JP2008070798A - 光走査装置・画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の画像形成ステーションを有し、各色画像を重ね合わせてカラー画像を形成する「タンデム方式」に対応した光走査装置において、発光源の有効利用効率を向上させることができ、構成部品の簡素化、生産性の向上に寄与できる光走査装置を提供する。
【解決手段】光源ユニット107、109からのビームは分岐プリズム111によって副走査方向に分岐され、分岐されたビームは、振動ミラー基板106に支持された可動ミラー117、118によって往復走査され、結像光学系を介して感光体ドラム101、102、103、104上に結像する。可動ミラー117、118は、ねじり梁を回転軸として上下に支持されており、ねじり梁は上下方向(副走査方向)に同軸となるように設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】光源ユニット107、109からのビームは分岐プリズム111によって副走査方向に分岐され、分岐されたビームは、振動ミラー基板106に支持された可動ミラー117、118によって往復走査され、結像光学系を介して感光体ドラム101、102、103、104上に結像する。可動ミラー117、118は、ねじり梁を回転軸として上下に支持されており、ねじり梁は上下方向(副走査方向)に同軸となるように設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、光走査を行う光走査装置、該光走査装置を有する複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置に関する。
本発明は、光走査型のバーコード読み取り装置や車載用のレーザレーダ装置等へも応用可能である。
本発明は、光走査型のバーコード読み取り装置や車載用のレーザレーダ装置等へも応用可能である。
従来の光走査装置においては光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが用いられるが、より高解像度な画像と高速プリントを達成するにはこの回転をさらに高速にしなければならず、軸受の耐久性や風損による発熱、騒音が課題となり、高速走査に限界がある。
これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した偏向装置の研究が進められており、特許文献1や特許文献2に開示されるように、Si基板で振動ミラーとそれを軸支するねじり梁を一体形成した方式が提案されている。
この方式によれば、ミラー面サイズが小さく小型化できるうえ、共振を利用して往復振動させるので、高速動作が可能であるにもかかわらず、低騒音で消費電力が低いという利点がある。
これに対し、近年シリコンマイクロマシニングを利用した偏向装置の研究が進められており、特許文献1や特許文献2に開示されるように、Si基板で振動ミラーとそれを軸支するねじり梁を一体形成した方式が提案されている。
この方式によれば、ミラー面サイズが小さく小型化できるうえ、共振を利用して往復振動させるので、高速動作が可能であるにもかかわらず、低騒音で消費電力が低いという利点がある。
さらに、特許文献3や特許文献4にはポリゴンミラーの代わりに振動ミラーを配備した例が開示されている。
さらに、特許文献5には振動ミラーの角度を副走査方向に切り換えて複数の被走査面を走査した例が開示されている。
さらに、特許文献5には振動ミラーの角度を副走査方向に切り換えて複数の被走査面を走査した例が開示されている。
上記したように、振動ミラーをポリゴンミラーの代わりとして用いることで、低騒音化や低消費電力化が可能となり、オフィス環境に適合した画像形成装置が提供できるうえ、特に、「タンデム方式」に対応した光走査装置においては、従来、ポリゴンミラーの温度上昇によって光走査装置を収めるハウジングに温度分布が発生し、熱歪みによって結像光学系を構成する走査レンズや折返しミラーなどの姿勢が変化して、色ずれや色変わりの要因となっていたが、消費電力が微小な振動ミラーによれば、温度上昇が抑えられ、ハウジングの熱変形も小さくなるので、高品位な画像形成が行える。
一方で、振動ミラーにより画像を記録するには、振動ミラーの回転に伴って感光体面上でビームが略等速に移動するように補正する走査レンズが必要となる。
一方で、振動ミラーにより画像を記録するには、振動ミラーの回転に伴って感光体面上でビームが略等速に移動するように補正する走査レンズが必要となる。
走査レンズは、振動ミラーの正弦波振動に対応してf・arcsin特性、つまり、単位走査角あたりの走査距離dH/dθがsin−1θ/θ0に比例する特性を持つように屈折力を持たせることで補正できるが、振幅の折返し点に近づくにつれ加速度的に回転速度が変化するため、走査レンズの屈折力により感光体面上での走査速度が一定になるようにするには限界があり、時間に対して振動ミラーの回転角変化がある程度リニアリティを持っている領域のみしか対応しきれない。
そのため、振幅の約40%に相当する期間しか画像形成に利用できない。言いかえれば、発光源が有効に利用される期間は約40%となり、非常に効率が悪かった。
そのため、振幅の約40%に相当する期間しか画像形成に利用できない。言いかえれば、発光源が有効に利用される期間は約40%となり、非常に効率が悪かった。
本発明は、複数の画像形成ステーションを有し、各色画像を重ね合わせてカラー画像を形成する「タンデム方式」に対応した光走査装置において、発光源の有効利用効率を向上するため、複数の画像形成ステーションで発光源を共用し、さらには、発光源の数を削減することによって構成部品を簡素化し、生産性を向上することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明では、複数の被走査位置に対応した画像情報に基づいて変調する発光源と、該発光源からのビームを分岐するビーム分岐手段と、ねじり梁を回転軸として支持され、上記発光源からのビームを往復走査する可動ミラーと、該可動ミラーによって走査されたビームを各被走査位置に結像する結像光学系と、を有する光走査装置であって、上記可動ミラーを、上記回転軸が同軸となるように複数配備するとともに、上記ビーム分岐手段により分岐されたビームを各々に対応した可動ミラーにより走査し、各被走査位置に画像を書き込むことを特徴とする。
