JP2002204904A - 脱泡装置および脱泡方法 - Google Patents
脱泡装置および脱泡方法Info
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- JP2002204904A JP2002204904A JP2001000699A JP2001000699A JP2002204904A JP 2002204904 A JP2002204904 A JP 2002204904A JP 2001000699 A JP2001000699 A JP 2001000699A JP 2001000699 A JP2001000699 A JP 2001000699A JP 2002204904 A JP2002204904 A JP 2002204904A
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- Materials For Photolithography (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、減圧をすることなく、特定形状の整
流板とフローティングメッシュとの組み合わせで脱泡可
能な脱泡装置および脱泡方法の提供を目的とする。 【解決手段】貯留槽内に液体を注入する際、貯留槽の注
入口から注入する液体を一旦整流板の受け板で受け止め
つつ貯留を進めると共に、整流板の受け板の一端に連接
されている湾曲板により液面に向かう回流を起こしなが
ら、貯留されている液体の液面に常に位置するように配
置してある網目状のフローティングメッシュをその一部
が順次通過してオーバーフローするようにし、フローテ
ィングメッシュの上面で液体中に存在する気泡を除去ま
たは／および捕捉する。
流板とフローティングメッシュとの組み合わせで脱泡可
能な脱泡装置および脱泡方法の提供を目的とする。 【解決手段】貯留槽内に液体を注入する際、貯留槽の注
入口から注入する液体を一旦整流板の受け板で受け止め
つつ貯留を進めると共に、整流板の受け板の一端に連接
されている湾曲板により液面に向かう回流を起こしなが
ら、貯留されている液体の液面に常に位置するように配
置してある網目状のフローティングメッシュをその一部
が順次通過してオーバーフローするようにし、フローテ
ィングメッシュの上面で液体中に存在する気泡を除去ま
たは／および捕捉する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光液、塗料、ポ
リマー液等の液体中に存在している気泡を、減圧した
り、付帯設備（減圧装置、撹拌機等）を使用することな
く除去することを可能にした脱泡装置および脱泡方法に
関する。
リマー液等の液体中に存在している気泡を、減圧した
り、付帯設備（減圧装置、撹拌機等）を使用することな
く除去することを可能にした脱泡装置および脱泡方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】感光液や塗料等の塗液に気泡を含んだ状
態で塗布を行うと、塗膜にピンホールやスジが生じ易く
なったり、塗膜の平滑性が損なわれ易くなる。
態で塗布を行うと、塗膜にピンホールやスジが生じ易く
なったり、塗膜の平滑性が損なわれ易くなる。
【０００３】このため、塗布前の塗液に対して脱泡処理
が一般的に行われている。脱泡処理の一般的な方法とし
ては、貯留槽の容量を大きくしたり、貯留槽を密閉して
槽内を減圧する方法が採られている。
が一般的に行われている。脱泡処理の一般的な方法とし
ては、貯留槽の容量を大きくしたり、貯留槽を密閉して
槽内を減圧する方法が採られている。
【０００４】貯留槽の容量を大きくするのは、槽内での
塗液の滞留時間を増やして自然脱泡を起こし易くするた
めであるが、貯留槽を大きくすると収納スペースが大き
くなったり、定期的に行う槽内の清掃時に廃棄する塗液
の量が多くなる等の問題点が多々ある。
塗液の滞留時間を増やして自然脱泡を起こし易くするた
めであるが、貯留槽を大きくすると収納スペースが大き
くなったり、定期的に行う槽内の清掃時に廃棄する塗液
の量が多くなる等の問題点が多々ある。
【０００５】一方、貯留槽を密閉して槽内を減圧して脱
泡を行う方法は、短時間で脱泡を効果的に行う手段とし
て有効であるが、貯留槽を密閉し、減圧するための装置
が必要で、しかも塗液の供給系を含め装置全体が複雑な
構成になると共に、維持管理の負担が大きくなる等の問
