JP2008042347A - 撮像素子及びその制御方法、及び撮像装置 - Google Patents

撮像素子及びその制御方法、及び撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 ソースフォロワトランジスタのゲート電位を制御することで画素を選択する光電変換装置において、消費電力の低減と読み出し速度の向上を両立すること。
【解決手段】 PD(101、106)と、FD(111、112)と、PDからFDへ電荷を転送する転送トランジスタ(102)と、PDの電位変化に基づく信号を出力信号線(114)に読み出す増幅部と、FDに、互いに異なる第1及び第2の電圧とを印加する電圧印加手段(VRES、104、109)とを含む複数の画素(119、120)と、信号出力線に電流制御トランジスタ(115)を介して接続されたバイアス電流源(116)とを有し、電圧印加手段は、選択画素に含まれるFDに第1の電圧を印加し、非選択画素に含まれるFDに第2の電圧を印加することにより画素の選択動作を行い、電流制御トランジスタは、電圧印加手段が非選択画素のFDに第2の電圧を印加する処理を終了する前に、出力信号線とバイアス定電流源とを導通状態に切り替える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、スキャナ、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等の撮像装置に用いられる光電変換装置及びその駆動方法、及び当該光電変換装置を用いた撮像装置に関する。
近年、光電変換装置の進歩により、より高画質で安価なデジタルカメラが普及している。特に画素内に能動素子を持ち、周辺回路をオンチップ化できるCMOSセンサの性能向上はめざましく、広く使われるようになってきている。近年ではデジタルビデオカメラのような、高画質と高速動作を求められる製品にもCMOSセンサが普及している。
CMOSセンサは、画素毎に電荷を増幅して光信号出力に変換するための能動素子を持っているが、画素毎の閾値ばらつきや、リセット時のkTCノイズ(熱雑音)が画像の固定パターンノイズやランダムノイズの原因となる。これらのノイズを取り除くために、リセット後のリセットノイズ出力と電荷転送後の出力との差分を求めることで光信号のみを読み出すCDS(correlated double sampling)が提案されている。
また、画素数の増加に伴う画素の縮小化のために、通常、各画素から信号を出力する画素を選択するために用いられる、各画素内に構成された選択スイッチを無くした画素構成が提案されている(例えば、特許文献1参照)。ここで、従来の撮像素子の構成及び動作について、簡単に説明する。
図6は従来の撮像素子の一部を示す等価回路図、図7は図6に示す撮像素子の駆動タイミングを示すタイミングチャートである。
図6において、405はフォトダイオード、Q1は転送スイッチ、Q2はリセットスイッチ、Q3はソースフォロアとして機能する増幅MOSアンプ、503は信号出力線、513は定電流源である。また、信号蓄積部506において、Csは光信号成分を含む信号を保持するための記憶容量であり、Qsは光信号成分を含む信号を記憶容量Csに転送するための転送スイッチである。また、Cnはノイズ信号を保持するための記憶容量であり、Qnはノイズ信号を記憶容量Cnに転送するための転送スイッチである。
図7において、リセット電源がローレベルからハイレベルに変化すると、行の選択が可能になる(図7の区間Dの開始)。この状態で、選択したい行のリセットスイッチQ2をONにすると、選択行の増幅MOSアンプQ3のゲートの電圧のみがハイレベルになり、ON状態になる。一方、非選択行の増幅MOSアンプQ3のゲート電圧はローレベルのままなのでOFF状態にある。従って、各列の信号出力線503につながれた定電流源513からの電流は、選択行の増幅MOSアンプQ3にのみ流れ、選択行の増幅MOSアンプQ3のゲートの電位に相当した電圧が信号出力線503に現れることになる。
続いて、選択行のリセットスイッチQ2をOFFし、増幅MOSアンプQ3のゲートをフローティング状態にした後に、転送スイッチQnをONし、リセット直後のノイズ成分を信号蓄積部506の容量Cnに保持する(図7の区間A)。
次に、転送スイッチQnをOFFした後、選択行の転送スイッチQ1をONし、光信号成分をフォトダイオード405から増幅MOSアンプQ3のゲートに転送する(図7の区間B)。そして、転送スイッチQ1をOFFすると、増幅MOSアンプQ3のゲートには、ノイズ成分に光信号成分が重畳された電位が保持されることになる。この増幅MOSアンプQ3のゲートの電位に相当する電圧が、信号出力線503に出力される。続いて、転送スイッチQsをONし、ノイズ成分に光信号成分を読み出した信号を信号蓄積部506の容量Csに保持する(図7の区間C)。
