JP2002252794A - クランプ回路、それを用いた撮像装置と撮像システム、及びクランプ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リセットスイッチがオフするときの基準電圧
源の電位振動の影響を抑えたクランプ動作を行う。 【解決手段】 複数の信号線にそれぞれ一端が接続され
る複数のクランプ容量２と、複数のクランプ容量の他端
にそれぞれ接続される、クランプ動作で該他端に基準電
圧を印加するための複数のスイッチ手段３と、を備えた
クランプ回路において、スイッチ手段のクランプ動作に
おけるオフのタイミングを複数のクランプ容量について
クランプ容量ごとにずらすためのタイミング調整手段
４、１８を、スイッチ手段の制御端子に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクランプ回路、それ
を用いた撮像装置と撮像システム、及びクランプ方法に
係わり、特に複数の信号線にそれぞれ一端が接続される
複数のクランプ容量と、該複数のクランプ容量の他端に
それぞれ接続される、クランプ動作で該他端に基準電圧
を印加するための複数のスイッチ手段と、を備えたクラ
ンプ回路、それを用いた撮像装置と撮像システム、及び
クランプ方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来の撮像装置の構成を示す回路
構成図である。光電変換素子１を２次元的に配置し、各
列の素子の出力が接続された信号線（垂直信号線）６
（６−１，６−２，…，６−ｎ）にクランプ容量２（２
−１，２−２，…，２−ｎ）の一端が接続され、クラン
プ容量２の他端にはリセットスイッチ３（３−１，３−
２，…，３−ｎ）と水平転送スイッチ５（５−１，５−
２，…，５−ｎ）を信号線（垂直信号線）７（７−１，
７−２，…，７−ｎ）を介して接続し、その水平転送ス
イッチ５のもう一端が接続された共通水平信号線８を経
て、出力オペアンプ９から信号電圧が出力される。１１
（１１−１，１１−２，…，１１−ｍ）は１のセルを選
択し、活性化するための選択線、１２はリセットスイッ
チ３を駆動するパルス入力端子、１３はオペアンプ９の
動作点を決める電圧源、１４は出力端子、１５はクラン
プ容量２に保存された信号電荷を水平転送スイッチ５を
経て転送し、信号電圧に変換するための帰還容量、１６
は垂直シフトレジスタ、１７は水平シフトレジスタであ
る。

【０００３】図６は光電変換素子の一例を示す回路構成
図である。この光電変換素子はＣＭＯＳセンサーと呼ば
れるセンサーの一構成例を示すものである。

【０００４】図６において、破線領域はＣＭＯＳセンサ
ーの一画素部を示し、ＰＤはフォトダイオード、ＭTXは
転送用トランジスタ、ＭRESはリセット用トランジス
タ、ＭSFは画素アンプとなる増幅用トランジスタ、ＭSE
Lは画素を選択する選択用トランジスタである。リセッ
ト用トランジスタＭRES、ＭRVをオンして画素部および
垂直出力線のリセットを行った後に画素アンプＭSF、選
択用トランジスタＭSELを介してノイズ信号を出力す
る。次に、転送用トランジスタＭTXをオンすると、フォ
トダイオードＰＤから光電変換された信号が画素アンプ
となる増幅用トランジスタＭSFのゲートに転送され、画
素アンプＭSF、選択用トランジスタＭSELを介してノイ
ズ信号成分を含む信号を出力する。φSEL、φTX、φRE
S、φRVはそれぞれ増幅用トランジスタＭSEL、転送用ト
ランジスタＭTX、リセット用トランジスタＭRES，ＭRV
を制御する制御信号である。また、トランジスタＭLは
画素アンプＭSFの負荷である。トランジスタＭLの制御
信号φLはφSELと共通に駆動するか、常にＨレベルとし
て抵抗としても良い。

【０００５】以下に上記クランプ容量を用いた、前記光
電変換素子のもつ、製造バラツキによるノイズを、低減
する動作を説明する。

【０００６】垂直シフトレジスタ１６からの選択線１１
（１１−１，１１−２，…，１１−ｍ）によって活性化
された光電変換素子がリセット状態にある時、そのリセ
ット状態の出力電圧（Vres）はクランプ容量２（２−
１，２−２，…，２−ｎ）の一端に印加される。その時
同時にクランプ容量２の他端に接続されているリセット
スイッチ３（３−１，３−２，…，３−ｎ）をオンさ
せ、基準電圧１０(Vref)を印加して、その後リセットス
イッチ３をオフさせることでクランプ容量２にはVresと
Vrefの差電圧に応じた電荷が保存される。

