JP3188235B2 - トラップ装置 - Google Patents
トラップ装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置の真空チャンバを真空にするために用いる真空排気
システムにおいて用いられるトラップ装置に関する。
装置の真空チャンバを真空にするために用いる真空排気
システムにおいて用いられるトラップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空排気システムを図４を参照し
て説明する。ここにおいて、真空チャンバ１０は、例え
ばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）等の半
導体製造工程に用いるプロセスチャンバであり、この真
空チャンバ１０は、排気配管１４を通じて真空ポンプ１
２に接続されている。真空ポンプ１２は、真空チャンバ
１０からのプロセスの排気を大気圧に昇圧するためのも
ので、従来は油回転式ポンプが、現在はドライポンプが
主に使用されている。真空チャンバ１０が必要とする真
空度がドライポンプ１２の到達真空度よりも高い場合に
は、ドライポンプの上流側にさらにターボ分子等の超高
真空ポンプが配置されていることもある。
て説明する。ここにおいて、真空チャンバ１０は、例え
ばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）等の半
導体製造工程に用いるプロセスチャンバであり、この真
空チャンバ１０は、排気配管１４を通じて真空ポンプ１
２に接続されている。真空ポンプ１２は、真空チャンバ
１０からのプロセスの排気を大気圧に昇圧するためのも
ので、従来は油回転式ポンプが、現在はドライポンプが
主に使用されている。真空チャンバ１０が必要とする真
空度がドライポンプ１２の到達真空度よりも高い場合に
は、ドライポンプの上流側にさらにターボ分子等の超高
真空ポンプが配置されていることもある。
【０００３】プロセスの排気は、プロセスの種類により
毒性や爆発性があるので、そのまま大気に放出できな
い。そのため、真空ポンプ１２の下流には排気処理装置
２０が配置されている。大気圧まで昇圧されたプロセス
の排気のうち、上記のような大気に放出できないもの
は、ここで吸着、分解、吸収等の処理が行われて無害な
ガスのみが大気に放出される。なお、配管１４には必要
に応じて適所にバルブが設けられている。
毒性や爆発性があるので、そのまま大気に放出できな
い。そのため、真空ポンプ１２の下流には排気処理装置
２０が配置されている。大気圧まで昇圧されたプロセス
の排気のうち、上記のような大気に放出できないもの
は、ここで吸着、分解、吸収等の処理が行われて無害な
ガスのみが大気に放出される。なお、配管１４には必要
に応じて適所にバルブが設けられている。
【０００４】以上のような従来の真空排気システムにお
いては、反応副生成物の中に昇華温度の高い物質がある
場合、そのガスを真空ポンプが排気するので、昇圧途中
でガスが固形化し、真空ポンプ中に析出して真空ポンプ
の故障の原因になる欠点がある。
いては、反応副生成物の中に昇華温度の高い物質がある
場合、そのガスを真空ポンプが排気するので、昇圧途中
でガスが固形化し、真空ポンプ中に析出して真空ポンプ
の故障の原因になる欠点がある。
【０００５】例えば、アルミのエッチングを行うため
に、代表的なプロセスガスであるＢＣｌ3，Ｃｌ2を使用
すると、プロセスチャンバからは、ＢＣｌ3，Ｃｌ2のプ
ロセスガスの残ガスとＡｌＣｌ3の反応副生成物が真空
ポンプにより排気される。このＡｌＣｌ3は、真空ポン
プの吸気側では分圧が低いので析出しないが、加圧排気
する途中で分圧が上昇し、真空ポンプ内で析出して固形
化し、ポンプ内壁に付着して真空ポンプの故障の原因と
なる。これは、ＳｉＮの成膜を行うＣＶＤ装置から生じ
る（ＮＨ4）2ＳｉＦ6やＮＨ4Ｃｌ等の反応副生成物の場
合も同様である。
に、代表的なプロセスガスであるＢＣｌ3，Ｃｌ2を使用
すると、プロセスチャンバからは、ＢＣｌ3，Ｃｌ2のプ
ロセスガスの残ガスとＡｌＣｌ3の反応副生成物が真空
ポンプにより排気される。このＡｌＣｌ3は、真空ポン
プの吸気側では分圧が低いので析出しないが、加圧排気
する途中で分圧が上昇し、真空ポンプ内で析出して固形
化し、ポンプ内壁に付着して真空ポンプの故障の原因と
なる。これは、ＳｉＮの成膜を行うＣＶＤ装置から生じ
る（ＮＨ4）2ＳｉＦ6やＮＨ4Ｃｌ等の反応副生成物の場
合も同様である。
【０００６】従来、この問題に対して、真空ポンプ全体
を加熱して真空ポンプ内部で固形物質が析出しないよう
にし、ガスの状態で真空ポンプを通過させる等の対策が
