JP2002206480A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002206480A5 JP2002206480A5 JP2001008325A JP2001008325A JP2002206480A5 JP 2002206480 A5 JP2002206480 A5 JP 2002206480A5 JP 2001008325 A JP2001008325 A JP 2001008325A JP 2001008325 A JP2001008325 A JP 2001008325A JP 2002206480 A5 JP2002206480 A5 JP 2002206480A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trap
- seal
- exhaust path
- path
- continuous processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims 6
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims 6
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
- 230000001172 regenerating Effects 0.000 claims 1
Claims (9)
- 気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路と、該排気経路と再生経路に跨って配置されたトラップ・再生容器と、該トラップ・再生容器の内部に前記排気経路と前記再生経路との間を切替え可能に配置されたトラップ部とを備え、該トラップ部には前記排気経路と再生経路との間をシールする前記容器の内周面と接触するシール材を装着した弁体が配置され、
前記シ−ル材によるシールが正常に機能しているかを監視するための機能を備えたことを特徴とする連続処理型トラップ装置。 - 前記弁体の外周端面に二重にシール部材を配置し、該シール部材間の気密空間のシール性変動を監視するシール監視機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の連続処理型トラップ装置。
- 前記シール性変動の指標を圧力変動とし、該圧力変動を検出する圧力センサを備えたことを特徴とする請求項２記載の連続処理型トラップ装置。
- 前記シール性変動の指標を流量変動とし、該流量変動を検出するマスフローメータを備えたことを特徴とする請求項２記載の連続処理型トラップ装置。
- 前記シール監視機構は、前記気密空間に真空状態をつくり、その後の状態変動でシール性を監視することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか記載の連続処理型トラップ装置。
- 前記シール監視機構は、前記気密空間に加圧状態をつくり、その後の状態変動でシール性を監視することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか記載の連続処理型トラップ装置。
- 気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路と、該排気経路と再生経路に跨って配置されたトラップ・再生容器と該トラップ・再生容器の内部に前記排気経路と前記再生経路との間を切替え可能に配置されたトラップ部とを備え、該トラップ部の捕捉部は該トラップ部の中心に向かって捕捉効率を高めるようにしたことを特徴とする連続処理型トラップ装置。
- 前記トラップ部の捕捉部は、排気生成物を吸着するフィンを冷却構造体に取り付け、該冷却構造体に温度分布を持たせたことを特徴とする請求項７記載の連続処理型トラップ装置。
- 真空処理室の排気路に連通させて配置された筐体と、この筐体内で前記排気路に対して交差方向に移動可能な軸体と、この軸体にそれぞれ設けられ且つ前記真空処理室からの排気物を捕捉、再生する少なくとも２つのトラップ手段と、これらのトラップ手段を前記軸体を介して移動させてトラップ室と再生室を交互に切り替える切替式トラップ装置であって、
トラップ部には排気経路と再生経路との間をシールする前記容器の内周面と接触するシール材が配置され、
前記シール材によるシールが正常に機能しているかを監視するための機能を備えたことを特徴とする連続処理型トラップ装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001008325A JP4046474B2 (ja) | 2000-11-13 | 2001-01-16 | 連続処理型トラップ装置及び該トラップ装置の運転方法 |
| TW090127824A TW530122B (en) | 2000-11-13 | 2001-11-09 | Trap apparatus |
| US09/986,672 US6553811B2 (en) | 2000-11-13 | 2001-11-09 | Trap apparatus |
| KR1020010070087A KR100776315B1 (ko) | 2000-11-13 | 2001-11-12 | 트랩장치 |
| DE60142951T DE60142951D1 (de) | 2000-11-13 | 2001-11-12 | Evakuationssystem |
| EP01126890A EP1205223B1 (en) | 2000-11-13 | 2001-11-12 | Evacuating system |
| US10/387,567 US6763700B2 (en) | 2000-11-13 | 2003-03-14 | Trap apparatus |
| US10/839,288 US7217306B2 (en) | 2000-11-13 | 2004-05-06 | Trap apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000345139 | 2000-11-13 | ||
| JP2000-345139 | 2000-11-13 | ||
| JP2001008325A JP4046474B2 (ja) | 2000-11-13 | 2001-01-16 | 連続処理型トラップ装置及び該トラップ装置の運転方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002206480A JP2002206480A (ja) | 2002-07-26 |
| JP2002206480A5 true JP2002206480A5 (ja) | 2004-11-11 |
| JP4046474B2 JP4046474B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=26603844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001008325A Expired - Fee Related JP4046474B2 (ja) | 2000-11-13 | 2001-01-16 | 連続処理型トラップ装置及び該トラップ装置の運転方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US6553811B2 (ja) |
| EP (1) | EP1205223B1 (ja) |
| JP (1) | JP4046474B2 (ja) |
| KR (1) | KR100776315B1 (ja) |
| DE (1) | DE60142951D1 (ja) |
| TW (1) | TW530122B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7038770B2 (ja) | 2020-08-12 | 2022-03-18 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3711226B2 (ja) * | 2000-02-23 | 2005-11-02 | 大日本印刷株式会社 | 真空乾燥装置および真空乾燥方法 |