題点がある。
泡を行う方法は、短時間で脱泡を効果的に行う手段とし
て有効であるが、貯留槽を密閉し、減圧するための装置
が必要で、しかも塗液の供給系を含め装置全体が複雑な
構成になると共に、維持管理の負担が大きくなる等の問
題点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
問題点を解決するためになされたものであり、減圧をす
ることなく、特定形状の整流板とフローティングメッシ
ュとの組み合わせで脱泡が可能な脱泡装置および脱泡方
法の提供を目的とする。
問題点を解決するためになされたものであり、減圧をす
ることなく、特定形状の整流板とフローティングメッシ
ュとの組み合わせで脱泡が可能な脱泡装置および脱泡方
法の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の目的を
達成するためになされたものであり、請求項１に記載の
脱泡装置は、注入口と注出口とを少なくとも具備する貯
留槽内に、注入口から貯留槽内に注入される液体を一旦
受け止めるための受け板とこの受け板に連接され貯留さ
れてくる液体に対して上方への回流を起こさせるための
湾曲板とを具備する整流板が、注入口と注出口との間を
遮るように、しかも湾曲板が連接されていない受け板の
端部で貯留槽の側壁の注入口近傍に位置するように設置
されていると共に、貯留槽の上部には貯留されている液
体の最上面に常にその面が位置するように網目・板状の
フローティングメッシュが配置されていることを特徴と
する。
達成するためになされたものであり、請求項１に記載の
脱泡装置は、注入口と注出口とを少なくとも具備する貯
留槽内に、注入口から貯留槽内に注入される液体を一旦
受け止めるための受け板とこの受け板に連接され貯留さ
れてくる液体に対して上方への回流を起こさせるための
湾曲板とを具備する整流板が、注入口と注出口との間を
遮るように、しかも湾曲板が連接されていない受け板の
端部で貯留槽の側壁の注入口近傍に位置するように設置
されていると共に、貯留槽の上部には貯留されている液
体の最上面に常にその面が位置するように網目・板状の
フローティングメッシュが配置されていることを特徴と
する。
【０００８】また、請求項２に記載の脱泡方法は、貯留
槽内に液体を注入する際、貯留槽の注入口から注入する
液体を一旦整流板の受け板で受け止めつつ貯留を進める
と共に、整流板の受け板の一端に連接されている湾曲板
により液面に向かう回流を起こしながら、貯留されてい
る液体の液面に常に位置するように配置してある網目・
板状のフローティングメッシュを通過してオーバーフロ
ーするようにし、フローティングメッシュの上面で液体
中に存在する気泡を除去または／および捕捉するように
したことを特徴とする。
槽内に液体を注入する際、貯留槽の注入口から注入する
液体を一旦整流板の受け板で受け止めつつ貯留を進める
と共に、整流板の受け板の一端に連接されている湾曲板
により液面に向かう回流を起こしながら、貯留されてい
る液体の液面に常に位置するように配置してある網目・
板状のフローティングメッシュを通過してオーバーフロ
ーするようにし、フローティングメッシュの上面で液体
中に存在する気泡を除去または／および捕捉するように
したことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして説明する。
を参照にして説明する。
【００１０】図１は本発明の脱泡装置の概略説明図であ
る。この脱泡装置は注入口２と注出口３を少なくとも具
備する貯留槽４内に、整流板７とフローティングメッシ
ュ８が配置されている。
る。この脱泡装置は注入口２と注出口３を少なくとも具
備する貯留槽４内に、整流板７とフローティングメッシ
ュ８が配置されている。
【００１１】整流板７は受け板５とこの受け板５の一端
に連接する湾曲板６とからなり、注入口２と注出口３と
の間を遮るように、しかも湾曲板６が連接されていない
受け板５の端部で貯留槽４の側壁の注入口２近傍に取り
付けられている。この整流板７は注入口２から貯留槽４
内に注入されてくる気泡が存在する感光液や塗料等の液
体を、注出口３から直接注出させないようにその受け板
５の部分で一旦受け止めると共に、湾曲板６により貯留
槽４内に漸次貯留される液体に対して液面へ向かう回流
を起こさせるためのものである。
に連接する湾曲板６とからなり、注入口２と注出口３と
の間を遮るように、しかも湾曲板６が連接されていない