請求項2記載の発明では、請求項1記載の光走査装置において、上記複数の可動ミラーは、同一の走査周波数により走査するとともに、各被走査位置を走査している期間が重複しないように振幅の位相をずらしてなることを特徴とする。
請求項3記載の発明では、請求項2記載の光走査装置において、上記可動ミラーの走査周波数を、共振振動数の近傍で、共振振動数によらず所定の周波数に設定することを特徴とする。
請求項4記載の発明では、請求項2記載の光走査装置において、上記可動ミラーにより走査されたビームを検出するビーム検出手段を備え、上記各被走査位置に対応した画像情報を、上記ビーム検出手段による各々のビーム検出信号に基づいて交互に読み出し、上記発光源を変調する光源制御手段を備えることを特徴とする。
請求項3記載の発明では、請求項2記載の光走査装置において、上記可動ミラーの走査周波数を、共振振動数の近傍で、共振振動数によらず所定の周波数に設定することを特徴とする。
請求項4記載の発明では、請求項2記載の光走査装置において、上記可動ミラーにより走査されたビームを検出するビーム検出手段を備え、上記各被走査位置に対応した画像情報を、上記ビーム検出手段による各々のビーム検出信号に基づいて交互に読み出し、上記発光源を変調する光源制御手段を備えることを特徴とする。
請求項5記載の発明では、請求項1記載の光走査装置において、上記可動ミラーにより走査されたビームを検出するビーム検出手段を備え、上記各可動ミラーの振れ角(振幅)を、上記ビーム検出手段によるビーム検出信号に基いて揃える振幅制御手段を備えることを特徴とする。
請求項6記載の発明では、請求項1記載の光走査装置において、上記ビーム分岐手段は、上記発光源から上記可動ミラーに至る平行光束中に配備してなることを特徴とする。
請求項6記載の発明では、請求項1記載の光走査装置において、上記ビーム分岐手段は、上記発光源から上記可動ミラーに至る平行光束中に配備してなることを特徴とする。
請求項7記載の発明では、請求項1記載の光走査装置において、上記複数の可動ミラーは、同一の基板により形成してなることを特徴とする。
請求項8記載の発明では、画像形成装置において、請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する複数の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、各トナー画像を重ね合わせて記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする。
請求項9記載の発明では、画像形成装置において、請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する共通の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、像担持体上で重ね合わされたトナー画像を記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする。
請求項8記載の発明では、画像形成装置において、請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する複数の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、各トナー画像を重ね合わせて記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする。
請求項9記載の発明では、画像形成装置において、請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する共通の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、像担持体上で重ね合わされたトナー画像を記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする。
請求項1記載の発明によれば、複数の被走査位置に対して単一の発光源からの光ビームにより画像記録が行えるので、光走査装置の構成が簡素化され部品点数が削減できるので、生産性が向上し、コスト低減が図れる。
請求項2記載の発明によれば、一方の可動ミラーで被走査位置を走査している期間は、もう一方の可動ミラーに入射された光ビームは被走査位置には到達しないので、各被走査位置に対応した画像情報を交互に繰り返し、読み出して発光源を変調するといった簡単な制御で対応でき、光走査装置の構成が簡素化され部品点数が削減できるので、生産性が向上し、コスト低減が図れる。
請求項2記載の発明によれば、一方の可動ミラーで被走査位置を走査している期間は、もう一方の可動ミラーに入射された光ビームは被走査位置には到達しないので、各被走査位置に対応した画像情報を交互に繰り返し、読み出して発光源を変調するといった簡単な制御で対応でき、光走査装置の構成が簡素化され部品点数が削減できるので、生産性が向上し、コスト低減が図れる。
請求項3記載の発明によれば、加工誤差等によって各可動ミラー間に共振周波数のずれがあっても、共通の走査周波数で動作するので、各色間の走査ラインピッチを揃えることができ、濃度むらや色ずれのない高品位な画像記録が行える。
請求項4記載の発明によれば、可動ミラーの走査周波数によらず、画像情報の繰り返し読み出すタイミングをビーム検出信号を基準として行うので、共振周波数の変動等によって走査周波数をずらしても、各色間の書出し位置が揃えられ、色ずれのない高品位な画像記録が行える。
請求項4記載の発明によれば、可動ミラーの走査周波数によらず、画像情報の繰り返し読み出すタイミングをビーム検出信号を基準として行うので、共振周波数の変動等によって走査周波数をずらしても、各色間の書出し位置が揃えられ、色ずれのない高品位な画像記録が行える。
請求項5記載の発明によれば、共振周波数の変動等によって振幅が変化しても、その変化を検出して回転トルクを増減するようにゲイン調整ができるので、各色間の画像幅、いわゆる主走査倍率を揃えることができ、色ずれのない高品位な画像記録が行える。
請求項6記載の発明によれば、分岐に伴って発生する光路長の差があっても、各色での集束位置が揃えられるので、ビームスポット径が均一化され、濃度むらのない高品位な画像記録が行える。
請求項7記載の発明によれば、複数の可動ミラーが共通のプロセスにより同時に加工できるうえ、可動ミラー同士の位置合わせが不要となるので、生産性が向上し低コストを図れる。