| US6630411B1 (en) * | 2002-05-07 | 2003-10-07 | Lsi Logic Corporation | Method and apparatus for removing water vapor as a byproduct of chemical reaction in a wafer processing chamber |
| KR100614656B1 (ko) * | 2005-01-25 | 2006-08-22 | 삼성전자주식회사 | 밸브 어셈블리 및 이를 가지는 반도체 제조 장치, 그리고트랩을 세정하는 방법 |
| KR100621660B1 (ko) * | 2005-07-01 | 2006-09-11 | 주식회사 뉴프로텍 | 반도체 부산물 트랩장치 |
| JP2009530083A (ja) * | 2006-03-14 | 2009-08-27 | プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド | 選択的分離プロセス |
| JP5128168B2 (ja) * | 2006-04-24 | 2013-01-23 | 三菱電線工業株式会社 | 排気装置 |
| KR100642528B1 (ko) * | 2006-07-13 | 2006-11-10 | 주식회사 미래보 | 반도체 생산장비에서의 자동교체식 부산물 포집장치 및그의 제어 방법 |
| EP2318563A1 (en) * | 2008-08-19 | 2011-05-11 | Oerlikon Solar AG, Trübbach | Trap |
| TWI472678B (zh) | 2011-08-08 | 2015-02-11 | Inotera Memories Inc | 排氣裝置 |
| JP6150716B2 (ja) * | 2013-12-02 | 2017-06-21 | 住友重機械工業株式会社 | コールドトラップ |
| CA3033747C (en) | 2016-10-14 | 2021-01-19 | Ihi Corporation | Reheating collection device for gas phase process |
| JP6749954B2 (ja) * | 2018-02-20 | 2020-09-02 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム |
| KR102185404B1 (ko) * | 2018-05-31 | 2020-12-01 | 대전대학교 산학협력단 | 회수 가능한 플루오르카본계 전구체를 이용한 반도체 소자 제조용 시스템 |
| KR102188604B1 (ko) * | 2019-04-02 | 2020-12-09 | 주식회사 미래보 | 반도체 공정의 반응부산물 포집장치 |
| CN211479988U (zh) * | 2019-10-14 | 2020-09-11 | Pyxis Cf私人有限公司 | 湿法处理设备 |
| CN112146360B (zh) * | 2020-09-27 | 2022-03-04 | 成都易华天宇试验设备有限责任公司 | 一种用于真空干燥箱的气体冷却装置及真空干燥箱 |
| CN113097105B (zh) * | 2021-03-25 | 2023-11-21 | 浙江焜腾红外科技有限公司 | 二类超晶格制冷红外芯片干法刻蚀装置及刻蚀方法 |
Family Cites Families (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3719070A (en) * | 1971-03-09 | 1973-03-06 | Vetco Offshore Ind Inc | Double sealed tubular connector apparatus |
| US3894741A (en) | 1971-04-08 | 1975-07-15 | Gen Electric | Self-pressurizing seal for rotary shafts |
| CA1079042A (en) * | 1975-10-31 | 1980-06-10 | James E. Jervis | Process for preparing a hermetically sealed assembly |
| JPS58106186A (ja) | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Hitachi Ltd | トラツプ装置 |
| JPS63159797A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 放射性物質の輸送兼貯蔵用容器 |
| DE3701544A1 (de) | 1987-01-21 | 1988-08-04 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren zum entfernen von verunreinigungen aus abgasen |
| US4831875A (en) | 1987-05-01 | 1989-05-23 | Westinghouse Electric Corp. | Water trap valve for fail safe operation of an air inleakage monitoring system in a steam turbine |
| JPH01234567A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-19 | Nec Corp | ガス検知システム |
| JP2603175Y2 (ja) * | 1993-07-20 | 2000-02-28 | バブコック日立株式会社 | 二重シール構造 |
| JPH0714642U (ja) * | 1993-08-10 | 1995-03-10 | 日本セミコンダクター株式会社 | 減圧ｃｖｄ装置 |
| JPH0883773A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Toshiba Corp | 薄膜形成装置 |
| US5515734A (en) * | 1995-01-10 | 1996-05-14 | Malminen; Kari | Variable area flow meter |
| JPH09113684A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-05-02 | Toshiba Eng Co Ltd | 原子力発電プラントの弁ボンネット部漏洩処理装置 |
| GB2307539B (en) * | 1996-02-16 | 1997-10-08 | Solent & Pratt | Butterfly valves |
| US6332925B1 (en) | 1996-05-23 | 2001-12-25 | Ebara Corporation | Evacuation system |
| JP3238099B2 (ja) * | 1996-05-23 | 2001-12-10 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気システム |
| JP3544604B2 (ja) | 1996-12-16 | 2004-07-21 | 株式会社荏原製作所 | 切替式トラップ装置 |
| US5928426A (en) | 1996-08-08 | 1999-07-27 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for treating exhaust gases from CVD, PECVD or plasma etch reactors |
| US6051053A (en) | 1996-12-16 | 2000-04-18 | Ebara Corporation | Trapping device and method of operation therefor |
