JP2002239014A

JP2002239014A - 針状体及び針状体の製造方法

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Publication number: JP2002239014A
Application number: JP2001042373A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Kasai; 一夫笠井; Kazuyuki Sueda; 一行末田
Original assignee: Sumitomo Precision Products Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Precision Products Co Ltd
Priority date: 2001-02-19
Filing date: 2001-02-19
Publication date: 2002-08-27
Anticipated expiration: 2021-02-19
Also published as: JP3696513B2

Abstract

(57)【要約】【課題】所定のテーパ形状を有する針状体を容易に歩
留り良く製造できると共に、針状体の高密度化を図れて
製造効率を高めることができる針状体の製造方法を提供
する。【解決手段】マスク２１を設けた試料（シリコンウェ
ハ）２０の表面から等方性エッチング（第１工程）を行
って、先端部のある程度の形状を作成する（ｂ）。厚さ
方向にエッチング選択性を有する異方性エッチング（第
２工程）を行って、穴を作成する（ｃ）。再び等方性エ
ッチング（第３工程）を行って、所望のテーパ形状を有
する円錐状の先端部３１ａとそれに連なる円柱部３１ｂ
とで構成される針状体３１を作製する（ｄ）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば薬物を経皮
的に身体に注入する際などに使用されるシリコン製の針
状体、及び、シリコンウェハに対するエッチングにより
そのような針状体を製造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】薬剤を被験者の身体に経皮的に注入する
器具として、被験者に痛みを与えないシリコン製の針状
体（マイクロニードル）の利用が試みられている。この
針状体は、所望のテーパ角度を有して先端が尖ってお
り、その先端部を薬液に浸漬またはその先端部に薬剤を
塗布した針状体を、被験者の皮膚に先端から刺し込むこ
とにより、それらの薬物を身体内に注入する。薬物が付
着した先端部が、皮膚の表皮部を貫通して毛細血管，神
経終末が存する真皮部まで到達すれば、薬物注入は有効
となるため、その針状体の長さは１５０μｍ程度あれば
良い。

【０００３】このようなシリコン製の針状体の製造に
は、半導体集積回路の作製技術を適用できる。そして従
来では、プラズマ処理装置を用いて、反応ガスとしてＳ
Ｆ₆／Ｏ₂ガスの導入によって生成したプラズマによる
シリコンウェハに対するエッチングにより、図９の斜視
図に示すような多数の針状体５１を製造している。この
従来の針状体５１にあっては、その基端部から先端部に
かけて全体にテーパ状に形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の製造手法では、
所望のテーパ形状を得るためのプロセス制御特にＳＦ₆
ガスとＯ₂ガスとの導入比率の制御が難しい。また、所
望のテーパ形状を得るためのマスクの作製が困難であ
る。このような課題により、従来では所定のテーパ形状
を有する針状体を歩留り良く製造できないという問題が
ある。また、製造効率の向上を図るために、針状体の高
密度化も望まれている。

【０００５】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、等方性エッチングと異方性エッチングとを組み
合わせることにより、所定のテーパ形状を有する針状体
を容易に歩留り良く製造できる針状体の製造方法及びそ
の製造方法によって製造された針状体を提供することを
目的とする。

【０００６】本発明の他の目的は、高密度化を図れて、
製造効率を高めることができる針状体及びその針状体を
製造するための方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る針状体
は、先端に向かって細径化したテーパ状をなす先端部と
該先端部に連なる長手方向にわたって同一径の基端部と
を有することを特徴とする。

【０００８】請求項２に係る針状体は、先端に向かって
細径化したテーパ状をなす先端部と該先端部に連なる長
手方向にわたって同一径の基端部とを有しており、前記
基端部から前記先端部に向かって貫通孔が形成されてい
ることを特徴とする。

【０００９】請求項３に係る針状体の製造方法は、シリ
コンウェハに対するエッチングにより、所定のテーパ形
状を有するシリコン製の針状体を製造する方法におい
て、前記針状体を形成すべき部分にマスクを設けて前記
シリコンウェハに等方性エッチングを施す第１工程と、
前記マスクを設けた態様で前記シリコンウェハに、その
厚さ方向に選択エッチング性を有する異方性エッチング
を施す第２工程と、前記マスクを設けた態様で前記シリ
コンウェハに等方性エッチングを施す第３工程とを有す
ることを特徴とする。