受け板５の端部で貯留槽４の側壁の注入口２近傍に取り
付けられている。この整流板７は注入口２から貯留槽４
内に注入されてくる気泡が存在する感光液や塗料等の液
体を、注出口３から直接注出させないようにその受け板
５の部分で一旦受け止めると共に、湾曲板６により貯留
槽４内に漸次貯留される液体に対して液面へ向かう回流
を起こさせるためのものである。
【００１２】一方、フローティングメッシュ８は貯留槽
４に貯留されている液体の液面全面に渡って常に位置す
るように配置されている。このフローティングメッシュ
８は、具体的には、図１に示すような、ステンレス製の
網目・板状の板材の周縁をフロート部材９で囲った構造
のものや、網目・板状の板材が移動手段により上下に移
動可能になっており、位置検知センサー等による液面の
高さ情報に基づき網目・板状の板材が液面に常に位置す
るようにした構造のものである。要するに、網目・板状
の板材が貯留槽４内の液体の液面全面に渡って常に位置
するようにしたものである。
４に貯留されている液体の液面全面に渡って常に位置す
るように配置されている。このフローティングメッシュ
８は、具体的には、図１に示すような、ステンレス製の
網目・板状の板材の周縁をフロート部材９で囲った構造
のものや、網目・板状の板材が移動手段により上下に移
動可能になっており、位置検知センサー等による液面の
高さ情報に基づき網目・板状の板材が液面に常に位置す
るようにした構造のものである。要するに、網目・板状
の板材が貯留槽４内の液体の液面全面に渡って常に位置
するようにしたものである。
【００１３】次に、図１によりこの脱泡装置を用いた脱
泡方法を説明するが、その前に、従来の自然脱法につい
て考察してみる。
泡方法を説明するが、その前に、従来の自然脱法につい
て考察してみる。
【００１４】図２は、従来の自然脱泡の状態を示してい
る。従来の方法においては、注入口２２と注出口２３の
みを有する容量の大きな貯留槽２４に液体を注入し、し
ばらくの間放置しておき、液体中の気泡が上方に移動し
てから、貯留槽２４の下部の注出口２３から気泡のなく
なった液体の部分のみを槽外に注出するようになってい
る。しかしながら、このような従来法においては、たと
え貯留槽２４に液体を長時間滞留させて液体中に含まれ
ている気泡が上方に移動し、貯留槽２４下部の液体には
気泡が存在しなくなって、貯留槽２４の下部に設けた注
出口２３から気泡の存在しない液体が塗布装置等に供給
できるような状態になったとしても、液体供給に際して
必要に応じて後から補給する液体が気泡が脱泡される機
会を得ないまま脱泡済みの液体と共に注出口から出てし
まうったり、液体を補給した時には再度気泡が上方に移
動するまで長時間滞留させておく必要が生じる、等の問
題点があった。
る。従来の方法においては、注入口２２と注出口２３の
みを有する容量の大きな貯留槽２４に液体を注入し、し
ばらくの間放置しておき、液体中の気泡が上方に移動し
てから、貯留槽２４の下部の注出口２３から気泡のなく
なった液体の部分のみを槽外に注出するようになってい
る。しかしながら、このような従来法においては、たと
え貯留槽２４に液体を長時間滞留させて液体中に含まれ
ている気泡が上方に移動し、貯留槽２４下部の液体には
気泡が存在しなくなって、貯留槽２４の下部に設けた注
出口２３から気泡の存在しない液体が塗布装置等に供給
できるような状態になったとしても、液体供給に際して
必要に応じて後から補給する液体が気泡が脱泡される機
会を得ないまま脱泡済みの液体と共に注出口から出てし
まうったり、液体を補給した時には再度気泡が上方に移
動するまで長時間滞留させておく必要が生じる、等の問
題点があった。
【００１５】これに対して本発明に係る脱泡方法は、図
１に示すように、注入口２から注入された気泡を含む液
体は、まず整流板７の受け板５により一旦受け止められ
つつ漸次貯留槽４内に貯留されていく。液体が次第に貯
まっていくに従って整流板７の湾曲板６の作用により、
液面に向かう流れが液体に生じ、回流が起きる。
１に示すように、注入口２から注入された気泡を含む液
体は、まず整流板７の受け板５により一旦受け止められ
つつ漸次貯留槽４内に貯留されていく。液体が次第に貯
まっていくに従って整流板７の湾曲板６の作用により、
液面に向かう流れが液体に生じ、回流が起きる。
【００１６】この際、液体は注入口から引き続き注入さ
れてくる液体の圧力により更に回流を繰り返す。この
間、液面に達した液体の一部は気泡をその中に存在させ
