JP2003188078A5 - - Google Patents
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Claims (2)
- 基板の上面に塗布された溶液を加熱乾燥して機能性薄膜を形成する基板乾燥装置において、
上面に連通する通風孔が形成され、上面に供給された基板を加熱するホットプレートと、
このホットプレートの上面に供給された上記基板を上下方向に移動可能に支持する支持手段と、
上記ホットプレートの通風孔から基板の下面に向けて気体を供給し、上記基板を上記ホットプレート上面で浮上させる気体供給手段と
を有することを特徴とする基板乾燥装置。 - 上記支持手段には上記通風孔から供給された気体を支持手段の周辺部からほぼ均一に排出する排出手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001386425A JP2003188078A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001386425A JP2003188078A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 基板乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003188078A JP2003188078A (ja) | 2003-07-04 |
| JP2003188078A5 true JP2003188078A5 (ja) | 2005-07-28 |
Family
ID=27595581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001386425A Pending JP2003188078A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003188078A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4592787B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
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-
2001
- 2001-12-19 JP JP2001386425A patent/JP2003188078A/ja active Pending
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