【００１０】請求項４に係る針状体の製造方法は、請求
項３における前記第２工程にあって、反応ガスを切り替
えてエッチングステップと堆積ステップとを交互に繰り
返して異方性エッチングを施すことを特徴とする。

【００１１】請求項５に係る針状体の製造方法は、先端
に向かって細径化したテーパ状をなす先端部と該先端部
に連なる長手方向にわたって同一径の基端部とを有し、
前記先端部から前記基端部に向かって貫通孔が形成され
ているシリコン製の針状体を、シリコンウェハに対する
エッチングにより製造する方法であって、前記貫通孔を
形成すべき部分以外に第１マスクを設けて前記シリコン
ウェハに、その厚さ方向に選択エッチング性を有する異
方性エッチングを施す第１工程と、前記針状体を形成す
べき部分に第２マスクを設けて前記シリコンウェハに等
方性エッチングを施す第２工程と、前記第２マスクを設
けた態様で前記シリコンウェハに、その厚さ方向に選択
エッチング性を有する異方性エッチングを施す第３工程
と、前記第２マスクを設けた態様で前記シリコンウェハ
に等方性エッチングを施す第４工程とを有することを特
徴とする。

【００１２】請求項６に係る針状体の製造方法は、請求
項５における前記第１工程及び／または第３工程にあっ
て、反応ガスを切り替えてエッチングステップと堆積ス
テップとを交互に繰り返して異方性エッチングを施すこ
とを特徴とする。

【００１３】第１発明では、シリコンウェハに対して、
等方性エッチング，異方性エッチング，等方性エッチン
グをこの順に施して、先端に所定のテーパ角度を有する
シリコン製の針状体を製造する。即ち、第１工程の等方
性エッチングにて、ある程度の針形状を作成し、次に、
第２工程の異方性エッチングにて、針状体として必要な
長さだけ厚さ方向に選択的にエッチングし、最後に、第
３工程の等方性エッチングにて、先端を尖らせて所定の
テーパ角度を実現する。第１発明にて製造される針状体
は、異方性エッチングにて作成された円柱状の基端部
と、等方性エッチングにて作成された円錐状の先端部と
にて構成される。

【００１４】第２発明では、シリコンウェハに対して、
異方性エッチング，等方性エッチング，異方性エッチン
グ，等方性エッチングをこの順に施して、先端に所定の
テーパ角度を有し長手方向に貫通孔を有するシリコン製
の針状体を製造する。即ち、第１工程の異方性エッチン
グにて、貫通孔を形成し、次に第２工程の等方性エッチ
ングにて、ある程度の針形状を作成し、次に、第３工程
の異方性エッチングにて、針状体として必要な長さだけ
厚さ方向に選択的にエッチングし、最後に、第４工程の
等方性エッチングにて、先端を尖らせて所定のテーパ角
度を実現する。第２発明にて製造される針状体は、第１
発明にて製造される上記針状体に更に貫通孔が形成され
たものである。

【００１５】本発明の製造方法では、プロセス処理が安
定している等方性エッチングにて先端部のテーパ形状を
作成するため、所望のテーパ角度を容易に実現できる。
また、本発明の針状体は先端部のみがテーパ状をなして
いるだけであるため、全体にテーパ状をなしている従来
の針状体に比べて、製造できる針状体の密度を高くで
き、製造効率の向上につながる。

【００１６】また、異方性エッチングを行う第１発明の
第２工程または第２発明の第１，第３工程において、反
応ガスを切り替えてエッチングステップと堆積ステップ
とを交互に繰り返すことにより、より高精度の異方性エ
ッチングを行える。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面に基づいて具体的に説明する。図１は、本発明
に係る針状体の製造方法（シリコンの等方性エッチング
及び異方性エッチング）を実施するための誘導結合型プ
ラズマ装置（ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）装
置）の構成図である。