つつフローティングメッシュ８を通過してその一部が順
次オーバーフローするようになる。オーバーフローした
液体はフローティングメッシュ８上で薄い層を形成す
る。このような状態になると液体中の気泡は自然に、か
つ速やかに脱泡されるようになる。もし、この状態で気
泡が極僅かに残っていたとしても、この気泡はフローテ
ィングメッシュ８の開口部を介して再びフローティング
メッシュ８の下で回流する液体中に戻ることはなく、フ
ローティングメッシュ８の上面で捕捉されることにな
る。
れてくる液体の圧力により更に回流を繰り返す。この
間、液面に達した液体の一部は気泡をその中に存在させ
つつフローティングメッシュ８を通過してその一部が順
次オーバーフローするようになる。オーバーフローした
液体はフローティングメッシュ８上で薄い層を形成す
る。このような状態になると液体中の気泡は自然に、か
つ速やかに脱泡されるようになる。もし、この状態で気
泡が極僅かに残っていたとしても、この気泡はフローテ
ィングメッシュ８の開口部を介して再びフローティング
メッシュ８の下で回流する液体中に戻ることはなく、フ
ローティングメッシュ８の上面で捕捉されることにな
る。
【００１７】フローティングメッシュは、脱泡しようと
する液体の種類や粘度によりその厚さや開口部の大きさ
を適宜選択する必要がある。例えば、粘度が５０００ｃ
ｐｓから１００００ｃｐｓの場合は、開口部の大きさは
３×３ｍｍ程度が好ましい。
する液体の種類や粘度によりその厚さや開口部の大きさ
を適宜選択する必要がある。例えば、粘度が５０００ｃ
ｐｓから１００００ｃｐｓの場合は、開口部の大きさは
３×３ｍｍ程度が好ましい。
【００１８】オーバーフローした液体は気泡が取り除か
れた後は再びフローティングメッシュ８の下に戻るよう
になるが、液体が回流している部分は下からの圧力があ
るためその部分を避けて、図１に示す装置においては矢
印１０の方向に向かって流れ出し、再びフローティング
メッシュ８の一端を通過して再下降し、注出口３から貯
留槽４外に出ていくことになる。
れた後は再びフローティングメッシュ８の下に戻るよう
になるが、液体が回流している部分は下からの圧力があ
るためその部分を避けて、図１に示す装置においては矢
印１０の方向に向かって流れ出し、再びフローティング
メッシュ８の一端を通過して再下降し、注出口３から貯
留槽４外に出ていくことになる。
【００１９】脱泡可能な液体はその種類を問わないが、
粘度はなるべく高いものがよい。具体的には、２０００
から２００００ｃｐｓ、特に好ましくは２０００から５
０００ｃｐｓの範囲のものがよい。
粘度はなるべく高いものがよい。具体的には、２０００
から２００００ｃｐｓ、特に好ましくは２０００から５
０００ｃｐｓの範囲のものがよい。
【００２０】また、これらの液体の注入口２からの流量
は、その種類や粘度にもよるが、脈流を起こさない、１
０Ｌ／ｍｉｎから１５Ｌ／ｍｉｎ程度のものでであれば
よい。例えば、５０００ｃｐｓの場合は、１０Ｌ／ｍｉ
ｎ程度が好ましい。
は、その種類や粘度にもよるが、脈流を起こさない、１
０Ｌ／ｍｉｎから１５Ｌ／ｍｉｎ程度のものでであれば
よい。例えば、５０００ｃｐｓの場合は、１０Ｌ／ｍｉ
ｎ程度が好ましい。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 ＜実施例１＞図３に示す本発明の脱泡装置を使用した塗
布装置を使用し、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に水性塗料を塗布した。まず、供給
槽３０に入れておいた、固形分が６０％、粘度が１００
００ｃｐｓ、比重が１．４２の水性塗料を、移送ポンプ
３１により容量３０Ｌの貯留槽３４の注入口３２を通じ
て供給した。注入口３２から注入され始めた液体は、一
旦整流板３７の受け板３５で受け止められ、貯留されて
いった。貯留が進むと、整流板３７の受け板３５の一端
に連接する湾曲板３６の作用により、貯留される液体に
対して液面に向かう流れが生じて、回流をし始めた。そ
の時の供給した液体の流量は１５Ｌ／ｍｉｎであった。
布装置を使用し、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に水性塗料を塗布した。まず、供給
槽３０に入れておいた、固形分が６０％、粘度が１００
００ｃｐｓ、比重が１．４２の水性塗料を、移送ポンプ
３１により容量３０Ｌの貯留槽３４の注入口３２を通じ
