設けるタイプ、フルカラー画像
形成を行う単一の画像形成部に対して設けるタイプや複
数の画像形成部からなるタイプの画像形成装置にも適用
できることは言うまでもない。
光走査装置を搭載した電子写真プロセスを用いた画像形
成装置として、図１０にデジタル複写機、図１１にレー
ザプリンタ、図１２に普通紙ファクシミリの例を示す。
図１０において、デジタル複写機本体５００は、光走査
装置５０１と、用紙を収容するカセット５０２，５０
２’と、カセット５０２，５０２’から用紙を１枚ずつ
取り出す給紙ローラ５０３，５０３’と、搬送タイミン
グをコントロールするレジストローラ５０４と、転写帯
電器５０５と、感光体ドラム５０６及び現像ローラ５０
７並びに帯電ローラ５０８等が一体化されているプロセ
スカートリッジ５０９と、ハロゲンヒータが内蔵された
定着ローラ５１０と、加圧ローラで構成する定着器５１
１と、搬送ローラ５１２と、排紙ローラ５１３とを含ん
で構成されている。このような構成を有するデジタル複
写機における光走査装置５０１は画像信号に応じて半導
体レーザが変調され、帯電ローラ５０８によって一様に
帯電された感光体ドラム５０６上に潜像を形成し、現像
ローラ５０７から供給されるトナーによって顕像化され
る。一方、給紙ローラ５０３，５０３’によって取り出
された用紙はレジストローラ５０４によって光走査装置
の画像書き出しのタイミングに合わせて搬送されトナー
像が転写される。転写された画像は定着ローラ５１０及
び定着器５１１により定着されて搬送ローラ５１２、そ
して排紙ローラ５１３によって排紙される。また、図１
０において、原稿読取装置本体６００では、原稿台に固
定された原稿の読み取り部６０１における画像を結像レ
ンズ６０２を介してＣＣＤ等の光電変換素子６０３上に
結像させ、ミラー群６０４を移動して順次、電子データ
に変換する。なお、図１０に示すデジタル複写機はモノ
クロ複写機であるが、これに限定する必要はなく、フル
カラー複写機の場合、各色毎のプロセスカートリッジ毎
に本発明の光走査装置を設けるタイプ、フルカラー画像
形成を行う単一の画像形成部に対して設けるタイプや複
数の画像形成部からなるタイプの画像形成装置にも適用
できることは言うまでもない。
【００４０】図１１において、レーザプリンタ７００
は、光走査装置７０１と、用紙を収容するカセット７０
２と、カセット７０２から用紙を１枚ずつ取り出す給紙
ローラ７０３と、搬送タイミングをコントロールするレ
ジストローラ７０４と、転写帯電器７０５と、感光体ド
ラム７０６、現像ローラ７０７及び帯電ローラ７０８等
が一体化されているプロセスカートリッジ７０９と、ハ
ロゲンヒータが内蔵された定着ローラ７１０と、加圧ロ
ーラで構成する定着器７１１と、排紙ローラ７１２とを
含んで構成されている。このような構成を有するレーザ
プリンタ７００における光走査装置７０１は上位装置か
らの画像信号に応じて半導体レーザが変調され、帯電ロ
ーラ７０８によって一様に帯電された感光体ドラム７０
６上に潜像を形成し、現像ローラ７０８から供給される
トナーによって顕像化される。一方、給紙ローラ７０３
によって取り出された用紙はレジストローラ７０４によ
って光走査装置の画像書き出しのタイミングに合わせて
搬送されトナー像が転写される。転写された画像は定着
ローラ７１０及び定着器７１１により定着されて排紙ロ
ーラ７１２によって排紙される。
は、光走査装置７０１と、用紙を収容するカセット７０
２と、カセット７０２から用紙を１枚ずつ取り出す給紙
ローラ７０３と、搬送タイミングをコントロールするレ
ジストローラ７０４と、転写帯電器７０５と、感光体ド
ラム７０６、現像ローラ７０７及び帯電ローラ７０８等
が一体化されているプロセスカートリッジ７０９と、ハ
ロゲンヒータが内蔵された定着ローラ７１０と、加圧ロ
ーラで構成する定着器７１１と、排紙ローラ７１２とを
含んで構成されている。このような構成を有するレーザ
プリンタ７００における光走査装置７０１は上位装置か
らの画像信号に応じて半導体レーザが変調され、帯電ロ
ーラ７０８によって一様に帯電された感光体ドラム７０
６上に潜像を形成し、現像ローラ７０８から供給される
トナーによって顕像化される。一方、給紙ローラ７０３
によって取り出された用紙はレジストローラ７０４によ
って光走査装置の画像書き出しのタイミングに合わせて
搬送されトナー像が転写される。転写された画像は定着
ローラ７１０及び定着器７１１により定着されて排紙ロ
ーラ７１２によって排紙される。
【００４１】図１２において、普通紙ファクシミリ８０
０は、光走査装置８０１と、用紙を収容するカセット８
０２と、カセット８０２から用紙を１枚ずつ取り出す給
紙ローラ８０３と、搬送タイミングをコントロールする
レジストローラ８０４と、転写帯電器８０５と、感光体
ドラム８０６、現像ローラ８０７及び帯電ローラ８０８
等が一体化されているプロセスカートリッジ８０９と、
ハロゲンヒータが内蔵された定着ローラ８１０と、加圧
ローラで構成する定着器８１１と、原稿台８１２から原
稿を取り出す給紙ローラ８１３と、原稿を副走査方向に
搬送する搬送ローラ対８１４，８１５と、原稿の画像を