【００１８】このＩＣＰ装置では、コイルに交流電力を
印加して低圧反応ガスのプラズマを発生させ、試料を載
置した基板電極に交流電力を印加して、この発生させた
プラズマを引き込み、引き込んだプラズマによってエッ
チングを行う。また、このＩＣＰ装置を使用する場合、
エッチングの異方性を高めるために、反応ガスとしてエ
ッチングガス（例えばＳＦ₆）と堆積ガス（例えばＣ₄
Ｆ₈）とを交互に導入してプラズマ化させて、エッチン
グステップと堆積ステップとを繰り返すＡＳＥ ^TM（Adva
nced Silicon Etching）手法が実施される。

【００１９】図１において、１は反応器であり、コイル
３への通電によってプラズマを発生させる上方側のプラ
ズマ発生室２ａと、発生されたプラズマを引き込んで試
料２０に対してエッチング処理を行う下方側の反応室２
ｂとを有する。

【００２０】プラズマ発生室２ａは、セラミック製の中
空円筒の形状を有しており、その周面には同心状にコイ
ル３が囲繞されている。コイル３には、マッチングユニ
ット７を介して所定周波数の電源８が接続されており、
所望の大きさの交流電力がコイル３に印加されるように
なっている。また、プラズマ発生室２ａの上部壁中央に
は、反応器１内へ反応ガス（ＳＦ₆またはＣ₄Ｆ₈）を
導入するガス導入管４が、貫通する態様で連結されてい
る。そして、コイル３への交流電力の印加によって、プ
ラズマ発生室２ａ内にて反応ガスのプラズマを発生させ
るようになっている。

【００２１】反応室２ｂの側部壁には、図示しない排気
装置を接続した排気口５が開口されている。反応室２ｂ
の底部には、エッチング対象の試料２０を載置する基板
電極１１を有するプラテン６が配設されている。プラテ
ン６には、マッチングユニット９を介して所定周波数の
電源１０が接続されており、所望の大きさの交流電力が
基板電極１１に印加されるようになっている。そして、
基板電極１１への交流電力の印加によって、プラズマ発
生室２ａ内で発生されたプラズマが反応室２ｂ内に引き
込まれ、その引き込まれたプラズマにより試料２０がエ
ッチングされるようになっている。

【００２２】（第１実施の形態）図２（ａ）は、第１実
施の形態における複数の針状体３１を示す斜視図、図２
（ｂ）は、１つの針状体３１の断面図であり、各針状体
３１は、先端に向かって細径化したテーパ状をなす円錐
状の先端部３１ａ（最大径：７５μｍ，高さ：５０μ
ｍ）とその先端部３１ａに連なる円柱状の基端部３１ｂ
（径：７５μｍ，高さ：１００μｍ）とから構成されて
いる。

【００２３】このような構成の針状体３１を使用する場
合、先端部３１ａを薬液に浸漬または先端部３１ａの周
囲に薬剤を塗布した針状体３１を、被験者の皮膚に先端
部３１ａから刺し込むことにより、それらの薬物を身体
内に注入することができる。また、多数の針状体３１を
形成したものを被験者の皮膚に刺し込んで、身体の電位
を測定することも可能である。

【００２４】このような構成の針状体３１の製造工程に
ついて以下に説明する。図３は、この第１実施の形態の
製造工程における試料（シリコンウェハ）２０の形状の
推移を示す図である。

【００２５】まず、針状体３１を形成すべき部分にマス
ク２１を設けた試料（シリコンウェハ）２０をプラテン
６に載置する（図３（ａ））。なお、試料（シリコンウ
ェハ）２０の厚さは２００μｍ程度である。そして、以
下の条件に従って、試料（シリコンウェハ）２０の表面
から深さ５０μｍ程度にわたる等方性エッチング（第１
工程）を行って、先端部のある程度の形状を作成する
（図３（ｂ））。

【００２６】（エッチング条件）導入する反応ガスの流量：ＳＦ₆を１３０ｓｃｃｍガス圧力：１．４７Ｐａエッチング時間：２０分コイル３への印加電力：８００Ｗ基板電極１１への印
加電力：２０Ｗ