請求項6記載の発明によれば、分岐に伴って発生する光路長の差があっても、各色での集束位置が揃えられるので、ビームスポット径が均一化され、濃度むらのない高品位な画像記録が行える。
請求項7記載の発明によれば、複数の可動ミラーが共通のプロセスにより同時に加工できるうえ、可動ミラー同士の位置合わせが不要となるので、生産性が向上し低コストを図れる。
請求項8又は9記載の発明によれば、振動ミラーの特長を活かした低消費電力、低騒音な画像形成装置が実現できる。
以下、本発明の第1の実施形態を図1乃至図10に基づいて説明する。
図1は4ステーションを走査する光走査装置の実施例で、2ステーションずつ2分し、相反する方向に向けて配置した一対の振動ミラー(以下、「可動ミラー」ともいう)に各々ビームを入射して、偏向、走査する方式を示す。
4つの像担持体で且つ被走査位置としての感光体ドラム101、102、103、104は中間転写体としての中間転写ベルト105の移動方向(矢印方向)に沿って等間隔で配列され、順次異なる色のトナー像を転写し重ね合わせることでカラー画像を形成する。
図1は4ステーションを走査する光走査装置の実施例で、2ステーションずつ2分し、相反する方向に向けて配置した一対の振動ミラー(以下、「可動ミラー」ともいう)に各々ビームを入射して、偏向、走査する方式を示す。
4つの像担持体で且つ被走査位置としての感光体ドラム101、102、103、104は中間転写体としての中間転写ベルト105の移動方向(矢印方向)に沿って等間隔で配列され、順次異なる色のトナー像を転写し重ね合わせることでカラー画像を形成する。
各感光体ドラムを走査する光走査装置は後述するように一体的に構成され、各々に対応した光源ユニットからのビームを個別に配備された可動ミラーにより走査する。
振動ミラー基板106は光走査装置の中央部に配置され、可動ミラー117、118を有する一対の振動ミラー基板106を背中合わせに備え、反射面が主走査方向から30°だけ傾けるよう配備される。
なお、可動ミラー117、118は後述するように、回転軸を上下方向に揃えて副走査方向に所定間隔離隔し並列して配備され、Si基板で一体的に形成される。
振動ミラー基板106は光走査装置の中央部に配置され、可動ミラー117、118を有する一対の振動ミラー基板106を背中合わせに備え、反射面が主走査方向から30°だけ傾けるよう配備される。
なお、可動ミラー117、118は後述するように、回転軸を上下方向に揃えて副走査方向に所定間隔離隔し並列して配備され、Si基板で一体的に形成される。
発光源としての半導体レーザを一体に備えた光源ユニット107、109からの光ビーム201と203は、対向する方向から各可動ミラーに入射され、相反する方向に偏向されるように配備されており、イエロー、マゼンタに対応した感光体ドラムを光源ユニット107からの光ビーム201で、シアン、ブラックに対応した感光体ドラムを光源ユニット109からの光ビーム203で、各々可動ミラーの往走査の期間と、復走査の期間とに分けて、交互に画像を書き込んでいく。
光源ユニット107、109は、可動ミラーの1走査に対応する各色に対応した画像情報を交互に読み出して、発光源を変調する。
光源ユニット107、109は、可動ミラーの1走査に対応する各色に対応した画像情報を交互に読み出して、発光源を変調する。
光源ユニット107、109からの光ビーム201と203は、ビーム分岐手段としての分岐プリズム111、112によって2分岐され、シリンダレンズ113、114、115、116を介して、各可動ミラーに入射され、偏向される。
分岐プリズム111、112は、図9に示すように、ハーフミラー面301と全反射面302とを有する接合プリズムにより構成され、入射ビームの光量が1/2ずつとなるように、ハーフミラー面301で2分岐し、一方は通過させ、もう一方は副走査方向に可動ミラーの間隔に相当する分だけ平行にシフトして射出するようにしており、各射出面にはシリンダレンズ113、114、115、116を貼り付けている。
なお、入射ビームは平行光束となし、プリズム内での光路長差があっても集束位置がずれないように配慮している。
分岐プリズム111、112は、図9に示すように、ハーフミラー面301と全反射面302とを有する接合プリズムにより構成され、入射ビームの光量が1/2ずつとなるように、ハーフミラー面301で2分岐し、一方は通過させ、もう一方は副走査方向に可動ミラーの間隔に相当する分だけ平行にシフトして射出するようにしており、各射出面にはシリンダレンズ113、114、115、116を貼り付けている。
なお、入射ビームは平行光束となし、プリズム内での光路長差があっても集束位置がずれないように配慮している。
上下の可動ミラー117、118は振幅に位相差をつけて往復振動され、一方が感光体ドラム上を走査している期間は、もう一方は、感光体ドラムから外れた領域を走査している期間となるようにしている。
従って、上記したように各色に対応した画像情報を交互に読み出して発光源を変調した場合、各可動ミラーに光ビームが入射されることになるが、その一方しか感光体ドラムに到達しないため、発光源を共用しても各々の画像形成が行えることになる。
シリンダレンズ113、114、115、116は一方を平面、もう一方を副走査方向に共通の曲率を有し、可動ミラーの反射面までの光路長が等しくなるように光軸の高さを揃えて配備してあり、各光ビームは偏向面で主走査方向に線状となるように収束され、後述するトロイダルレンズとの組み合わせで、反射面と感光体面上とが副走査方向に共役関係とすることで面倒れ補正光学系をなす。
従って、上記したように各色に対応した画像情報を交互に読み出して発光源を変調した場合、各可動ミラーに光ビームが入射されることになるが、その一方しか感光体ドラムに到達しないため、発光源を共用しても各々の画像形成が行えることになる。
シリンダレンズ113、114、115、116は一方を平面、もう一方を副走査方向に共通の曲率を有し、可動ミラーの反射面までの光路長が等しくなるように光軸の高さを揃えて配備してあり、各光ビームは偏向面で主走査方向に線状となるように収束され、後述するトロイダルレンズとの組み合わせで、反射面と感光体面上とが副走査方向に共役関係とすることで面倒れ補正光学系をなす。
結像光学系の構成要素としての走査レンズ120、121は樹脂成形され、主走査方向には可動ミラーの正弦波振動に対応してf・arcsin特性、つまり、単位走査角あたりの走査距離dH/dθがsin−1θ/θ0に比例する特性を持つようにパワーを持たせた非円弧面形状となし、可動ミラーの回転に伴って感光体面上でビームが略等速に移動するようにしている。