光学的に読み取る読み取り部８１６とを含んで構成され
ている。原稿台８１２から給紙ローラ８１３によって送
り出された原稿の画像は搬送ローラ対８１４，８１５に
より搬送されながら順次、読み取り部８１６によって電
子データに変換する。普通紙ファクシミリ８００は上述
のように読み取った読み取り部８１６からの画像信号を
図示していない通信部によって送信し、また通信部を介
して受信した画像信号に応じて光走査装置８０１におけ
る半導体レーザが変調され、帯電ローラ８０８によって
一様に帯電された感光体ドラム８０６上に潜像を形成
し、現像ローラ８０７から供給されるトナーによって顕
像化される。一方、給紙ローラ８０３によって取り出さ
れた用紙はレジストローラ８０４によって光走査装置の
画像書き出しのタイミングに合わせて搬送されトナー像
が転写される。転写された画像は定着ローラ８１０及び
定着器８１１により定着されて排紙される。
０は、光走査装置８０１と、用紙を収容するカセット８
０２と、カセット８０２から用紙を１枚ずつ取り出す給
紙ローラ８０３と、搬送タイミングをコントロールする
レジストローラ８０４と、転写帯電器８０５と、感光体
ドラム８０６、現像ローラ８０７及び帯電ローラ８０８
等が一体化されているプロセスカートリッジ８０９と、
ハロゲンヒータが内蔵された定着ローラ８１０と、加圧
ローラで構成する定着器８１１と、原稿台８１２から原
稿を取り出す給紙ローラ８１３と、原稿を副走査方向に
搬送する搬送ローラ対８１４，８１５と、原稿の画像を
光学的に読み取る読み取り部８１６とを含んで構成され
ている。原稿台８１２から給紙ローラ８１３によって送
り出された原稿の画像は搬送ローラ対８１４，８１５に
より搬送されながら順次、読み取り部８１６によって電
子データに変換する。普通紙ファクシミリ８００は上述
のように読み取った読み取り部８１６からの画像信号を
図示していない通信部によって送信し、また通信部を介
して受信した画像信号に応じて光走査装置８０１におけ
る半導体レーザが変調され、帯電ローラ８０８によって
一様に帯電された感光体ドラム８０６上に潜像を形成
し、現像ローラ８０７から供給されるトナーによって顕
像化される。一方、給紙ローラ８０３によって取り出さ
れた用紙はレジストローラ８０４によって光走査装置の
画像書き出しのタイミングに合わせて搬送されトナー像
が転写される。転写された画像は定着ローラ８１０及び
定着器８１１により定着されて排紙される。
【００４２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
のではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、画像データに応じ
て変調する発光源と、支持基体に設けられた一対のトー
ションバーで支持され、トーションバーを回転軸として
揺動可能としてなる可動ミラーと、トーションバーを挟
む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆動電圧を
切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの間に引力
又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを揺動させ
る可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュールを、主
走査方向に複数配列し、発光源から射出された光ビーム
を揺動する可動ミラーによって主走査方向に走査させて
各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行うことに
特徴がある。よって、一走査を分割し単位モジュールあ
たりの走査幅を小さくすることで、共振を利用して揺動
できる範囲内に可動ミラーの振れ角を抑えられ、走査周
波数を上げることができ高速化できるうえ、起動時に与
える電力も小さくて済むので省電力化できる。
て変調する発光源と、支持基体に設けられた一対のトー
ションバーで支持され、トーションバーを回転軸として
揺動可能としてなる可動ミラーと、トーションバーを挟
む可動ミラーの両端部に設けられ、印加する駆動電圧を
切り換えることで、支持基板と可動ミラーとの間に引力
又は反発力を周期的に発生させて可動ミラーを揺動させ
る可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュールを、主
走査方向に複数配列し、発光源から射出された光ビーム
を揺動する可動ミラーによって主走査方向に走査させて
各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記録を行うことに
特徴がある。よって、一走査を分割し単位モジュールあ
たりの走査幅を小さくすることで、共振を利用して揺動
できる範囲内に可動ミラーの振れ角を抑えられ、走査周
波数を上げることができ高速化できるうえ、起動時に与
える電力も小さくて済むので省電力化できる。
【００４４】また、発光源を変調する画素周波数を前記