施されてきた。しかし、この対策では真空ポンプ内での
析出に対しては効果があるが、その結果として、その真
空ポンプの下流に配置される排気処理装置で固形化物が
析出し、充填層の目詰まりを生じさせる問題があった。
を加熱して真空ポンプ内部で固形物質が析出しないよう
にし、ガスの状態で真空ポンプを通過させる等の対策が
施されてきた。しかし、この対策では真空ポンプ内での
析出に対しては効果があるが、その結果として、その真
空ポンプの下流に配置される排気処理装置で固形化物が
析出し、充填層の目詰まりを生じさせる問題があった。
【０００７】そこで、ポンプの上流、あるいは下流にト
ラップ装置を取り付けて生成物を付着させ、固形化物を
生成する成分を先に除去して排気配管に備えられた各種
機器を保護することが考えられる。このようなトラップ
装置１００として、図５又は図６に示すように、排気配
管中にその一部を形成する気密容器１０２を配置して、
その中に例えば板状のバッフル１０４（トラップ部）を
設ける構成が考えられる。バッフル１０４に一定量の析
出物が付着した時は、排気流路を切り換えてトラップの
洗浄や交換を行い、処理を継続させる。
ラップ装置を取り付けて生成物を付着させ、固形化物を
生成する成分を先に除去して排気配管に備えられた各種
機器を保護することが考えられる。このようなトラップ
装置１００として、図５又は図６に示すように、排気配
管中にその一部を形成する気密容器１０２を配置して、
その中に例えば板状のバッフル１０４（トラップ部）を
設ける構成が考えられる。バッフル１０４に一定量の析
出物が付着した時は、排気流路を切り換えてトラップの
洗浄や交換を行い、処理を継続させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
トラップ装置はトラップ効率が悪く、排気中の成分のお
よそ６０％がトラップ部に付着することなくそのまま流
れて、下流の配管や各種機器に付着していた。これは、
バッフル１０４の構成が平行板状であるので排気とトラ
ップ部の接触が充分図られていないこと、及び、例えば
容器１０２壁とバッフルの間の隙間等の気密容器内のト
ラップ効率の悪い部分に排気が流れて処理されずに通過
してしまうこと等の理由によると考えられる。
トラップ装置はトラップ効率が悪く、排気中の成分のお
よそ６０％がトラップ部に付着することなくそのまま流
れて、下流の配管や各種機器に付着していた。これは、
バッフル１０４の構成が平行板状であるので排気とトラ
ップ部の接触が充分図られていないこと、及び、例えば
容器１０２壁とバッフルの間の隙間等の気密容器内のト
ラップ効率の悪い部分に排気が流れて処理されずに通過
してしまうこと等の理由によると考えられる。
【０００９】容器壁とバッフルの間の隙間を縮小するこ
とはできるが、あまり小さくすると部分的にコンダクタ
ンスが低下し、そこでトラップされた固形物により詰ま
りを生じて排気の流れが不安定になったり、トラップ部
の交換や切り換えが円滑に行えないなどの不具合が生じ
る。
とはできるが、あまり小さくすると部分的にコンダクタ
ンスが低下し、そこでトラップされた固形物により詰ま
りを生じて排気の流れが不安定になったり、トラップ部
の交換や切り換えが円滑に行えないなどの不具合が生じ
る。
【００１０】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、成膜処理等において、真空チャンバの許容する
コンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げるこ
とができ、真空ポンプの性能に影響すること無く、真空
ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行って運転の信頼
性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低減を図る
ことができるトラップ装置を提供することを目的として
いる。
であり、成膜処理等において、真空チャンバの許容する
コンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げるこ
とができ、真空ポンプの性能に影響すること無く、真空
ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行って運転の信頼
性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低減を図る
ことができるトラップ装置を提供することを目的として
いる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、気密なチャンバから真空ポンプにより排気する排気
