JP2006253203A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料にプラズマ処理を施すプロセスユニット105と、処理の終了した前記試料をプロセスユニット外に搬出する搬送ユニット104と、搬送ユニット104と各プロセスユニット105を接続する通路を開閉するゲートバルブ107と、搬送ユニット104内を搬送処理時の圧力に真空排気する高真空用排気ポンプと、少なくとも前記高真空用排気ポンプ内を粗引き排気する低真空用排気ポンプと、前記高真空用排気ポンプを接続した搬送ユニット104内に配置した溜め込み式の真空排気手段106を備え、溜め込み式の真空排気手段106とプロセスユニット105の間を接続するゲートバルブ107を全て閉じた状態でのみ処理ガスをプロセスユニット105に供給する。
【選択図】図1
Description
102 試料
103 真空ロボット
104 搬送ユニット
105 プロセスユニット
106 冷却板
107 ゲートバルブ
201 排気ユニット
302 排気ユニット
202 ゲートバルブ
301 ゲートバルブ
401 プラズマ処理室
402 主バルブ
403 高真空用排気ポンプ
404 ポンプ内排気バルブ
405 粗引き用バルブ
406 低真空用排気ポンプ
407 除害装置
Claims (5)
- 試料を載置する載置電極、ガス導入手段及びプラズマ生成手段を備え、前記載置電極に載置した試料にプラズマ処理を施すプロセスユニットと、
前記試料を載置電極上に載置してプラズマ処理を施し、処理の終了した試料をプロセスユニット外に搬出する搬送ユニットと、
搬送ユニットと各プロセスユニットを接続する通路を開閉するゲートバルブと、
前記搬送ユニット内を搬送処理時の圧力に真空排気する高真空用排気ポンプと、
少なくとも前記高真空用排気ポンプ内を粗引き排気する低真空用排気ポンプと、
前記高真空用排気ポンプを接続した搬送ユニット内に配置した溜め込み式の真空排気手段を備え、
溜め込み式の真空排気手段とプロセスユニットの間を接続するゲートバルブを全て閉じた状態でのみ処理ガスをプロセスユニットに供給することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料を載置する載置電極、ガス導入手段及びプラズマ生成手段を備え、前記載置電極に載置した試料にプラズマ処理を施すプロセスユニットと、
前記試料を載置電極上に載置してプラズマ処理を施し、処理の終了した試料をプロセスユニット外に搬出する搬送ユニットと、
前記プロセスユニットまたは搬送ユニットに独立したゲートバルブを介して接続した真空排気ユニットと、
前記真空排気ユニット内をプラズマ処理時の圧力に真空排気する高真空用排気ポンプと、
少なくとも前記高真空用排気ポンプ内を粗引き排気する低真空用排気ポンプを備え、
前記プロセスユニットまたは搬送ユニットに接続した真空排気ユニット内には、溜め込み式の真空排気手段を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または2記載のプラズマ処理装置において、
溜め込み式の真空排気手段を冷却板で構成し、該冷却板は150ケルビン以下に冷却することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または2記載のプラズマ処理装置において、
プロセスユニットの温度は溜め込み式の真空排気手段を構成する冷却板の温度より高く設定したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2記載のプラズマ処理装置において、
前記溜め込み式の真空排気手段とプロセスユニットと接続する通路を開閉するゲートバルブを閉じた状態でのみプロセスユニットに処理ガスを供給することを特徴とするプラズマ処理装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20150130498A (ko) * | 2013-03-15 | 2015-11-23 | 에디컨인코포레이티드 | 위치결정 구조물을 갖는 단일 평면 조직 수복 패치 |
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JP2000182966A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Sony Corp | 気相成長方法および気相成長装置 |
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-
2005
- 2005-03-08 JP JP2005064052A patent/JP2006253203A/ja active Pending
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