【０００７】次に、前記光電変換素子から光電変換され
た信号に対応する信号電圧（Vsig）がクランプ容量２
（２−１，２−２，…，２−ｎ）の一端に印加される。
なお、この信号電圧（Vsig）は出力電圧（Vres）を含ん
でいる。この時前記スイッチ３はOFFしており、クラン
プ容量２の電荷は保存されるので、クランプ容量２の一
端の電位はVsigとVresの差分だけ（Vsig−Vres）変動す
るとともに、他端の電位もVsigとVresの差分（Vsig−Vr
es）分変動する。光電変換素子１が信号電圧（Vsig）を
出力している時に、水平転送スイッチ５を水平シフトレ
ジスタ１７からの信号によって順次オンさせることで、
VsigとVresの差電圧に応じた電荷が、出力アンプ９の出
力端子１４と反転入力端子との間に接続された帰還容量
１５に転送され、出力アンプ９の出力端子１４からVsig
-Vresに比例した電圧が出力される。この出力電圧はVre
s電圧に依存していないことから（出力電圧（Vres）成
分を含む信号電圧（Vsig）から出力電圧（Vres）が減算
処理される）、光電変換素子の製造バラツキによるVres
電圧の変動にも依存しないため、ノイズの除去が行われ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ノイズ
除去の動作においては、光電変換素子がリセット電圧Vr
esを出力し、クランプ容量の一端にその電圧を印加し、
他端に前記リセットスイッチを経て基準電位Vrefを印加
して、該リセットスイッチをオフする瞬間に、そのスイ
ッチング動作により負荷が変動するため、基準電位Vref
が変動することになる。

【０００９】光電変換素子が複数あり、それに伴い前記
クランプ容量も複数ある場合、前記リセットスイッチは
基本的に同時にオフされるが、実際はその時間差はわず
かではあるがオフのタイミングが異なる。基準電位Vref
がスイッチングにより振動しているときに異なるタイミ
ングでクランプ容量に電位をホールドすればクランプ容
量に保存される電荷も異なってしまい、前記ノイズ除去
が十分行われなくなってしまう場合がある。

【００１０】図７は以上説明した課題を説明するもの
で、１bit目のクランプのスイッチがオフしたときに基
準電圧Vrefの電圧は振動し、２bit目のクランプスイッ
チがオフするタイミングで取り込まれるクランプ電圧は
V2となり、同様にnbit目のクランプスイッチがオフする
タイミングで取り込まれるクランプ電圧はVnとなって、
ともにVrefとは異なる値になってしまう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のクランプ回路
は、複数の信号線にそれぞれ一端が接続される複数のク
ランプ容量と、該複数のクランプ容量の他端にそれぞれ
接続される、クランプ動作で該他端に基準電圧を印加す
るための複数のスイッチ手段と、を備えたクランプ回路
において、前記スイッチ手段のクランプ動作におけるオ
フのタイミングを前記複数のクランプ容量について前記
クランプ容量ごとにずらすためのタイミング調整手段
を、前記スイッチ手段の制御端子に接続することを特徴
とするものである。

【００１２】また本発明のクランプ回路は、複数の信号
線にそれぞれ一端が接続される複数のクランプ容量と、
該複数のクランプ容量の他端にそれぞれ接続される、ク
ランプ動作で該他端に基準電圧を印加するための複数の
スイッチ手段と、を備えたクランプ回路において、前記
スイッチ手段のクランプ動作におけるオフのタイミング
を前記複数のクランプ容量について前記クランプ容量ご
とにずらすための遅延素子を、前記スイッチ手段の制御
端子に接続することを特徴とするものである。