可動ミラーの揺動量に応じて可変する画素周波数可変手
段を有することにより、振動周波数の修正に伴う記録幅
(倍率)のずれを補正できるので隣接するモジュールとの
画像端の継ぎ目を一致させ、良好な画像を得ることがで
きる。
可動ミラーの揺動量に応じて可変する画素周波数可変手
段を有することにより、振動周波数の修正に伴う記録幅
(倍率)のずれを補正できるので隣接するモジュールとの
画像端の継ぎ目を一致させ、良好な画像を得ることがで
きる。
【００４５】更に、被走査域外に、可動ミラーで偏向さ
れた光ビーム位置を検出するビーム検出手段を走査開始
端及び走査終端の各々に設け、各ビーム検出手段の間の
走査時間を基準として画素周波数可変手段による画素周
波数を可変することにより、走査時間を計測し、その結
果に応じて記録ドット位置のずれを補正するので、環境
変化や経時変化があっても記録幅を安定的に保ち、隣接
するモジュールとの画像端の継ぎ目を一致させ、良好な
画像を得ることができる。
れた光ビーム位置を検出するビーム検出手段を走査開始
端及び走査終端の各々に設け、各ビーム検出手段の間の
走査時間を基準として画素周波数可変手段による画素周
波数を可変することにより、走査時間を計測し、その結
果に応じて記録ドット位置のずれを補正するので、環境
変化や経時変化があっても記録幅を安定的に保ち、隣接
するモジュールとの画像端の継ぎ目を一致させ、良好な
画像を得ることができる。
【００４６】また、画素周波数可変手段は発光源を変調
する画素周波数を一走査内で複数段階に可変することに
より、空気抵抗などによるミラー揺動速度の理想変位角
速度からのずれに伴う記録ドット位置のずれを補正でき
るので、被走査面での等速性を確保できドット位置ずれ
のない良好な画像を得ることができる。
する画素周波数を一走査内で複数段階に可変することに
より、空気抵抗などによるミラー揺動速度の理想変位角
速度からのずれに伴う記録ドット位置のずれを補正でき
るので、被走査面での等速性を確保できドット位置ずれ
のない良好な画像を得ることができる。
【００４７】更に、発光源から射出される光量を可変す
るために発光源に供給する駆動電流を可変する駆動電流
可変手段を有し、画素周波数に対応して駆動電流を可変
することにより、画素周波数の変化に伴う１ドットの点
灯時間のずれに対応して光量を可変したので、その積分
で表される被走査面を露光するエネルギーを均一化で
き、濃度むらのない良好な画像を得ることができる。
るために発光源に供給する駆動電流を可変する駆動電流
可変手段を有し、画素周波数に対応して駆動電流を可変
することにより、画素周波数の変化に伴う１ドットの点
灯時間のずれに対応して光量を可変したので、その積分
で表される被走査面を露光するエネルギーを均一化で
き、濃度むらのない良好な画像を得ることができる。
【００４８】また、被走査域外において可動ミラーで偏
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に各走査開始端に設け、可動ミラー揺動
手段に印加する駆動電圧のタイミングを基準としてビー
ム位置検出手段から出力される検出信号のうち、画像書
き出しの基準信号として用いる検出信号を切替えること
により、駆動電圧のタイミングでビーム検出手段で検出
されるビームの走査方向を判別できるので、双方向での
走査によっても、誤検知されることなく各走査に対応し
て確実に検出信号を得ることができる。
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に各走査開始端に設け、可動ミラー揺動
手段に印加する駆動電圧のタイミングを基準としてビー
ム位置検出手段から出力される検出信号のうち、画像書
き出しの基準信号として用いる検出信号を切替えること
により、駆動電圧のタイミングでビーム検出手段で検出
されるビームの走査方向を判別できるので、双方向での
走査によっても、誤検知されることなく各走査に対応し
て確実に検出信号を得ることができる。
【００４９】更に、被走査域外において可動ミラーで偏
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に設け、ビーム検出手段の検出面内で折
り返して往復走査することにより、ビーム検出手段内で
折り返し双方向で単一の検出信号しか得られないように
したので、ビームの走査方向を判別しなくても各走査に
対応して確実に検出信号を得ることができる。
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を各単
位モジュール毎に設け、ビーム検出手段の検出面内で折
り返して往復走査することにより、ビーム検出手段内で
折り返し双方向で単一の検出信号しか得られないように
したので、ビームの走査方向を判別しなくても各走査に
対応して確実に検出信号を得ることができる。
【００５０】また、被走査域が隣接する単位モジュール
の間で副走査方向に一走査ピッチずつずらして単位モジ
ュールを配列すると共に、ミラー揺動手段に印加する駆
動電圧のタイミング位相を略一致することにより、分割