て供給した。注入口３２から注入され始めた液体は、一
旦整流板３７の受け板３５で受け止められ、貯留されて
いった。貯留が進むと、整流板３７の受け板３５の一端
に連接する湾曲板３６の作用により、貯留される液体に
対して液面に向かう流れが生じて、回流をし始めた。そ
の時の供給した液体の流量は１５Ｌ／ｍｉｎであった。
【００２２】液体が回流を繰り返すうちに、液面に達し
た気泡の存在する水性塗料の一部はフローティングメッ
シュ３８を通過してオーバーフローし始め、フローティ
ングメッシュ３８の上面で水性塗料中の殆どの気泡が取
り除かれた。また、脱泡されずに残った極僅かの気泡は
フローティングメッシュ３８上に捕捉されていた。
た気泡の存在する水性塗料の一部はフローティングメッ
シュ３８を通過してオーバーフローし始め、フローティ
ングメッシュ３８の上面で水性塗料中の殆どの気泡が取
り除かれた。また、脱泡されずに残った極僅かの気泡は
フローティングメッシュ３８上に捕捉されていた。
【００２３】しかる後、気泡の取り除かれた水性塗料を
塗布ポンプ３９により二次貯留槽（フィルタータンク）
４０に供給して一旦貯留させ、フィルタリングし、しか
る後ダイコート機４２に供給し、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム上４３に塗工量２００ｇ／ｍ2でコーテ
ィングを行い、塗工シートを作成した。得られた塗工シ
ートの塗面の状態および比重を測定した。その結果を表
１に示す。塗工面は非常に平滑であり、ピンホールやス
ジが全くなかった。また、比重測定値より塗液中の気泡
が除去されているものと判断された。
塗布ポンプ３９により二次貯留槽（フィルタータンク）
４０に供給して一旦貯留させ、フィルタリングし、しか
る後ダイコート機４２に供給し、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム上４３に塗工量２００ｇ／ｍ2でコーテ
ィングを行い、塗工シートを作成した。得られた塗工シ
ートの塗面の状態および比重を測定した。その結果を表
１に示す。塗工面は非常に平滑であり、ピンホールやス
ジが全くなかった。また、比重測定値より塗液中の気泡
が除去されているものと判断された。
【００２４】＜比較例＞実施例において使用した脱泡装
置の整流板とフローティングメッシュを取り除き、それ
以外は実施例と同様の条件にて塗工を行い、塗工シート
を作成した。得られた塗工シートの塗面の状態および比
重を測定した。その結果を表１に示す。
置の整流板とフローティングメッシュを取り除き、それ
以外は実施例と同様の条件にて塗工を行い、塗工シート
を作成した。得られた塗工シートの塗面の状態および比
重を測定した。その結果を表１に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【発明の効果】本発明は、整流板とフローティングメッ
シュとの組み合わせに係るコンパクトな機構のみで、し
かも減圧をしない自然脱泡により、液体中の気泡を取り
除くことができる。
シュとの組み合わせに係るコンパクトな機構のみで、し
かも減圧をしない自然脱泡により、液体中の気泡を取り
除くことができる。
【００２７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の脱泡装置の概略説明図である。
【図２】従来の自然脱泡の状況を示す説明図である。
【図３】本発明の脱泡装置を使用した塗布方法の概略説
明図である。
明図である。
２、２２、３２・・注入口 ３、２３、３３・・注出口 ４、２４、３４・・貯留槽 ５、３５・・受け板 ６、３６・・湾曲板 ７、３７・・整流板 ８、３８・・フローティングメッシュ ９・・フロート材 ４２・・ダイコート機
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB15 AB16 AB17 AB20 EA04 4D011 AA03 AA05 AC01 AC03 AC06 BA20 4F042 AA01 CA01 CA06 CA07 CB02 CB27
Claims (2)
- 【請求項１】注入口と注出口とを少なくとも具備する貯
留槽内に、注入口から貯留槽内に注入される液体を一旦
受け止めるための受け板とこの受け板に連接され貯留さ
れてくる液体に対して上方への回流を起こさせるための
湾曲板とを具備する整流板が、注入口と注出口との間を