一方、副走査方向にはパワーを持たず、複数の光ビームの入射位置や入射角度の差によらず共用できるようにしている。
fθレンズを通過した光ビームは、各ビーム毎に配備される、結像光学系の構成要素としてのトロイダルレンズ122、123、124、125とにより各ビームを感光体面上にスポット状に結像し、潜像を記録する。
本実施形態では、各色ステーションの可動ミラーを、回転軸が主走査方向における画像中央と一致するように配置し、可動ミラーから感光体面に至る各々の光路長が一致し、等間隔で配列された各感光体ドラムに対する入射位置、入射角が等しくなるように、1ステーションあたり3枚ずつ、の折り返しミラーが配置される。
一方、副走査方向にはパワーを持たず、複数の光ビームの入射位置や入射角度の差によらず共用できるようにしている。
fθレンズを通過した光ビームは、各ビーム毎に配備される、結像光学系の構成要素としてのトロイダルレンズ122、123、124、125とにより各ビームを感光体面上にスポット状に結像し、潜像を記録する。
本実施形態では、各色ステーションの可動ミラーを、回転軸が主走査方向における画像中央と一致するように配置し、可動ミラーから感光体面に至る各々の光路長が一致し、等間隔で配列された各感光体ドラムに対する入射位置、入射角が等しくなるように、1ステーションあたり3枚ずつ、の折り返しミラーが配置される。
各色ステーション毎に光路を追って説明すると、光源ユニット107からのビーム201は、分岐プリズム111により2分岐され、平行シフトされた上側の射出ビームは、シリンダレンズ113を介して可動ミラー117に入射され、偏向されて走査レンズ120に入射され、折り返しミラー126で反射されてトロイダルレンズ122を通過し、折り返しミラー127、128で反射されて感光体ドラム102に導かれ、第2のステーションとしてマゼンタ画像を形成する。
一方、分岐プリズム111により2分岐され、通過した下側の射出ビームは、シリンダレンズ114を介して可動ミラー118に入射され、偏向されて走査レンズ120に入射され、折り返しミラー129で反射されてトロイダルレンズ123を通過し、折り返しミラー130、131で反射されて感光体ドラム101に導かれ、第1のステーションとしてイエロー画像を形成する。
一方、分岐プリズム111により2分岐され、通過した下側の射出ビームは、シリンダレンズ114を介して可動ミラー118に入射され、偏向されて走査レンズ120に入射され、折り返しミラー129で反射されてトロイダルレンズ123を通過し、折り返しミラー130、131で反射されて感光体ドラム101に導かれ、第1のステーションとしてイエロー画像を形成する。
振動ミラー基板106に対して対称に配備されたステーションについても同様で、光源ユニット109からのビーム203は、分岐プリズム112により2分岐され、平行シフトされた上側の射出ビームは、シリンダレンズ115を介して可動ミラー17に入射され、偏向されて走査レンズ121に入射され、折り返しミラー135で反射されてトロイダルレンズ124を通過し、折り返しミラー136、137で反射されて感光体ドラム103に導かれ、第3のステーションとしてシアン画像を形成する。
一方、分岐プリズム111により2分岐され、通過した下側の射出ビームは、シリンダレンズ116を介して可動ミラー18に入射され、偏向されて走査レンズ121に入射され、折り返しミラー132で反射されてトロイダルレンズ125を通過し、折り返しミラー133、134で反射されて感光体ドラム104に導かれ、第4のステーションとしてブラック画像を形成する。
一方、分岐プリズム111により2分岐され、通過した下側の射出ビームは、シリンダレンズ116を介して可動ミラー18に入射され、偏向されて走査レンズ121に入射され、折り返しミラー132で反射されてトロイダルレンズ125を通過し、折り返しミラー133、134で反射されて感光体ドラム104に導かれ、第4のステーションとしてブラック画像を形成する。
上記したように、振動ミラー基板106は各光源ユニット107、109に対応して一対設けられ、背中合わせに接合されており、各可動ミラー117、118の傾け角の設定は同期して行われるため、第2、第4ステーションが同時に、また、第1、第3ステーションが同時に書き込まれる。
これらの各構成部品は図示しない単一のハウジングに一体的に保持される。図1において、符号138、139、140、141は各々ビーム検出手段としての同期検知センサ(図6において符号604で示す)を実装する基板で、各ステーションに対して設けられ、走査領域の前側で各走査ビームを検出して、これらの検出信号を基準として各々のステーションにおける画像を書出すタイミングをとる同期検知信号を生成し、画像書込みを行う。
これらの各構成部品は図示しない単一のハウジングに一体的に保持される。図1において、符号138、139、140、141は各々ビーム検出手段としての同期検知センサ(図6において符号604で示す)を実装する基板で、各ステーションに対して設けられ、走査領域の前側で各走査ビームを検出して、これらの検出信号を基準として各々のステーションにおける画像を書出すタイミングをとる同期検知信号を生成し、画像書込みを行う。
図5はそのタイミング図を示す。本実施形態では、可動ミラーの1周期単位で、2つの画像形成ステーションを切り換えている。
また、図7に示すように、同期検知センサの検出信号によって、往復走査の走査領域から遠ざかる期間の走査ビームと、走査領域に近づく領域の走査ビームとを検出し、その時間差によって各可動ミラーの振幅を検出している。
可動ミラーは共振振動されるため、時間tとともにsin波状に走査角θが変化する。
従って、可動ミラーの最大振れ角、つまり振幅がθ0とすると、
θ=θ0・sin2πfd・t
同期検知センサにおいて走査角を2θsに対応したビームを検出するとすると、検出信号は復走査と往走査とで発生され、その時間差Tを用いると、
θs=θ0・cos2πfd・T/2
で表され、θsは固定であるので、Tを計測すれば最大振れ角θ0が検出できることがわかる。
また、図7に示すように、同期検知センサの検出信号によって、往復走査の走査領域から遠ざかる期間の走査ビームと、走査領域に近づく領域の走査ビームとを検出し、その時間差によって各可動ミラーの振幅を検出している。