配管に配置されるトラップ装置において、前記排気配管
の一部を構成する気密な容器と、該容器中に配置されて
排気中の生成物を付着させて除去するトラップ部とを備
え、前記容器には、排気の流れが前記トラップ部に向か
うのを促進するようにフローコントロールガスを流すフ
ローコントロールガスポートが設けられていることを特
徴とするトラップ装置である。
は、気密なチャンバから真空ポンプにより排気する排気
配管に配置されるトラップ装置において、前記排気配管
の一部を構成する気密な容器と、該容器中に配置されて
排気中の生成物を付着させて除去するトラップ部とを備
え、前記容器には、排気の流れが前記トラップ部に向か
うのを促進するようにフローコントロールガスを流すフ
ローコントロールガスポートが設けられていることを特
徴とするトラップ装置である。
【００１２】これにより、トラップ容器の内部の空間を
ある程度確保して、コンダクタンスを過度に下げずに安
定な動作を確保しつつ、トラップ効率を向上させること
ができる。フローコントロールガスは、トラップ部のト
ラップ動作や排気の後処理工程に影響を与えないような
成分、温度のものが好ましく、窒素ガス等の不活性ガス
が用いられる。
ある程度確保して、コンダクタンスを過度に下げずに安
定な動作を確保しつつ、トラップ効率を向上させること
ができる。フローコントロールガスは、トラップ部のト
ラップ動作や排気の後処理工程に影響を与えないような
成分、温度のものが好ましく、窒素ガス等の不活性ガス
が用いられる。
【００１３】請求項２に記載の発明は、前記フローコン
トロールガスポートは、前記容器の内壁面に沿って前記
フローコントロールガスを流すように設けられているこ
とを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。
容器の内壁面に沿った空間は、トラップ流路の中心から
外れた部分であり、容器の内壁面自体はトラップ効率が
低いあるいはトラップ面ではない場合が多いので、この
部分を排気が流れないようにすればトラップ効率が向上
する。また、処理ガスが外部に漏れにくくなるので、シ
ール性も向上する。
トロールガスポートは、前記容器の内壁面に沿って前記
フローコントロールガスを流すように設けられているこ
とを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。
容器の内壁面に沿った空間は、トラップ流路の中心から
外れた部分であり、容器の内壁面自体はトラップ効率が
低いあるいはトラップ面ではない場合が多いので、この
部分を排気が流れないようにすればトラップ効率が向上
する。また、処理ガスが外部に漏れにくくなるので、シ
ール性も向上する。
【００１４】請求項３に記載の発明は、前記トラップ部
は、曲面状のトラップ面を持つバッフルを有することを
特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。これ
により、曲がったトラップ流路が形成されて、ガス分子
がトラップ面に衝突する確率が上がり、トラップ効率が
上昇する。
は、曲面状のトラップ面を持つバッフルを有することを
特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。これ
により、曲がったトラップ流路が形成されて、ガス分子
がトラップ面に衝突する確率が上がり、トラップ効率が
上昇する。
【００１５】請求項４に記載の発明は、前記トラップ面
は、軸線が排気流路に交差する円弧面状に形成されてい
ることを特徴とする請求項３に記載のトラップ装置であ
る。これにより、比較的簡単な構成で曲面状のトラップ
面を持つバッフルを実現することができる。
は、軸線が排気流路に交差する円弧面状に形成されてい
ることを特徴とする請求項３に記載のトラップ装置であ
る。これにより、比較的簡単な構成で曲面状のトラップ
面を持つバッフルを実現することができる。
【００１６】請求項５に記載の発明は、前記トラップ部
は、前記容器に対して出し入れ可能に設けられているこ
とを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。
これにより、トラップの交換や再生などを容易に行うこ
とができる。出し入れする機構には、シール構造や駆動
機構を設けるのが好ましい。
は、前記容器に対して出し入れ可能に設けられているこ
とを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。
これにより、トラップの交換や再生などを容易に行うこ
とができる。出し入れする機構には、シール構造や駆動