【００２７】次に、以下の条件に従って、エッチングス
テップと堆積ステップとを交互に繰り返すことにより、
厚さ方向にエッチング選択性を有する異方性エッチング
（第２工程）を行って、深さ１００μｍ程度の穴を作成
する（図３（ｃ））。この際、エッチングステップ（１
回あたり１３秒）と堆積ステップ（１回あたり５秒）と
を交互に繰り返して、合計１５分の異方性エッチングを
実行する。なお、試料（シリコンウェハ）２０の先端部
は、マスク２１に被われているので、この第２工程にお
いてエッチング抑止用の堆積膜が形成されない。

【００２８】（エッチングステップの条件）導入する反応ガスの流量：ＳＦ₆を１３０ｓｃｃｍガス圧力：１．４７Ｐａ１回あたりの処理時間：１３
秒コイル３への印加電力：６００Ｗ基板電極１１への印
加電力：１５Ｗ（堆積ステップの条件）導入する反応ガスの流量：Ｃ₄Ｆ₈を５０ｓｃｃｍガス圧力：１．６０Ｐａ１回あたりの処理時間：５秒コイル３への印加電力：６００Ｗ基板電極１１への印
加電力：０Ｗ

【００２９】最後に、上記第１工程の場合と同じ条件に
従って、再び等方性エッチング（第３工程）を行って、
所定のテーパ形状を有する円錐状の先端部３１ａとそれ
に連なる円柱部３１ｂとで構成される針状体３１を作製
する。（図３（ｄ））。

【００３０】（第２実施の形態）図４は、第２実施の形
態における針状体４１を示す断面図であり、針状体４１
は、針状体３１の先端部３１ａ及び基端部３１ｂと同様
の先端部４１ａ及び基端部４１ｂとを有しており、その
径方向中心に長手方向に貫通する貫通孔４２（径：１５
μｍ）が形成されている。

【００３１】このような構成の針状体４１を使用する場
合、一般的な注射針と同様に、貫通孔４２内に吸引した
薬液を無駄なく被験者の皮膚内に注入することができ
る。

【００３２】このような構成の針状体４１の製造工程に
ついて以下に説明する。図５，図６は、この第２実施の
形態の第１例の製造工程における試料２０の形状の推移
を示す図である。

【００３３】使用する試料２０は、エッチング対象のシ
リコンウェハ２０ａ（厚さ：１５０μｍ）とキャリアウ
ェハ２０ｂとをレジスト２０ｃにて貼付した構成をな
す。シリコンウェハ２０ａ側で貫通孔４２を形成すべき
部分以外の領域にマスク２２を設けた試料２０をプラテ
ン６に載置する（図５（ａ））。

【００３４】そして、以下の条件に従って、エッチング
ステップと堆積ステップとを交互に繰り返すことによ
り、厚さ方向にエッチング選択性を有する異方性エッチ
ング（第１工程）を行って、貫通孔４２となる深さ１５
０μｍの穴をシリコンウェハ２０ａを貫通して作成する
（図５（ｂ））。この際、以下の条件では、径１５μｍ
の穴のエッチングレートは２．３μｍ／分であるので、
深さ１５０μｍの穴を形成するために、エッチングステ
ップ（１回あたり８秒）と堆積ステップ（１回あたり５
秒）とを交互に繰り返して、合計６５分の異方性エッチ
ングを実行する。

【００３５】（エッチングステップの条件）導入する反応ガスの流量：ＳＦ₆を１１０ｓｃｃｍ，Ｃ
₄Ｆ₈を５ｓｃｃｍガス圧力：４Ｐａ１回あたりの処理時間：８秒コイル３への印加電力：６００Ｗ基板電極１１への印
加電力：２５Ｗ（堆積ステップの条件）導入する反応ガスの流量：ＳＦ₆を５ｓｃｃｍ，Ｃ₄Ｆ
₈を９０ｓｃｃｍガス圧力：３Ｐａ１回あたりの処理時間：５秒，コイル３への印加電力：６００Ｗ基板電極１１への印
加電力：３Ｗ

