JP7129671B2 - 撮像装置及びカメラシステム - Google Patents

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Description

本開示は、撮像装置及びカメラシステムに関する。
近年、高解像度な撮像装置が提案されている。高解像度な撮像装置において、これまで以上に低ノイズ化が望まれている。特許文献1には、サンプルホールド回路を有する撮像装置が開示されている。特許文献1に記載の撮像装置では、サンプルホールドをオフすることにより、電圧生成部のノイズが画素信号に重畳されることを抑制する。
特開2009-225004号公報
ノイズが低減された撮像装置が求められている。
本開示の一態様に係る撮像装置は、光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、ソース、ドレイン及びゲートを有し、前記ソース及び前記ドレインの一方が前記出力信号線に電気的に接続される負荷トランジスタと、前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続され、第1電圧及び第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給する電圧供給回路と、を備える。
包括的または具体的な態様は、素子、デバイス、モジュール、システム、集積回路または方法で実現されてもよい。また、包括的または具体的な態様は、素子、デバイス、モジュール、システム、集積回路および方法の任意の組み合わせによって実現されてもよい。
開示された実施形態の追加的な効果および利点は、明細書および図面から明らかになる。効果および/または利点は、明細書および図面に開示の様々な実施形態または特徴によって個々に提供され、これらの1つ以上を得るために全てを必要とはしない。
本開示は、ノイズが低減された撮像装置又はカメラシステムを提供できる。
図1は、第1実施形態に係る撮像装置の構成を示す図である。 図2は、第1実施形態に係る電圧供給回路の構成を示す図である。 図3は、第1実施形態に係る撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 図4は、第1実施形態に係る撮像装置の動作の変形例を示すタイミングチャートである。 図5は、第2実施形態に係る電圧供給回路を示す図である。 図6は、第3実施形態に係る電圧供給回路を示す図である。 図7は、第4実施形態に係る撮像装置の構成を示す図である。 図8は、第5の実施形態に係るカメラシステムの構成例を示すブロック図である。 図9は、回路ノイズの周波数依存性を示す図である。
(本開示に至った知見)
一般に、固体撮像装置から発生するノイズは、その種類により横線ノイズ(Horizontal Noise)と縦線ノイズ(Vertical Noise)とに大別できる。さらに、横線ノイズと縦線ノイズとの各々は、FPN(Fixed Pattern Noise)と、ランダムノイズとに起因する。
FPNが発生する画素はデバイス毎に決まっている。そのため、予めノイズのパターンを装置に保持しておき、撮像装置の後段に接続されたDSP(Digital Signal Processor)などによって撮影ごとに画像を補正することにより、ノイズの大部分を除去できる。
これに対して、ランダムノイズは、ノイズが発生する位置とレベルが撮影ごとにランダムである。そのため、FPNと同様な方法では横線ノイズを補正することができない。特に、同じ行に位置する画素であっても、それぞれ異なる垂直信号線に接続されるため、横線ランダムノイズの補正は困難である。このため、横線ランダムノイズの絶対量の低減、あるいは、効果的な補正方法が望まれている。
従来、画素内に増幅トランジスタを有する撮像装置が知られている。画素が増幅トランジスタを有する場合には、ソースフォロワ動作をさせるために一定電流を増幅トランジスタに供給するのが一般的である。このため垂直出力線に接続された定電流供給用MOSトランジスタである負荷トランジスタから増幅トランジスタに定電流を供給する構成が知られている。このような構成において、例えば、電圧供給回路から複数の負荷トランジスタのゲートに定電圧が供給される。また、電圧供給回路はトランジスタを用いて構成されている。
図9は、回路ノイズの周波数依存性を示す図である。図9に示すように一般にトランジスタ回路には、1/fノイズと熱ノイズとが生ずることが知られている。1/fノイズは、動作時にそのパワースペクトルが回路の周波数fの逆数に比例する性質を持つ。熱ノイズは、そのパワースペクトルが周波数に対して一定である。これらのノイズが電圧供給配線の電位の時間的変動を引き起こす。図9に示すように、周波数が低い領域では1/fノイズが支配的であり、周波数が高い領域では熱ノイズが支配的である。
電圧供給回路を構成するトランジスタで発生した1/fノイズは、複数の垂直信号線のそれぞれに対応して設けられた負荷トランジスタに伝わる。また、同一行に配置された複数の画素のそれぞれは、ある時点において、対応する垂直信号線に接続され、負荷トランジスタによって供給される一定電流により画素信号が読み出される。したがって、ある時点において各負荷トランジスタに伝わった1/fノイズは、その時点において読み出される同一行に配置された複数の画素の画素信号に影響を及ぼす。これにより、横線ノイズが発生する。具体的には、特許文献1に記載の撮像装置では、電圧供給配線に常に接続されているトランジスタがある。そのトランジスタで発生するノイズが、画素信号に重畳される可能性がある。
本開示では、上記課題に鑑み、横線ノイズの発生が低減できる撮像装置について説明する。
本開示の概要は以下のとおりである。
[項目1]
光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、ソース、ドレイン及びゲートを有し、前記ソース及び前記ドレインの一方が前記出力信号線に電気的に接続される負荷トランジスタと、前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続され、第1電圧及び第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給する電圧供給回路と、を備える、撮像装置。
[項目2]
前記電圧供給回路に対し、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給させる制御回路をさらに備える、項目1に記載の撮像装置。
[項目3]
前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれを生成するかを切り替える切替回路を含む、項目1または2に記載の撮像装置。
[項目4]
前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する第1増幅回路と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流を生成する第2増幅回路と、前記ゲートに電気的に接続され、前記第1電流から前記第1電圧を生成し、前記第2電流から前記第2電圧を生成する抵抗回路とを含む、項目1または2に記載の撮像装置。
[項目5]
前記第1増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第1トランジスタを含み、前記第2増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比と等しい、項目4に記載の撮像装置。
[項目6]
前記電圧供給回路は、前記第1増幅回路に対し直列に接続される第3トランジスタと、前記第2増幅回路に対し直列に接続される第4トランジスタとを含み、前記第3トランジスタ及び前記第4トランジスタのいずれか一方が選択的にオンされる、項目4又は5に記載の撮像装置。
[項目7]
前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する増幅回路と、前記第1電流から前記第1電圧を生成する第1抵抗回路と、前記第1電流から前記第2電圧を生成する第2抵抗回路と、を含む、項目1または2に記載の撮像装置。
[項目8]
前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに接続される第1トランジスタを含み、前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに接続される第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比と等しい、項目7に記載の撮像装置。
[項目9]
前記電圧供給回路は、前記第1抵抗回路に対し直列に接続される第3トランジスタと、前記第2抵抗回路に対し直列に接続される第4トランジスタとを含み、前記第3トランジスタ及び前記第4トランジスタのいずれか一方が選択的にオンされる、項目7又は8に記載の撮像装置。
[項目10]
前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する第1増幅回路と、前記第1電流から前記第1電圧を生成する第1抵抗回路と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流を生成する第2増幅回路と、前記第2電流から前記第2電圧を生成する第2抵抗回路と、を含む、項目1または2に記載の撮像装置。
[項目11]