転送スイッチQsをOFFした後、リセット電源の電位をローレベルにし、更にリセットスイッチQ2をONすることで、増幅MOSアンプQ3のゲートの電位を下げ、非選択状態にする(図7の区間Dの終了)。
このように、図6に示すような各画素が選択スイッチを持たない画素においては、リセットスイッチを用いて増幅MOSアンプQ3のゲート電位を制御することで、読み出し行の画素の選択、非選択を制御している。
一方、各画素に選択スイッチを設けた構成においては、特許文献2に記載されているように、画素から信号を読み出す際にのみ定電流源を動作させ、信号出力線に接続して信号を読み出す構成が知られている。このように、信号の読み出し時にのみ定電流源を動作させるように制御することで、消費電力を低減することが可能である。
特開平11−112018号公報 特開平09−247537号公報
しかしながら、図6に示す構成においては、定電流源513が常に信号出力線503に接続され、動作しているために、特許文献2に記載されている構成及び駆動方法の定電流源と比較して、消費電力が大きいという問題があった。
上記課題を解決するために、本発明の光電変換装置は、光電変換部と、電荷保持部と、前記光電変換部から前記電荷保持部へ電荷を転送する転送部と、前記電荷保持部の電位変化に基づく信号を信号出力線に読み出す増幅部と、前記電荷保持部に、第1の電圧と、該第1の電圧と異なる第2の電圧と、を印加する電圧印加手段とを含む複数の画素と、前記信号出力線に導通、非導通を切り替えるスイッチ手段を介して接続された定電流源と、を有し、前記電圧印加手段は、選択画素に含まれる前記電荷保持部に前記第1の電圧を印加し、非選択画素に含まれる前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加することにより画素の選択動作を行い、前記スイッチ手段は、前記電圧印加手段が前記非選択画素の前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加する処理を終了する前に、前記信号出力線と前記定電流源とを導通状態に切り替える。
また、本発明の撮像装置は、上記光電変換装置を搭載したことを特徴とする。
また、光電変換部と、電荷保持部と、前記光電変換部から前記電荷保持部へ電荷を転送する転送部と、前記電荷保持部の電位変化に基づく信号を信号出力線に読み出す増幅部と、前記電荷保持部に、第1の電圧と、該第1の電圧と異なる第2の電圧と、を印加する電圧印加手段とを含む複数の画素と、前記信号出力線に導通、非導通を切り替えるスイッチ手段を介して接続された定電流源と、を有する光電変換装置の本発明の駆動方法は、前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源とを非導通状態に設定する設定工程と、前記電圧印加手段により前記電荷保持部に前記第1の電荷を印加する第1の電圧印加工程と、前記電圧印加手段により、非選択画素の前記電荷保持部に前記第1の電圧を印加すると共に、選択画素の前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加する第2の電圧印加工程と、前記第2の電圧印加工程の終了に先だって、前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源とを非導通状態から導通状態に切り替える切替工程と、前記電荷保持部が前記第2の電圧を印加された状態で、前記光電変換部により変換された電荷を前記電荷保持部に転送する転送工程とを有する。
本発明によれば、ソースフォロワトランジスタのゲート電位を制御することで画素を選択する構成において、消費電力の低減と読み出し速度向上を両立することができる。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
まず、図1及び図2を参照して、ソースフォロワトランジスタのゲート電位を制御することにより画素の選択を行う光電変換装置において、特許文献2に示すように定電流源と信号出力線との間にスイッチを挿入し、駆動した場合の動作について説明する。
図1は、選択トランジスタを省略したCMOSセンサの構成例を表す回路図である。説明を分かり易くする為に2画素分の回路を示しているが、実際には数十万から数百万を超える画素が2次元に配列されている。
