JP2002212743A5

JP2002212743A5 -

Info

Publication number: JP2002212743A5
Application number: JP2001282258A
Authority: JP
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2008-10-23

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】２つのロールされたウエブの物質である形態の、２つの基体をコーティングする装置であって、
該ウエブ基体のそれぞれのコートされていない部分を供給し、支持するための２つの供給手段；
それぞれのウエブ基体を、コーティングエリアを通し、該ウエブ基体が前記コーティングエリア内で互いに近接して、堆積プレナムを形成する様にガイドするための、２つのウエブハンドリング部分；
ウエブ基体のそれぞれのコートされた部分を支持し、それぞれのウエブ基体を供給ローラーからコーティングエリアを通して、それぞれの巻取り手段へ運ぶための、２つの巻取り手段；および
コーティング物質を堆積プレナムに提供するためのコーティング物質ソースを含み；
ウエブが堆積プレナム内で垂直方向に配向され、コーティング物質ソースが堆積プレナムの底部に配置され、さらに装置が堆積プレナムの頂部に排気システムを有し、コーティング物質が２つのウエブ間を堆積プレナムの底部から堆積プレナムの頂部へと流れ；
２つのウエブハンドリング部分のそれぞれが、複数のアーチバーを有し、前記アーチバーのそれぞれが水平線に沿って各ウエブを支持し、それにより各ウエブにおいて曲りを形成し、コーティング物質が該曲りを通る際に方向を変えられて、堆積プレナム内で乱流領域を形成する前記装置。
【請求項２】排気システムがウエブの幅に対応する幅を有し、前記排気システムがプレナムの幅にわたって間隔をおいて配置されている複数のランナーを有し、各前記ランナーは：
ベンチュリ管；および
前記ベンチュリ管内のスライド弁であって、該スライド弁は、前記ベンチュリ管中を流れるコーティング物質の量を変えるように調節可能であり、したがって前記堆積プレナムの幅にわたって、圧力差が調節され、ウエブ上に、より均一なコーティングを提供することができる前記スライド弁を含む、請求項１記載の装置。
【請求項３】排気システムがさらに、排気システム静圧センサー、ランナー静圧センサー、ランナー温度センサー、および排気システム静圧センサーを含み、スライド弁の制御のためのフィードバックを提供する、請求項２記載の装置。
【請求項４】２つのロールされたウエブの物質である形態の、２つの基体をコーティングする装置であって、
該ウエブ基体のそれぞれのコートされていない部分を供給し、支持するための２つの供給手段；
それぞれのウエブ基体を、コーティングエリアを通し、該ウエブ基体が前記コーティングエリア内で互いに近接して、堆積プレナムを形成する様にガイドするための、２つのウエブハンドリング部分；
ウエブ基体のそれぞれのコートされた部分を支持し、それぞれのウエブ基体を供給ローラーからコーティングエリアを通して、それぞれの巻取り手段へ運ぶための、２つの巻取り手段；
コーティング物質を堆積プレナムに提供するためのコーティング物質ソース；
多数のクロスバーにより互いに連結された第一および第二の側板を含むフレーム；および
４本の脚であって、前記脚のうちの２本は前記第一の側板を支持し、前記脚の他の２本は前記第二の側板を支持する前記脚を含み；
２つの供給手段、２つのウエブハンドリング部分、および２つの巻取り手段が前記第一および第二の側板に取り付けられ、支持されている前記装置。
【請求項５】２つのロールされたウエブの物質である形態の、２つの基体をコーティングする装置であって、
該ウエブ基体のそれぞれのコートされていない部分を供給し、支持するための２つの供給手段；
それぞれのウエブ基体を、コーティグエリアを通し、該ウエブ基体が前記コーティングエリア内で互いに近接して、堆積プレナムを形成する様にガイドするための、２つのウエブハンドリング部分；
ウエブ基体のそれぞれのコートされた部分を支持し、それぞれのウエブ基体を供給ローラーからコーティングエリアを通して、それぞれの巻取り手段へ運ぶための、２つの巻取り手段；および
コーティング物質を堆積プレナムに提供するためのコーティング物質ソースを含み；
堆積プレナムが、コーティング物質を２つのウエブ間に保持するための第一および第二のサイドエアダムをさらに含み、該第一および第二のサイドエアダムと２つのウエブが、堆積プレナムの最も内部の壁の４つを形成する前記装置。
【請求項６】コーティング物質ソースが、コーティング物質が気化される昇華装置を含む請求項１記載の装置。
【請求項７】コーティング物質ソースが、気化装置を含む請求項１記載の装置。
【請求項８】コーティング物質ソースが、ネブライザーを含む請求項１記載の装置。
【請求項９】コーティング物質ソースが、少なくとも１つの燃焼蒸着ノズルを含む請求項１記載の装置。
【請求項１０】ロールされたウエブ物質の形態である基体をコーティングする装置であって、該装置は
ウエブ基体のコートされていない部分を供給し、支持する供給手段；
コーティング領域を通ってウエブ基体をガイドするためのウエブハンドリング部分であって、該ウエブ基体は該コーティング領域内の表面に隣接して、堆積プレナムを形成する、該ウエブハンドリング部分；
ウエブ基体のコートされた部分を支持し、ウエブ基体を供給ローラーからコーティングエリアを通して、前記駆動巻取りローラー上に移動させるための巻取り手段；および
コーティング物質を堆積プレナムに提供するためのコーティング物質ソースを含み；
供給手段が、巻取り手段の下方にあり、ウエブが前記堆積プレナム内で実質的に垂直であり；
ウエブ基体が堆積プレナムの底部から前記堆積プレナムの中心領域へ、表面に向かって次第に収束し、前記堆積プレナムの前記中心領域から前記堆積プレナムの上部へ向かって次第に散開し、前記堆積プレナム内に中心ベンチュリ領域を形成する前記装置。