前記第1増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第1トランジスタを含み、前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続される第2トランジスタを含み、前記第2増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第3トランジスタを含み、前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続される第4トランジスタを含む、項目10に記載の撮像装置。
[項目12]
前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第3トランジスタのチャネル長に対する前記第3トランジスタのチャネル幅の比よりも大きく、前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比は、前記第4トランジスタのチャネル長に対する前記第4トランジスタのチャネル幅の比よりも大きい、項目11に記載の撮像装置。
[項目13]
前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第3トランジスタのチャネル長に対する前記第3トランジスタのチャネル幅の比よりも小さく、前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比は、前記第4トランジスタのチャネル長に対する前記第4トランジスタのチャネル幅の比よりも小さい、項目11に記載の撮像装置。
[項目14]
前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧を、1水平期間において1回以上切り替える、項目1~13のいずれか1項に記載の撮像装置。
[項目15]
前記出力信号線に接続され、前記第1信号を読み出して保持するサンプルホールド回路をさらに備え、前記画素は、前記電荷がリセットされた状態において、前記出力信号線に第2信号を出力し、前記電圧供給回路は、前記サンプルホールド回路が前記第1信号を読み出す期間を含む第1期間において、前記第1電圧を供給し、前記サンプルホールド回路が前記第2信号を読み出す期間を含む第2期間において、前記第1電圧を供給し、前記第1期間及び前記第2期間のいずれとも異なる第3期間において、前記第2電圧を供給する、項目14に記載の撮像装置。
[項目16]
1水平期間において、前記第1期間と前記第2期間との間に前記第3期間が位置する、項目15に記載の撮像装置。
[項目17]
1水平期間において、前記第1期間と前記第2期間とは連続している、項目15に記載の撮像装置。
[項目18]
光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、第1ソース、第1ドレイン及び第1ゲートを有する第1負荷トランジスタと、第2ソース、第2ドレイン及び第2ゲートを有する第2負荷トランジスタと、前記第1ゲート及び前記第2ゲートに第1電圧を供給する電圧供給回路と、前記第1ソース及び前記第1ドレインの一方を前記出力信号線に接続するか、前記第2ソース及び前記第2ドレインの一方を前記出力信号線に接続するかを切り替える切替回路と、を備える、撮像装置。
[項目19]
前記切替回路に対し、前記第1ソース及び前記第1ドレインの前記一方を前記出力信号線に接続するか、前記第2ソース及び前記第2ドレインの前記一方を前記出力信号線に接続するかを切り替えさせる制御回路を備える、項目18に記載の撮像装置。
[項目20]
前記第1負荷トランジスタのチャネル長に対する前記第1負荷トランジスタのチャネル幅の比は、前記第2負荷トランジスタのチャネル長に対する前記第2負荷トランジスタのチャネル幅の比と等しい、項目18に記載の撮像装置。
[項目21]
前記切替回路は、前記第1負荷トランジスタと直列に接続される第1トランジスタと、前記第2負荷トランジスタと直列に接続される第2トランジスタとを備える、項目18又は19に記載の撮像装置。
[項目22]
項目1~21のいずれか1項に記載の撮像装置を備える、カメラシステム。
本開示の一態様に係る撮像装置は、光を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷に対応する第1信号を出力する増幅トランジスタと、を備える画素と、前記画素から前記第1信号が出力される出力信号線と、前記出力信号線に接続され、前記出力信号線に第1電流を供給する負荷トランジスタと、前記負荷トランジスタのゲートに第1電圧および第2電圧を供給する電圧供給回路と、前記電圧供給回路と前記負荷トランジスタのゲートとを電気的に接続する電圧供給配線と、前記電圧供給回路を制御する制御回路と、を備え、前記電圧供給回路は、電流を前記第1電圧に変換するための第1回路と、前記電流を前記第2電圧に変換するための第2回路とを含み、前記制御回路は、前記第1回路を用いて前記電流を前記第1電圧に変換し、前記第1電圧を前記負荷トランジスタのゲートに供給するか、と、前記第2回路を用いて前記電流を前記第2電圧に変換し、前記第2電圧を前記負荷トランジスタのゲートに供給するか、とを切り替える。
これによれば、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路を、第1回路と第2回路とで切り替えることができる。これにより、第1回路および第2回路のトランジスタの駆動周波数を高くすることができるので、負荷トランジスタに供給する電圧に重畳される1/fノイズの影響を低減できる。これにより、横線ノイズを低減できる。
例えば、前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部を備え、前記第1回路は、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を第2電流に変換する第1増幅回路を含み、前記第2回路は、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を第3電流に変換する第2増幅回路を含み、前記電圧供給回路は、前記電圧供給配線に電気的に接続され、前記第2電流を前記第1電圧に変換し、当該第1電圧を前記電圧供給配線に出力する、又は、前記第3電流を前記第2電圧に変換し、当該第2電圧を前記電圧供給線に出力する抵抗回路を備えてもよい。
これによれば、回路面積の増加を抑制しつつ、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路を切り替える構成を実現できる。
例えば、前記第1増幅回路は、ゲートに前記第2電圧が供給される第1トランジスタを備え、前記第2増幅回路は、ゲートに前記第2電圧が供給される第2トランジスタを備え、前記第1トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は、前記第2トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比と等しくてもよい。
これによれば、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路が切り替わった際の当該電圧の変化を抑制できる。
例えば、前記電圧供給回路は、前記第1増幅回路と直列に接続された第3トランジスタと、前記第2増幅回路と直列に接続された第4トランジスタとを備え、前記制御回路は、前記第3トランジスタ及び前記第4トランジスタのうちオンするトランジスタを切り替えてもよい。
これによれば、トランジスタのオン及びオフを切り替えることで、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路を切り替えることができる。
例えば、前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部と、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流に変換する増幅回路とを備え、前記第1回路は、前記第2電流を前記第1電圧に変換する第1抵抗回路を含み、前記第2回路は、前記第2電流を前記第2電圧に変換する第2抵抗回路を含んでもよい。
これによれば、回路面積の増加を抑制しつつ、負荷トランジスタに供給する電圧に使用する回路を切り替える構成を実現できる。
例えば、前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記電圧供給配線に接続された第1トランジスタを備え、前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記電圧供給配線に接続された第2トランジスタを備え、前記第1トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は、前記第2トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比と等しくてもよい。
これによれば、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路が切り替わった際の当該電圧の変化を抑制できる。
例えば、前記電圧供給回路は、さらに、前記第1抵抗回路と直列に接続された第3トランジスタと、前記第2抵抗回路と直列に接続された第4トランジスタとを備え、前記制御回路は、前記第3トランジスタ及び前記第4トランジスタのうちオンするトランジスタを切り替えてもよい。
これによれば、トランジスタのオン及びオフを切り替えることで、負荷トランジスタに供給する電圧の生成に使用する回路を切り替えることができる。