図1において、119、120は単位画素、101、106はフォトダイオード(PD)等の光電変換部、111、112は、電荷を一時的に蓄積する電荷保持部、またはフローティングディフュージョンノード(FD)である。これは、後述する増幅手段の入力ノードともいえる。また、103及び108は、FD111、112に寄生する容量を概念的に示すものである。102、107はφTXにより駆動される転送トランジスタであり、転送トランジスタ102、107がONすると、PD101、106に蓄積された電荷がFD111、112に転送される。FD111、112の電位は、増幅手段であるソースフォロワトランジスタ105、110を介して信号出力線114に出力される。また、117は、信号出力線114の電圧出力を示す。
116はバイアス電流源、または定電流源であり、115はφPVLONにより駆動され、信号出力線114とバイアス電流源116との導通、非道通を制御する電流制御トランジスタである。このバイアス電流源116とトランジスタ105、110によりそれぞれソースフォロワが形成される。
また、104、109は、φResにより駆動され、FD111、112の電位を制御する為の電圧印加手段としても機能するリセットトランジスタ、113はリセット電圧VRESをリセットトランジスタ104、109に供給するリセット信号線である。このリセット電圧VRES及びリセットトランジスタ104、109を用いてFD111、112の電位を制御することができる。選択画素のFDには高い電圧(第1の電圧)を印加し、非選択画素のFDには低い電圧(第2の電圧)を印加する。これにより、どの行の画素から電荷信号を読み出すか、行選択もしくは画素の選択を制御することができる。
次に、図1に示す構成を有する光電変換装置における信号電荷の読み出し動作について、特許文献2に記載されているように画素から信号を読み出す際にのみバイアス電流源116を動作させる場合について図2のタイミングチャートを参照して説明する。この制御は、消費電力量を削減することを目的としている。なお、ここでは単位画素119を選択行の単位画素とし、単位画素120を非選択行の単位画素として説明する。
先ず、リセット電圧VRESをローレベルにし、リセットトランジスタ104、109のφResをハイレベルにして、リセットトランジスタ104、109をオンする(T1)。この動作によりFD111、112にはローレベルが書き込まれる。この後、一旦φResをローレベルにする(T2)。次に、リセット電圧VRESを高電位(VDD)にし、選択行の単位画素119のリセットトランジスタ104のφResのみをハイレベルにすることにより、FD111をハイレベルにする(T3)。以上の動作により、選択したい行の画素のフローティングディフュージョンノードのみ高い電位にリセットされ、信号出力線114の電位は選択された行のソースフォロワ動作により決定される。
続いて、リセットトランジスタ104のφResをローレベルにし(T4)、リセットトランジスタ104をオフ状態としてから電流制御トランジスタ115のゲート電位φPVLONをハイレベルにする(T5)。その後、一定時間経過してからリセットノイズ信号を信号φTnがハイレベルとなるタイミングで不図示のサンプルホールド回路にサンプルホールドする(T6)。次に、転送トランジスタ102のゲート電位φTxをハイレベルにして転送ゲート102をオンすることにより、PD101からの光電荷をFD111に転送する(T7)。その後、出力端子117の電位を電荷転送後の信号として信号φTsのタイミングで不図示のサンプルホールド回路にサンプルホールドする(T8)。その後、T8でサンプルホールドした電荷転送後の信号出力と、T6でサンプルホールドしたリセットノイズ信号の差分をとることで、入射光に応じた光電荷に対応する光信号を読み出すことが可能である。
以上説明したように制御することにより、画素部に選択トランジスタを設けなくともPDからの光電荷を読み出すことが可能になるため、画素数の増加に伴う画素の縮小化に対応することができる。
しかしながら、図2に示すように駆動を行った場合には、出力信号線114の電位は、FD111、112に供給される電圧により変化する。従来のように、ソースフォロワトランジスタ105、110と信号出力線114との間に選択トランジスタを設けた場合には、ソースフォロワトランジスタ105、110が信号出力線114から電気的に分離される。従って、信号出力線114はFD111、112の電位変化の影響が少ない。したがって、選択トランジスタを設けた場合には、信号出力線114に接続されている電流源を読み出しに必要な時にのみ導通させることにより、消費電力の低減を図ることができた。