機構を設けるのが好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２に示すのは、こ
の発明のトラップ装置の第１の実施の形態を示すもの
で、これは、図４に示す気密チャンバ１０を真空ポンプ
１２により排気する排気配管１４に隣接して再生配管１
６が配置され、この排気配管１４及び再生配管１６に交
差する方向（以下、交差方向という）に直進移動して切
替可能に配置されたトラップ部１８が設けられている切
替式トラップ装置である。
の形態について説明する。図１及び図２に示すのは、こ
の発明のトラップ装置の第１の実施の形態を示すもの
で、これは、図４に示す気密チャンバ１０を真空ポンプ
１２により排気する排気配管１４に隣接して再生配管１
６が配置され、この排気配管１４及び再生配管１６に交
差する方向（以下、交差方向という）に直進移動して切
替可能に配置されたトラップ部１８が設けられている切
替式トラップ装置である。
【００１８】この切替式トラップ装置は、排気配管１４
と再生配管１６に跨って配置された円筒状の容器２２
と、この容器２２を交差方向に貫通する軸体２４と、こ
の軸体２４を軸方向に往復移動させる駆動手段であるエ
アシリンダ２６を備えている。容器２２は、中央が開口
する隔壁２７及び軸体２４に取り付けられた仕切板２８
によってトラップ室３０と再生室３２に仕切られてお
り、各部屋にはそれぞれ排気配管１４又は再生配管１６
が接続されている。
と再生配管１６に跨って配置された円筒状の容器２２
と、この容器２２を交差方向に貫通する軸体２４と、こ
の軸体２４を軸方向に往復移動させる駆動手段であるエ
アシリンダ２６を備えている。容器２２は、中央が開口
する隔壁２７及び軸体２４に取り付けられた仕切板２８
によってトラップ室３０と再生室３２に仕切られてお
り、各部屋にはそれぞれ排気配管１４又は再生配管１６
が接続されている。
【００１９】エアシリンダ２６と容器２２の間にはベロ
ーズ３４が設けられてこれらの間の気密性を維持してい
る。また、隔壁２７と仕切板２８が接する箇所にはＯリ
ング３５が配置されて、トラップ室３０と再生室３２の
間の気密性を維持している。仕切板２８は断熱性の高い
素材で形成されて、トラップ室３０と再生室３２の間の
熱移動を阻止するようにしている。
ーズ３４が設けられてこれらの間の気密性を維持してい
る。また、隔壁２７と仕切板２８が接する箇所にはＯリ
ング３５が配置されて、トラップ室３０と再生室３２の
間の気密性を維持している。仕切板２８は断熱性の高い
素材で形成されて、トラップ室３０と再生室３２の間の
熱移動を阻止するようにしている。
【００２０】トラップ部１８は、軸体２４に軸方向に対
向して取り付けられた一対の端板３６と、これら端板の
間に渡って設けられたバッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃとから構成されている。バッフル板３８ａ，３８ｂ，
３８ｃは左右対称に複数（図示例では６枚）が配置さ
れ、それぞれの間及び軸体２４又は容器壁との間にトラ
ップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを形成してい
る。バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、この例で
は、円弧面部４２と、上下の連絡部を形成する平面部４
４を必要に応じて有している。バッフル板３８ａ，３８
ｂ，３８ｃ及び端板３６はそれぞれ熱伝導性の良い材質
から形成されており、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃは端板３６を介して軸体２４との間の熱伝導により冷
却されるようになっている。
向して取り付けられた一対の端板３６と、これら端板の
間に渡って設けられたバッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃとから構成されている。バッフル板３８ａ，３８ｂ，
３８ｃは左右対称に複数（図示例では６枚）が配置さ
れ、それぞれの間及び軸体２４又は容器壁との間にトラ
ップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを形成してい
る。バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、この例で
は、円弧面部４２と、上下の連絡部を形成する平面部４
４を必要に応じて有している。バッフル板３８ａ，３８
ｂ，３８ｃ及び端板３６はそれぞれ熱伝導性の良い材質
から形成されており、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃは端板３６を介して軸体２４との間の熱伝導により冷