例えば、前記電圧供給回路は、第3電圧を生成する電圧生成部を備え、前記第1回路は、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流に変換する第1増幅回路と、前記第2電流を前記第1電圧に変換する第1抵抗回路とを含み、前記第2回路は、前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第3電流に変換する第2増幅回路と、前記第3電流を前記第2電圧に変換する第2抵抗回路とを含んでもよい。
これによれば、増幅回路及び抵抗回路で生じる1/fノイズを抑制できるので、より1/fノイズを抑制できる。
例えば、前記第1増幅回路は、ゲートに前記第3電圧が供給される第1トランジスタを備え、前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記電圧供給配線に接続された第2トランジスタを備え、前記第2増幅回路は、ゲートに前記第3電圧が供給される第3トランジスタを備え、前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記電圧供給配線に接続された第4トランジスタを備えてもよい。
例えば、前記第1トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は、前記第3トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比よりも大きく、前記第2トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は前記第4トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比よりも大きくてもよい。
これによれば、第1回路と第2回路との駆動能力を異ならせることができるとともに、第1回路で生成される第1電圧と第2回路で生成される第2電圧との差を低減できる。
例えば、前記第1トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は前記第3トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比よりも小さく、前記第2トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は前記第4トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比よりも小さくてもよい。
これによれば、第1回路と第2回路との駆動能力を異ならせることができるとともに、第1回路で生成される第1電圧と第2回路で生成される第2電圧との差を低減できる。
例えば、前記制御回路は、前記第1回路を用いて前記電流を前記第1電圧に変換し、前記第1電圧を前記負荷トランジスタのゲートに供給するか、と、前記第2回路を用いて前記電流を前記第2電圧に変換し、前記第2電圧を前記負荷トランジスタのゲートに供給するか、とを、各水平期間において1回以上切り替えてもよい。
これによれば、第1回路と第2回路のトランジスタの駆動周波数を高くすることができるので、負荷トランジスタに供給する電圧に重畳される1/fノイズの影響を低減できる。
例えば、前記撮像装置は、前記出力信号線に接続され、前記第1信号を保持するサンプルホールド回路を備え、前記制御回路は、前記第1期間において、前記電圧供給回路が前記第1回路を用いて前記第1電圧を生成するように前記電圧供給回路を制御し、前記第1期間以外の第2期間において、前記電圧供給回路が前記第2回路を用いて前記第1電圧を生成するように前記電圧供給回路を制御し、前記第1期間は、前記サンプルホールド回路が前記第1信号を読み出す第3期間を含んでもよい。
これによれば、サンプルホールド回路に信号が取り込まれる第1期間と、それ以外の第2期間とで異なる回路を用いて負荷トランジスタに供給する電圧を生成できる。これにより、例えば、各期間において各動作に適した特性を有する回路を用いることができる。
例えば、前記撮像装置は、前記画素は、前記画素がリセットされた状態において第2信号を前記出力信号線に出力し、前記制御回路は、前記第1期間とは異なる第3期間において、前記電圧供給回路が前記第1回路を用いて前記第1電圧を生成するように前記電圧供給回路を制御し、前記第3期間は、前記サンプルホールド回路が前記第2信号を読み出す期間を含み、前記第2期間は、前記第1期間と前記第3期間との間の期間を含んでもよい。
これによれば、第1回路と第2回路のトランジスタの駆動周波数をより高くすることができるので、負荷トランジスタに供給する電圧に重畳される1/fノイズの影響をより低減できる。
例えば、前記撮像装置は、前記画素は、リセットされた状態において第2信号を前記出力信号線に出力し、前記第1期間は、前記サンプルホールド回路が前記第1信号を読み出す期間と、前記サンプルホールド回路が前記第2信号を読み出す期間とを含む連続した期間であってもよい。
これによれば、第1回路と第2回路のトランジスタの駆動周波数を適切に設定できるので、駆動周波数が増加したことによるノイズの増加を抑制できる。
本開示の一態様に係る撮像装置は、撮像装置であって、光を電荷に変換する光電変換部と、前記電荷に対応する第1信号を出力する増幅トランジスタと、を備える複数の画素と、前記画素から前記第1信号が出力される複数の出力信号線と、前記出力信号線に接続され、前記出力信号線に第1電流を供給する負荷回路とを備え、前記負荷回路は、第1負荷トランジスタと、第2負荷トランジスタとを含み、前記撮像装置は、さらに、前記第1負荷トランジスタのゲート及び前記第2負荷トランジスタのゲートに第1電圧を供給する電圧供給回路と、前記電圧供給回路と前記第1負荷トランジスタのゲート及び前記第2負荷トランジスタのゲートとを電気的に接続する電圧供給配線と、前記複数の負荷回路を制御する制御回路と、を備え、前記制御回路は、前記第1負荷トランジスタ及び前記第2負荷トランジスタのいずれかを選択的に前記出力信号線に電気的に接続する。
これによれば、使用する負荷トランジスタを切り替えることで、第1回路と第2回路のトランジスタの駆動周波数を高くすることができる。これにより、負荷トランジスタの1/fノイズを低減できる。したがって、撮像装置の横線ノイズを抑制できる。
例えば、前記第1負荷トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比は、前記第2負荷トランジスタのチャネル幅のチャネル長に対する比と等しくてもよい。
これによれば、使用する負荷トランジスタが切り替わった際の第1電流の変化を抑制できる。
例えば、前記負荷回路は、前記第1負荷トランジスタと直列に接続された第1トランジスタと、前記第2負荷トランジスタと直列に接続された第2トランジスタとを備えてもよい。
これによれば、トランジスタのオン及びオフを切り替えることで、使用する負荷トランジスタを切り替えることができる。
本開示の一態様に係るカメラシステムは、前記撮像装置を備える。
これによれば、第1回路と第2回路のトランジスタの駆動周波数を高くすることができるので、負荷トランジスタに供給する電圧に重畳される1/fノイズの影響を低減できる。これにより、撮像装置の横線ノイズを抑制できる。
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態を詳細に説明する。なお、以下で説明する実施形態は、いずれも包括的または具体的な例を示す。以下の実施形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。本明細書において説明される種々の態様は、矛盾が生じない限り互いに組み合わせることが可能である。また、以下の実施形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。以下の説明において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、説明を省略することがある。
(第1実施形態)
まず、本実施形態に係る撮像装置100の構成を説明する。図1は、本実施形態に係る撮像装置100の回路構成を示す図である。
撮像装置100は、行列状に配列された複数の画素101、複数の垂直信号線102、及び周辺回路を備える。実際には、数百万個の画素101が行列状に配列され得る。図面の簡略化の観点から、図1には、2行2列分の画素101のみを示している。なお、撮像装置100は、ラインセンサであっても構わない。その場合、複数の画素101は、行方向または列方向に配列される。
周辺回路は、複数の負荷回路103、電圧供給回路104、複数の列信号処理回路106、電圧供給配線107、制御回路108、アナログ-デジタル変換回路(不図示)、行走査回路(不図示)、及び、列走査回路(不図示)等を備える。周辺回路は、主に、画素101から画素信号を読み出して処理し、それらを撮像装置100の外部に出力する。以降、アナログ-デジタル変換回路をAD変換回路と表記する。
垂直信号線102は、列毎に設けられた出力信号線である。列信号処理回路106は、列毎又は複数列毎に配置され、対応する列に配置されている垂直信号線102に接続されている。この列信号処理回路106は、サンプルホールド回路109と、差動アンプAMPとを含む。
