JP5421687B2 - 基板の分断方法および分断用テーブル - Google Patents
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Description
この分断方法によれば、脆性材料の基板を、支持テーブルに設けたエア噴出孔からエアを噴出させ、基板の周辺をストッパピン並びに係合ピンで挟みつけるようにして、基板を支持テーブルから一定の間隔だけ浮上させた状態を保持させておき、レーザビームを分断予定ラインに沿って移動させながら照射するようにしている。
また、基板の大きさ、形状に合わせてストッパピンや係合ピンの位置を変えることが必要になる。
また、レーザビームを分断予定ライン全体に沿って均一に照射するためには、基板を継続して水平に保持する必要があるが、浮上している基板を、ストッパピンや係合ピンによって水平に保持し続ける調整が面倒である。さらに、基板全体を吸着テーブルによって密着保持させる従前の方法に比べて、基板保持力が不安定であるといった問題点があった。
図1は、本発明にかかる分断方法を実施するための分断装置の全体構成を示す図である。図2は、図1の分断装置における支持テーブルの断面を示す図である。図3は、図1の分断装置における加工時の分断予定ライン近傍の状態を示す断面図である。
分断予定ラインLの下方近傍に位置するエア噴出エリア3aには、エア(圧縮空気)を噴出させるための圧縮ポンプP1が連通され、エア噴出機構として機能する。他方のエア吸引エリア3b,3bには、エアを吸引するための吸引ポンプP2が連通され、エア吸引機構として機能する。すなわち、エア噴出エリア3aは、支持テーブル1に設けられたマニホールド4およびパイプ5を介して圧縮ポンプP1に接続してある。また、エア吸引エリア3b,3bは、支持テーブル1に設けられた共通のマニホールド6およびパイプ7,7を介して吸引ポンプP2に接続してある。
また基板Wは、分断予定ラインLの近傍領域を除き、エア吸引エリア3bの多数のエア孔3によって均等に吸着保持されているので、基板拘束力が強く、分断加工中にずれることなく正確に分断予定ラインに沿って分断することができる。
支持テーブル1は、その上面と下面を貫通する多数の小孔3が設けられた平らな板状部材である。下部枠体10には支持テーブル1との間でエア噴出エリア3aにエア(圧縮空気)を導入する空間11と、エア吸引エリア3bを減圧する空間12とが隔壁で区切られて、空間11はパイプ5を介して圧縮ポンプP1に連通され、空間12はパイプ7,7を介して吸引ポンプP2に連通されている。
この実施例では、下部枠体10を支持テーブル1に設けることによって、先の実施例のように支持テーブル1にマニホールド6や導通穴4を切削加工することが省略でき、安価に製作することができるとともに、支持テーブル1と下部枠体10を分離することにより分解掃除などのメンテナンスが簡単にできる。
すなわち、下部枠体10内に空間11を形成するスライド枠体13が設けられており、スライド枠体13には、レール17に沿って図のX方向にスライドするためのスライド機構SLが設けられている。スライド機構SLは、下部枠体10の側壁を貫通してX方向に延びる平行な一対のシャフト14を備え、シャフト14と同方向に延びるラック15が設けられており、このラック15にモータ(図示せず)で駆動するピニオン16が噛み合わされている。このピニオン16の回動によってスライド枠体13を下部枠体10内でスライドさせることにより、エア噴出エリア3aを変更することができ、所望の分断予定ラインの下に移動して基板Wを局所的に浮上させて撓ませることができる。
L 分断予定ライン
B レーザビーム
1 支持テーブル
3 小孔
3a エア噴出エリア
3b エア吸引エリア
Claims (5)
- 多数の小孔を有する支持テーブル上に脆性材料基板を載置し、
前記基板の分断予定ライン近傍を除く、分断予定ラインを挟んだ両側の領域を、小孔により吸引して前記基板を支持テーブルに密着保持させ、
前記基板の分断予定ライン近傍の領域は、小孔により圧縮空気を噴出して基板を浮上させ、この浮上させた分断予定ラインに沿ってレーザビームを移動させながら照射することにより前記基板を分断するようにしたことを特徴とする脆性材料基板の分断方法。 - 支持テーブル上に脆性材料基板を載置し、レーザ照射機構により前記基板の分断予定ラインに沿ってレーザビームを移動させながら照射することにより分断する基板分断装置であって、
前記支持テーブルは、上面に向かって開口した多数の小孔を有し、
前記基板の分断予定ライン近傍に設けられた小孔の下方にはエア噴出機構が設けられ、
前記基板の分断予定ライン近傍を除く、分断予定ラインを挟んだ両側の領域に設けられた小孔の下方にはエア吸引機構が設けられ、
エア噴出機構とエア吸引機構とを同時に作動して基板を撓ませることを特徴とする基板分断装置。 - 前記エア噴出機構がマニホールドを介して小孔と連通する圧縮ポンプからなり、
前記エア吸引機構がマニホールドを介して小孔と連通する吸引ポンプからなる請求項2に記載の基板分断装置。 - 前記支持テーブルの下面に下部枠体が設けられ、前記下部枠体内は圧縮空気を導入する空間と減圧する空間とに隔壁で区切られ、
前記エア噴出機構は圧縮空気を導入する空間に連通する圧縮ポンプからなり、
前記エア吸引機構は減圧する空間に連通する吸引ポンプからなる請求項2に記載の基板分断装置。 - 下部枠体内で圧縮空気を導入する空間は、スライド機構により下部枠体内で移動するスライド枠体によって形成される請求項4に記載の基板分断装置。
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