【００１３】また本発明の撮像装置は、上記本発明のク
ランプ回路を用いたものである。また本発明の撮像シス
テムは本発明の撮像装置を用いたものである。

【００１４】本発明のクランプ方法は、複数の信号線に
それぞれ一端が接続される複数のクランプ容量と、該複
数のクランプ容量の他端にそれぞれ接続される、クラン
プ動作で該他端に基準電圧を印加するための複数のスイ
ッチ手段と、を備えたクランプ回路によるクランプ方法
において、前記スイッチ手段のクランプ動作におけるオ
フのタイミングを、前記スイッチ手段のクランプ動作に
おけるスイッチオフ時に振動した前記基準電圧が収束す
るのに要する時間に応じて、前記複数のクランプ容量に
ついて前記クランプ容量ごとにずらすことを特徴とする
ものである。

【００１５】本発明は、スイッチ手段をオフするタイミ
ングを、タイミング調整手段を設けることで、その接続
されている信号線に対して異なるようにするものであ
る。そのオフするタイミングの差は、基準電位（Vref）
のスイッチング動作による電圧の振動が収束する、いわ
ゆるセトリング時間を考慮したものにすることで、各信
号線に接続されているクランプ容量に印加される基準電
位が等しくなるようにすることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実
施形態では撮像装置を例として説明するが、本発明のク
ランプ回路は特に撮像装置に用途が限定されるものでは
ない。

【００１７】スイッチ手段となるリセットスイッチのオ
フタイミングの差を設定する具体的な手段を含めた撮像
装置の、本発明に係る第１の実施形態の回路構成を図１
に示す。なお、図５の構成部材と同一構成部材について
は同一符号を付する。光電変換素子１としては例えば図
６に示した光電変換素子を用いることができる。

【００１８】図１において、１は光電変換素子、２（２
−１，２−２，…，２−ｎ）はクランプ容量、３（３−
１，３−２，…，３−ｎ）はクランプ容量２の一端の電
位を基準電位Vrefにクランプするリセットスイッチ、４
（４−１，４−２，…，４−ｎ）はリセットスイッチの
ゲート（制御端子）に接続され、リセットスイッチ３を
駆動するインバーターであり、このインバーター４の段
数と抵抗１８（１８−１，１８−２，…，１８−（ｎ−
１））により各垂直信号線７（７−１，７−２，…，７
−ｎ）でのリセットタイミングのずれを設定する。すな
わち、インバーター４（４−１，４−２，…，４−ｎ）
と抵抗１８（１８−１，１８−２，…，１８−（ｎ−
１））とはタイミング調整手段を構成し、またインバー
ター４−２と抵抗１８−１、インバーター４−３と抵抗
１８−２、…はそれぞれ遅延素子を構成する。５（５−
１，５−２，…，５−ｎ）は水平転送スイッチ、６（６
−１，６−２，…，６−ｎ）及び７（７−１，７−２，
…，７−ｎ）は垂直信号線、８は共通水平信号線、９は
出力オペアンプ、１０はクランプ容量２にクランプ電位
を与える基準電圧源、１１（１１−１，１１−２，…，
１１−ｍ）は１のセルを選択し、活性化するための選択
線、１２はリセットスイッチ３を駆動するパルス入力端
子、１３はオペアンプ９の動作点を決める電圧入力端
子、１４は出力端子、１５はクランプ容量２に保存され
た信号電荷を水平転送スイッチ５を経て転送し、信号電
圧に変換するための帰還容量、１６は垂直シフトレジス
タ、１７は水平シフトレジスタである。この回路の動作
は図５に示した従来例と同様であるので、その説明は省
略する。

【００１９】クランプ容量２の一端に光電変換素子１か
ら、そのリセット電位、あるいは信号電位が印加されて
いるとき、リセットスイッチ３をオンさせ、クランプ容
量２の他端に基準電位Vrefを与えてクランプするわけだ
が、リセットスイッチ３のオフ（OFF）のタイミングを
各垂直信号線７−１，７−２，…，７−ｎごとにずらせ
るため、インバーター４の段数やインバーターを構成す
るトランジスタサイズ、抵抗１８の値でそのずれ量を調
節する。その最適値はクランプするためのスイッチング
動作による基準電位Vrefの振動収束時間（セトリング時
間）によって決定するのが望ましい。