【００３６】次に、第１実の形態の第１工程と同様に、
レジストのスピンコート法により、針状体４１を形成す
べき部分にマスク２３を設けて（図５（ｃ））、シリコ
ンウェハ２０ａの表面から深さ５０μｍ程度にわたる等
方性エッチング（第２工程）を行って、先端部のある程
度の形状を作成する（図６（ｄ））。なお、この際のエ
ッチング条件は、上述した第１実の形態の第１工程の場
合と同一である。

【００３７】次に、第１実の形態の第２工程と同様に、
異方性エッチング（第３工程）を行って、レジスト２０
ｃまで達する深さ１００μｍ程度の穴をシリコンウェハ
２０ａに作成する（図６（ｅ））。なお、この際のエッ
チング条件は、上述した第１実の形態の第２工程の場合
と同一である。

【００３８】最後に、第１実の形態の第３工程と同様
に、再び等方性エッチング（第４工程）を行って、所定
のテーパ形状を有する円錐状の先端部４１ａとそれに連
なる円柱部４１ｂとを有し、長手方向に貫通孔４２が形
成された針状体４１を作製する（図６（ｆ））。なお、
この際のエッチング条件は、上述した第１実の形態の第
３工程の場合、言い換えるとこの第２実施の形態の第２
工程の場合と同一である。そして、単一の針状体４１を
得たい場合には、アセトンによりレジスト２０ｃを溶解
させれば良い。

【００３９】図７は、この第２実施の形態に利用できる
試料２０の他の例を示す図であり、この試料２０は、下
地のシリコン体２０ｄと絶縁体としてのＳｉＯ₂膜２１
ｅとエッチング対象のシリコン膜２０ｆ（厚さ：１５０
μｍ）とを積層した構成をなす。

【００４０】このような構成の試料２０においても、シ
リコン膜２０ｆに対して、上記例のシリコンウェハ２０
ａと同様のエッチング処理を施すことにより針状体４１
を作製できる。なお、この例では、単一の針状体４１を
得たい場合、フッ酸によりＳｉＯ₂膜２１ｅを除去すれ
ば良い。

【００４１】図８は、この第２実施の形態の第２例の製
造工程における試料２０の形状の推移を示す図である。
上記第１例では、マスク２３を設ける際に、その材料と
なるレジストのスピンコート条件が悪い場合には、既に
形成されている貫通孔４２にレジストが流れ込んでそれ
を塞いでしまう可能性がある。以下の第２例は、このよ
うな可能性の発生を防いだ手法である。

【００４２】第１例と同様なマスク２２を設けて同様の
条件にて異方性エッチング（第１工程）を行うが、第１
例のようにシリコンウェハ２０ａを完全に貫通した貫通
孔４２を形成するのではなく、エッチング時間を調整し
て２０〜３０μｍは残した時点で穴２４の形成を終了す
る（図８（ａ））。そして、このシリコンウェハ２０ａ
をレジスト２０ｃから外し、それを逆向きにして別のキ
ャリアウェハ２０ｂ′にレジスト２０ｃ′にて貼付して
なる試料２０′を作製する（図８（ｂ））。

【００４３】次に、穴２４が形成されていないシリコン
ウェハ２０ａの表面側に、第１例と同様に、マスク２３
を設ける（図８（ｃ））。この際、穴２４が表面まで到
達していないので、レジストが穴２４に入り込む虞は全
くない。そして、第１例と同様の等方性エッチング（第
２工程），異方性エッチング（第３工程）及び等方性エ
ッチング（第４工程）を順次行う。この結果、残存して
ある厚さ２０〜３０μｍの部分についても先細りとなっ
て、最終的には貫通孔４２が形成されることになる（図
８（ｄ））。

【００４４】なお、上述した第１実施の形態では、シリ
コン単体の試料に対してエッチングを施して針状体を製
造する場合について説明したが、第２実施の形態のよう
にＳｉＯ₂膜等の下地体にシリコン膜を形成してなる試
料についても同様に行えることは勿論である。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述した如く、本発明では、シリコ
ンウェハに対して、等方性エッチングと異方性エッチン
グとを組み合わせて、先端に所定のテーパ角度を有する
シリコン製の針状体を製造するようにしたので、所定の
テーパ形状を有する針状体を容易に歩留り良く製造する
ことができる。