却されるようになっている。
【００２１】軸体２４は、金属等の熱伝導性の良い材料
により形成され、内部に冷却用の熱媒体流路４６が形成
されている。この熱媒体流路４６には、液体窒素のよう
な液体又は冷却された空気又は水等の冷却用熱媒体が供
給される。
により形成され、内部に冷却用の熱媒体流路４６が形成
されている。この熱媒体流路４６には、液体窒素のよう
な液体又は冷却された空気又は水等の冷却用熱媒体が供
給される。
【００２２】トラップ室３０の入口近傍には、容器２２
の左右の壁に開口し、排気流に対して直交する方向にフ
ローコントロールガスを供給するフローコントロールガ
スポート４８が設けられている。フローコントロールガ
スポート４８は、例えば窒素などの不活性なガスを所定
の圧力、流量で供給するフローコントロールガス源に接
続されている。このフローコントロールガスポート４８
から供給されるフローコントロールガスの圧力又は流量
は、フローコントロールガスが最も外側のトラップ流路
４０ｄのみを流れる程度に設定される。
の左右の壁に開口し、排気流に対して直交する方向にフ
ローコントロールガスを供給するフローコントロールガ
スポート４８が設けられている。フローコントロールガ
スポート４８は、例えば窒素などの不活性なガスを所定
の圧力、流量で供給するフローコントロールガス源に接
続されている。このフローコントロールガスポート４８
から供給されるフローコントロールガスの圧力又は流量
は、フローコントロールガスが最も外側のトラップ流路
４０ｄのみを流れる程度に設定される。
【００２３】以上のように構成されたトラップ装置の作
用を説明する。真空ポンプ１２の作動により、チャンバ
１０から排出された気体は排気配管１４を介してトラッ
プ容器２２に導入される。トラップ容器２２の入口で
は、左右のフローコントロールガスポート４８から所定
の圧力及び流量のフローコントロールガスが流入してお
り、従って、排気は中央側のトラップ流路４０ａ，４０
ｂ，４０ｃを流れ、最も外側のトラップ流路４０ｄには
ほとんど流れない。また、フローコントロールガスは最
も外側のトラップ流路４０ｄを流れ、内側のトラップ流
路４０ａ，４０ｂ，４０ｃには流れない。
用を説明する。真空ポンプ１２の作動により、チャンバ
１０から排出された気体は排気配管１４を介してトラッ
プ容器２２に導入される。トラップ容器２２の入口で
は、左右のフローコントロールガスポート４８から所定
の圧力及び流量のフローコントロールガスが流入してお
り、従って、排気は中央側のトラップ流路４０ａ，４０
ｂ，４０ｃを流れ、最も外側のトラップ流路４０ｄには
ほとんど流れない。また、フローコントロールガスは最
も外側のトラップ流路４０ｄを流れ、内側のトラップ流
路４０ａ，４０ｂ，４０ｃには流れない。
【００２４】排気は、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃの間の湾曲したトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ
に沿って流れ、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃに当
たって冷却される。冷却された排気中の凝結しやすい成
分はそこで析出し、析出した固形物は、これらバッフル
板の内外面に付着する。
ｃの間の湾曲したトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ
に沿って流れ、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃに当
たって冷却される。冷却された排気中の凝結しやすい成
分はそこで析出し、析出した固形物は、これらバッフル
板の内外面に付着する。
【００２５】このように、トラップ作用をほとんど持た
ない容器２２の壁との間の最も外側のトラップ流路４０
ｄには排気がほとんど流れないので、トラップ効率が低
下することが防止される。発明者による実験例による
と、最も外側の流路４０ｄの幅ｔが１９ｍｍである場
合、フローコントロールガス吹き込み無しの場合にはト
ラップ効率が６０％であったのに対して、フローコント
ロールガスを１０SCCM吹き込んだ場合には８５％まで向
上した。
ない容器２２の壁との間の最も外側のトラップ流路４０
ｄには排気がほとんど流れないので、トラップ効率が低
下することが防止される。発明者による実験例による
と、最も外側の流路４０ｄの幅ｔが１９ｍｍである場
合、フローコントロールガス吹き込み無しの場合にはト
ラップ効率が６０％であったのに対して、フローコント
ロールガスを１０SCCM吹き込んだ場合には８５％まで向
上した。