可動ミラーは共振振動されるため、時間tとともにsin波状に走査角θが変化する。
従って、可動ミラーの最大振れ角、つまり振幅がθ0とすると、
θ=θ0・sin2πfd・t
同期検知センサにおいて走査角を2θsに対応したビームを検出するとすると、検出信号は復走査と往走査とで発生され、その時間差Tを用いると、
θs=θ0・cos2πfd・T/2
で表され、θsは固定であるので、Tを計測すれば最大振れ角θ0が検出できることがわかる。
中間転写ベルト105の出口ローラ部には、各ステーションで形成され重ね合わされた各色画像の重ね合わせ精度を検出するための検出手段が配備される。
検出手段は中間転写ベルト105上に形成したトナー像の検出パターンを読み取ることで、主走査レジスト、副走査レジストを基準となるステーションからのずれとして検出し、定期的に補正制御が行なわれる。
本実施形態では、検出手段は、照明用のLED素子154と、反射光を受光するフォトセンサ155および一対の集光レンズ156とからなり、画像の左右両端と中央の3ヵ所に配備され、中間転写ベルトの移動に応じて基準色であるブラックとの検出時間差を読み取っていく。
検出手段は中間転写ベルト105上に形成したトナー像の検出パターンを読み取ることで、主走査レジスト、副走査レジストを基準となるステーションからのずれとして検出し、定期的に補正制御が行なわれる。
本実施形態では、検出手段は、照明用のLED素子154と、反射光を受光するフォトセンサ155および一対の集光レンズ156とからなり、画像の左右両端と中央の3ヵ所に配備され、中間転写ベルトの移動に応じて基準色であるブラックとの検出時間差を読み取っていく。
図2に本実施形態における光走査装置に用いる振動ミラー基板106の斜視図を示す。
各振動ミラー基板106は、回路基板449の所定位置に位置決めされた支持部材447により支持されている。支持部材447は、樹脂で成形され、振動ミラー基板106をその可動ミラー117、118の反射面が主走査平面に直交し、主走査方向から所定の角度、本実施形態では30°だけ傾けた配置となるように位置決めする位置決め部451と、振動ミラー基板106における実装基板448の一辺の縁に形成された配線端子455が、装着時に接触するように金属製端子群を整列したエッジコネクタ部452とを一体に有している。
各振動ミラー基板106は、回路基板449の所定位置に位置決めされた支持部材447により支持されている。支持部材447は、樹脂で成形され、振動ミラー基板106をその可動ミラー117、118の反射面が主走査平面に直交し、主走査方向から所定の角度、本実施形態では30°だけ傾けた配置となるように位置決めする位置決め部451と、振動ミラー基板106における実装基板448の一辺の縁に形成された配線端子455が、装着時に接触するように金属製端子群を整列したエッジコネクタ部452とを一体に有している。
振動ミラー基板106は、一辺を上記したエッジコネクタ部452に挿入し、押え爪453の内側に嵌め付け、裏側の両側面を位置決め部451に沿わせて支えられるとともに、電気的な配線がなされる。
このように、各々の振動ミラー基板106は単体で交換できるようにしている。
なお、回路基板449には、可動ミラー117、118を駆動する制御ICや水晶発振子等が実装され、コネクタ454を介して外部から電源が供給される。
このように、各々の振動ミラー基板106は単体で交換できるようにしている。
なお、回路基板449には、可動ミラー117、118を駆動する制御ICや水晶発振子等が実装され、コネクタ454を介して外部から電源が供給される。
次に、図3、図4(分解斜視図)を用いて振動ミラー基板106の詳細について説明する。本実施形態では、可動ミラーの回転トルクを印加する手段として電磁駆動方式の例を説明する。
図示するように、可動ミラー117、118はねじり梁442で軸支されており、後述するように、単一のSi基板からエッチングにより外形を貫通して作製され、実装基板448に装着して振動ミラー基板を構成する。図1では実装基板448は省略している。
可動ミラー117、118は、表面にミラー面を形成し振動子をなす可動部と、それを支え回転軸となすねじり梁と、支持部をなすフレームとからなり、Si基板をエッチングにより、同時に切り抜いて形成する。
本実施形態では、SOI基板と呼ばれる60μmと140μmとの2枚の基板が酸化膜を挟んで予め接合されたウエハを用いて作製する。
図示するように、可動ミラー117、118はねじり梁442で軸支されており、後述するように、単一のSi基板からエッチングにより外形を貫通して作製され、実装基板448に装着して振動ミラー基板を構成する。図1では実装基板448は省略している。
可動ミラー117、118は、表面にミラー面を形成し振動子をなす可動部と、それを支え回転軸となすねじり梁と、支持部をなすフレームとからなり、Si基板をエッチングにより、同時に切り抜いて形成する。
本実施形態では、SOI基板と呼ばれる60μmと140μmとの2枚の基板が酸化膜を挟んで予め接合されたウエハを用いて作製する。
まず、140μm基板(第2の基板)461の表面側からプラズマエッチングによるドライプロセスによって、ねじり梁442、平面コイルが形成される振動板(振動子)443、可動部の骨格をなす補強梁444と、フレーム446とを残したそれ以外の部分を酸化膜まで貫通する。
次に、60μm基板(第1の基板)462の表面側からKOHなどの異方性エッチングによって、可動部と、フレーム445とを残したそれ以外の部分を酸化膜まで貫通し、最後に、可動部周囲の酸化膜を除去して分離し、可動ミラーの構造体を形成する。各可動ミラー117、118とも構造は同一である。
ここで、ねじり梁442、補強梁444の幅は40〜60μmとした。上記したように振動子の慣性モーメントIは振れ角を大きくとるには小さい方が望ましく、反面、慣性力によってミラー面が変形してしまうため、本実施形態では可動部を肉抜きした構造としている。
次に、60μm基板(第1の基板)462の表面側からKOHなどの異方性エッチングによって、可動部と、フレーム445とを残したそれ以外の部分を酸化膜まで貫通し、最後に、可動部周囲の酸化膜を除去して分離し、可動ミラーの構造体を形成する。各可動ミラー117、118とも構造は同一である。
ここで、ねじり梁442、補強梁444の幅は40〜60μmとした。上記したように振動子の慣性モーメントIは振れ角を大きくとるには小さい方が望ましく、反面、慣性力によってミラー面が変形してしまうため、本実施形態では可動部を肉抜きした構造としている。