これに対し、図1に示す構成ではFD111、112の電位を制御することで画素を選択するため、この画素選択動作の際にFD111、112の電位が変化するため、それに追従して信号出力線114の電位も変化する場合がある。つまり、VRESとしてハイレベルであるVDDが供給されると、FD104がVDDによりリセットされ、その影響を受けて信号出力線114の電位が上昇する。そして、その後φResがOFFすると、再び信号出力線114の電位が下降する。
このように信号出力線114の電位が変化する場合には、画素選択後のノイズ信号をサンプルするタイミング(T6)は、ある程度信号出力線114の電位が落ち着くまで待つ必要がある。この信号出力線114の電位変化は信号出力線114がフローティング状態になっている場合、つまりφPVLONがOFFになっている時には、特に所定電位で安定するまでの時間が必要となり、信号読出しに時間を要することとなる。
一方、信号読み出し時間を短縮するだけであれば、例えば、図3のタイミングチャートに示すように、φPVLONを常にオンしておけばよい。しかしながら、このように制御すると、バイアス電流源116が駆動し続けることになるため、図6に示す電流制御トランジスタ115が無い構成と比較して、消費電力量を削減することができない。
以下の説明では、上述する問題点を解決するための撮像装置の駆動方法について説明する。
<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態においては、上述した図1と同じ構成の光電変換装置を用いるため、ここでは説明を省略する。
図4は本発明の第1の実施形態による光電変換装置の駆動タイミング及び出力信号を示すタイミングチャートである。以下、このタイミングチャートを参照して、本第1の実施形態における読み出し動作について説明する。
まず、リセット電圧VRESをローレベルにし、φResとしてハイレベルにして、リセットトランジスタ104、109をオンする(t1)。この動作によりFD111、112にはローレベルが書き込まれる。
次に、本第1の実施形態においては、t2において、電流制御トランジスタ115のゲートパルスφPVLONをハイレベルにする。この後、一旦φResをローレベルにする(t3)。ここで、φPVLONをハイレベルにするタイミング(t2)は、後述する選択行のリセットトランジスタ104のゲート電位をローレベルにするタイミング(t6)よりも早ければどこでも構わない。バイアス電流源116が動作するまでは、信号出力線114は浮動状態にあるため、出力電位は安定しない。そして、バイアス電流源116が動作し始めると、ある程度の時間をおいて、出力電位が安定する。
その後、φResをローレベルにしてリセットトランジスタ104、109を一旦OFFにする。次に、VRESを高電位(VDD)にし、リセットトランジスタ104へのφResのみをハイレベルにすることにより、選択行の単位画素セル119のFD111のみがVDDによりリセットされる(t5)。これにより、FD111の高電位がソースフォロワトランジスタ105を介して信号出力線114に読み出される。
その後、リセットトランジスタ104へのφResをローレベルに戻すと、FD111は浮動状態となる(t6)。この後、FD111が浮動状態あるため、信号出力線114の電圧も若干変化するが、φPVLONを早めにオンしておくことで、図2に示す制御よりもより早いタイミングで安定した電位に落ち着く(t6’)。これ以降のタイミングで、出力117の電圧をφTnがハイレベルとなるタイミングで不図示のサンプルホールド回路にリセットノイズ信号としてサンプルホールドする(t7)。次に、転送トランジスタ102のゲート電位φTxをハイレベルにして転送ゲート102をオンすることにより、PD101からの光電荷をFD111に転送する(t8)。
その後、出力117の電圧を電荷転送後の信号として信号φTsがハイレベルとなるタイミングで不図示のサンプルホールド回路にサンプルホールドする(t9)。その後、t9でサンプルホールドした電荷転送後の信号出力と、t7でサンプルホールドしたリセットノイズ信号との差分をとることで、入射光に応じた光電荷に対応する光信号を得ることができる。