画素101とサンプルホールド回路109とは、対応する列に設けられた垂直信号線102を介して電気的に接続される。画素101から出力された基準信号及び画素信号は、サンプルホールド回路109によってサンプリングされる。差動アンプAMPは、サンプリングされた基準信号及び画素信号の差分を出力する。これにより、真の画素信号が得られる。
AD変換回路は、差動アンプAMPから出力される真の画素信号をAD変換してデジタル信号を生成する。撮像装置100は、画素信号として、例えば、RAWデータを出力することが可能である。
画素101は、例えば、光電変換部PD、リセットトランジスタM1、増幅トランジスタM2及び選択トランジスタM3を有する。
光電変換部PDは、例えばフォトダイオードである。なお、光電変換部PDは、半導体基板の上方に形成された、2つの電極に挟まれた光電変換層を含むものであってもよい。光電変換層は、例えば、有機光電変換材料やアモルファスシリコンを含んでもよい。光電変換部PDは、光を電荷に変換する光電変換により信号電荷を生成する。光電変換部PDは、リセットトランジスタM1及び増幅トランジスタM2に電気的に接続される。光電変換部PD、リセットトランジスタM1、及び増幅トランジスタM2を電気的に接続するノードは、一般に、浮遊拡散(FD)ノードと称される。光電変換部PDによって光電変換された信号電荷は、FDノードに蓄積される。
リセットトランジスタM1は、FDノードの電位をリセットする。増幅トランジスタM2は、光電変換部PDによって生成された電荷に対応する信号を垂直信号線102に出力する。具体的には、増幅トランジスタM2は、光電変換部PDで生成された電荷の量に対応する電圧を出力する。選択トランジスタM3は、増幅トランジスタM2からの垂直信号線102への信号の出力のオンオフを制御する。増幅トランジスタM2は、後述の負荷トランジスタMLとソースフォロワ回路を構成する。
負荷回路103は、列毎に配置され、対応する列に配置された垂直信号線102に接続されている。この負荷回路103は、負荷トランジスタMLを含む。負荷トランジスタMLのソース及びドレインの一方は、対応する列に配置された垂直信号線102に接続されている。負荷トランジスタMLは、対応する列に配置された垂直信号線102に定電流I1を供給する。
また、複数の負荷トランジスタMLのゲートは共通の電圧供給配線107に接続されている。後述の電圧供給回路104から電圧供給配線107を介して複数の負荷トランジスタMLのゲートに電圧V2又は電圧V3が供給される。
列信号処理回路106は、画素101のノイズ信号を抑制するためのCDS回路として機能する。
サンプルホールド回路109は、スイッチMrst及びスイッチMsigと、容量Crst及び容量Csigとを備える。容量Crstは、基準信号を保持する。容量Csigは画素信号を保持する。スイッチMrst及びスイッチMsigは、例えばそれぞれトランジスタである。スイッチMrstは、垂直信号線102と容量Crstとの間に接続され、信号CTNに応じてオン及びオフが制御される。スイッチMsigは、垂直信号線102と容量Csigとの間に接続され、信号CTSに応じてオン及びオフが制御される。
ここで、画素信号とは、光電変換部PDで光電変換された電荷の量に応じた信号である。基準信号とは、画素101のリセット状態において出力される信号である。
差動アンプAMPは、例えば、差動演算増幅回路であり、画素信号と基準信号との差分に応じた信号を出力する。これにより出力される信号に含まれるノイズを低減できる。なお、CDS回路は列信号処理回路106に含まれてもよいし、撮像装置100の外部に設けられてもよい。
また、後述の電圧供給回路104で生成された電圧V2又は電圧V3は、列信号処理回路106を動作させるための電圧としても用いられてもよい。例えば、差動アンプAMPがMOSトランジスタを含み、MOSトランジスタのゲートに電圧V2又は電圧V3が印加されてもよい。
電圧供給回路104は、複数の負荷トランジスタMLに電圧V2又は電圧V3を供給する。前述の通り、電圧供給回路104は、複数の列信号処理回路106に電圧V2又は電圧V3を供給してもよい。電圧供給回路104は、撮像装置100に対して一つだけ設けてもよいし、複数設けられてもよい。例えば、画素アレイを挟んで対向する位置の各々に複数の列信号処理回路106が配置されてもよい。この場合には、画素アレイを挟んで対向する位置の各々に列信号処理回路106に電圧を供給する電圧供給回路104が設けられてもよい。電圧供給配線107は、電圧供給回路104と複数の負荷トランジスタMLのゲートとを電気的に接続する。電圧供給配線107を介して、電圧供給回路104から電圧V2又は電圧V3が負荷トランジスタMLに供給される。
制御回路108は、電圧供給回路104内のトランジスタに信号を入力し、電圧供給回路104を制御する。
次に、電圧供給回路104の構成を説明する。図2は、電圧供給回路104の構成例を示す回路図である。電圧供給回路104は、電圧生成部121と、増幅回路122A及び増幅回路122Bと、抵抗回路123と、切替回路124とを含む。
電圧生成部121は、定電圧である電圧V1を生成する。電圧生成部121は、トランジスタM4と定電流源125とを備える。トランジスタM4は、ゲートとドレインとが短絡されている。定電流源125は、トランジスタM4のゲート及びドレインに接続されている。定電流源125は、例えば定電流生成回路である。
増幅回路122Aは、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122Aは、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM5を備える。トランジスタM5のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。トランジスタM5は、電圧V1を増幅して電流I2に変換する。
増幅回路122Bは、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122Bは、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM6を備える。トランジスタM6のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。トランジスタM6は、電圧V1を増幅して電流I3に変換する。
抵抗回路123は、電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123は、トランジスタM7を備える。トランジスタM7のゲートとドレインは接続されている。トランジスタM7のドレインには、電流I2または電流I3が入力される。トランジスタM7は、ソース-ドレイン間に流れる電流I2を電圧V2に、又は電流I3を電圧V3に変換する。トランジスタM7で変換された電圧V2又は電圧V3は、電圧供給配線107を介して、負荷トランジスタMLのゲートに印加される。なお、電圧V2と電圧V3とは異なる値であってもよいし、同じ値であってもよい。
切替回路124は、トランジスタM8およびトランジスタM9を備える。トランジスタM8は、トランジスタM5と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM5のドレインと、トランジスタM8のドレインとが接続されている。トランジスタM9は、トランジスタM6と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM6のドレインと、トランジスタM9のドレインとが接続されている。切替回路124は、増幅回路122A及び増幅回路122Bのいずれを抵抗回路123に接続するかを切り替える。
トランジスタM4とトランジスタM5とは、それぞれのソース電圧とゲート電圧を共通とすることで、カレントミラー回路を構成している。同様に、トランジスタM4とトランジスタM6とはカレントミラー回路を構成している。
トランジスタM8及びトランジスタM9のソースは、トランジスタM7のドレイン及びゲートと電気的に接続されている。トランジスタM8のゲートには、信号SELAが供給される。トランジスタM9のゲートには、信号SELBが供給される。信号SELAがHighである場合には、トランジスタM4とトランジスタM5で構成されるカレントミラー回路が選択される。信号SELBがHighである場合には、トランジスタM4とトランジスタM6で構成されるカレントミラー回路が選択される。
これらの信号SELA及び信号SELBは、制御回路108により生成される。制御回路108は、信号SELA及び信号SELBの一方がHighの場合には他方はLowとなるように、それぞれの信号を設定する。つまり、制御回路108は、トランジスタM8及びトランジスタM9の一方がオンし、他方はオフするように、電圧供給回路104を制御する。そして、制御回路108は、トランジスタM8及びトランジスタM9のうちオンするトランジスタを切り替えることで、電流I2及び電流I3のいずれを抵抗回路123に供給するかを切り替える。つまり、制御回路108は、増幅回路122Aを用いて電圧V1を電流I2に変換するか、増幅回路122Bを用いて電圧V1を電流I3に変換するかを切り替える。
次に、撮像装置100の動作を説明する。図3は、撮像装置100の1水平期間分の動作を示すタイミングチャートである。1水平期間とは、1つの行に属する画素から信号を読み出す期間である。
制御信号SELは、制御回路108から選択トランジスタM3のゲートに供給される。制御信号RSTは、制御回路108からリセットトランジスタM1のゲートに供給される。制御信号CTNは、制御回路108からトランジスタMrstのゲートに供給される。制御信号CTSは、制御回路108からトランジスタMsigに供給される。電圧Vsigは垂直信号線102の電圧を表す。