さらに、60μm基板462の表面側にアルミニウム薄膜を蒸着して反射面部441となし、140μm基板461の表面側には銅薄膜でコイルパターン463とねじり梁442を介して配線された端子464を形成する。
当然、振動板443側に薄膜状の永久磁石を備え、フレーム445側に平面コイルを形成する構成とすることもできる。
実装基板448上には、振動ミラー基板106を装着する枠状の台座466と、可動ミラー117、118を囲うように形成されたヨーク460が配備され、上記ヨークには可動ミラー端に対向して各々S極とN極とを向かい合わせ、回転軸と直交する方向に磁界を発生する一対の永久磁石450が接合されている。
当然、振動板443側に薄膜状の永久磁石を備え、フレーム445側に平面コイルを形成する構成とすることもできる。
実装基板448上には、振動ミラー基板106を装着する枠状の台座466と、可動ミラー117、118を囲うように形成されたヨーク460が配備され、上記ヨークには可動ミラー端に対向して各々S極とN極とを向かい合わせ、回転軸と直交する方向に磁界を発生する一対の永久磁石450が接合されている。
本実施形態において、可動ミラー117、118はそれぞれ、振動板443、補強梁444及び反射面部441を合わせた構造体をいい、これを可動部とも称している。
可動ミラー117、118は、ミラー面を表に向けて台座466に装着され、各端子464間に電流を流すことによりコイルパターン463の回転軸に平行な各辺にローレンツ力が生じ、ねじり梁442をねじって可動ミラー117、118を回転する回転トルクTを発生し、電流を切るとねじり梁442の戻り力により水平に戻る。
従って、コイルパターン463に流れる電流の方向を交互に切り換えることによって、可動ミラー117、118を往復振動させることができる。
そして、この電流の切り換える周期を、可動ミラーを構成する構造体の、ねじり梁を回転軸とした1次振動モードの固有振動数、いわゆる共振振動数f0に近づけると振幅が励起され大きな振れ角を得ることができる。
可動ミラー117、118は、ミラー面を表に向けて台座466に装着され、各端子464間に電流を流すことによりコイルパターン463の回転軸に平行な各辺にローレンツ力が生じ、ねじり梁442をねじって可動ミラー117、118を回転する回転トルクTを発生し、電流を切るとねじり梁442の戻り力により水平に戻る。
従って、コイルパターン463に流れる電流の方向を交互に切り換えることによって、可動ミラー117、118を往復振動させることができる。
そして、この電流の切り換える周期を、可動ミラーを構成する構造体の、ねじり梁を回転軸とした1次振動モードの固有振動数、いわゆる共振振動数f0に近づけると振幅が励起され大きな振れ角を得ることができる。
共振振動数f0は上記したように、可動ミラーを構成する振動子の慣性モーメントIによって決定されるため、仕上がりの寸法精度にばらつきがあると個体間で差が生じてしまい、通常は走査周波数fdをこの共振振動数f0に合わせて、個々に設定がなされる。
しかしながら、共振振動数f0は、可動ミラーの慣性モーメントIやバネ定数Kによって決定されるため、仕上がりの寸法精度にばらつきがあると個体間で差が生じてしまい、各々の走査周波数fdを揃えることができない。
この共振振動数f0のばらつきは、プロセスの能力にもよるが、±200Hz程度あり、例えば、走査周波数fd=2kHzとすると1/10ラインに相当する走査ラインピッチのずれが生じることになり、10ライン記録すると1ライン分の位置ずれになってしまう。
そこで、本実施形態では、ねじり共振モードの帯域内で、共振振動数f0によらず所定の走査周波数fdを設定し、コイルパターン463に流れる電流量を加減することで、振れ角を合わせている。
しかしながら、共振振動数f0は、可動ミラーの慣性モーメントIやバネ定数Kによって決定されるため、仕上がりの寸法精度にばらつきがあると個体間で差が生じてしまい、各々の走査周波数fdを揃えることができない。
この共振振動数f0のばらつきは、プロセスの能力にもよるが、±200Hz程度あり、例えば、走査周波数fd=2kHzとすると1/10ラインに相当する走査ラインピッチのずれが生じることになり、10ライン記録すると1ライン分の位置ずれになってしまう。
そこで、本実施形態では、ねじり共振モードの帯域内で、共振振動数f0によらず所定の走査周波数fdを設定し、コイルパターン463に流れる電流量を加減することで、振れ角を合わせている。
図6は、可動ミラーを振幅させる駆動回路のブロック図である。上記したように、可動ミラー裏側に形成した平面コイル463には、交互に電流の流れる方向が切り換わるように、交流電圧、またはパルス波状電圧が印加され、振れ角θが一定となるように平面コイル463に流す電流のゲインを調節して往復振動させる。
図6に示す振幅演算部とゲイン調整部により振幅制御手段が構成されている。
図10は、走査周波数fと振れ角θとの関係を示す。一般に、共振周波数f0をピークとした周波数特性となり、走査周波数fdを共振周波数f0に一致させれば、最も振れ角が大きくとれるが、共振周波数付近においては急峻に振れ角が変化する。
図6に示す振幅演算部とゲイン調整部により振幅制御手段が構成されている。
図10は、走査周波数fと振れ角θとの関係を示す。一般に、共振周波数f0をピークとした周波数特性となり、走査周波数fdを共振周波数f0に一致させれば、最も振れ角が大きくとれるが、共振周波数付近においては急峻に振れ角が変化する。
従って、初期的には可動ミラーの駆動制御部において固定電極に印加する駆動周波数を共振振動数に合うよう設定することができるが、温度変化に伴うバネ定数の変化などで共振周波数が変動した際には振れ角が激減してしまい、経時的な安定性に乏しいという欠点がある。
従来、共振周波数f0の変化に追従するようにfd走査周波数を制御する例が提案されているが、上記したように、この走査周波数fdが変化してしまうと走査ラインのピッチずれとなるため、本実施形態では、走査周波数fdを共振周波数f0から外した単一周波数に固定し、ゲイン調整に応じて振れ角θが増減できるようにしている。
従来、共振周波数f0の変化に追従するようにfd走査周波数を制御する例が提案されているが、上記したように、この走査周波数fdが変化してしまうと走査ラインのピッチずれとなるため、本実施形態では、走査周波数fdを共振周波数f0から外した単一周波数に固定し、ゲイン調整に応じて振れ角θが増減できるようにしている。