| JPH10176664A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-30 | Ebara Corp | シランの回収方法及び装置 |
| US5758882A (en) * | 1997-01-24 | 1998-06-02 | Pipeline Seal & Insulator, Inc. | Screened gasket for high pressure fluid transmission applications |
| JP3162647B2 (ja) | 1997-03-24 | 2001-05-08 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
| JP3227105B2 (ja) * | 1997-03-24 | 2001-11-12 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気システム |
| JP3162648B2 (ja) * | 1997-03-24 | 2001-05-08 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
| JPH10283013A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | シール装置の異常診断システム |
| JP3188235B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2001-07-16 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置 |
| JP3874524B2 (ja) * | 1998-01-22 | 2007-01-31 | 株式会社荏原製作所 | トラップ装置及びトラップ方法 |
| EP1050681A4 (en) | 1998-01-22 | 2006-10-11 | Ebara Corp | TRAP AND CASE SYSTEM |
| JP3643474B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2005-04-27 | 株式会社東芝 | 半導体処理システム及び半導体処理システムの使用方法 |
| JPH11230352A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Nec Corp | 密閉容器及びその試験方法 |
| JPH11248594A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 容器の漏洩検査方法及び装置 |
| JPH11271167A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 漏洩制限型シール装置の異常診断方法および異常診断装置 |
| JP2000114185A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | 未反応昇華性ガストラップ装置およびその洗浄方法 |
| JP4303811B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2009-07-29 | 大陽日酸株式会社 | 減圧設備における不活性ガスの循環供給方法及び装置 |
| US6244099B1 (en) * | 1999-02-26 | 2001-06-12 | Corning Incorporated | Draw furnace sealing assembly and method |
| JP2001132638A (ja) * | 1999-11-10 | 2001-05-18 | Ebara Corp | トラップ装置 |
-
2001
- 2001-01-16 JP JP2001008325A patent/JP4046474B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-09 TW TW090127824A patent/TW530122B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-11-09 US US09/986,672 patent/US6553811B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-12 DE DE60142951T patent/DE60142951D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-12 KR KR1020010070087A patent/KR100776315B1/ko active IP Right Grant
- 2001-11-12 EP EP01126890A patent/EP1205223B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-03-14 US US10/387,567 patent/US6763700B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-05-06 US US10/839,288 patent/US7217306B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7038770B2 (ja) | 2020-08-12 | 2022-03-18 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002206480A5 (ja) | ||
| EP0829667B1 (en) | Moulded rubber valve seal for a valve | |
| US8733734B2 (en) | Gate valve | |
| KR20140003560A (ko) | 진공 제어 밸브, 진공 제어 장치 및 컴퓨터 프로그램 | |
| JP3544604B2 (ja) | 切替式トラップ装置 | |
| JP2007078175A (ja) | 流路の気密封止バルブ | |
| TW200424465A (en) | Gate valve apparatus | |
| CN110580978B (zh) | 复合电缆 | |
| JP4046474B2 (ja) | 連続処理型トラップ装置及び該トラップ装置の運転方法 | |
| JP2012233579A (ja) | バルブ | |
| US6554879B1 (en) | Trap apparatus | |
| CN106062365A (zh) | 隔膜的固定构造、具备其的隔膜泵以及阀装置 | |
| CN101298886A (zh) | 偏心膨胀蝶阀 | |
| CN103910318A (zh) | 一种无菌灌装阀及其使用方法 | |
| CN209781742U (zh) | 一种真空阀及抽真空装置 | |
| JP3942344B2 (ja) | 切替式トラップ装置 | |
| JP2004132371A (ja) | ガス排出用ピストン機械 | |
| JPH03157506A (ja) | 往復動形アクチュエータ | |
| KR100613144B1 (ko) | 왕복동식 피스톤 펌프 | |
| US6095492A (en) | Valve for an explosion protection apparatus | |
| CN203767984U (zh) | 一种无菌灌装阀 | |
| RU2215224C1 (ru) | Бескорпусной затвор с криволинейной траекторией перемещения | |
| CN112410088B (zh) | 一种煤矿瓦斯发电气液分离装置 | |
| CN211314474U (zh) | 一种新型高密封气泵 | |
| CN210265936U (zh) | 一种密封性强的插板阀 |