時刻t0に信号SELがHighになり、画素101からの信号読み出し動作が開始される。時刻t0において信号SELAはLowであり、信号SELBはHighである。つまり、電圧供給配線107には、増幅回路122Bを用いて変換された電圧V3が供給される。具体的には、電圧供給配線107には、トランジスタM6、M9及びM7で構成されるカレントミラー回路からの出力電圧V3が印加される。
時刻t1に信号SELAがHighになり、信号SELBがLowになる。このことにより、電圧供給配線107には、増幅回路122Aを用いて変換された電圧V2が供給される。具体的には、電圧供給配線107には、トランジスタM5、M8、及びM7で構成されるカレントミラー回路からの出力電圧V2が印加される。
時刻t2に信号CTSがHighになる。これにより、画素101からの画素信号を容量Csigにサンプルホールドする動作が開始される。
時刻t3に制御信号CTSがLowになり、画素信号を容量Csigにサンプルホールドする動作が終了する。同時に、信号SELAがLowになり、信号SELBがHighになる。これにより、電圧供給配線107には、再度、増幅回路122Bを用いて変換された電圧V3が供給される。
また、時刻t3から時刻t4の間に信号RSTがHighになり、画素101のFDノードに蓄積されていた電荷がリセットされる。
時刻t5に再び信号SELAはHighになり、信号SELBはLowになる。これにより、電圧供給配線107には、増幅回路122Aを用いて変換された電圧V2が供給される。
時刻t6から時刻t7の間に信号CTNがHighになり、画素101からの基準信号が容量Crstにサンプルホールドされる。
時刻t7に信号SELAはLowになり、信号SELBはHighになる。これにより、電圧供給配線107には、増幅回路122Bを用いて変換された電圧V3が供給される。
図3に示す駆動方式では、制御信号CTSがHighになっている期間t2~t3、その直前の期間t1~t2、制御信号CTNがHighになっている期間t6~t7、およびその直前期間t5~t6のみ、信号SELAがHighになり、それ以外の期間t0~t1及び期間t3~t5には、信号SELBがHighになる。つまり、画素信号及び基準信号読み出し時とその直前の期間のみ、増幅回路122Aを用いて変換された電圧V2が電圧供給配線107に供給される。一方、それ以外の期間t0~t1及び期間t3~t5においては、増幅回路122Bを用いて変換された電圧V3が電圧供給配線107に供給される。例えば、1水平期間に対して、信号SELAをHighとする期間を1/4にした場合を考える。その場合の増幅回路122Aの駆動周波数は、信号SELAを常にHighとしていた場合と比較して、4倍になる。つまり、増幅回路122Aで発生する1/fノイズは1/4に低減されることになる。より具体的には、期間t1~t3及び期間t5~t7の各々は数μ秒であるため、増幅回路122A及び増幅回路122Bの駆動周波数は数十~数百kHz以上となる。この周波数帯域では、回路の1/fノイズは小さい値をとる。あるいは、この周波数帯域では、回路において1/fノイズよりも熱ノイズが支配的となる。したがって、低い周波数で顕著な1/fノイズの画素信号への影響を低減することが可能である。
以上説明したように本実施形態によれば、CDS動作の間において、電圧供給回路104が生成する電圧V2又は電圧V3に対するノイズを抑制できる。これにより、横線ノイズを抑制できる。
ここで、増幅回路122Aに含まれるトランジスタM5と、増幅回路122Bに含まれるトランジスタM6のサイズは、例えば、等しい。具体的には、トランジスタM5のゲート長及びゲート幅は、トランジスタM6のゲート長及びゲート幅と等しい。この場合、電流I2と電流I3とは等しい。これにより、増幅回路122Aが用いられる場合に出力される電圧V2と増幅回路122Bが用いられる場合に出力される電圧V3との値を等しくすることができる。これにより、使用する回路を増幅回路122Aと増幅回路122Bとで切り替えても、電圧供給配線107の電圧値を一定にできる。
なお、トランジスタM5のチャネル幅W1の、チャネル長L1に対する比W1/L1を、トランジスタM6のチャネル幅W2の、チャネル長L2に対する比W2/L2と等しくすることによっても、電流I2及び電流I3を等しくすることができる。これにより、増幅回路122Aが用いられる場合に出力される電圧V2と増幅回路122Bが用いられる場合に出力される電圧V3との値を等しくすることができる。
また、図3に示す例では、サンプルホールド回路109が画素信号及び基準信号を読み出す期間においては、常に一方の増幅回路のみを用いるように切り替えを行う。このような場合には、増幅回路122Aが用いられる場合に出力される電圧V2の値と、増幅回路122Bが用いられる場合に出力される電圧V3の値とに、差があってもよい。電圧V2と電圧V3とに差がある場合でも、あるサンプルホールド期間中には常に一定の電圧が用いられるため、切り替えを行うことによる信号値の変動を抑制できる。
また、トランジスタM5とトランジスタM6のサイズとを等しく設定しようとした場合でも、製造時のトランジスタM5及びM6のサイズのばらつきに起因して、電圧V2の値と電圧V3の値とに差が生じる場合がある。このような場合であっても、制御信号CTSあるいは制御信号CTNがHighであるサンプルホールド期間中には電圧の切り替えが行われず、一定の電圧が負荷回路に印加されるため、切り替えを行うことによる信号値の変動を抑制できる。
また、増幅回路122Aと増幅回路122Bとの切り替えの頻度を上げるほど、それぞれの回路の駆動周波数は高くなる。上述したように回路の駆動周波数を数十~数百kHz以上にすることで、1/fノイズを小さい値にすることができる。よって、例えば、1水平期間内において少なくとも一回、増幅回路122Aと増幅回路122Bとの切り替えを行うことが望ましい。
なお、図3では、1水平期間において2回、増幅回路122Aと増幅回路122Bの切り替えが行われているが、図4に示すように、1水平期間において1回の切り替えが行われてもよい。図4に示す例では、画素信号読み出し期間t2~t3と、基準信号読み出し期間t5~t6と、を含む、連続した期間t1~t5において増幅回路122Aが用いられ、それ以外の期間t0~t1で増幅回路122Bが用いられる。この場合においても、サンプルホールド回路109が画素信号及び基準信号を読み出す期間においては、常に一方の増幅回路を用いることができる。
ここで、増幅回路122Aと増幅回路122Bの切り替え頻度を高くし、それぞれの回路の駆動周波数を高くした場合、回路における1/fノイズが減少する一方で、電圧供給配線107の電圧が変動しやすくなる可能性がある。これは、切り替え頻度を高くすることにより、切り替え時に生じる電圧供給配線107の電圧の変動を十分に安定させるのが難しい場合があるためである。よって、図4に示す制御を用いることで、このような電圧供給配線107の電圧の変動を抑制できる。
(第2実施形態)
本実施形態では、電圧供給回路104が第1実施形態と異なる。以下、電圧供給回路104の変形例について説明する。なお、第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図5は、本実施形態に係る電圧供給回路104Aの構成を示す図である。電圧供給回路104Aは、電圧生成部121と、増幅回路122と、抵抗回路123A及び123Bと、切替回路124Aとを含む。
増幅回路122は、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122は、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM10を備える。トランジスタM10のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。増幅回路122は、電圧V1を増幅して電流I2に変換する。
抵抗回路123Aは、電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123Aは、トランジスタM11を備える。トランジスタM11のゲートとドレイン、およびトランジスタM10のドレインは接続されている。トランジスタM11のドレインには、電流I2が入力される。トランジスタM11は、ソース-ドレイン間に流れる電流I2を電圧V2に変換する。トランジスタM11で変換された電圧V2は、電圧供給配線107を介して、負荷トランジスタMLのゲートに印加される。
抵抗回路123Bは、電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123Bは、トランジスタM12を備える。トランジスタM12のゲートとドレイン、およびトランジスタM10のドレインは接続されている。トランジスタM12のドレインには、電流I2が入力される。トランジスタM12は、ソース-ドレイン間に流れる電流I2を電圧V3に変換し、電圧V3を電圧供給配線107に出力する。
切替回路124Aは、トランジスタM13およびトランジスタM14を備える。トランジスタM13は、トランジスタM11と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM13のドレインと、トランジスタM11のソースとが接続されている。トランジスタM14は、トランジスタM12と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM14のドレインと、トランジスタM12のソースとが接続されている。切替回路124Aは、抵抗回路123A及び抵抗回路123Bのいずれを増幅回路122に接続するかを切り替える。