具体的には、共振周波数f0=2kHzに対し、走査周波数fdは2.5kHzとし、ゲイン調整により振れ角θが±25°になるように合わせている。
経時的には、上記したように、振れ角θを、可動ミラーにより走査されたビームを、走査領域の始端に配備したビーム検出手段としての同期検知センサによって検出し、振れ角θが一定となるように制御している。
ところで、上記したように振動ミラーは共振振動されるため、sin波状に走査角θが変化する。
一方、被走査面である感光体ドラム面では均一間隔で主走査ドットを印字する必要がある。
仮に、画素クロックを単一の周波数で変調すると、被走査面では振幅のピークに近づくにつれてドット間隔が間延びしてしまう。
このリニアリティのずれは、上記したようにf・arcsinレンズを用いて補正されるが、十分な補正効果が得られる有効半画角ω、言い換えれば、画像領域を走査する有効振れ角θd(θd=ω/2)は、全振れ角θの40%以下に相当する分しかとれない。
経時的には、上記したように、振れ角θを、可動ミラーにより走査されたビームを、走査領域の始端に配備したビーム検出手段としての同期検知センサによって検出し、振れ角θが一定となるように制御している。
ところで、上記したように振動ミラーは共振振動されるため、sin波状に走査角θが変化する。
一方、被走査面である感光体ドラム面では均一間隔で主走査ドットを印字する必要がある。
仮に、画素クロックを単一の周波数で変調すると、被走査面では振幅のピークに近づくにつれてドット間隔が間延びしてしまう。
このリニアリティのずれは、上記したようにf・arcsinレンズを用いて補正されるが、十分な補正効果が得られる有効半画角ω、言い換えれば、画像領域を走査する有効振れ角θd(θd=ω/2)は、全振れ角θの40%以下に相当する分しかとれない。
本実施形態では、最大振れ角(振幅)角θが±25°に対して有効振れ角θdは±10°である。
また、上記したように、有効半画角ωが狭くなればミラー面サイズが拡大してしまうため、走査周波数や振れ角を確保するには、なるべく大きな有効振れ角θdまで対応できるようにしてミラー面サイズをできるだけ小さく収めることが望ましい。
本実施形態では、走査周波数fd:2.5kHzにて振れ角θ:±25°が得られる現実的なミラー面サイズとして、ねじり梁442に直交する方向の寸法を4.5mm、平行な方向を1mmに設定している。
また、上記したように、有効半画角ωが狭くなればミラー面サイズが拡大してしまうため、走査周波数や振れ角を確保するには、なるべく大きな有効振れ角θdまで対応できるようにしてミラー面サイズをできるだけ小さく収めることが望ましい。
本実施形態では、走査周波数fd:2.5kHzにて振れ角θ:±25°が得られる現実的なミラー面サイズとして、ねじり梁442に直交する方向の寸法を4.5mm、平行な方向を1mmに設定している。
図8は、発光源である半導体レーザを変調するための駆動回路のブロック図である。
各色ステーション毎にラスター展開された画像データはフレームメモリに各々一時保存され、画像処理部に順に読み出されて、前後の関係を参照しながら中間調に対応したマトリクスパターンに応じて各ラインの画素データが形成され、各発光源に対応したラインバッファに転送される。
ラインバッファには、第1と第2のステーションまたは第3と第4のステーションの画像データが蓄積され、書込制御部は、各々の同期検知信号を基準としたタイミングにより、ラインバッファを切り換えて交互に画像データを読み出し、変調データとして光源駆動部に出力する。
図8に示す書込制御部と光源駆動部により光源制御手段が構成されている。
なお、ラインバッファから画像データを読み出す際に先頭から読み出すか、末尾から読み出すかを選択することによって、可動ミラーの復走査、復走査に対応することができる。
各色ステーション毎にラスター展開された画像データはフレームメモリに各々一時保存され、画像処理部に順に読み出されて、前後の関係を参照しながら中間調に対応したマトリクスパターンに応じて各ラインの画素データが形成され、各発光源に対応したラインバッファに転送される。
ラインバッファには、第1と第2のステーションまたは第3と第4のステーションの画像データが蓄積され、書込制御部は、各々の同期検知信号を基準としたタイミングにより、ラインバッファを切り換えて交互に画像データを読み出し、変調データとして光源駆動部に出力する。
図8に示す書込制御部と光源駆動部により光源制御手段が構成されている。
なお、ラインバッファから画像データを読み出す際に先頭から読み出すか、末尾から読み出すかを選択することによって、可動ミラーの復走査、復走査に対応することができる。
図11に基づいて第2の実施形態(図1に示した光走査装置を搭載した画像形成装置の例)を説明する。
感光体ドラム901の周囲には感光体を高圧に帯電する帯電チャージャ902、光走査装置900により記録された静電潜像に帯電したトナーを付着して顕像化する現像ローラ903やトナーカートリッジ等を有する現像装置904、感光体ドラム901に残ったトナーを掻き取って備蓄するクリーニング装置905が配置される。
感光体ドラム901へは振動ミラーの往復走査により1周期で2ライン毎の画像記録が行われる。
感光体ドラム901の周囲には感光体を高圧に帯電する帯電チャージャ902、光走査装置900により記録された静電潜像に帯電したトナーを付着して顕像化する現像ローラ903やトナーカートリッジ等を有する現像装置904、感光体ドラム901に残ったトナーを掻き取って備蓄するクリーニング装置905が配置される。
感光体ドラム901へは振動ミラーの往復走査により1周期で2ライン毎の画像記録が行われる。
上記した画像形成ステーションは中間転写ベルト906の移動方向に並列され、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナー画像が中間転写ベルト906上にタイミングを合わせて順次転写され、重ね合わされてカラー画像が形成される。
各画像形成ステーションはトナー色が異なるだけで、基本的には同一構成である。
一方、記録媒体としての記録紙は給紙トレイ907から給紙コロ908により供給され、レジストローラ対909により副走査方向の記録開始のタイミングに合わせて送り出され、転写装置としての転写ローラ912により中間転写ベルト906から記録紙にトナー画像が転写されて、定着装置910で定着して排紙ローラ対912により排紙トレイ911に排出される。