【００４６】また本発明では、針状体の必要な部分のみ
がテーパ状をなしているので、全体にテーパ状をなして
いるものに比べて、針状体の作製密度を高くできて、製
造効率を向上することができる。

【００４７】更に本発明では、反応ガスを切り替えてエ
ッチングステップと堆積ステップとを交互に繰り返して
異方性エッチングを行うようにしたので、高精度の異方
性エッチングを施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る針状体の製造方法を実施するため
の誘導結合型プラズマ装置（ＩＣＰ装置）の構成図であ
る。

【図２】第１実施の形態における針状体を示す斜視図及
び断面図である。

【図３】第１実施の形態における針状体の製造工程にお
ける試料の形状の推移を示す図である。

【図４】第２実施の形態における針状体を示す断面図で
ある。

【図５】第２実施の形態の第１例における針状体の製造
工程における試料の形状の推移を示す図である。

【図６】第２実施の形態の第１例における針状体の製造
工程における試料の形状の推移を示す図である。

【図７】第２実施の形態に利用できる試料の他の例を示
す図である。

【図８】第２実施の形態の第２例における針状体の製造
工程における試料の形状の推移を示す図である。

【図９】従来例における針状体を示す斜視図である。

【符号の説明】

１反応器３コイル４ガス導入管６プラテン１１基板電極２０試料３１，４１針状体３１ａ，４１ａ先端部３１ｂ，４１ｂ基端部４２貫通孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端に向かって細径化したテーパ状をな
す先端部と該先端部に連なる長手方向にわたって同一径
の基端部とを有することを特徴とするシリコン製の針状
体。
【請求項２】先端に向かって細径化したテーパ状をな
す先端部と該先端部に連なる長手方向にわたって同一径
の基端部とを有しており、前記基端部から前記先端部に
向かって貫通孔が形成されていることを特徴とするシリ
コン製の針状体。
【請求項３】シリコンウェハに対するエッチングによ
り、所定のテーパ形状を有するシリコン製の針状体を製
造する方法において、前記針状体を形成すべき部分にマ
スクを設けて前記シリコンウェハに等方性エッチングを
施す第１工程と、前記マスクを設けた態様で前記シリコ
ンウェハに、その厚さ方向に選択エッチング性を有する
異方性エッチングを施す第２工程と、前記マスクを設け
た態様で前記シリコンウェハに等方性エッチングを施す
第３工程とを有することを特徴とする針状体の製造方
法。
【請求項４】前記第２工程にあって、反応ガスを切り
替えてエッチングステップと堆積ステップとを交互に繰
り返して異方性エッチングを施す請求項３記載の針状体
の製造方法。
【請求項５】先端に向かって細径化したテーパ状をな
す先端部と該先端部に連なる長手方向にわたって同一径
の基端部とを有し、前記先端部から前記基端部に向かっ
て貫通孔が形成されているシリコン製の針状体を、シリ
コンウェハに対するエッチングにより製造する方法であ
って、前記貫通孔を形成すべき部分以外に第１マスクを
設けて前記シリコンウェハに、その厚さ方向に選択エッ
チング性を有する異方性エッチングを施す第１工程と、
前記針状体を形成すべき部分に第２マスクを設けて前記
シリコンウェハに等方性エッチングを施す第２工程と、
前記第２マスクを設けた態様で前記シリコンウェハに、
その厚さ方向に選択エッチング性を有する異方性エッチ
ングを施す第３工程と、前記第２マスクを設けた態様で
前記シリコンウェハに等方性エッチングを施す第４工程
とを有することを特徴とする針状体の製造方法。
【請求項６】前記第１工程及び／または第３工程にあ
って、反応ガスを切り替えてエッチングステップと堆積
ステップとを交互に繰り返して異方性エッチングを施す
請求項５記載の針状体の製造方法。