上述したように、図2に示す駆動方法では、リセットノイズ信号をサンプリングするのに、リセットトランジスタ104へのφResをローレベルにしてから(T4)から、リセットノイズ信号のサンプリングするまでに(T6)まで時間が掛かる。また、図3に示す駆動方法では、消費電力を削減することができない。これに対し、図4に示す第1の実施形態における駆動方法では、選択行のリセットトランジスタ104へのφResをローレベルにするタイミング(t6)よりも早くφPVLONをハイレベルにする(t2)。これにより、φResをローレベルにした後(t6)、リセットノイズ信号がすぐに信号出力線114に現れる(t6’)ので、φResをローレベルにした後、すぐにリセットノイズ信号のサンプリングをすることが可能になる。従って、図2の駆動方法では選択行のφResをオフしてから読み出しを行うまでT4〜T6が掛かっていたが、本第1の実施形態の駆動方法では、消費電力を削減しつつ、t6〜t7に短縮することができる。これにより、水平ブランキング時間を短縮できるので、撮像素子の高速な動作が可能となる。
<第2の実施形態>
次に、図5を参照して、上記第1の実施形態で説明した光電変換装置を用いた撮像装置について説明する。
図5において、1はレンズのプロテクトとメインスイッチを兼ねるバリア、2は被写体の光学像を撮像素子4に結像させるレンズ、3はレンズ2を通った光量を可変制御するための絞りである。4はレンズ2により結像された被写体光学像を画像信号として取り込むための固体撮像素子(上記第1の実施形態で説明した光電変換装置に対応する)、5は、固体撮像素子4から出力される画像信号に各種の補正、クランプ等の処理を行う撮像信号処理回路である。また、6は撮像素子4より出力される画像信号のアナログーディジタル変換を行うA/D変換器、7はA/D変換器6より出力された画像データに各種の補正を行ったりデータを圧縮する信号処理部である。8は撮像素子4、撮像信号処理回路5、A/D変換器6、信号処理部7に、各種タイミング信号を出力するタイミング発生部であり、5〜8の各回路は固体撮像素子4と同一チップ上に形成しても良い。
9は各種演算とスチルビデオカメラ全体を制御する全体制御・演算部、10は画像データを一時的に記憶する為のメモリ部である。11は記録媒体に記録または読み出しを行うための記録媒体制御インターフェース部、12は画像データの記録または読み出しを行う為の半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体、13は外部コンピュータ等と通信する為のインターフェース部である。
次に、図5に示す構成を有する撮像装置における撮影時の動作について説明する。
バリア1がオープンされるとメイン電源がオンされ、次にコントロール系の電源がオンし、更にA/D変換器6などの撮像系回路の電源がオンされる。
その後、露光量を制御する為に、全体制御・演算部9は絞り3を開放にし、固体撮像素子4から出力された信号は、撮像信号処理回路5をスルーしてA/D変換器6で変換された後、信号処理部7に入力される。全体制御・演算部9は、信号処理部7により所定の信号処理がされたデータを基に測光を行い、その結果により明るさを判断し、露出の演算を行う。そして得られた露出に応じて絞り3を制御する。
次に、撮像素子4から出力された信号を基に、全体制御・演算部9は高周波成分を取り出し、被写体の合焦状態の演算を行う。その後、レンズ2を駆動して合焦か否かを判断し、合焦していないと判断した時は、再びレンズ2を駆動してから合焦状態の判断を行う。そして、合焦が確認された後に本露光を始める。
露光が終了すると、撮像素子4から出力された画像信号は撮像信号処理回路5において補正等がされ、A/D変換器6でA/D変換され、信号処理部7を通り全体制御・演算部9によりメモリ部10に書き込まれる。
その後、メモリ部10に蓄積されたデータは、全体制御・演算部9の制御により記録媒体制御I/F部11を通り半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体12に記録される。
また、外部I/F部13を通り直接コンピュータ等に入力して画像の加工を行ってもよい。
本発明の実施の形態における光電変換装置の画素構成を示す等価回路図である。 図1に示す画素を従来の方法で駆動する場合の駆動タイミング及び出力信号を示すタイミングチャートである。 図1に示す画素を別の方法で駆動する場合の駆動タイミング及び出力信号を示すタイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態における図1に示す画素の駆動タイミング及び出力信号を示すタイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態における撮像装置の構成を示すブロック図である。 従来の光電変換装置の一部の構成を示す等価回路図である。 図6に示す光電変換装置の駆動タイミングを示すタイミングチャートである。
符号の説明
1 バリア
2 レンズ
3 絞り
4 固体撮像素子
5 撮像信号処理回路
6 A/D変換器
7 信号処理部
8 タイミング発生部