各画像形成ステーションはトナー色が異なるだけで、基本的には同一構成である。
一方、記録媒体としての記録紙は給紙トレイ907から給紙コロ908により供給され、レジストローラ対909により副走査方向の記録開始のタイミングに合わせて送り出され、転写装置としての転写ローラ912により中間転写ベルト906から記録紙にトナー画像が転写されて、定着装置910で定着して排紙ローラ対912により排紙トレイ911に排出される。
図12に基づいて第3の実施形態(図1に示した光走査装置を搭載した画像形成装置の他例)を説明する。
光走査装置920によって共通の感光体ドラム921における別々の領域に各々色の異なる画像を形成し、感光体ドラム上で2色のトナー像を重ね合わせる。
感光体ドラム921の周囲には、各色に対応して感光体を高圧に帯電する帯電チャージャ922、光走査装置920により記録された各静電潜像にトナーを付着して顕像化する現像ローラ923やトナーカートリッジ等を有する現像装置924、感光体ドラムに残ったトナーを掻き取って備蓄するクリーニング装置925が色別に配置される。
本実施形態では、この感光体ドラムを一対設けることで、重ね合わされた2色のトナー像は、さらに中間転写ベルト926上で4色に重ね合わされカラー画像を形成する。
記録紙の流れは、第2の実施形態と同じであるので説明は省略する。
光走査装置920によって共通の感光体ドラム921における別々の領域に各々色の異なる画像を形成し、感光体ドラム上で2色のトナー像を重ね合わせる。
感光体ドラム921の周囲には、各色に対応して感光体を高圧に帯電する帯電チャージャ922、光走査装置920により記録された各静電潜像にトナーを付着して顕像化する現像ローラ923やトナーカートリッジ等を有する現像装置924、感光体ドラムに残ったトナーを掻き取って備蓄するクリーニング装置925が色別に配置される。
本実施形態では、この感光体ドラムを一対設けることで、重ね合わされた2色のトナー像は、さらに中間転写ベルト926上で4色に重ね合わされカラー画像を形成する。
記録紙の流れは、第2の実施形態と同じであるので説明は省略する。
101、102、103、104 被走査位置又は像担持体としての感光体ドラム
111 ビーム分岐手段としての分岐プリズム
117、118 可動ミラー
442 ねじり梁
900、920 光走査装置
904、924 現像装置
912 転写装置としての転写ローラ
111 ビーム分岐手段としての分岐プリズム
117、118 可動ミラー
442 ねじり梁
900、920 光走査装置
904、924 現像装置
912 転写装置としての転写ローラ
Claims (9)
- 複数の被走査位置に対応した画像情報に基づいて変調する発光源と、該発光源からのビームを分岐するビーム分岐手段と、ねじり梁を回転軸として支持され、上記発光源からのビームを往復走査する可動ミラーと、該可動ミラーによって走査されたビームを各被走査位置に結像する結像光学系と、を有する光走査装置であって、
上記可動ミラーを、上記回転軸が同軸となるように複数配備するとともに、上記ビーム分岐手段により分岐されたビームを各々に対応した可動ミラーにより走査し、各被走査位置に画像を書き込むことを特徴とする光走査装置。 - 請求項1記載の光走査装置において、
上記複数の可動ミラーは、同一の走査周波数により走査するとともに、各被走査位置を走査している期間が重複しないように振幅の位相をずらしてなることを特徴とする光走査装置。 - 請求項2記載の光走査装置において、
上記可動ミラーの走査周波数を、共振振動数の近傍で、共振振動数によらず所定の周波数に設定することを特徴とする光走査装置。 - 請求項2記載の光走査装置において、
上記可動ミラーにより走査されたビームを検出するビーム検出手段を備え、上記各被走査位置に対応した画像情報を、上記ビーム検出手段による各々のビーム検出信号に基づいて交互に読み出し、上記発光源を変調する光源制御手段を備えることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1記載の光走査装置において、
上記可動ミラーにより走査されたビームを検出するビーム検出手段を備え、上記各可動ミラーの振れ角(振幅)を、上記ビーム検出手段によるビーム検出信号に基いて揃える振幅制御手段を備えることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1記載の光走査装置において、
上記ビーム分岐手段は、上記発光源から上記可動ミラーに至る平行光束中に配備してなることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1記載の光走査装置において、
上記複数の可動ミラーは、同一の基板により形成してなることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する複数の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、各トナー画像を重ね合わせて記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする画像形成装置。
- 請求項1〜7のいずれか一に記載の光走査装置と、上記発光源を各色画像情報に応じて変調し、静電像を交互に記録する共通の像担持体と、静電像を各色トナーで顕像化する現像装置と、像担持体上で重ね合わされたトナー画像を記録媒体に転写する転写装置と、を備えることを特徴とする画像形成装置。
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Cited By (2)
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JP2009003042A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Hitachi Ltd | 画像表示装置 |
JP2011197179A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
-
2006
- 2006-09-15 JP JP2006251484A patent/JP2008070798A/ja active Pending
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