位置において良好に画像を継ぎ合わせることができるう
え、一方の単位モジュールの終端を走査途中のビームと
他方の単位モジュールの開始端を走査途中のビームが重
複して同じビーム検出手段に入射するのを防止でき、各
走査に対応して確実に検出信号を得ることができる。
の間で副走査方向に一走査ピッチずつずらして単位モジ
ュールを配列すると共に、ミラー揺動手段に印加する駆
動電圧のタイミング位相を略一致することにより、分割
位置において良好に画像を継ぎ合わせることができるう
え、一方の単位モジュールの終端を走査途中のビームと
他方の単位モジュールの開始端を走査途中のビームが重
複して同じビーム検出手段に入射するのを防止でき、各
走査に対応して確実に検出信号を得ることができる。
【００５１】更に、各単位モジュール毎に発光源からの
光ビームを可動ミラーで往復偏向し被走査域を双方向に
光走査すると共に、画像データを一走査おきに一時保存
する一対のバッファ手段を有し、各バッファ手段から読
み出される画像データ順を反転させて、ミラー揺動手段
に印加する駆動電圧のタイミングを基準として読み出す
バッファ手段を交互に切替えることにより、印加する駆
動電圧タイミングでビームの走査方向を判別できるの
で、双方向での走査によっても記録画像データの正反転
を誤ることなく各走査の同期検知信号(走査開始端での
ビーム位置検出信号)に対応して確実に割り振ることが
できる。
光ビームを可動ミラーで往復偏向し被走査域を双方向に
光走査すると共に、画像データを一走査おきに一時保存
する一対のバッファ手段を有し、各バッファ手段から読
み出される画像データ順を反転させて、ミラー揺動手段
に印加する駆動電圧のタイミングを基準として読み出す
バッファ手段を交互に切替えることにより、印加する駆
動電圧タイミングでビームの走査方向を判別できるの
で、双方向での走査によっても記録画像データの正反転
を誤ることなく各走査の同期検知信号(走査開始端での
ビーム位置検出信号)に対応して確実に割り振ることが
できる。
【００５２】また、別の発明としての画像形成装置は、
単色の画像形成を行う画像形成部に対して、１ライン分
の画像データをモジュール数に分割して画像記録を行う
ことに特徴がある。
単色の画像形成を行う画像形成部に対して、１ライン分
の画像データをモジュール数に分割して画像記録を行う
ことに特徴がある。
【００５３】更に、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の各々に
配備し、各色に対応した画像データにより個別に画像記
録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の各々に
配備し、各色に対応した画像データにより個別に画像記
録を行うことに特徴がある。
【００５４】また、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部に対して
共用配備し、各色に対応した画像データにより時系列に
画像記録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部に対して
共用配備し、各色に対応した画像データにより時系列に
画像記録を行うことに特徴がある。
【００５５】更に、別の発明としての画像形成装置は、
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の１又は
複数色に対して共用配備し、各色に対応した画像データ
により時系列に画像記録を行うことに特徴がある。
フルカラー画像を形成する各色毎の画像形成部の１又は
複数色に対して共用配備し、各色に対応した画像データ
により時系列に画像記録を行うことに特徴がある。
【図１】本発明の第１の実施例に係る光走査装置の構成
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図２】第１の実施例の光走査装置の構成を示す断面図
である。
である。
【図３】複数の単位モジュールを主走査方向に配列した
構成を示す分解斜視図である。
構成を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る光走査装置の構成
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図５】第２の実施例の光走査装置の構成を示す断面図
である。
である。
【図６】単位モジュールの制御回路を示すブロック図で
ある。
ある。
【図７】図３に示すビーム位置検出用のＰＤでの検出信
号と書込みに関連するタイミングを示すタイムチャート
である。
号と書込みに関連するタイミングを示すタイムチャート
である。
【図８】別のタイミングを示すタイムチャートである。
【図９】被走査面の送りを考慮した各単位モジュールの
被走査面での走査ラインの様子を示す図である。
被走査面での走査ラインの様子を示す図である。
【図１０】本発明の光走査装置を搭載したデジタル複写
機の構成を示す概略断面図である。
機の構成を示す概略断面図である。
【図１１】本発明の光走査装置を搭載したレーザプリン