トランジスタM4とトランジスタM10とは、それぞれのソース電圧とゲート電圧とを共通とすることで、カレントミラー回路を構成している。
トランジスタM13のゲートには、制御回路108から信号SELAが供給される。トランジスタM14のゲートには、制御回路108から信号SELBが供給される。信号SELAがHighである場合には、抵抗回路123Aが選択される。すなわち、抵抗回路123Aが増幅回路122に接続される。信号SELBがHighである場合には、抵抗回路123Bが選択される。すなわち、抵抗回路123Bが増幅回路122に接続される。
また、トランジスタM11のサイズと、トランジスタM12のサイズとは、例えば、等しい。具体的には、トランジスタM11のゲート長及びゲート幅は、トランジスタM12のゲート長及びゲート幅と等しい。これにより、抵抗回路123Aが用いられる場合に出力される電圧V2と、抵抗回路123Bが用いられる場合に出力される電圧V3との値を等しくすることができる。これにより、使用する回路を抵抗回路123Aと抵抗回路123Bとで切り替えても、電圧供給配線107の電圧を一定にできる。
なお、トランジスタM11のチャネル幅W3のチャネル長L3に対する比W3/L3を、トランジスタM12のチャネル幅W4のチャネル長L4に対する比W4/L4と等しくすることによっても、抵抗回路123Aが用いられる場合に出力される電圧V2と、抵抗回路123Bが用いられる場合に出力される電圧V3との値を等しくすることができる。
なお、信号SELA及び信号SELBを用いた切り替え制御のタイミングチャートは、例えば、第1実施形態と同様である。すなわち、第2実施形態においても、図3又は図4に示すものと同様の制御が行われる。
以上の構成により、第1実施形態と同様に画素信号に対する1/fノイズの影響を低減できる。
(第3実施形態)
本実施形態では、電圧供給回路104が第1実施形態および第2実施形態と異なる。以下、電圧供給回路104の変形例について説明する。なお、第1実施形態又は第2実施形態と同じ構成については同じ符号を付して重複する説明を省略する。図6は、本実施形態に係る電圧供給回路104Bの構成を示す図である。電圧供給回路104Bは、電圧生成部121と、増幅回路122A及び122Bと、抵抗回路123A及び123Bと、切替回路124Bとを含む。
増幅回路122Aは、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122Aは、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM21を備える。トランジスタM21のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。トランジスタM21は、電圧V1を増幅して電流I2に変換する。
増幅回路122Bは、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122Bは、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM22を備える。トランジスタM22のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。トランジスタM21は、電圧V1を増幅して電流I3に変換する。
抵抗回路123Aは、増幅回路122A及び電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123Aは、トランジスタM23を備える。トランジスタM23のゲートとドレインは接続されている。トランジスタM23のドレインには、電流I2が入力される。トランジスタM23は、ソース-ドレイン間に流れる電流I2を電圧V2に変換する。トランジスタM23で変換された電圧V2は、電圧供給配線107を介して、負荷トランジスタMLのゲートに印加される。
抵抗回路123Bは、増幅回路122B及び電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123Bは、トランジスタM24を備える。トランジスタM24のゲートとドレインは接続されている。トランジスタM24のドレインには、電流I3が入力される。トランジスタM24は、ソース-ドレイン間に流れる電流I3を電圧V3に変換する。トランジスタM24で変換された電圧V3は、電圧供給配線107を介して、負荷トランジスタMLのゲートに印加される。
切替回路124Bは、トランジスタM25~M28を備える。トランジスタM25は、トランジスタM21とは直列に接続されている。具体的には、トランジスタM21のドレインとトランジスタM25のドレインとが接続されている。トランジスタM26は、トランジスタM22とは直列に接続されている。具体的には、トランジスタM22のドレインとトランジスタM26のドレインとが接続されている。
トランジスタM25のソースは、トランジスタM23のドレイン及びゲートと接続されている。トランジスタM26のソースは、トランジスタM24のドレイン及びゲートと接続されている。トランジスタM27は、トランジスタM23のドレイン及びゲートと、電圧供給配線107との間に接続されている。トランジスタM28は、トランジスタM24のドレイン及びゲートと、電圧供給配線107との間に接続されている。
切替回路124Bは、増幅回路122A及び抵抗回路123Aを含む第1回路を用いて電流I2を電圧V2に変換するかと、増幅回路122B及び抵抗回路123Bを含む第2回路を用いて電流I3を電圧V3に変換するかとを切り替える。
トランジスタM4とトランジスタM21とは、それぞれのソース電圧とゲート電圧を共通とすることで、カレントミラー回路を構成している。トランジスタM4とトランジスタM22とは、ソース電圧とゲート電圧を共通とすることで、カレントミラー回路を構成している。
トランジスタM25及びトランジスタM27のゲートには、制御回路108から信号SELAが供給される。トランジスタM26及びトランジスタM28のゲートには、制御回路108から信号SELBが供給される。信号SELAがHighである場合には、増幅回路122A及び抵抗回路123Aが選択される。すなわち、電圧生成部121から電圧V1が増幅回路122Aに入力され、電圧V1が電流I2に変換されて抵抗回路123Aに入力される。電流I2は、抵抗回路123Aによって電圧V2に変換される。以下、このときに選択される、増幅回路122Aおよび抵抗回路123Aをまとめて回路群1と呼ぶ。信号SELBがHighである場合には、増幅回路122B抵抗回路123Bが選択される。すなわち、電圧生成部121から電圧V1が増幅回路122Bに入力され、電圧V1が電流I3に変換されて抵抗回路123Bに入力される。電流I3は、抵抗回路123Bによって電圧V3に変換される。以下、このときに選択される、増幅回路122Bおよび抵抗回路123Bをまとめて回路群2と呼ぶ。
例えば、トランジスタM21のサイズと、トランジスタM22のサイズとは等しい。具体的には、トランジスタM21のゲート長及びゲート幅は、トランジスタM22のゲート長及びゲート幅と等しい。また、例えば、トランジスタM23のサイズと、トランジスタM24のサイズとは等しい。具体的には、トランジスタM23のゲート長及びゲート幅は、トランジスタM24のゲート長及びゲート幅と等しい。各トランジスタのサイズをこのように設定することにより、回路群1が用いられる場合と、回路群2が用いられる場合とで、負荷トランジスタMLのゲートに印加される電圧の値を等しくすることができる。これにより、使用する回路の組を切り替えても、負荷トランジスタMLに印加される電圧を一定にすることができ、負荷トランジスタMLの動作を一定にすることができる。
なお、トランジスタM21のチャネル幅W5のチャネル長L5に対する比W5/L5を、トランジスタM22のチャネル幅W6のチャネル長L6に対する比W6/L6と等しくしてもよい。また、トランジスタM23のチャネル幅W7のチャネル長L7に対する比W7/L7を、トランジスタM24のチャネル幅W8のチャネル長L8に対する比W8/L8と等しくしてもよい。それぞれの比をそのように設定することで、回路群1が用いられる場合と、回路群2が用いられる場合とで、負荷トランジスタMLに印加される電圧の値を等しくすることができる。
また、トランジスタM21のチャネル幅・チャネル長比W5/L5と、トランジスタM22のチャネル幅・チャネル長比W6/L6とが異なる場合も考えられる。このような場合でも、これらのW/Lの比に応じて、トランジスタM23とトランジスタM24のW/Lを設定すればよい。これにより、増幅回路122Aと抵抗回路123Aとの組が用いられる場合と、増幅回路122Bと抵抗回路123Bとの組が用いられる場合とで、負荷トランジスタMLに印加される電圧の値を等しくすることができる。例えば、トランジスタM21においてW5/L5が1、トランジスタM22においてW6/L6が2であったとする。この場合、トランジスタM23のW/Lを2、トランジスタM24のW/Lを4と設定することができる。