【００２０】例えば垂直信号線７−１のリセットスイッ
チ３−１を駆動するインバーター４−１の出力を隣接す
るインバーター４−２の入力とすることで、確実にある
量のタイミングずれを発生させることができる。このよ
うに、ある垂直信号線のリセットスイッチの入力を隣接
する垂直信号線のリセットスイッチのインバーターの入
力と接続していけば、リセットスイッチ３−１，３−
２，…，３−ｎは順次一定タイミングずれてオン（ON）
していくことになる。

【００２１】図２は本発明の撮像装置の第２の実施形態
の回路構成図であり、図１におけるリセットスイッチ３
のオフタイミングのずれを設定する方法が異なるだけで
ある。すなわち、図２では抵抗１８（１８−１，１８−
２，…，１８−ｎ）を直列に接続し、その接点を各垂直
信号線７に対応したリセットスイッチ３を駆動するイン
バーター４の入力とすることでタイミングずれを設定し
ている。例えば、垂直信号線７−１のリセットスイッチ
３−１を駆動するインバーター４−１の入力側はパルス
電圧源と接続されるパルス入力端子１２と抵抗１８−１
を介して接続されるが、垂直信号線７−２のリセットス
イッチ３−２を駆動するインバーター４−２の入力側は
パルス入力端子１２と抵抗１８−１，１８−２を介して
接続されることになり、確実にある量のタイミングずれ
を発生させることができる。すなわち、インバーター４
（４−１，４−２，…，４−ｎ）と抵抗１８（１８−
１，１８−２，…，１８−（ｎ−１））とはタイミング
調整手段を構成し、またインバーター４−１と抵抗１８
−１、インバーター４−２と抵抗１８−１，１８−２、
…はそれぞれ遅延素子を構成する。

【００２２】図３は上記のタイミングのずれを基準電圧
のセトリング時間に応じて設定した場合の、各bitで取
り込まれるクランプ電圧のバラツキが従来例より小さく
なることを表している。

【００２３】なお、ここで示している、リセットスイッ
チ３を駆動するインバーター４は、駆動回路の一例で、
nor回路やバッファーアンプなどを用いてもよく、回路
構成に特に制限があるものではない。

【００２４】以上説明したように、第１及び第２の実施
形態によれば、クランプ容量の一端に、スイッチ手段を
経て、基準電位を印加するクランプ動作において、スイ
ッチ手段がオフする瞬間に、その負荷が急激に変わるこ
とで電位が振動する基準電圧源の電位振動の問題を、前
記振動が収束するのに必要な時間（セトリング時間）を
考慮した時間差を、各クランプ容量に附随するスイッチ
手段をオフするタイミングを調整することで解決し、基
準電圧源の電位が定常状態にあるときにクランプ動作を
行うことができる。

【００２５】次に上記第１及び第２の実施形態の撮像装
置を用いた撮像システムについて説明する。図４に基づ
いて、本発明の撮像装置をスチルカメラに適用した場合
の一実施例について詳述する。

【００２６】図４は本発明の撮像装置を“スチルビデオ
カメラ”に適用した場合を示すブロック図である。

【００２７】図４において、１０１はレンズのプロテク
トとメインスイッチを兼ねるバリア、１０２は被写体の
光学像を固体撮像素子（撮像装置）１０４に結像させる
レンズ、１０３はレンズ１０２を通った光量を可変する
ための絞り、１０４はレンズ１０２で結像された被写体
を画像信号として取り込むための固体撮像素子、１０６
は固体撮像素子１０４より出力される画像信号のアナロ
グ−ディジタル変換を行うＡ／Ｄ変換器、１０７はＡ／
Ｄ変換器１０６より出力された画像データに各種の補正
を行ったりデータを圧縮する信号処理部、１０８は固体
撮像素子１０４、撮像信号処理回路１０５、Ａ／Ｄ変換
器１０６、信号処理部１０７に、各種タイミング信号を
出力するタイミング発生部、１０９は各種演算とスチル
ビデオカメラ全体を制御する全体制御・演算部、１１０
は画像データを一時的に記憶するためのメモリ部、１１
１は記録媒体に記録または読み出しを行うためのインタ
ーフェース部、１１２は画像データの記録または読み出
しを行うための半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体、
１１３は外部コンピュータ等と通信するためのインター
フェース部である。