タの構成を示す概略断面図である。
タの構成を示す概略断面図である。
【図１２】本発明の光走査装置を搭載した普通紙ファク
シミリの構成を示す概略断面図である。
シミリの構成を示す概略断面図である。
１００；可動ミラー、１０１；トーションバー、１０
２；第１のＳｉ基板、１０３；第２のＳｉ基板、１０
４；電極、１０５，１１８；固定電極、１０６；ミラー
基板、１０７；光源基板、１０８；ＬＤチップ、１０
９；位置決め溝、１１０；カップリングレンズ、１１
１；スペーサ基板、１１２；ミラー斜面、１１３，４０
６，４０７；ＰＤ、１１４；駆動回路、１１５；リード
端子、１１６；端子基板、１１７；窓基板、４０１；駆
動回路、４０２；振動周波数可変手段、４０３；基準発
振器、４０４；画素周波数可変手段、４０５；倍率計測
手段、４０８；補正データ、４０９；ＬＤ駆動電流可変
手段、４１０；書込制御回路、４１１；ＬＤ、４１２，
４１３；バッファ、４１４，４１５；切換回路。
２；第１のＳｉ基板、１０３；第２のＳｉ基板、１０
４；電極、１０５，１１８；固定電極、１０６；ミラー
基板、１０７；光源基板、１０８；ＬＤチップ、１０
９；位置決め溝、１１０；カップリングレンズ、１１
１；スペーサ基板、１１２；ミラー斜面、１１３，４０
６，４０７；ＰＤ、１１４；駆動回路、１１５；リード
端子、１１６；端子基板、１１７；窓基板、４０１；駆
動回路、４０２；振動周波数可変手段、４０３；基準発
振器、４０４；画素周波数可変手段、４０５；倍率計測
手段、４０８；補正データ、４０９；ＬＤ駆動電流可変
手段、４１０；書込制御回路、４１１；ＬＤ、４１２，
４１３；バッファ、４１４，４１５；切換回路。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 1/036 Ｂ４１Ｊ 3/00 Ｄ 1/113 Ｈ０４Ｎ 1/04 １０４Ｚ Ｆターム(参考） 2C362 AA54 AA61 AA63 BA17 BA42 BA49 BA51 BB30 BB32 BB37 BB39 BB42 BB44 DA06 DA08 2H045 AB16 AB73 BA22 BA36 CA88 CA89 CA97 DA02 5C051 AA02 CA07 DA02 DB02 DB08 DB22 DB24 DB30 DC01 DC07 DE01 DE26 DE29 EA01 EA09 FA01 5C072 AA03 BA01 BA03 BA06 DA02 DA04 DA21 DA23 HA02 HA06 HA14 HB04 HB06 HB08 HB11 HB15 XA01 XA05
Claims (13)
- 【請求項１】 画像データに応じて変調する発光源と、
支持基体に設けられた一対のトーションバーで支持さ
れ、前記トーションバーを回転軸として揺動可能として
なる可動ミラーと、前記トーションバーを挟む前記可動
ミラーの両端部に設けられ、印加する駆動電圧を切り換
えることで、前記支持基板と前記可動ミラーとの間に引
力又は反発力を周期的に発生させて前記可動ミラーを揺
動させる可動ミラー揺動手段とを有する単位モジュール
を、主走査方向に複数配列し、前記発光源から射出され
た光ビームを揺動する前記可動ミラーによって主走査方
向に走査させて各々の被走査域をつなぎ合わせて画像記
録を行うことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項２】 前記発光源を変調する画素周波数を前記
可動ミラーの揺動量に応じて可変する画素周波数可変手
段を有する請求項１記載の光走査装置。 - 【請求項３】 前記被走査域外に、前記可動ミラーで偏
向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を走査
開始端及び走査終端の各々に設け、前記各ビーム検出手
段の間の走査時間を基準として前記画素周波数可変手段
による前記画素周波数を可変する請求項２記載の光走査
装置。 - 【請求項４】 前記画素周波数可変手段は前記発光源を
変調する画素周波数を一走査内で複数段階に可変する請
求項２記載の光走査装置。 - 【請求項５】 前記発光源から射出される光量を可変す
るために前記発光源に供給する駆動電流を可変する駆動
電流可変手段を有し、前記画素周波数に対応して駆動電
流を可変する請求項２記載の光走査装置。 - 【請求項６】 前記被走査域外において前記可動ミラー
で偏向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を
前記各単位モジュール毎に各走査開始端に設け、前記可
動ミラー揺動手段に印加する駆動電圧のタイミングを基
準として前記ビーム位置検出手段から出力される検出信
号のうち、画像書き出しの基準信号として用いる検出信
号を切替える請求項１記載の光走査装置。 - 【請求項７】 前記被走査域外において前記可動ミラー
で偏向された光ビーム位置を検出するビーム検出手段を
前記各単位モジュール毎に設け、前記ビーム検出手段の
検出面内で折り返して往復走査する請求項１記載の光走
査装置。 - 【請求項８】 前記被走査域が隣接する前記単位モジュ