また、上述したように、電圧V2と電圧V3の値は異なっていてもよい。よって、上記のように、トランジスタM21のW/Lと、トランジスタM22のW/Lとの大小関係に応じて、トランジスタM23とトランジスタM24のW/Lとの大小関係を設定することで、電圧V2と電圧V3の差を低減できる。つまり、トランジスタM21のW/Lが、トランジスタM22のW/Lより大きい場合には、トランジスタM23のW/LをトランジスタM24のW/Lより大きくする。また、トランジスタM21のW/Lが、トランジスタM22のW/Lより小さい場合には、トランジスタM23のW/LをトランジスタM24のW/Lより小さくする。これにより、電圧V2と電圧V3の差を低減できる。
また、図3又は図4に示すように、画素信号及び基準信号を読み出す期間において、常に回路群1が用いられる場合を考える。その場合、トランジスタM22のW6/L6を、トランジスタM21のW5/L5より小さくしてもよい。また、トランジスタM24のW8/L8を、トランジスタM23のW7/L7より小さくしてもよい。これにより、増幅回路122Bあるいは抵抗回路123Bの面積を削減できる。また、これにより、画素信号及び基準信号を読み出す期間における熱ノイズを抑制できる。また、画素信号および基準信号を読み出す期間以外の期間における消費電流を低減できる。
以上の構成により、1/fノイズを低減できる。また、本実施形態では、増幅回路及び抵抗回路の両方における1/fノイズを低減できる。
(第4実施形態)
図7は、本実施形態に係る撮像装置100Cの構成を示す図である。図7に示す撮像装置100Cは、電圧供給回路104C及び負荷回路103Cの構成が、第1実施形態と異なる。なお、図7では、列信号処理回路106及び制御回路108の図示は省略している。
電圧供給回路104Cは、電圧生成部121と、増幅回路122と、抵抗回路123とを含む。電圧生成部121は、定電圧である電圧V1を生成する。増幅回路122は、電圧生成部121に電気的に接続される。増幅回路122は、電圧生成部121にゲートが電気的に接続されたトランジスタM31を備える。トランジスタM31のゲートには、電圧生成部121から電圧V1が入力される。トランジスタM31は、入力された電圧V1を増幅して電流I2に変換する。
抵抗回路123は、電圧供給配線107に電気的に接続される。抵抗回路123は、トランジスタM32を備える。トランジスタM32のゲートとドレインは接続されている、トランジスタM32のドレインには、電流I2が入力される。トランジスタM32は、ソース-ドレイン間に流れる電流I2を電圧V2に変換する。トランジスタM32で変換された電圧V2は、電圧供給配線107を介して、負荷回路103Cに入力される。
負荷回路103Cは、負荷トランジスタML1及び負荷トランジスタML2と、切替回路124Cとを備える。
負荷トランジスタML1及び負荷トランジスタML2は、増幅トランジスタM2とソースフォロワ回路を構成する。負荷トランジスタML1及び負荷トランジスタML2のゲートには電圧供給配線107を介して電圧V2が供給される。負荷トランジスタML1は、ゲートに入力された電圧V2を電流I1に変換して出力する。負荷トランジスタML2は、ゲートに入力された電圧V2を電流I3に変換して出力する。
負荷トランジスタML1のソース及びドレインの一方は、切替回路124Cを介して、対応する列に配置された垂直信号線102に接続されている。負荷トランジスタML1は、対応する列に配置された垂直信号線102に定電流I1を供給する。
負荷トランジスタML2のソース及びドレインの一方は、切替回路124Cを介して、対応する列に配置された垂直信号線102に接続されている。負荷トランジスタML2は、対応する列に配置された垂直信号線102に定電流I3を供給する。
切替回路124Cは、負荷トランジスタML1及び負荷トランジスタML2のいずれかを選択的に垂直信号線102に電気的に接続する。切替回路124Cは、トランジスタM33及びトランジスタM34を含む。トランジスタM33は、負荷トランジスタML1と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM33は、トランジスタML1と垂直信号線102との間に接続されている。トランジスタM34は、負荷トランジスタML2と直列に接続されている。具体的には、トランジスタM34は、トランジスタML2と垂直信号線102との間に接続されている。
トランジスタM33のゲートには信号SELAが供給され、トランジスタM34のゲートには信号SELBが供給される。信号SELAがHighである場合には、負荷トランジスタML1が垂直信号線102に接続され、垂直信号線102に電流I1が供給される。信号SELBがHighである場合には、負荷トランジスタML2が垂直信号線102に接続され、垂直信号線102に電流I3が供給される。
また、負荷トランジスタML1のサイズと、負荷トランジスタML2のサイズとは、例えば、等しい。具体的には、負荷トランジスタML1のゲート長及びゲート幅は、負荷トランジスタML2のゲート長及びゲート幅と等しい。これにより、電流I1と電流I3とを等しくすることができる。
なお、負荷トランジスタML1のチャネル幅W9のチャネル長L9に対する比W9/L9を、負荷トランジスタML2のチャネル幅W10のチャネル長L10に対する比W10/L10と等しくすることで、電流I1と電流I3とを等しくすることができる。
本実施形態における信号SELA及び信号SELBを用いた切り替え制御は、例えば、第1実施形態と同様である。すなわち、例えば図3又は図4に示す制御が行われる。
以上の構成により、負荷トランジスタにおける1/fノイズを低減できる。このことにより、横線ノイズを抑制できる。
(第5の実施形態)
本実施形態では、上述した撮像装置100を備えるカメラシステムについて説明する。
図8は、本実施形態に係るカメラシステム200の構成の一例を示すブロック図である。このカメラシステム200は、例えば、スマートフォン、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、監視カメラ、又は車載向けのカメラなどに用いられる。
このカメラシステム200は、撮像装置100と、レンズ201と、カメラ信号処理部202と、システムコントローラ203とを備える。
レンズ201は、撮像装置100が備える画素アレイに入射光を導くための光学素子である。
撮像装置100は、例えば、上述した実施形態に係る撮像装置100又は100Cである。撮像装置100は、レンズ201によって撮像面に結像された像光を、画素単位で電気信号に変換し、得られた画像信号を出力する。
カメラ信号処理部202は、撮像装置100で生成された画像信号に対して種々の処理をする回路である。
システムコントローラ203は、撮像装置100及びカメラ信号処理部202を駆動する制御部である。
カメラ信号処理部202で処理された画像信号は、例えばメモリなどの記録媒体に静止画または動画として記録される。または、画像信号は、液晶ディスプレイ等からなるモニタに動画として映し出される。
本実施形態に係るカメラシステム200は、上述した撮像装置100を用いることで、1/fノイズを低減できる。
以上、本開示の実施の形態に係る撮像装置について説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。
例えば、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。
また、上記実施形態に係る各装置に含まれる各処理部は典型的には集積回路であるLSIとして実現される。これらは個別に1チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように1チップ化されてもよい。
また、集積回路化はLSIに限るものではなく、専用回路又は汎用プロセッサで実現してもよい。LSI製造後にプログラムすることが可能なFPGA(Field Programmable Gate Array)、又はLSI内部の回路セルの接続や設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。
また、上記各実施の形態において、各構成要素の一部は、当該構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。構成要素は、CPUまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
本開示に係る撮像装置は、デジタルスチルカメラ、放送用カメラ、医療用カメラ、監視用カメラ、車載用カメラ、デジタル一眼レフカメラ、デジタルミラーレス一眼カメラ等、様々なカメラシステム及びセンサシステムへ利用できる。
100、100C 撮像装置
101 画素
102 垂直信号線
103、103C 負荷回路
104、104A、104B、104C 電圧供給回路
106 列信号処理回路
107 電圧供給配線
108 制御回路
109 サンプルホールド回路
121 電圧生成部
122、122A、122B 増幅回路
123、123A、123B 抵抗回路
124、124A、124B、124C 切替回路
125 定電流源
200 カメラシステム
201 レンズ
202 カメラ信号処理部
203 システムコントローラ

Claims (20)

  1. 光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、
    前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、
    ソース、ドレイン及びゲートを有し、前記ソース及び前記ドレインの一方が前記出力信号線に電気的に接続される負荷トランジスタと、