【００２６】この実施の形態では、トラップ流路４０
ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが湾曲して形成されている
ので、排気中のガス分子がトラップ面に当たる確率が高
くなり、冷却されてトラップされる効率も向上する。こ
れは、冷却によるトラップだけでなく、例えば粒子をト
ラップ面に吸着させるトラップでも同様である。所定量
の固形物が付着したトラップ部１８は、エアシリンダ２
６の動作により再生室３２に切り換えられて再生処理を
受ける。
ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが湾曲して形成されている
ので、排気中のガス分子がトラップ面に当たる確率が高
くなり、冷却されてトラップされる効率も向上する。こ
れは、冷却によるトラップだけでなく、例えば粒子をト
ラップ面に吸着させるトラップでも同様である。所定量
の固形物が付着したトラップ部１８は、エアシリンダ２
６の動作により再生室３２に切り換えられて再生処理を
受ける。
【００２７】図３は、この発明の他の実施の形態を示す
もので、フローコントロールガスポート４８が、フロー
コントロールガスを排気の方向に沿って供給するように
設けられているものである。基本的な作用は先の実施の
形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
もので、フローコントロールガスポート４８が、フロー
コントロールガスを排気の方向に沿って供給するように
設けられているものである。基本的な作用は先の実施の
形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
【００２８】なお、上述した実施の形態では、トラップ
容器２２及びバッフル板を湾曲面を有する形状に構成し
たが、図５及び図６に示すような従来型のバッフル板や
矩形のトラップ容器を有するトラップ装置にフローコン
トロールガスポートを設けて、排気がトラップ部に流れ
るのを促進するようにしてもよい。また、この実施の形
態では、再生処理のための再生室を設けてトラップ部を
機械的に切り替えるようにしたが、トラップ部を外して
他の場所で再生を行なうようにしてもよい。
容器２２及びバッフル板を湾曲面を有する形状に構成し
たが、図５及び図６に示すような従来型のバッフル板や
矩形のトラップ容器を有するトラップ装置にフローコン
トロールガスポートを設けて、排気がトラップ部に流れ
るのを促進するようにしてもよい。また、この実施の形
態では、再生処理のための再生室を設けてトラップ部を
機械的に切り替えるようにしたが、トラップ部を外して
他の場所で再生を行なうようにしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、成膜処理等において、トラップ容器の内部の空間を
ある程度確保して、コンダクタンスを過度に下げずに安
定な動作を確保しつつ、トラップ効率を向上させること
ができる。従って、このようなトラップ装置を用いた真
空処理システムにおいて、真空ポンプの性能に影響する
こと無く、真空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行
って運転の信頼性の向上を図り、システム全体としての
設備や運転コストの低減を図ることができる。
ば、成膜処理等において、トラップ容器の内部の空間を
ある程度確保して、コンダクタンスを過度に下げずに安
定な動作を確保しつつ、トラップ効率を向上させること
ができる。従って、このようなトラップ装置を用いた真
空処理システムにおいて、真空ポンプの性能に影響する
こと無く、真空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行
って運転の信頼性の向上を図り、システム全体としての
設備や運転コストの低減を図ることができる。
【図１】この発明の第１の実施の形態のトラップ装置の
正面断面図である。
正面断面図である。
【図２】この発明の第１の実施の形態のトラップ装置の
側面断面図である。
側面断面図である。
【図３】この発明の第２の実施の形態のトラップ装置の
側面断面図である。
側面断面図である。
【図４】トラップ装置が設けられる真空排気系を示す図
である。
である。
【図５】従来のトラップ装置の一例を示す図である。
【図６】従来のトラップ装置の他の例を示す図である。
１０ 真空チャンバ １２ 真空ポンプ １４ 排気配管 ２２ トラップ容器 ２６ エアシリンダ ３０ トラップ室 ３２ 再生室 ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ バッフル板 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ トラップ流路 ４８ フローコントロールガスポート