9 全体制御・演算部
10 メモリ部
11 記録媒体制御インターフェース(I/F)部
12 記録媒体
13 外部インターフェース(I/F)部
101、106 フォトダイオード
102、107 転送トランジスタ
103、108 フローティングディフュージョンノード
104、109 リセットトランジスタ
105、110 ソースフォロアトランジスタ
111、112 フローティングディフュージョンノード
113 リセット信号線
114 出力信号線
115 電流制御トランジスタ
116 バイアス電流源
117 出力
119、120 単位画素

Claims (6)

  1. 光電変換部と、電荷保持部と、前記光電変換部から前記電荷保持部へ電荷を転送する転送部と、前記電荷保持部の電位変化に基づく信号を信号出力線に読み出す増幅部と、前記電荷保持部に、第1の電圧と、該第1の電圧と異なる第2の電圧と、を印加する電圧印加手段とを含む複数の画素と、
    前記信号出力線に導通、非導通を切り替えるスイッチ手段を介して接続された定電流源と、を有し、
    前記電圧印加手段は、選択画素に含まれる前記電荷保持部に前記第1の電圧を印加し、非選択画素に含まれる前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加することにより画素の選択動作を行い、
    前記スイッチ手段は、前記電圧印加手段が前記非選択画素の前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加する処理を終了する前に、前記信号出力線と前記定電流源とを導通状態に切り替えることを特徴とする光電変換装置。
  2. 制御手段を更に有し、該制御手段は、
    前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源間を非導通状態に設定し、
    前記電圧印加手段により全画素の前記電荷保持部に第2の電圧を印加し、非選択画素の前記電荷保持部を第2の電圧に基づく電位に保ちつつ、選択画素の前記電荷保持部に第1の電圧を印加し、
    前記第2の電圧の印加の終了に先だって、前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源間を非導通状態から導通状態に切り替え、
    前記選択画素の前記電荷保持部が前記第1の電圧に基づく電位にある状態で、前記選択画素の前記光電変換部により変換された電荷を該選択画素の前記電荷保持部に転送するように制御することを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  3. 前記制御手段は、前記電圧印加手段により全画素の前記電荷保持部に前記第2の電圧の印加を開始してから、前記選択画素の前記電荷保持部に前記第1の電圧を印加する処理を終了するまでの間に切り替えを行うことを特徴とする請求項2に記載の光電変換装置。
  4. 光電変換部と、電荷保持部と、前記光電変換部から前記電荷保持部へ電荷を転送する転送部と、前記電荷保持部の電位変化に基づく信号を信号出力線に読み出す増幅部と、前記電荷保持部に、第1の電圧と、該第1の電圧と異なる第2の電圧と、を印加する電圧印加手段とを含む複数の画素と、前記信号出力線に導通、非導通を切り替えるスイッチ手段を介して接続された定電流源と、を有する光電変換装置の駆動方法であって、
    前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源とを非導通状態に設定する設定工程と、
    前記電圧印加手段により前記電荷保持部に前記第1の電荷を印加する第1の電圧印加工程と、
    前記電圧印加手段により、非選択画素の前記電荷保持部に前記第1の電圧を印加すると共に、選択画素の前記電荷保持部に前記第2の電圧を印加する第2の電圧印加工程と、
    前記第2の電圧印加工程の終了に先だって、前記スイッチ手段により前記信号出力線と前記定電流源とを非導通状態から導通状態に切り替える切替工程と、
    前記電荷保持部が前記第2の電圧を印加された状態で、前記光電変換部により変換された電荷を前記電荷保持部に転送する転送工程と
    を有することを特徴とする駆動方法。
  5. 前記切替工程では、前記第1の電圧印加工程開始後、前記第2の電圧印加工程終了までの間に切り替えを行うことを特徴とする請求項4に記載の駆動方法。
  6. 請求項1乃至3のいずれかに記載の光電変換装置を搭載したことを特徴とする撮像装置。
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