JP2002224871A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2002224871A5
JP2002224871A5 JP2001023346A JP2001023346A JP2002224871A5 JP 2002224871 A5 JP2002224871 A5 JP 2002224871A5 JP 2001023346 A JP2001023346 A JP 2001023346A JP 2001023346 A JP2001023346 A JP 2001023346A JP 2002224871 A5 JP2002224871 A5 JP 2002224871A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
panel
laser
surface side
back surface
laser cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001023346A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2002224871A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2001023346A priority Critical patent/JP2002224871A/ja
Priority claimed from JP2001023346A external-priority patent/JP2002224871A/ja
Publication of JP2002224871A publication Critical patent/JP2002224871A/ja
Publication of JP2002224871A5 publication Critical patent/JP2002224871A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2001023346A 2001-01-31 2001-01-31 レーザ切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器およびレーザ切断装置 Pending JP2002224871A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001023346A JP2002224871A (ja) 2001-01-31 2001-01-31 レーザ切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器およびレーザ切断装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001023346A JP2002224871A (ja) 2001-01-31 2001-01-31 レーザ切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器およびレーザ切断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002224871A JP2002224871A (ja) 2002-08-13
JP2002224871A5 true JP2002224871A5 (enExample) 2005-02-24

Family

ID=18888644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001023346A Pending JP2002224871A (ja) 2001-01-31 2001-01-31 レーザ切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器およびレーザ切断装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002224871A (enExample)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070097189A (ko) * 2006-03-28 2007-10-04 삼성전자주식회사 기판 절단 방법 및 이에 사용되는 기판 절단 장치
JP4710732B2 (ja) * 2006-06-21 2011-06-29 セイコーエプソン株式会社 基板及びその分断方法、電気光学装置及びその製造方法、ならびに電子機器
JP5308718B2 (ja) 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
DE112009001347T5 (de) 2008-06-11 2011-04-21 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Schmelzverbindungsprozess für Glas
CN102066279B (zh) 2008-06-23 2013-09-11 浜松光子学株式会社 玻璃熔接方法
JP5481167B2 (ja) 2009-11-12 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5466929B2 (ja) 2009-11-25 2014-04-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5525246B2 (ja) 2009-11-25 2014-06-18 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535588B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535590B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481172B2 (ja) 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535589B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481173B2 (ja) 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5567319B2 (ja) 2009-11-25 2014-08-06 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
CN107243690A (zh) * 2017-07-13 2017-10-13 华中科技大学 一种激光多焦点动态加工方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002224871A5 (enExample)
TWI785231B (zh) 晶圓加工方法
JP6764552B2 (ja) ワーク分離装置及びワーク分離方法
TW498006B (en) Laser cutting method, laser cutting apparatus, and method and apparatus for manufacturing liquid crystal device
JP4705450B2 (ja) ウェーハの保持機構
JP5421687B2 (ja) 基板の分断方法および分断用テーブル
WO2005042421A1 (ja) ガラスの切断方法
JP6012186B2 (ja) 加工対象物切断方法
JP2007534930A5 (enExample)
KR20080076711A (ko) 접합 유리판의 분리 방법 및 장치
CN101630804B (zh) 贴合基板的端子加工方法
CN108751686A (zh) 一种激光切割设备及其切割方法
WO2019080381A1 (zh) 软性面板切割设备及软性面板切割方法
KR20150123694A (ko) 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치
CN102151996A (zh) 激光加工装置
JP2002293560A5 (enExample)
JP2019196281A (ja) 基板分断装置
TWI491574B (zh) 脆性工件之切斷方法及切斷裝置
JP2012055966A (ja) レーザー加工装置
JP2007118033A (ja) レーザ溶接方法とレーザ溶接装置
JP2007157659A (ja) 有機ｅｌ素子の配線パターンの形成方法及び有機ｅｌ素子の形成装置
KR102633196B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법
JP2007275902A (ja) レーザスクライブ方法、電気光学装置、電子機器
JPH04265243A (ja) ガラスパネルの割断方法
JP2007015169A (ja) スクライブ形成方法、スクライブ形成装置、多層基板