    前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続され、第1電圧及び第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給する電圧供給回路と、
    を備え、
    前記電圧供給回路は、
    第3電圧を生成する電圧生成部と、
    前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する第1増幅回路と、
    前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流を生成する第2増幅回路と、
    前記ゲートに電気的に接続され、前記第1電流から前記第1電圧を生成し、前記第2電流から前記第2電圧を生成する抵抗回路と、
    前記第1増幅回路に対し直列に接続される第1トランジスタと、
    前記第2増幅回路に対し直列に接続される第2トランジスタと、
    を含み、
    前記第1トランジスタがオンされ前記第2トランジスタがオフされる第1の状態と、前記第1トランジスタがオフされ前記第2トランジスタがオンされる第2の状態とが交互に切り替えられる、
    撮像装置。
  2. 前記第1増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第トランジスタを含み、
    前記第2増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第トランジスタを含み、
    前記第トランジスタのチャネル長に対する前記第3トランジスタのチャネル幅の比は、前記第トランジスタのチャネル長に対する前記第トランジスタのチャネル幅の比と等しい、請求項に記載の撮像装置。
  3. 光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、
    前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、
    ソース、ドレイン及びゲートを有し、前記ソース及び前記ドレインの一方が前記出力信号線に電気的に接続される負荷トランジスタと、
    前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続され、第1電圧及び第2電圧を前記ゲートに供給する電圧供給回路と、
    を備え、
    前記電圧供給回路は、
    第3電圧を生成する電圧生成部と、
    前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する増幅回路と、
    前記第1電流から前記第1電圧を生成する第1抵抗回路と、
    前記第1電流から前記第2電圧を生成する第2抵抗回路と、
    を含む
    撮像装置。
  4. 前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給する、請求項3に記載の撮像装置。
  5. 前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに接続される第1トランジスタを含み、
    前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに接続される第2トランジスタを含み、
    前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比と等しい、請求項3または4に記載の撮像装置。
  6. 前記電圧供給回路は、
    前記第1抵抗回路に対し直列に接続される第3トランジスタと、
    前記第2抵抗回路に対し直列に接続される第4トランジスタと
    を含み、
    前記第3トランジスタ及び前記第4トランジスタのいずれか一方が選択的にオンされる、請求項3~5のいずれか1項に記載の撮像装置。
  7. 光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、
    前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、
    ソース、ドレイン及びゲートを有し、前記ソース及び前記ドレインの一方が前記出力信号線に電気的に接続される負荷トランジスタと、
    前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続され、第1電圧及び第2電圧を前記ゲートに供給する電圧供給回路と、
    を備え、
    前記電圧供給回路は、
    第3電圧を生成する電圧生成部と、
    前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第1電流を生成する第1増幅回路と、
    前記第1電流から前記第1電圧を生成する第1抵抗回路と、
    前記電圧生成部に電気的に接続され、前記第3電圧を増幅して第2電流を生成する第2増幅回路と、
    前記第2電流から前記第2電圧を生成する第2抵抗回路と、
    を含む
    撮像装置。
  8. 前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給する、請求項7に記載の撮像装置。
  9. 前記第1増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第1トランジスタを含み、
    前記第1抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続される第2トランジスタを含み、
    前記第2増幅回路は、ゲートが前記電圧生成部に電気的に接続される第3トランジスタを含み、
    前記第2抵抗回路は、ソース及びドレインの一方が前記負荷トランジスタの前記ゲートに電気的に接続される第4トランジスタを含む、請求項7または8に記載の撮像装置。
  10. 前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第3トランジスタのチャネル長に対する前記第3トランジスタのチャネル幅の比よりも大きく、
    前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比は、前記第4トランジスタのチャネル長に対する前記第4トランジスタのチャネル幅の比よりも大きい、請求項に記載の撮像装置。
  11. 前記第1トランジスタのチャネル長に対する前記第1トランジスタのチャネル幅の比は、前記第3トランジスタのチャネル長に対する前記第3トランジスタのチャネル幅の比よりも小さく、
    前記第2トランジスタのチャネル長に対する前記第2トランジスタのチャネル幅の比は、前記第4トランジスタのチャネル長に対する前記第4トランジスタのチャネル幅の比よりも小さい、請求項に記載の撮像装置。
  12. 前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれを生成するかを切り替える切替回路を含む、請求項1~11のいずれか1項に記載の撮像装置。
  13. 前記電圧供給回路に対し、前記第1電圧及び前記第2電圧のいずれか一方を選択的に前記ゲートに供給させる制御回路をさらに備える、請求項1~12のいずれか1項に記載の撮像装置。
  14. 前記電圧供給回路は、前記第1電圧及び前記第2電圧を、1水平期間において1回以上
    切り替える、請求項1~13のいずれか1項に記載の撮像装置。
  15. 前記出力信号線に接続され、前記第1信号を読み出して保持するサンプルホールド回路をさらに備え、
    前記画素は、前記電荷がリセットされた状態において、前記出力信号線に第2信号を出力し、
    前記電圧供給回路は、
    前記サンプルホールド回路が前記第1信号を読み出す期間を含む第1期間において、前記第1電圧を供給し、
    前記サンプルホールド回路が前記第2信号を読み出す期間を含む第2期間において、前記第1電圧を供給し、
    前記第1期間及び前記第2期間のいずれとも異なる第3期間において、前記第2電圧を供給する、請求項14に記載の撮像装置。
  16. 1水平期間において、前記第1期間と前記第2期間との間に前記第3期間が位置する、請求項15に記載の撮像装置。
  17. 1水平期間において、前記第1期間と前記第2期間とは連続している、請求項15に記載の撮像装置。
  18. 光を電荷に変換する光電変換部を含み、前記電荷の量に対応する第1信号を出力する画素と、
    前記画素に電気的に接続され、前記第1信号を伝達する出力信号線と、
    第1ソース、第1ドレイン及び第1ゲートを有する第1負荷トランジスタと、
    第2ソース、第2ドレイン及び第2ゲートを有する第2負荷トランジスタと、
    前記第1ゲート及び前記第2ゲートに第1電圧を供給する電圧供給回路と、
    前記第1ソース及び前記第1ドレインの一方を前記出力信号線に接続するか、前記第2ソース及び前記第2ドレインの一方を前記出力信号線に接続するかを切り替える切替回路と、
    を備える、
    撮像装置。
  19. 前記切替回路に対し、前記第1ソース及び前記第1ドレインの前記一方を前記出力信号線に接続するか、前記第2ソース及び前記第2ドレインの前記一方を前記出力信号線に接続するかを切り替えさせる制御回路を備える、請求項18に記載の撮像装置。
  20. 請求項1~19のいずれか1項に記載の撮像装置を備える、
    カメラシステム。
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