遮るように、しかも湾曲板が連接されていない受け板の
端部で貯留槽の側壁の注入口近傍に位置するように設置
されていると共に、貯留槽の上部には貯留されている液
体の液面に常に位置するように網目・板状のフローティ
ングメッシュが配置されていることを特徴とする脱泡装
置。 - 【請求項２】貯留槽内に液体を注入する際、貯留槽の注
入口から注入する液体を一旦整流板の受け板で受け止め
つつ貯留を進めると共に、整流板の受け板の一端に連接
されている湾曲板により液面に向かう回流を起こしなが
ら、貯留されている液体の液面に常に位置するように配
置してある網目・板状のフローティングメッシュをその
一部が順次通過してオーバーフローするようにし、フロ
ーティングメッシュの上面で液体中に存在する気泡を除
去または／および捕捉するようにしたことを特徴とする
脱泡方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001000699A JP4341183B2 (ja) | 2001-01-05 | 2001-01-05 | 脱泡装置および脱泡方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001000699A JP4341183B2 (ja) | 2001-01-05 | 2001-01-05 | 脱泡装置および脱泡方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002204904A true JP2002204904A (ja) | 2002-07-23 |
| JP4341183B2 JP4341183B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=18869439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001000699A Expired - Fee Related JP4341183B2 (ja) | 2001-01-05 | 2001-01-05 | 脱泡装置および脱泡方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4341183B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007029835A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置、ディスプレイ用部材の製造方法 |
| KR20130004980U (ko) * | 2012-02-10 | 2013-08-20 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 처리 장치 |
| CN104548672A (zh) * | 2015-01-05 | 2015-04-29 | 江苏苏亿环境工程有限公司 | 消泡装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110897893B (zh) * | 2020-01-13 | 2021-08-27 | 浙江厚达智能科技股份有限公司 | 搅拌式中药煎药方法 |
| CN110897890B (zh) * | 2020-01-13 | 2021-08-27 | 浙江厚达智能科技股份有限公司 | 搅拌溢流式中药煎药输送方法 |
-
2001
- 2001-01-05 JP JP2001000699A patent/JP4341183B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007029835A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置、ディスプレイ用部材の製造方法 |
| KR20130004980U (ko) * | 2012-02-10 | 2013-08-20 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 처리 장치 |
| KR200482351Y1 (ko) * | 2012-02-10 | 2017-01-13 | 미쓰비시 세이시 가부시키가이샤 | 레지스트층의 박막화 처리 장치 |
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