Claims (5)
- 【請求項１】 気密なチャンバから真空ポンプにより排
気する排気配管に配置されるトラップ装置において、 前記排気配管の一部を構成する気密な容器と、 該容器中に配置されて排気中の生成物を付着させて除去
するトラップ部とを備え、 前記容器には、排気の流れが前記トラップ部に向かうの
を促進するようにフローコントロールガスを流すフロー
コントロールガスポートが設けられていることを特徴と
するトラップ装置。 - 【請求項２】 前記フローコントロールガスポートは、
前記容器の内壁面に沿って前記フローコントロールガス
を流すように設けられていることを特徴とする請求項１
に記載のトラップ装置。 - 【請求項３】 前記トラップ部は、曲面状のトラップ面
を持つバッフルを有することを特徴とする請求項１に記
載のトラップ装置。 - 【請求項４】 前記トラップ面は、軸線が排気流路に交
差する円弧面状に形成されていることを特徴とする請求
項３に記載のトラップ装置。 - 【請求項５】 前記トラップ部は、前記容器に対して出
し入れ可能に設けられていることを特徴とする請求項１
に記載のトラップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36552297A JP3188235B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | トラップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36552297A JP3188235B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | トラップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11182425A JPH11182425A (ja) | 1999-07-06 |
| JP3188235B2 true JP3188235B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=18484476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36552297A Expired - Fee Related JP3188235B2 (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | トラップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3188235B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8715431B2 (en) | 2004-08-17 | 2014-05-06 | Kobe Steel, Ltd. | Copper alloy plate for electric and electronic parts having bending workability |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6554879B1 (en) | 1999-08-03 | 2003-04-29 | Ebara Corporation | Trap apparatus |
| JP4046474B2 (ja) * | 2000-11-13 | 2008-02-13 | 株式会社荏原製作所 | 連続処理型トラップ装置及び該トラップ装置の運転方法 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP36552297A patent/JP3188235B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8715431B2 (en) | 2004-08-17 | 2014-05-06 | Kobe Steel, Ltd. | Copper alloy plate for electric and electronic parts having bending workability |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11182425A (ja) | 1999-07-06 |
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