【００２８】次に、前述の構成における撮影時のスチル
ビデオカメラの動作について、説明する。

【００２９】バリア１０１がオープンされるとメイン電
源がオンされ、次にコントロール系の電源がオンし、さ
らに、Ａ／Ｄ変換器１０６などの撮像系回路の電源がオ
ンされる。

【００３０】それから、露光量を制御するために、全体
制御・演算部１０９は絞り１０３を開放にし、固体撮像
素子４から出力された信号はＡ／Ｄ変換器１０６で変換
された後、信号処理部１０７に入力される。そのデータ
を基に露出の演算を全体制御・演算部１０９で行う。

【００３１】この測光を行った結果により明るさを判断
し、その結果に応じて全体制御・演算部１０９は絞りを
制御する。

【００３２】次に、固体撮像素子１０４から出力された
信号をもとに、高周波成分を取り出し被写体までの距離
の演算を全体制御・演算部１０９で行う。その後、レン
ズを駆動して合焦か否かを判断し、合焦していないと判
断したときは、再びレンズを駆動し測距を行う。

【００３３】そして、合焦が確認された後に本露光が始
まる。露光が終了すると、固体撮像素子１０４から出力
された画像信号はＡ／Ｄ変換器１０６でＡ−Ｄ変換さ
れ、信号処理部１０７を通り全体制御・演算１０９によ
りメモリ部に書き込まれる。その後、メモリ部１１０に
蓄積されたデータは、全体制御・演算部１０９の制御に
より記録媒体制御Ｉ／Ｆ部を通り半導体メモリ等の着脱
可能な記録媒体１１２に記録される。又外部Ｉ／Ｆ部１
１３を通り直接コンピュータ等に入力して画像の加工を
行ってもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
効果的なクランプ動作を行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の撮像装置の第１の実施形態の回路構成
図である。

【図２】本発明の撮像装置の第２の実施形態の回路構成
図である。

【図３】本発明の撮像装置の動作を示すタイミングチャ
ートである。

【図４】本発明の固体撮像装置をスチルビデオカメラに
適用した場合を示すブロック図である。

【図５】従来の撮像装置の構成を示す回路構成図であ
る。

【図６】光電変換素子の一例を示す回路構成図である。

【図７】図５に示す撮像装置の課題を説明するタイミン
グチャートである。

【符号の説明】

１ 光電変換素子 ２−１，２−２，…，２−ｎ クランプ容量 ３−１，３−２，…，３−ｎ リセットスイッチ ４−１，４−２，…，４−ｎ インバーター ５−１，５−２，…，５−ｎ、６−１，６−２，…，６
−ｎ 水平転送スイッチ ７−１，７−２，…，７−ｎ 垂直信号線 ８ 共通水平信号線 ９ 出力オペアンプ １０ 基準電圧源 １１−１，１１−２，…，１１−ｍ 選択線 １２ パルス入力端子 １３ 電圧入力端子 １４ 出力端子 １５ 帰還容量 １６ 垂直シフトレジスタ １７ 水平シフトレジスタ １８−１，１８−２，…，１８−（ｎ−１） 抵抗