ールの間で副走査方向に一走査ピッチずつずらして前記
単位モジュールを配列するとともに、前記ミラー揺動手
段に印加する駆動電圧のタイミング位相を略一致する請
求項１記載の光走査装置。 - 【請求項９】 前記各単位モジュール毎に前記発光源か
らの光ビームを前記可動ミラーで往復偏向し前記被走査
域を双方向に光走査すると共に、前記画像データを一走
査おきに一時保存する一対のバッファ手段を有し、前記
各バッファ手段から読み出される画像データ順を反転さ
せて、前記ミラー揺動手段に印加する駆動電圧のタイミ
ングを基準として読み出す前記バッファ手段を交互に切
替える請求項１記載の光走査装置。 - 【請求項１０】 単色の画像形成を行う画像形成部に対
して、１ライン分の画像データをモジュール数に分割し
て画像記録を行うことを特徴とする画像形成装置。 - 【請求項１１】 フルカラー画像を形成する各色毎の画
像形成部の各々に配備し、各色に対応した画像データに
より個別に画像記録を行う請求項１０記載の画像形成装
置。 - 【請求項１２】 フルカラー画像を形成する各色毎の画
像形成部に対して共用配備し、各色に対応した画像デー
タにより時系列に画像記録を行う請求項１０記載の画像
形成装置。 - 【請求項１３】 フルカラー画像を形成する各色毎の画
像形成部の１又は複数色に対して共用配備し、各色に対
応した画像データにより時系列に画像記録を行う請求項
１０記載の画像形成装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001056304A JP4349756B2 (ja) | 2001-03-01 | 2001-03-01 | 光走査装置及び画像形成装置 |
| US10/084,485 US7423787B2 (en) | 2001-03-01 | 2002-02-28 | Optical scanning module, device, and method, and imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001056304A JP4349756B2 (ja) | 2001-03-01 | 2001-03-01 | 光走査装置及び画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002258183A true JP2002258183A (ja) | 2002-09-11 |
| JP4349756B2 JP4349756B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=18916347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001056304A Expired - Fee Related JP4349756B2 (ja) | 2001-03-01 | 2001-03-01 | 光走査装置及び画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4349756B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6995885B2 (en) | 2003-06-30 | 2006-02-07 | Ricoh Company, Ltd. | Vibrating mirror, optical scanner using vibrating mirror, and image reproducing and forming apparatus |
| US7471306B2 (en) | 2004-08-06 | 2008-12-30 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning unit and image forming apparatus |
| US7529011B2 (en) | 2004-04-12 | 2009-05-05 | Ricoh Company, Ltd. | Deflector mirror with regions of different flexural rigidity |
| JP2009109305A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Alt Kk | 共振周波数および最大光学振り角の測定方法 |
| JP2009255597A (ja) * | 2009-08-12 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | データ制御装置、データ制御方法および画像形成装置 |
| JP2010033060A (ja) * | 2009-09-04 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 画像形成装置および画像形成方法 |
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