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の信号線にそれぞれ一端が接続され
   る複数のクランプ容量と、該複数のクランプ容量の他端
   にそれぞれ接続される、クランプ動作で該他端に基準電
   圧を印加するための複数のスイッチ手段と、を備えたク
   ランプ回路において、前記スイッチ手段のクランプ動作
   におけるオフのタイミングを前記複数のクランプ容量に
   ついて前記クランプ容量ごとにずらすためのタイミング
   調整手段を、前記スイッチ手段の制御端子に接続するこ
   とを特徴とするクランプ回路。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のクランプ回路におい
   て、前記タイミング調整手段として、クランプ動作にお
   けるオフのタイミングを隣接するスイッチ手段よりも遅
   くするための遅延素子を前記複数のスイッチ手段の制御
   端子にそれぞれ接続することを特徴とするクランプ回
   路。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のクランプ
   回路において、前記スイッチ手段のクランプ動作におけ
   るオフのタイミングのずらし量は、前記スイッチ手段の
   クランプ動作におけるスイッチオフ時に振動した前記基
   準電圧が収束するのに要する時間に応じて設定されるこ
   とを特徴とするクランプ回路。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載のクランプ
   回路において、前記遅延素子は隣接する二つのスイッチ
   手段の制御端子間に設けられ、該遅延素子により一のス
   イッチ手段の制御端子に入力される制御信号を遅延させ
   て隣接するスイッチ手段の制御端子に入力することを特
   徴とするクランプ回路。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のクランプ回路におい
   て、各スイッチ手段の制御端子は論理回路素子からなる
   駆動回路の出力側と接続され、前記遅延素子は、前記駆
   動回路と、一のスイッチ手段の制御端子と該一のスイッ
   チ手段に隣接するスイッチ手段の制御端子に接続される
   駆動回路の入力側との間に配される抵抗と、で構成され
   ることを特徴とするクランプ回路。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のクランプ回路におい
   て、各スイッチ手段の制御端子は論理回路素子からなる
   駆動回路の出力側と接続されるとともに、一のスイッチ
   手段の制御端子と、該一のスイッチ手段に隣接するスイ
   ッチ手段の制御端子に接続される駆動回路の入力側とが
   接続されて、該駆動回路により前記遅延素子が構成され
   てなり、前記遅延素子の遅延時間は、前記論理回路素子
   を構成するトランジスタのサイズ又は／及び前記論理回
   路素子の数によって設定されることを特徴とするクラン
   プ回路。
7. 【請求項７】 請求項２又は請求項３に記載のクランプ
   回路において、各スイッチ手段の制御端子を論理回路素
   子からなる駆動回路の出力側と接続し、前記クランプ動
   作を行うスイッチ手段を駆動するパルス電圧源の出力に
   直列に抵抗を複数接続し、該複数の抵抗の各接続点をそ
   れぞれ、前記スイッチ手段を駆動する前記駆動回路の入
   力側と接続してなり、前記遅延素子を前記パルス電圧源
   と前記スイッチ手段との間に設けられる前記抵抗と前記
   駆動回路により構成してなることを特徴とするクランプ
   回路。
8. 【請求項８】 複数の信号線にそれぞれ一端が接続され
   る複数のクランプ容量と、該複数のクランプ容量の他端
   にそれぞれ接続される、クランプ動作で該他端に基準電
   圧を印加するための複数のスイッチ手段と、を備えたク
   ランプ回路において、 前記スイッチ手段のクランプ動作におけるオフのタイミ
   ングを前記複数のクランプ容量について前記クランプ容
   量ごとにずらすための遅延素子を、前記スイッチ手段の
   制御端子に接続することを特徴とするクランプ回路。
9. 【請求項９】 請求項８に記載のクランプ回路におい
   て、前記遅延素子は、インバーターと抵抗を含むことを
   特徴とするクランプ回路。
10. 【請求項１０】 請求項１から請求項９のいずれかの１
    項に記載のクランプ回路を用いた撮像装置であって、前
    記複数の信号線の各信号線に複数の光電変換素子が接続
    されてなる撮像装置。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の撮像装置におい
    て、前記光電変換素子から複数の信号が出力され、該複
    数の信号のうちの一の信号を前記クランプ容量の一端に
    出力し、クランプ動作がオフした後に、該一端に他の信
    号を出力することを特徴とする撮像装置。
12. 【請求項１２】 請求項１０又は請求項１１に記載の撮
    像装置と、該撮像装置へ光を結像する光学系と、該撮像
    装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有する
    ことを特徴とする撮像システム。
13. 【請求項１３】 複数の信号線にそれぞれ一端が接続さ
    れる複数のクランプ容量と、該複数のクランプ容量の他
    端にそれぞれ接続される、クランプ動作で該他端に基準
    電圧を印加するための複数のスイッチ手段と、を備えた
    クランプ回路によるクランプ方法において、前記スイッ
    チ手段のクランプ動作におけるオフのタイミングを、前
    記スイッチ手段のクランプ動作におけるスイッチオフ時
    に振動した前記基準電圧が収束するのに要する時間に応
    じて、前記複数のクランプ容量について前記クランプ容
    量ごとにずらすことを特徴とするクランプ方法。